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贴合机为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 09 - 06

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真空泵如何搭配真空过滤器

发布时间: 2025 - 09 - 05

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集中供真空方案设计

发布时间: 2025 - 09 - 03

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行业资讯了解行业的最新资讯

2019 - 10 - 18

水环式真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限压力，对于单级泵为 2.66～9.31kPa;对于双级泵为 0.133～0.665kPa。水环泵也可用作压缩机，它属于低压的压缩机，其压力范围为( 1～2)X105Pa表压力(在特定的条件下)。水环泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中，如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等，得到了广泛的应用，由于水环泵压缩气体的过程是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘，含水的气体，因此，水环泵的应用日益增大。　　水环泵的工作原理示意图，水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。　　叶轮被偏心的安装在泵体中，当叶轮按图示方向旋转时，进入水环泵泵体的水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切(如Ⅰ -Ⅰ断面)，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上，叶片在水环内有一定的插入深度)。此时，叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部 0°为起点，那么叶轮在旋转前 180°时，小腔的容积逐渐由小变大(即从断面Ⅰ -Ⅰ到Ⅱ -Ⅱ)，压强不...

罗茨真空泵与前级真空泵抽速之间的关系

2019 - 10 - 30

罗茨真空泵的抽速与前级真空泵的抽速之间的关系主要取决于体积效率和罗茨真空泵的压差。如果容积效率低，则罗茨真空泵装置的有效抽速会大幅下降。如果罗茨真空泵的压差超过最大允许压差，则压缩功将导致转子过热并被卡住。因为泵壳很容易到周围的环散热仍然不太热。　　罗茨真空泵的最大允许压差在40-100hPa之间。在较高的压力范围(150hPa)中，允许的压差会稍高一些，这是因为抽气量值得感谢，并且改进了转子。冷却。随着压差的增加，不可避免地会增加所需的功率。　　罗茨真空泵的出口管中安装了专用的气体冷却器，由于冷却气体的回流可以将转子的温度保持在指定范围内，因此可以增加最大允许压差。　　内。在真空和高真空范围内，抽速比多使用10:1。当入口压力变化较大或前级压力变小时，压缩比降低，因此抽速比多选择。　　1.当罗茨真空泵在较高压力下启动时，压力迅速下降并达到所需压力。尽管启动时超过了最大允许压力差，但短时过载(几分钟后)正常的罗茨真空泵电动机不会引起问题。当入口压力非常低或预真空泵气镇阀工作时，通常使用两级预真空泵，否则很难达到罗茨真空泵所需的预压力，并且在此压力下进行前期泵的抽速太低。这将导致压缩比过高并降低容积效率。　　2.当泵的入口压力在真空度范围内时，这是允许的最大压差成为重要因素。当入口压力为15hPa时，罗茨真空泵与前级真空泵的泵速比为6:1，而当入口压力为75hPa时为2:1。在罗茨真...

水环真空泵常见故障宝典

2019 - 11 - 05

水环真空泵常见故障　　第一，水环真空泵真空度不够　　可能的原因:电机电源不足导致转速不足;供水不足;叶轮和分配板之间的间隙过大;机械密封损坏，导致漏水漏气;叶轮过度磨损;循环水不能排放。　　排除方法:检查电源电压是否在电机额定电压范围内;增加供水(必须控制在正确的范围内，否则会导致电机过载和发热);调整叶轮和分配器板之间的间隙(一般为0.15-0.20毫米);更换机械密封;更换叶轮;检查出水管。　　第二，水环真空泵不能启动，或者会发出很大的噪音　　可能的原因:电机电源电压不足;马达无相位运转。泵长期不用导致生锈;泵内杂物的吸入;叶轮拖动分配器板。　　排除方法:检查电源电压是否过低;检查电机接线是否牢固;如果泵长时间不用，可以添加除锈剂或打开泵盖除锈。打开泵盖清除杂物;调整叶轮和分配板之间的距离。　　第三，水环真空泵电机过热　　可能的原因:过量供水导致电机过载;电机缺相;通风口被堵住了;叶轮拖动其他零件。　　排除方法:将供水减少至正常范围(参见泵操作说明中的供液量);检查接线是否牢固;检查排气口;打开泵盖，调整叶轮和其他部件之间的间隙。　　第四，水环真空泵流量不足　　可能的原因:管道泄漏;阻力损失增加。　　排除方法:检查接头处的机械密封;检查管道和止回阀有无故障。　　水环真空泵的日常维护　　(1)正常工作时，应注意检查轴承的工作和润滑情况。建议其温度(轴承和外圈)一般比环境温度高15...

关于水环真空泵的优点

2019 - 11 - 07

水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时，液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心，形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水，所述水环泵。水环真空泵在聚氯乙烯行业的应用　　近几年来我国启动了许多大型的基本建设和技术改造项目，这些项目的实童都需要大量的聚氯乙烯材料，特别是房地产的兴旺，更加推动了聚氯乙烯行业的发展，据氯碱行业的统计，我国去年生产了410万吨聚氯乙烯，进口了200可吨。据该行业的预测，2005年的全国需求量将达800万吨，而到了2010年将达到1500万吨，正是因为需求量高速增加，使得我国的氯碱行业的企业加改造扩产，并且近一、二年新上了许多企业。氯碱企业的发展，必须配套水陕空泵和水环压缩机j用以抽除和压缩乙炔和氢气的水环真空泵和水环压缩机过去也不过30m3/min，而现在年产10万吨烧碱和10万吨聚氯乙烯的企业，需要的水环真空泵和水环压缩机达70m3/min以上。　　水环真空泵和其它类型的机械真空泵相比有以下优点　　1、结构简单，制造精度要求不高，容易加工。　　2、结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。　　3、压缩气体基本是等温的(通常多变压缩指数n=1.1~1.15...

CNC雕刻机的真空系统应用行业

2019 - 11 - 11

随着雕刻行业的发展，市场对雕刻机厂家提出了更高的要求。雕刻市场的生产细分行业的日益成熟，CNC雕刻满足大规模生产的需要，但也更简洁的用户界面。在一个重要的角色CNC雕刻机工作真空系统作用，最近把一些CNC雕刻机，相关应用程序和其他工业应用中的问题，以及真空系统的主要功能在分析CNC雕刻机。　　所述CNC雕刻机的主要功能是适用于切割，在各种平面材料雕刻一个两维的，三维雕刻。另一个通用的金属斑块雕刻机的主要功能和优点：强大，一台机器，无论是产生青铜，不锈钢板，钛金，铝等金属表面牌刻字，图形艺术和手工艺刻图案等，可以很容易地得到。因为机器刻电镀工件的强函数可以从微小被加工到大格式标志徽章，铭牌。　　CNC雕刻机的真空系统应用　　木工　　立体波浪板加工，橱柜门，工艺木门，免漆门，屏风，雕铣工艺窗口异型加工家具产品。　　模具工业　　雕刻各种浮雕，影雕，刻，平面雕刻，切割，清洗和其它效果底部。　　雕刻业　　广告招牌，PVC板，特氟隆片，双色板，标牌制作，压克力切割，塑料成型，字符切割，标牌制作，切割PVC，水晶板，丙烯酸类，LED /氖槽，孔形字面切割，光盒成型。　　石雕业　　天然大理石，花岗石，人造石，墓碑，里程碑，瓷砖，玻璃和电线三维浮雕雕刻，切割，倒边，钻立体雕刻的材料。　　手工业　　各种精细图案可以刻和在木，竹，人造大理石，有机板，双色板，水晶等材料的文本。　　真空系统是由真空泵套，P...

压铸零件行业中真空泵系统的应用

2019 - 11 - 12

压力铸造分为高压铸造和低压铸造。高压铸造和低压铸造有什么区别?随着压铸行业的发展，越来越多的压铸制造商正在使用真空系统。如今，许多制造商对压铸零件有越来越高的要求。另外，在国内压铸行业中，使用真空制造商不多，真空系统的制造商也不平衡。结果，压铸制造商感到他们在选择真空设备时别无选择。本文旨在分析真空系统在高压铸造中的实际应用效果，希望对压铸制造商有所帮助。　　高压铸造和低压铸造有什么区别?　　高压铸造是将熔融的合金液体倒入压力室中，高速填充模具的型腔，并在压力下使合金液体凝固而形成的铸造方法。高压压铸的主要特征是与其他铸造方法不同的是高压和高速。 1熔融金属在压力下充满型腔，并在更高压力下结晶并凝固。共同压力是15-100MPa。 2金属液体通常以10-50 m/s的速度高速填充模腔，有些甚至会超过80 m/s(模腔通过入口浇口引入模腔的线速度)，因此熔融金属填充时间非常短，可以在约0.01-0.2秒内填充型腔(取决于铸件的大小)。　　低压铸造的过程是：在密封的坩埚(或密封的罐)中，引入干燥的压缩空气，熔融金属在气压的作用下沿立管上升进入浇口，并顺利通过浇口。进入腔体和保持在坩埚内的液面的气体压力。直到铸件完全凝固。然后，释放液体表面上的气压，并且液体提升管中的未固化金属液体流回坩埚。重新打开并取出铸件。　　压铸的真空系统原理　　压铸真空系统主要由三部分组成：真空阀，真空单元和控制...

水环真空泵产生较大的震动怎么办

2019 - 11 - 14

水环真空泵在使用时会产生较大的震动，这是一种相对常见的情况。这取决于其自身电动机的特性。通常，它不影响设备的正常使用，但是在使用环境时有一些特殊的要求，对设备的要求比较高，这种情况可能要求水环真空泵设备降低震动程度，以下将与小编来看看一起如何解决它。　　1、对设备传动系统的改造也可以达到减震的目的。通常的具体操作是将设备和驱动轴之间的原始刚性连接调整为弹性连接，这也可以大大减少电动机和驱动轴到设备的振动传递。通常建议使用弹性套筒销联轴器，以使电动机和驱动轴振动，但使用挠性联轴器后，传递到水环真空泵的振动将大大降低。　　2、增强管道刚度后也可以实现减震。通常，直接在设备上进行加固操作不是很容易。因此，在加固时，在出口钢管的焊接处使用加固。具体的操作方法是将真空泵出口与出口阀的连接管中使用的法兰沿入口和出口的方向焊接。这样可以大大提高钢管的刚度，并最大程度地减少变形的记录。实际操作后，可以证明加固后，减震效果非常好。　　以上是水环真空泵减震的方法。除上述方法外，如果需要进行减震处理，还可以咨询专业人员，选择适合设备的方法，不要盲目调整。

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PCB热压机配套中央真空泵系统方案

2025 - 04 - 15

针对PCB热压机配套中央真空泵系统方案，以下是一个综合性的解决方案，结合高效节能、稳定性、维护便利性及智能化控制等关键要素：一、系统设计原则高效节能采用罗茨水环真空机组作为核心配置，罗茨泵作为前级泵快速排出空气，降低后级水环泵负荷，减少能耗。水环泵以水为介质，无需润滑油，避免油污染，符合环保要求。引入变频调速技术，根据生产需求动态调整真空泵运行速度，确保设备始终处于高效区运行。稳定性与可靠性设计集中式抽真空模式，统一管道布局，减少弯头和过长管道，降低气体流动阻力，确保真空度稳定。采用智能控制系统，实时监测真空度、温度等参数，自动调节泵的运行状态，避免全负荷运行，延长设备寿命。维护便利性真空泵及管道系统采用模块化设计，便于快速拆卸和更换部件，降低维护成本。定期对真空泵进行保养，如更换密封件、清洗泵腔，确保性能处于最佳状态。二、具体配置方案真空泵组罗茨泵：作为前级泵，快速抽气，降低系统压力。水环泵：作为后级泵，维持高真空度，处理大量气体。备用泵：配置一台备用泵，确保主泵故障时系统仍能持续运行。管道系统主管道：采用大直径不锈钢管道，减少阻力，确保气体快速流动。分支管道：根据热压机布局，合理设计分支管道，确保每台设备真空度均匀。阀门与传感器：在关键节点安装真空阀和压力传感器，实现精准控制。控制系统PLC控制器：集成变频器、传感器等设备，实现真空泵的自动启停、调速和故障报警。人机界面（HMI...

SPECK磁力泵在液冷工艺中有哪些优势

2025 - 08 - 08

在液冷工艺中，德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性，成为输送冷却介质的理想选择，具体优势如下：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况：适应高温高压液冷需求高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。例如，其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃，扬程200米，流量110m³/h，适用于高压高温场景。高压能力：部分型号（如CY-4282.0067）扬程可达120米，支持高压循环液冷系统（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少...

水环式真空泵卡死的原因是什么

2019 - 08 - 29

水环真空泵是工业泵送工作中常用的一种设备。这要求水环泵的内部操作具有非常高的流畅性，因此如果存在问题，水环真空泵机器可能会卡住并且不能工作。由于某种原因，水环真空泵马达过载甚至转动，习惯上称这种现象“卡死”。水环真空泵卡住的原因是：1.弹簧损坏，导致旋转件受到不均匀的应力。2.装配不当，局部压力大.3.由于水环真空泵进风口过滤器丢失或损坏，外部污垢和金属屑落入水环泵腔内。4.水环真空泵泵转子，旋转叶片端面与端盖之间的间隙过小，摩擦热产生旋转叶片摩擦或过热而摩擦力过大，且硬度较大旋转叶片太大，因此端面很深。划伤，烧结卡住了.5.当轴与套筒配合过紧时，润滑油路不平滑，泵会因相互粘连而长时间卡住。水环真空泵泵室生锈。6.水环真空泵在潮湿环境中运行或去除潮湿气体，导致泵油变成乳化液或泵油垢或甚至地壳泵油的粘度太大（冬季）.7.水环真空泵转子在启动时裂开.8.某些水环真空泵在高低真空室的空气通道上有半圆形凹槽，压在它们上面的橡胶板压得太紧，挡住了中间空气通道等。在卡纸时，由于转子过载或转动水环真空泵电机，电机很容易燃烧。即使不烧坏电机，如果不停止修理，也会损坏水环真空泵的泵腔，破坏旋转叶片，扭转转子，烧坏端面等。水环真空泵堵塞总是发生在转子，旋转叶片和端面或中间隔板之间或转子和泵室之间，这些是决定水环真空泵极限压力的关键部件，所以发卡。在死亡的情况下，必须紧急停止泵，消除故障，并正确修理。不...

水环真空泵发生排气爆鸣怎么办

2019 - 10 - 24

许多人可能对水环真空泵的排气了解不多，这对设备的运行有害现象，因此我们必须找到在使用过程中防止它发生的方法。　　一，水环真空泵-过滤　　为了解决这个问题，可以将过滤器装置添加到水环真空泵前进气管中，以进行灰尘或残留液体。过滤并定期清洁过滤设备，以确保良好的性能。同时，对于整个水环真空泵维护泵体并及时清洗阀板。　　二，水环真空泵-散热　　由于水环真空泵活塞在气缸中不断往复运动，因此泵体的温度过高，导致材料碳化。引发事故的条件。为避免这种情况，请在打开泵之前先打开水环真空泵的冷却系统，并确保系统入口和出口管道畅通无阻。　　三，水环真空泵-清洗缓冲　　在水环真空泵之前添加水洗和缓冲罐可以有效地清洁吸入的残留液体，并对混合空气具有一定的冷却效果。但是，在实际工作中，经常会出现以下两种现象：　　1.罐内残留液体量少时，少量液体被吸入泵体内，物料在高温下会碳化;　　2.当残留液体量很大时，例如，如果没有及时排出，则水环真空泵可能会吸入液体并产生冲洗泵，从而引起大的设备事故。　　因此，在生产过程中，员工需要严格按照规定使用水环真空泵，并及时排出残留的液体，以免发生事故。　　四，行气管阻塞或不流畅　　该故障可能导致包含甲醇蒸气的混合气体及时排出。当其积累到一定程度时，它将严重泄漏，并且水环真空泵会猛烈撞击甚至爆炸。　　造成这种现象的原因很多。这可能是由于设计缺陷导致的，导致行气管的位置相对较低。管...

真空泵机组选择,工作,注意事项

2019 - 10 - 31

很多人会问真空泵机组的选择方法?真空机组的工作流程是什么?真空机组的使用说明及注意事项?现在我们就来了解一下.　　真空泵机组的选择方法　　真空泵机组主要是罗茨泵，真空泵机组是罗茨泵。旋片泵与前级泵串联连接。其结构紧凑，操作简便。适用于抽取空气和其他非冷凝性和非腐蚀性气体，用于需要高抽速和高真空的各种真空系统中。如：真空熔炼，功率电容器，变压器，真空浸渍处理，真空镀膜设备的预萃取。当一个泵不能满足抽气和真空要求时，需要组合多个泵以相互补充，以满足工艺要求。　　需要预先抽真空;一些真空泵入口压力低于大气压，并且真空泵机组中的真空泵不能在大气压下运行。需要前级泵，因此需要组合泵。组合使用的真空泵称为真空泵机组，可以使真空系统获得更好的真空度和排量。组合真空泵应正确选择。不同的真空泵对提取的气体有不同的要求。例如，通常罗茨-旋转叶片机组不适用于包含更多可冷凝气体的系统。　　真空机组的工作流程是什么　　真空机组所需的罗茨真空泵不能直接排到大气中。如果直接排气气氛将形成罗茨真空泵的吸入口和排气口的压力差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯增加0201真空泵的电机功率将形成罗茨真空泵020 -1导致过热真空泵转子之间的小间隙由于热收缩而迅速被卡住。罗茨真空机组必须确保罗茨真空泵转子之间的间隙，以确保罗茨真空泵可以达到更高的真空度。因此，罗茨真空泵必须配备前级泵。当前级泵将系统内部的压力拉至一定范...

水环式真空泵怎么防止腐蚀

2020 - 05 - 22

1.水环式真空泵怎么防止腐蚀水环真空泵是一种粗糙的真空泵，可以获得2000-4000帕的极限真空和270-670帕的一系列大气喷射器。水环真空泵安装了一个带固定叶片的偏心转子。水(液体)被抛到定子的墙上，形成与定子液环同心的液环，转子叶片形成一个可变容积的旋转式可变容积真空泵。水环真空泵具有结构简单、加工容易、抽吸均匀、运行稳定可靠、操作简单、维护方便等优点。　　由于水环真空泵中的气体压缩是等温的，易燃易爆气体可以去除。由于没有排气阀和摩擦面，带有灰尘、可冷凝气体和气水混合物的气体可以被去除。具有这些突出的特点，尽管它的效率很低，但它仍然广泛应用于石油、化学工业、机械、造纸、采矿、轻工业、医药和食品工业。　　2.腐蚀原因分析　　随着真空泵在水环，越来越多的应用，由于高温、高压、强腐蚀、气蚀等恶劣环境的影响，设备在运行过程中经常出现磨损、腐蚀、泄漏等现象，制约了企业的正常生产，甚至导致火灾、爆炸、污染等严重的安全事故。腐蚀的主要原因可归纳如下：　　1)水环真空泵的水经过多次循环后，不仅酸度增加，而且水环湍流会与一氧化碳充分接触，使水呈酸性，从而在水环真空泵的流动部分造成电化学腐蚀情况，从而造成叶轮等流动部分的腐蚀。　　2)水环真空泵边界条件的改变会增加局部流量，在叶轮背面产生负压，在使用过程中容易产生气穴现象，形成大量气泡。在放电...

第三十三界“橡塑节能环保技术交流会”圆满闭幕

2019 - 05 - 29

2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行，参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民；多家企业负责人、投资人和橡塑界精英，本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。论坛正式启动后，由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展（以前，现在及未来）。期间介绍新款变频液环真空泵，与工业4.0的核心理念正完全契合，它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化，在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”，推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始，节能是要求，但我们要的不仅仅是节能，不是简单的设备工程解决方案，而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。接下来，由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享，陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决，机械泵效率低能耗高，故障率频繁等问题，陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答，并展示进行改造后的成功案例。陈总说，我们致力于可持续生产力，节能、环保、高效，我们坚持对客...

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水环真空泵工作液

日期： 2021-01-07

来源:

浏览次数: 76

　　水环真空泵工作液只能使用一次吗?很有可能有刚接触此设备的顾客会问，当然不是;那么工作液是不是可以重复使用?当然可以，只是需要注意下列事项。

水环真空泵工作液

　　1、水环真空泵工作液再循环应用时，要保证工作液中没有杂质污染，循环应用要配备储水箱和制冷一般工作水温度应控制在15-25℃，温度过高会影响水环真空泵特性，例如真空值和抽速等。

　　2、通常是加工设备冷却，更关键的是现场工艺了，溫度层面的管控，大部分产业链实际上都会将循环水不断应用，节约资源。循环管道要保证装好，一般状况下，水环真空泵工作液首先推荐工业软水。

　　3、泵在工作情况下对水的温度和水的质量是有一定规定的，关键是为了防止浸蚀內部叶轮等配件，使用循环应用水这样才能节约能源。

　　4、尽可能采用工业软水，以防导致设备的损坏，做到应用水的重复使用，达到环境保护，节约能源的目的。

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发布时间： 2025 - 07 - 23

旋片真空泵机组360度轮移动方便携带

高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...

发布时间： 2025 - 07 - 22