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2019 - 11 - 11
工作在10-5Pa以上的超高真空机组具有扩散泵,分子泵超高真空机组和无油超高真空机组。该机组具有以下特征:  1.主泵的最高真空度很高,在10-7〜10-8pa以上。  2.可以承受200〜450°C的高温烘烤。  3.主泵回油的分压非常低。  4.对泵送气体具有较强选择性的主泵应配备足够大的辅助泵。  5.要求真空室,管道,阀等的材料的气体输出率低,气体泄漏率小。  (1)扩散泵超高真空机组  以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7〜10-8Pa。  为了减少来自扩散泵前级的气体向后扩散和机械泵油的反向扩散对极限真空的影响,可以在前级使用抽速小的扩散泵降低扩散泵的压缩比,减少小扩散。如果将钛升华捕集器添加到扩散泵的入口,则可以进一步降低来自扩散泵的氮气的分压,并且可以获得10-11 Pa的超高真空。  (2)分子泵超高真空机组  以分子泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-8Pa,具有启动快,油污少的特点。  增加机组中的液氮捕集器可以提高抽速。水冷疏水阀位于机械泵的出口,以防止油蒸气进入系统。  (3)无油超高真空机组  不使用油作为工作流体且未用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵,钛泵,溅射离子泵等,它们可以达到10-7〜10-8Pa的极限真空度。与抽油机相比,具有以下优点:  1.可获得清洁的真空,无污染源。  2.当启...
2019 - 11 - 13
真空泵是使用机械,物理,化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的装置。通常,真空泵是一种使用各种方法来改善,创建和维持封闭空间中的真空的设备。  根据真空泵的工作原理,真空泵基本上可分为两类,即集气泵和输气泵。广泛用于冶金,化工,食品,电子涂料等行业。接下来,小编为您介绍最完整的真空泵的使用和维护方法!  一、真空泵的使用  1、超过70度的,测定干抽速度。干燥更复杂,通常不检查。  2、机械真空泵,需要冷却水。在启动机器之前,请在启动之前通入冷却水。冷却水的出水温度不应超过30度。  3、连续真空泵和泵系统的管道应尽可能短且粗。管道的内径不应小于真空泵入口的直径,以免由于干管道的阻力而导致抽速。  4、为了保持工作室的清洁卫生,有利于员工的身体健康。该管道用于将废气直接引至外部。  5、当真空泵长时间不工作或环境温度较低时,可能会导致启动困难。此时,真空泵的吸入口应向大气开放,滑轮应充分旋转(非贾接电源),以使真空泵在启动前旋转数周。连接真空泵,您可以继续移动电机几次,然后将真空泵腔中的油排入燃油箱以启动,否则,可以使用辐射加热或红外灯直接加热真空泵直至可以移动。  6、在使用前,请检查机械真空泵油是否在窗口的油标位置。同时,必须检查电动机皮带轮的旋转方向。观察者面对皮带轮,皮带轮应沿顺时针方向旋转。如果以相反的方向旋转,则可以更换相电源中的任何两相连接器。否则,旋片式真空泵将...
2019 - 11 - 15
以前的文章中介绍了水环真空泵运行中的一些常见问题,但是在上一篇文章中没有提到另一种情况。水环泵设备的突然关闭情况很少发生,但是一旦出现,就可以进行比较。严重的情况是设备突然关闭。此类问题没有事先准备。因此,我们可能不知道如何解决这种意外情况。让我们详细看一下如何解决水环真空泵设备的突然关闭。  1、包装或密封件有磨损问题,以至于空气泄漏到设备中。在这种情况下,请检查包装或密封并根据需要进行更换。同时检查是否需要更换润滑脂。  2、检查入口管线中是否泄漏。这可能是由于进气管线中的气穴或漏气造成的。  3、叶轮或管道也可能被阻塞。首先,您需要检查管道是否被障碍物阻塞。如果发现堵塞,则需要及时清洗水环真空泵的管路,以免影响后续使用。  4、设备的底部阀门或入口管浸入浅深度,需要浸没足够的深度才能继续正常工作。  5、可能是由于在抽吸高温或挥发性液体时吸力不足。在这种情况下,通常需要增加吸头以增加吸力。如果您不知道如何操作,建议咨询制造商或找专业人员。  6、吸程过高。如果遇到此问题,请检查净压头是否有问题。可能是因为进口管线太小或太长会导致磨损。  上面是水环真空泵突然停止的解决方案,因为这种情况非常特殊,所以这种情况可能不堪重负,但是通过以上描述,我相信每个人都可以轻松应对。如果在水环真空泵使用过程中出现问题解决不了.就要及时联系售后来进行维修.确保水环真空泵的正常运行.
2019 - 11 - 17
水环真空泵是我们工业生产中常用的机器,但是无论使用什么设备,长时间使用都会磨损并出现其他类似问题。这台机器也不例外,我们目前需要润滑剂。使用了帮助,但是有某些使用润滑油的标准方法。一旦方法错误,很可能会对水环真空泵造成一定程度的损坏。那么,您如何使用它呢?不用担心,然后小编将告诉您如何用油正确润滑水环真空泵。  (1)请注意,润滑油不能混用,包括不同等级,不同种类的泵油以及新旧油。  (2)取油或加油时,应清除盖子周围的杂物,以防止混入油中,从而导致水环真空泵磨损。  (3)加油设备使用专用设备,而不是装有其他油或溶剂的容器。  (4)如果吸入化学气体和溶剂,对泵油污染的影响水环真空泵后,需要清洗并上油。  (5)对设备进行大修时,请用溶剂或清洁剂清洁泵的零件并擦干零件。  (6)当水环真空泵油的真空度下降时,应在真空度不足时以及当泵油的颜色变成深褐色时进行更换。  (7)真空泵应尽量避免除去溶剂,水蒸气和腐蚀性气体。使用时,必须经常检查和更换机油。  (8)装载油的窗户必须清洁,不要暴露在阳光下,并且要在阳光下露天存放,并且应该存放在黑暗,干燥,通风的地方,并严格防水和混合灰尘。  (9)当矿物油换成酯油或其他合成油时,应拆下水环真空泵进行清洁。所有零件,包括所有零件,都必须浸入酯油中以防止污染。  (10)更换泵油时,排出水环真空泵中使用的旧油。倒入新油后,慢慢转动泵轴,清洗泵...
2019 - 11 - 19
1.极限真空泵不高及其消除  (1)油位太低,有较大排气声,可参加清洁的真空泵油。  (2)真空泵油为可凝性蒸汽所污染,可开气镇净化或替换新油。  (3)泵口外接管道、容器、测试外表管道、接头等漏气。大漏时,有大排气声,排气口有气排出,应找出漏气部位,进行消除。  (4)进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不妥,损坏或老化,应调整或替换。  (5)进油咀油孔堵塞,可拔出进油咀,疏通油孔。  (6)真空泵体系严峻污染,包含容器、管道等,应予清洗。  (7)旋片绷簧折断,应予互换。  (8)旋片、真空泵身或盖磨损,间隙过大,应进行查看,修整或互换。  (9)泵温过高,应改进通风和冷却。如所抽气体温度太高,应予先冷却后再进入泵内。  2.喷油  (1)油位过高,可入出剩余油量。  (2)减雾器中有泵油或杂物,应清除。  3.真空泵漏油  放油螺塞,油箱垫片损坏或装配不妥,螺钉拧紧;  油标未拧紧,有机玻璃过热变形;  泵身部件与支座的衔接挚垫片未垫好;  油封装配不妥或磨损;应予调整或替换。  4.真空泵噪声  (1)旋片绷簧折断,可互换绷簧。  (2)有毛刺、脏物或变形,工作发作妨碍,应查看修磨清洗。  (3)轴承磨损,零件磨损。应修整或替换。  (4)电机出毛病,应进行查看。  5.真空泵返油  (1)止回阀未关好,停泵后,油位很快下降,可再开再停,观察变化或拆开查看。  (2)两泵盖内油封...
2019 - 11 - 21
在真空泵的实际应用中,有时会遇到各种与油有关的问题。例如, 1.是通用进口泵型号。我想知道最初的机油等级是多少。 2.已知的进口泵机油等级,知道其粘度等级。 3.了解进口泵油的粘度等级,如何选择国产油品进行试用,然后确定以确保泵的性能指标和运行可靠性,以及低廉合理的成本。 4.对于上海真空泵工厂的用户和分销商,有时他们需要了解我们的特定产品和当前工厂用油的标准,粘度,质量等级,燃料数量和推荐意见。对数量和数量的引用。因此,为此目的,已经为相关的用户以及生产,分配和维护人员专门收集并汇编了一些材料和实践经验。  真空泵油的选择注意事项  由于进口真空泵油的价格远远高于家用油,因此,如果能够正确选择可以更换的家用油,使用成本将大大降低。  对于家用泵,如果可以合理选择真空泵油,将对泵的极限分压,极限全压,起动,功耗,泵温度,泵性能稳定性,抗乳化性能和可靠性产生良好的影响。  对于真空泵制造商而言,使用高质量的机油产品可以改善泵的整体性能,为大多数用户带来好处,并产生良好的社会效益。对于用户来说,如果使用工厂用油的效果不是很令人满意,也可以根据具体情况选择。例如, 1.如果白天很冷,则很难启动。您可以选择粘度等级较低的泵油。 2.如果泵长时间在较高的泵温度下工作,例如,如果泵在夏天有热源且环境通风不良,则吸入气体会被加热或入口压力较高等。可以选择或应用具有粘度等级的优质油。适用于高温,高...
2019 - 11 - 22
如果高质量的油泵维护不当,经常会发生故障甚至损坏,从而影响工作效率,浪费成本。因此,高温油泵的日常维护是日常生产的重要组成部分。首先,从高温油泵的设计出发,在设计高温油泵时,要注意以下问题:  1.高温油泵的密封设计应注意高温液体容易挥发的问题,容易使机器的密封件产生干摩擦。  2.由于高温油泵的强度和温度有关,因此应再次停止强度,并检查相关数据的温度和压力表。包括法兰,壁厚,螺栓等。  3.中间支撑类型的应用。  4.相关的冷却管路设计,仪表及仪表布置合理,外形美观。  5.高温油泵的温度很高,叶轮的设计应注意其抗气蚀性能。  6.特殊设计的隔热板或冷水室,由于密封开始时温度会从密封的开始降低,应降低至联轴器的温度。  7.高温油泵采用油面光滑度,其等级应与轴承箱温度相匹配。  下一步是为每个组件开发维护方法:  1.由于高温油泵的泵体在高温下运行,因此在冷安装期间应在管道上提供铰链支撑,以防止加热后管道移位。  2.应当设置高温油泵的出口压力测量点以停止警报。否则,一旦排放管堵塞,泵体很容易损坏。  3.高温油泵预热后,联轴器必须很热,以避免在运行期间产生额外的扭矩。  4.高温油泵出口后面的熔体过滤器应定期更换。请勿长时间在高压或什至高压下运行。  5.缓慢提高速度,不要让前后压力急剧上升,以免损坏轴承或阻塞润滑通道。  6.启动高温油泵时,在出口无压力时,请勿盲目加速,以防...
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2020 - 10 - 30
螺杆真空泵是一种目前用途较多的泵体,其应用领域遍布各个行业,其中在塑料产品加工行业可作为挤出机除气装置、气体输送装置、气体抽取和压缩装置来使用,我们通过以下的资料来详细的了解一下这方面的知识:  挤出机除气加工过程中,热塑型塑料在挤出机内熔化,并在挤压器螺杆部分进行脱气处理。螺杆真空泵用来从熔化的物中抽出气体和蒸汽成分。抽出所有低分子物质,以获得理想的热塑型塑料质量,具有平滑外形、更高的强度、更好的绝缘性能和较低的气体产生速度。  定型台在挤出机内熔化和脱气的塑料材料进入定型台上的连续截面。典型截面有管材,门窗料、线槽和医用管材等。塑料材料被抽入塑模内。为了进行冷却和润滑,在塑模内侧和连续工作件之间形成一个水膜,由螺杆真空泵稳定的抽空空气。  发泡EPS泡塑生产中,首先采用螺杆真空泵将预膨胀聚苯乙烯颗粒吸入模具,然后利用蒸汽对其增压。最后进行聚合,并被发泡成泡塑制品。为了避免在这个过程中发生变形,对于大型制品件,很容易超过3到4分钟。制品必须进行冷却。在这些制品的发泡装置中采用真空泵冷却,以确保其不会变形,而且其中的水分很快得到蒸发。蒸发过程吸收制品热量,加快了冷却过程。  文中介绍了几种螺杆真空泵在塑料工业中的具体应用。使用这种泵可获得清洁的高真空和超高真空环境,因此不会影响加工出的塑料产品的质量,这是螺杆泵区别于其他真空泵的一个主要特征,同时也是许多行业选用它的原因。
2020 - 11 - 11
如今,各种真空泵的发展越来越受真空应用的影响。普通真空泵不能满足清洁,无油和耐腐蚀的要求。因此,近年来,螺杆真空泵市场需求很大,并且真空产品已经更新。在当今情况下,许多真空系统已被清洁的螺杆真空泵系统取代。那么在使用螺杆真空泵的时候需要注意哪些方面。  螺杆真空泵在2000工作小时后,必须进行检查。检查橡胶密封圈的老化程度,检查排气阀是否破裂,清洁沉积在阀和排气阀座上的污垢,清洁真空泵整个腔体内的零件,例如转子,旋转叶片,弹簧等通常用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦拭。清洁和组装时,请小心轻放,并注意不要撞伤  通常,当新的真空泵泵送干净的干燥气体时,建议在工作100小时后更换一次真空泵油。机油中没有发现黑色金属粉尘后,可以适当延长机油更换周期。  如果螺杆真空泵发出异常声音,请立即停止并检查原因。  在运行过程中,轴承温度不应超过环境温度35,最高温度不应超过80。  在寒冷的冬季使用螺杆真空泵时,在将其停止后,旋开泵体底部的放油螺塞,以排出介质并防止结冰和破裂。  螺杆真空泵工作时,每100小时更换一次润滑油,然后每500小时更换一次润滑油。
2020 - 11 - 24
真空泵一般的为机械真空泵,往复式真空泵、机械增压泵、油封机械泵、滑阀式真空泵、滑片式真空泵。真空泵油是针对水环真空泵,旋片真空泵等的性能要求专门调制的特种润滑油,应针对低、中、高真空的工作条件来选择相应的油品。  真空泵工作原理就不说了,说真空泵油。在真空泵设备运转时,转子上滑片或滑阀环贴着定子的内壁滑动,为了避免划伤,需要有物质来进行润滑。能滑动,说明定子和转子之间有间隙,为了避免空气的进入,需要有物质来进行密封。在高速旋转的转子和定子摩擦时会产生大量的热,需要有物质带走热量来降温。以上三点,是真空泵油的三大基本作用,润滑、密封、散热。  罗茨真空泵每次添加机油都须停车,影响生产。从结构中可以发现,同步导向齿轮箱与罗茨泵泵腔是通过内部的油封来密封的,罗茨泵运转后在泵腔内形成一定的真空度,齿轮箱与泵腔会产生压差,在压差的作用下润滑油会顺着油封进入泵腔,只有当齿轮箱与泵腔内的压力平衡时,润滑油才会停止进入。  随着罗茨真空泵长时间运转,齿轮箱的润滑油会逐渐被吸入泵腔内,显示油液低于标准液位,这时必须停机,从润滑油添加孔加注机油,否则齿轮箱内的润滑油会因大气与泵腔内产生的压差,迅速吸入到泵腔内。  针对这种情况,考虑采取连通齿轮箱与罗茨真空泵入口的方式来平衡压差,使泵腔与齿轮箱保持相同的真空度。在润滑油添加孔处安装一个特制的大型油杯,油杯为聚四氟乙烯车削而成,为避免因油杯孔泄漏导致真空...
2020 - 12 - 04
一、管道泄漏。有时管道会因为不同的原因泄漏。这个时候就需要找专业的人来检查一下是不是因为这个原因。如果是,迅速修复焊接,避免造成更多泄漏。  二、真空泵厂家告诉你,也可能是泵有内部泄漏,说明泵本身有问题。我们应该找出漏洞在哪里,然后焊接来修复漏洞。  三、真空泵供水温度高。当泵长期使用并连续运行时,这种现象很容易出现在设备本身。这时候需要紧急停车,让设备休息几分钟,降温。  四、另外,真空泵的真空压力是一样的。不同的是流量。如果力不够,简单的办法就是把吸盘做大。  五、如果吸附过程中漏气量大,应通过增加真空泵来增加流量;如果强度不够,就要加大吸附面积;如果吸附面积大时薄板变形,应该有多个吸附口。  那么今天的讲解就先到这里了,以上就是今天的全部内容,相信大家对真空泵吸力不足的原因及解决方法也了解了。如还想了解更多关于真空泵维修的相关问题咨询我们。
2020 - 12 - 16
在单作用水环真空泵的零件损坏中,轴的损坏占有很大的比例。泵轴的损坏包括弯曲、出现裂纹和折断。  水环真空泵轴损坏的原因及修理方法  泵轴弯曲的原因多半是由于袖的刚度不够,加之叶轮有较大的不平衡,运行时产生变形所致。轴的弯曲方向和大小可以用下述方法测量:  将轴平放在支承上,将两支承点(可以是泵轴中心孔,也可以是轴颈部位)调至等高,在轴上选择几个等距断面,在轴旋转一圈中用千分表分别测掀四个方向(即每周转动90°时测量一次)上的径向跳动,作好记录。根据此数据可以求得四个方向上的弯曲数值,用图解法可以找到最大弯曲的方向和大小,这样就可以进行矫直了。  泵轴的裂坟和折断的部位,往往发生于局部应力集中的地方,比如键槽边缘处、直径突变处等。损坏的原因往往由于振动促使疲劳破坏。  如果泵轴出现疲劳裂纹(即将折断的先兆),应及时予以更换。如果由于客观因素暂时无法更换而需继续使用时,临时的补救办法是对裂纹进行补焊。使用补焊后的泵轴时,要经常注意补焊区的变化,以免发生事故。  单作用水环真空泵在使用中,经常出现的故障是泵轴的折断(特别是较大气量的泵)。折断面一般都垂直于轴心线,十分整齐象刀切一样,整个断面大部分光滑并呈金属光泽,小部分较粗糙。显然,这就是疲劳破坏所致的断裂特征。  水环真空泵轴损坏的原因及修理方法。  导致疲劳破坏的主要原因是,由于泵轴在运转过程中,泵腔内气体对泵轴的作用力所...
2020 - 12 - 28
离心泵运行期间产生振动和噪声的常见原因如下:  1.离心泵底座不稳定或底脚螺栓松动解决方法:加固底座并拧紧螺栓。  2.叶轮损坏,部分堵塞或叶轮本身不平衡解决方案:修理或更换叶轮,清除碎屑或调整平衡测试。  3.滑动轴承的油环可能断裂或卡住解决方法:校正并拉直泵轴,修理或更换轴承。  4.单级离心泵的联轴器不是同心的解决方法:正确的同心度。  5.吸水管口的浸入深度不足或进水管密封不良水泵吸入空气解决方法:增加浸入深度并修复密封不良的地方。  6.如果发生汽蚀现象,解决方法:找到引起汽蚀现象的原因并进行处理。
2021 - 01 - 08
随着冬季温度的降低,很多场合的水环泵由于气温的原因停止使用,这个时候水环泵的检修和保养变得尤为重要,以下就由小编给大家分享一下冬季水环泵的维修和保养方法。  1.水环泵停用后,要放尽水环泵和管路内的剩水,并把外部泥土清洗干净,以免上冻后积水结冰把泵体和水管胀裂。  2.水环泵的底阀、弯管等铸铁件,应当用钢丝刷把铁锈刷净,然后先涂上防锈漆后再涂上油漆,待干燥后再放入机房或贮存室通风干燥的地方保存。  3.用皮带传动的,皮带卸下来后用温水清洗擦干后挂在干燥、没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使皮带沾上机油、柴油或汽油等油类物质,不要涂松香和其他粘性的物质。  4.检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。对不需要更换的可用汽油或煤油将轴承清洗干净,涂上黄油,重新装好。  5.检查水环泵的叶轮是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。若叶轮磨损太多或已打坏,一般应更换新叶轮。局部损坏可进行焊补,也可以用环氧树脂砂浆修补叶轮,修复后的叶轮一般应进行静平衡试验。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。  6.对弯曲或磨损严重的泵轴,应当修复或更换,否则会引起转子的不平衡和有关部件的磨损。  7.卸下来的螺丝浸泡在柴油里用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或黄油,重新安装起来或者用塑料布包好后放好...
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当真空泵过载时应采取什么步骤?

日期: 2020-11-11
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  以下是罗茨真空泵的制造商为解决罗茨真空泵超载而应采取的措施。在正常情况下,使用水环泵作为超前泵比其他泵更有利罗茨真空机组的真空。这是因为它可以泵送大量可冷凝的蒸汽,当真空泵过载时应采取什么步骤?

当真空泵过载时应采取什么步骤?

  1.开始之前的准备工作,检查所有零件,检查罗茨泵冷却回路是否畅通,并检查排气门以确保其打开。注意检查每个泵的油位是否在油位线上。如果在油位线以下,则必须添加油,如果超过油位线,则必须排干油。检查电动机的旋转方向是否与泵上的箭头方向一致。如果您长时间不使用设备,重新打开设备时部件是否可以灵活旋转?如果无法转弯,则必须手动旋转几圈。切勿使用电动机强制启动,否则会严重损坏泵。

  2.启动时要注意的问题。在启动之前,您需要打开泵冷却水阀,启动前级泵,并同时打开前级泵入口阀。前级泵平稳运行后,打开进气阀并关闭排气阀,设备将自动启动。在设备运行过程中,如果当地温度过高,或产生不规则的噪音或其他异常现象,罗茨真空机组应立即停止检查。

  3.停止设备时需要注意的问题。停止之前,需要关闭进气阀并打开罗茨泵的排气阀,设备将自动停止,关闭前级泵的进气阀,并同时停止前级泵。关闭设备的冷却水阀。如果长时间不使用,罗茨真空泵应在寒冷的地方排干冷却水套中的所有水。否则会结冰并导致夹克中的水膨胀并造成损坏。

  4.维修与保养,罗茨真空机组必须保持设备周围环境的清洁干燥。应经常检查所有零件的润滑情况。如果润滑油不足,应及时加注。当润滑油被污染时,应及时更换干净的润滑油。更换后,请注意重新拧紧螺栓以确保密封环境。在拆卸和维修过程中,并非所有零件都应受到外力撞击。也要特别注意密封面的光滑度;否则,安装后会发生漏气。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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