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2022 - 03 - 08
一.干式螺杆真空泵原理介绍  干式螺杆真空泵的原理是利用一对螺杆,在螺杆真空泵的泵室内同步反向高速运行,由两个转子.泵体和侧盖组成几个室,实现吸排气作用的泵机械设备。这些个的气室定期地从真空泵的吸气口侧向排气口侧“移动”,气体以低速旋转的方式被输送。 即使真空泵继续运转,气体的流动也不会改变,所以能在一定程度上引出可能被气体夹住的细微粒子和蒸汽。  干式螺杆真空泵工作时,两螺杆相互间不产生直接摩擦力,泵室内不需润滑油,运行中机械平稳,发出的声音小。与等长螺杆真空泵相比,改变螺距结构的真空泵极限真空度高,有良好的间隙设计和连续压缩方式,单泵可达到0.0075torr(0.01 hpa )的极限真空。 能耗更低,变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。 在半导体行业,干式螺杆式真空泵,大幅度提高了工作环境的质量,提高了生产的产品品质和性能。  二.干式螺杆真空泵的选型特点  干式螺杆式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用茄克衫冷却水蒸发制冷转子,干式真空泵采用符合流体动力学的螺旋状冷却水茄克衫结构,提高了热交换效率,产生了更好的蒸发制冷效果,干式真空泵的泵室内部也合理维持了低温度  众所周知,溶液中的酸性络离子和碱性络离子与金属发生化学反应时,金属就会腐蚀,温度越高化学反应越快,腐蚀速度越快。一般的真空泵采用耐腐蚀材质,或者转子使用耐...
2022 - 04 - 25
罗茨真空泵机组具有非常好且稳定的工作效率,要达到这一效果,就必须选择和使用质量好的机组,罗茨水环真空机组其中的罗茨真空泵质量要求很高,来了解下关于罗茨真空泵使用的注意事项,更多真空泵订购、真空方案应用、真空泵售后维修保养等服务,欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司。罗茨真空泵在行业中应用广泛,罗茨泵的工作原理、性能特点与凸轮泵基本相同,主要差异在于其转子为罗茨型。罗茨真空泵主要是在泵中反转的两个转子,被一对同步齿轮带动,罗茨真空泵的转子在泵中啮合,但有间隙。1、罗茨真空泵总是检查油位的位置,如不满足要求,必须进行调整以满足罗茨真空罗茨真空泵泵的运行要求。2、罗茨真空泵的换油期间因实际使用情况而异,能满足用户的性能要求和其他方面的考虑,一般的新型罗茨泵,排气,100小时左右的工作换油后,油中看不到黑色的金属粉,截止日期后油可能会延长。3、罗茨真空泵要经常检查油品的质量,发现油品的变质,换新油,确保罗茨真空泵正常工作。4、罗茨真空泵的一般情况下,罗茨泵2000小时后检查,检查密封件的劣化程度,检查排气阀是否破裂,清洗阀板和排气阀座的污垢深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统...
2022 - 05 - 24
水环真空泵的工作原理水环真空泵启动时,泵内的液体在叶片旋转产生的离心力的作用下在泵上形成旋转液环,水环真空泵的叶轮偏心安装在泵室内,因此叶轮的轮毂和水环内面在泵室上部形成切线,在泵室下部接触。前半部分,随着叶片和水环之间的密封空间逐渐变大,形成了几个空洞,气体从分配板的吸入口被吸入。在后半段,密闭内腔的容积逐渐减少,空间内的气体被压缩,从分配水环真空泵板的排气口排出。加入的液体是冷凝水,不仅可以形成液体环,还可以减少气体压缩产生的热,密封分配板和叶轮端面的间隙。 在水环真空泵的运转中,一部分工作液与气体一起排出,因此有必要向真空泵内连续供水。泵内不产生金属摩擦,使用中不需要润滑,寿命长。此外,水环真空泵结构紧凑,转速高,操作简单,压缩温差变化小,能吸收易燃的爆炸性气体。但是,水环真空泵有能效低的缺陷,效旋片真空泵率为30%~50%,真空度低,工作介质被限制在饱和蒸气压。 真空泵工作原理不同罗茨真空泵(简称:罗茨泵)是指泵内内置有两个相反方向同步旋转的叶状转子,转子之间、转子与泵壳内壁之间有微小间隙,相互不接触的可变容量真空泵。水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子,将水(液体)投向定子壁,水(液体)形成与定子同心的液环,液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变罗茨真空泵容积真空泵。 适用范围不同罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航空宇宙...
2022 - 06 - 23
进口真空泵作为我们日常生产生活工作中经常会用到的一种设备,在使用时我们可能会遇到各种各样的旋片真空泵故障,例如:真空泵冒烟、真空泵不足、真空泵噪音、真空泵卡死、真空泵漏油、真空泵温度高、真空泵抽不上力、真空泵不转、真空泵压力太小、真空泵漏水等。其实导致真空泵出现故障,很多时候都是因为平时使用不当而造成的,当进口真空泵出现漏水现象,我们应该如何处理?   1、如果发现正在作业的发动机的真空泵漏水,不得立即停止其工作,应使其保持在最低的稳定转速,同时向冷却系内边加水边放水(注意:打开加水口盖时,应在其上方放一遮盖罗茨真空泵物,防止被冒出的水蒸气烫伤),使发动机降温,短时间、慢速行驶,驶至附近隐蔽处再进行排除。 2、如果真空泵损坏得非常严重,途中又没有修理条件,可将真空泵的进、出水管直接接上,以充分利用冷热水的自然循环作用临时使发动机保持正常的温度;或者利用一内胎或水桶作为容器,将其牢牢地固定住,然后从容器中引出两根胶管,一根接在发动机的进水口上,另一根接在发动机的出水口上,两根管子的另外一端都插入容器内,并应将胶管固定牢固。   深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。恒才机电与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等品牌合作,为客户提供各行...
2022 - 07 - 25
根据客户反应的,旋片真空泵、水环真空泵应用于开料机的现状,以下内容为旋片真空泵、水环真空泵在开料机设备使用的效果及问题,欢迎查阅,如需定制真空解决方案、真空泵改造系统、改善真空工艺等需求,欢迎直接致电联系我们。干式旋片真空泵在开料机设备的应用:1.低效率干式旋片泵;2.维修率高,增加企业人工和材料成本;3.旋片泵直接在车间散热、直接提高车间温度、特别是夏季工作环境恶劣;4.增加车间噪音,影响工作环境;水环真空泵应用于开料机优劣势1.水循环泵效率低,且随着水温的变化抽速易下降;2.水循环泵性能随着易受水质影响,一般二三年后结垢导致抽速下降;3.耗费水资源,环保政策严格,对废水的排放处理要求高。恒才机电对开料机真空泵应用改造新思路:建立中央真空系统--高效节能中央真空系统。a.采用高效变频螺杆真空泵,效率比普通旋片泵高40%,使用稳定性也远超旋片泵和水环泵,减少维修人力物力。b.设置中央真空站,连接管道至车间生产末端,直接抽真空,大大降低车间噪音和环境温度,节省水资源。c.干净整洁的独立机房,真空泵主机保固10年,寿命远超一般旋片泵。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 09 - 02
进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势?由阿特拉斯旋片真空泵GVD 28和罗茨真空泵ZRS 250,组成罗茨旋片真空机组,搭配真空腔体应用,可以应用在哪些行业呢,进口旋片罗茨真空机组应用有哪些优势?在密闭腔体内进行激光焊接,使真空焊接工艺更加完美。解决了传统真空泵存在的问题,比如抽真空度达不到要求、真空泵系统运行抖动大不稳定、抽气时间长、不够节能环保等问题。进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势?阿特拉斯GVD 28+ZRS 250真空机组应用:1、阿特拉斯双级油润滑旋片真空泵GVD 28,具有优异的极限真空压力、低噪音无、振动运行;2、阿特拉斯罗茨真空泵ZRS 250抽气时间缩短达50%、节约成本;3、轴封技术,无油泵结构,无污染;4、自动调整泵的转速,从而防止电机过载、过热;5、坚固耐用、耐腐蚀,运行压力低,可靠性极高。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 10 - 25
“国际玻璃年”的宣布,这使得人们更加关注能源密集型玻璃行业的生产过程,而稳定的真空技术对于玻璃的可持续生产也有显著的影响。玻璃瓶和玻璃罐通过真空技术成型,最后的步骤也需要真空技术,包括加上客户的商标或是名字。玻璃成型时,如果玻璃模具和玻璃之间的滞留空气已被尽可能地去除,就能更好地压印商标或名字。阿特拉斯·科普柯凭借其为玻璃生产打造的创新驱动概念, GHS VSD+系列是市场上节能型变频油润滑螺杆真空泵:通过VSD变频控制,它可以精确并且快速地适应相应的真空要求,变速和设定点控制提供了理想的真空度。使用的GHS VSD+ ,已经为其节省了约27%左右的能耗。降低能耗并不是GHS VSD+真空解决方案的唯一优势,新的中央真空系统仍可为整个生产提供持续性的、稳定的真空度。另外,GHS 4600 VSD+真空泵的低噪音水平、节省空间的一体化设计也是很大的特点。即插即用,安装简便;深圳恒才机电也可以说是为玻璃制造商提供了一站式服务——从泵到连接系统深圳恒才机电设备有限公司联手阿特拉斯·科普柯为各行业制造商提供节能、智能、可持续发展的真空解决方案,为玻璃制造商提供了三台GHS 4600VSD+变频油润滑螺杆真空泵,该系列产品拥有高效、智能的VSD变频技术。
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2021 - 04 - 05
真空泵是许多科学和技术的主要力量,并为许多实验室应用设备的运行提供了必要的条件。不幸的是,如果泵长时间暴露于酸性或有机化学烟雾中,则会引起一些实际的维护问题。尤其是对于油密封的旋片泵,使油暴露于化学蒸汽中会导致油变质或分解,从而影响真空泵油雾分离器的功能。  许多应用需要高度真空,因此需要旋片泵。这些高真空泵对于安装真空泵油雾分离器必不可少。  1:认真阅读说明手册  购买泵后,应仔细阅读手册,检查操作注意事项,根据手册中的建议选择合适的真空泵油,并根据泵的型号选择真空泵油烟过滤器。该手册通常建议更换机油的时间。  2:对泵进行预热  在将泵连接到真空系统之前,先将其运行20-30分钟。考虑安装手动阀以促进预热过程。  3:切勿堵塞泵出口  泵出口被堵塞,这将导致泵停止工作。在最坏的情况下,泵中的超压可能会松开油镜玻璃周围的密封,导致泄漏并需要维修。安装真空泵油雾分离器,使空气流动更平稳。  4:使用入口冷阱保护泵免受腐蚀性蒸汽的影响  入口处的冷阱不仅可以保护泵免受腐蚀性蒸汽的侵害,还可以减少泵上的蒸汽负荷,因此可以更有效地工作。确保溶剂的温度足够低,例如使用液氮(对于挥发性很强的溶剂)。  5:处理可冷凝蒸气时,请使用气镇  真空泵的气镇使用空气将冷凝水通过泵推向出口。对于具有高蒸汽负荷和腐蚀性气体的应用,混合泵(隔膜泵/旋转叶片组合)将使储油罐保持真空状态,不断从泵油中蒸馏出...
2021 - 04 - 15
水环真空泵主要用于粗真空、抽气量大的工艺过程中。在化工、石油、轻工、医药及食品工业中得到了广泛地应用,如真空过滤、真空送料、真空浓缩、真空脱气等。  单级水环泵的极限压力可达8~2×103Pa,双级水环泵的极限压力可达1×102Pa,排气量为0.25~500m3/h。  水环泵按不同结构可分成如下几种类型:  1、单级单作用水环泵:单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高,但抽速和效率较低。  2、单级双作用水环泵:单级是指只有一个叶轮,双作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下,双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大,效率也较高,但极限真空较低。  3、双级水环泵:双级水环泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下,仍然具有较大的抽速,而且工作状况稳定。  4、大气水环泵:大气水环泵实际是大气喷射器串联水环泵的机组。水环泵前面串联大气泵是为了提高极限真空,扩大泵的使用范围。  水环泵和其它类型的机械真空泵相比有以下优点:  1、结构简单,制造精度要求不高,容易加工。操作简单,维修方便。  2、结构紧凑,泵一般与电动机直联,转数较高。用较小...
2021 - 04 - 28
随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍,其质量也在提高。由于其特性和优势,它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用,让我们了解螺杆真空泵的密封效果是什么?  在螺杆真空泵的生产和设计中,我们采用了先进的技术和完善的技术,螺杆真空泵的密封性能非常严格。否则,一旦螺杆泵的密封效果不合格,就将其启动并使用,这不仅会导致设备无法正常运行,还会给设备本身造成巨大损失。因此,在安装和使用螺杆泵时,应注意其密封效果。另外,应选择更合适的密封方法以提高密封效果。油封是一种结构简单,体积小,成本低,维修方便,阻力扭矩低的自调节唇形密封件,不仅可以防止介质泄漏,而且还可以防止外界灰尘等有害物质进入吸尘器的根部。  设计合理,加工性能优良,装配性好,转速高时,螺杆真空泵的迷宫式密封效果良好。动力密封在螺杆真空泵运行期间,辅助叶轮产生的压头平衡主叶轮出口处的高压液体,以实现密封。填料密封是指在填料箱中放置可压缩弹性的填料,依靠填料箱的轴向压力转换径向密封力,以实现真空泵的密封。因此,在对螺杆真空泵进行密封时,需要根据实际情况和需要选择更合适的密封方法,以更好地发挥密封效果。另外,在每次启动前都要对螺杆泵进行检查,以确保在正式启动之前密封效果没有问题,以避免在运行过程中由于不合格的密封效果而损坏泵。  以上是关于螺杆真空泵的密封效果。您可以理解,在使用过程中,根据正确的操作方法可以取得良好的效果。如果您不理...
2021 - 05 - 18
旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。  旋片式真空泵性能特点:  旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。  1.体积小、重量轻、噪音低;  2.设有气镇阀,可抽除少量水蒸气;在环境温度五摄氏度到四十摄氏度范围内,进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运转,被抽气体相对湿度大于百分之九十时,应开气镇阀。  3.设有自动防返油止回阀,启动方便;  4.进气口连续畅通大气运转不得超过一分种;  5.不适用于抽除对金属有腐蚀的,对泵油起化学反应的,含有颗粒尘埃的气体,以及含氧过高的,有爆炸性的,有毒的气体。
2021 - 06 - 02
随着罗茨真空泵的使用率越来越普遍,其质量也在不断提高。由于其特点和优点,被大家广泛使用。为了给大家更好的应用,让我们一起来了解一下罗茨真空泵的摩擦问题有哪些?  罗茨真空泵在应用过程中很可能会出现摩擦问题,造成这个问题的因素有很多。这种问题一旦发生,就会影响人们的工作效率。因此,一般采用高分子复合修复材料。当传动部分磨损尺寸较小时,可避免现场分解修复,避免机械加工,不受焊接热应力影响,修复厚度不受限制。同时,保证罗茨真空泵的耐磨性和金属材料的排斥性,保证维修部门的接触与配合,减少设备的冲击和振动,避免罗茨真空泵磨损的可能大大延长了设备部件(包括轴承)的使用寿命,节省了大量的业务停机时间,创造了巨大的经济价值。吸气口与真空容器或真空设备相连接,运行时将容器内的大量气体吸入和排出。  罗茨真空泵抽真空后,关闭高压级排气阀座,将高压级的吸入气体送至第二级。第二级吸排气后,真空设备可以得到一定的真空度。该泵的技术参数为6*10-2pa。罗茨真空泵有避免摩擦的方法,要减少各方面的损失,采取处理方法尤为必要。  以上是关于罗茨真空泵的摩擦。可以理解,在使用过程中,正确的操作方法可以取得良好的效果。不明白的可以来电咨询,我们会根据您的真实需求给您提出合理的建议,避免盲目操作中出现不必要的问题。
2021 - 06 - 17
随着干式真空泵的使用率越来越广泛,它的质量也在不断提升,因为它的特点和优势被大家广泛使用。为了给大家更好的使用,我们有以下干式真空泵腐蚀的保养方法是什么?  干式真空泵在腐蚀性自然或气体环境中长时间工作时容易受到侵蚀。因此,应对此类情况,必须立即进行保养,首先将表面空气氧化层彻底清洗干净,再用甲苯清洗表面层。严格按比例混合,搅拌均匀至无色差。先涂上一层薄薄的原材料,保证附着力和完全覆盖,然后将原材料均匀地涂在检测面上,达到要求的检测厚度。原料温度为24小时/24。原料温度每升高11,干燥时间减少一半,但升温不能超过原料的假定温度。干式真空泵是通过泵体快速反向旋转而引起的具有呼吸和排气管功能的抽吸机械和设备。为更好地避免降低其功能,大家要做好日常维护保养,做好防腐工作,减少其他问题的发生。  以上就是正在侵蚀的干式真空泵的保养方法。希望大家在后续操作过程中参考以上方法,避免盲目跟随实际操作,造成损坏。有需要的可以跟大家交流,我们都是技术专业的厂家,可以根据您的实际情况推荐合适的,避免盲目选择造成损坏。
2021 - 07 - 05
螺杆真空泵在实际使用过程中运行是比较稳定的,但是有的用户反应真空泵运转的时间长了就出现了磨损严重的现象,而且严重的磨损影响了真空泵的正产使用效果,这时候我们要了解产生磨损的原因是什么,然后尽可能的减少磨损。  1、在收缩和均质化部分,如果塑料的熔化状态无序且不均匀,则磨损会增加。  2、由于材料没有均匀塑化,或者在猜测中混有金属异物,因此螺杆真空泵螺杆滚动扭矩突然加入,这个扭矩超过了螺杆的强度承受力,进而产生磨损。  3、因为某些塑料是强化的,例如玻璃纤维,矿物质或其它填料。与熔融塑料相比,这些物质对金属材料的摩擦力更大。  4、当粒状塑料从料斗进入料筒时,它们将首先到达进料段。在喂料部分不可避免地会发生干摩擦。当这些塑料缺乏热量并且不均匀地熔化时,很容易形成螺杆真空泵筒的内壁并且螺杆的外部磨损增加。  5、注塑时如果采用高速转换来增加塑料的剪切力,也会使增强材料产生相应的撕裂纤维。撕裂的纤维含有锋利的末端,这将大大增加磨损力。  6、当无机矿物在金属表面高速滑动时,它们的刮擦效果不小。所以速度不应该太高。  7、如果有碳酸钙和玻璃纤维等填料,可以加速螺杆和机筒的磨损。  8、螺杆真空泵螺杆在机筒中滚动,材料与机筒之间的冲突导致螺杆和机筒的工作外观逐渐磨损。螺杆直径逐渐减小,筒内孔直径逐渐增大。通过这种方式,随着螺杆和机筒的逐渐磨损,螺杆和机筒之间的直径间隙逐渐增大。  9、由于机...
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真空吸塑机的真空泵换油操作

日期: 2020-08-13
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  在真空吸塑的整个过程中,它通常是由微粒化学品或浮尘引起的。对于真空泵来说,如果这种化学物质进入真空泵,它将立即损害真空泵的真空度和泵效率。因此,在真空吸管连接的整个过程中,应增加一个储罐和过滤装置,以合理地维持真空泵的所有正常工作。如果规定的真空度不高,可以选择水环真空泵;如果规定的真空度高,可以选择往复泵或旋片泵;如果采用旋片泵,应注意经常观察真空泵油的情况,是否变浑浊或被乳化皮变白;如果发现真空泵油有一定霉变,必须立即清除并更换,以确保所有真空泵正常工作。

真空吸塑机的真空泵换油操作


  在真空吸塑机的维护过程中,应每天观察真空泵的油位,并及时更换真空泵油,以保证电磁阀和气缸的正常使用,保证运行的平稳性和机械精度。

  本文公开了一种真空吸塑机换真空泵油方法:

  1.重力法

  将容器放在放油口下面,拧下放油口的螺钉,让真空泵中的旧油自动流入容器。排干旧油后,从吸入口注入少量干净的真空泵油(100 ~ 500毫升),冲洗真空泵腔内,然后启动真空泵运行约1分钟,然后关闭真空泵,排出注入的新油。如果排出的油仍然不干净,继续注入新的杂油进行冲洗,直到干净为止。然后,拧上放油螺钉,拧下注油孔上的螺钉,向真空泵中加入新的真空泵油,直到油位达到油标,然后拧上注油螺钉。

  2.压力法

  将容器放在放油口下面,拧下放油口的螺钉。关闭吸入口,启动真空吸塑机的真空泵,打开气镇阀,盖住真空泵的部分排气口,以便产生足够的内部压力,迅速释放污油。然后,按方法(1)冲洗真空泵腔并用新油更换。

  更换真空吸塑机真空泵油的注意事项:

  1、应注意清洁,谨防污物混入真空泵,

  2、启动真空泵不宜过长,以免排气阀跳动过猛而疲劳。

  3.严禁使用煤油、汽油、酒精等。无需拆卸即可清洁真空泵。

  4、换油应在油温上升后进行,以使真空泵内油流出。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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