真空泵对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整个设备的处理效果有着重要的影响，因此选择合适的真空泵对真空等离子清洗机的质量至关重要。真空等离子清洗机中常用的真空泵有两种，即油式真空泵和干真空泵。今天，我们将介绍等离子清洗机用真空泵的类型和特点，以及选择真空泵时的注意事项。
油式真空泵
油式真空泵是用油密封、润滑和冷却的真空泵的总称。真空等离子清洗机中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵。
旋片真空泵
旋片真空泵是一种油封式机械真空泵，其主要部件包括泵体、转子，旋片、端盖、弹簧等。旋片真空泵有两种类型：单级和双级。双级旋叶真空泵是等离子清洗机中常用的设备。所谓的双级旋片真空泵在结构上串联两个单级泵。
旋片真空泵的泵腔内偏心安装有转子，转子的外圆与泵腔的内表面相切。同时，两个带弹簧的旋片安装在转子槽中。当转子旋转时，旋片的顶端通过离心力和弹簧力与泵腔内壁保持接触，转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片真空泵使用两个旋片将泵腔分成三部分。由于转子是偏心安装的，三个部分的空间会随着转子，的旋转而变化，压差被用来达到抽气的目的。
旋片真空泵主要用于小腔体(80L以下)或真空等离子清洗机中真空泵机组的前级泵。
旋片真空泵具有以下优点：
一、旋片真空泵在抽出空腔内的干燥气体的同时，可以抽出一定量的可冷凝气体和气水混合物;
二、结构相对简单，维护方便;
三、是体积小，重量轻，便于安装和移动;
第四，振动小，噪音低;
第五，价格相对较低。
干式真空泵
干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。这使得干式真空泵的清洁度更好，并防止油污染。因此，干式真空泵主要用于对洁净度要求较高的真空等离子清洗机，如半导体领域、生物医学领域和航空航天领域。真空等离子清洗机上最常用的干式真空泵之一是干式螺杆真空泵。
干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵是一种真空泵，它利用一对螺杆在真空泵壳体内高速同步反向旋转，从而产生作用力，实现抽吸和排气的功能。由于干式螺杆真空泵相互之间没有摩擦，运行平稳，噪音低，所以工作腔内不需要润滑油。干式螺杆真空泵是一种性能优异的干式真空泵，与其他真空泵相比有很多优点：
第一，干式螺杆真空泵的极限真空度很高，最高极限真空可达到1-2Pa;
第二，干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低，维护简单;
第三，干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，可适应恶劣工况。