由于各种真空泵的性能能够满足抽真空容器的共同点,所以仍然存在差异。因此,在选择时,确定泵在真空系统中承担的工作任务非常重要。泵在各种工作领域的功能总结如下。
1.主泵
系统中的所谓主泵是真空泵,其直接对真空系统的真空容器抽真空,以获得满足工艺要求所需的真空度。
2.粗抽泵
粗抽泵是指真空泵开始将真空系统的压力从大气压降低到另一个泵系统可以开始工作。
3.前级泵
前级泵是指用于将另一台泵的前级压力保持在其最高允许前级压力以下的真空泵。
4.维持泵
维持泵是指当真空系统抽真空很小时,不能有效使用主级泵。为此,在真空系统中配备了另一个具有较低泵送速度的辅助前级泵,以维持主泵或真空容器所需的低压真空泵的正常运行。
5.粗真空泵或低真空泵粗
低真空泵是指从大气开始,在降低待泵送容器的压力后,在低真空或粗真空压力范围内工作的真空泵。
6.高真空泵
高真空泵是指真空泵在高真空范围内工作。
7.超高真空泵
超高真空泵是指工作在超高真空范围内的真空泵。
8.增压泵
增压泵通常是指在低真空泵和高真空泵之间工作的真空泵,用于在中间压力范围内增加泵送系统的泵送量或降低前一泵的泵送速率要求。