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2020 - 09 - 21
干式真空泵在使用时会发生汽蚀,但大部分真空泵都有这个问题。 这种空气蚀刻现象因设备造成的损伤比较严重。 所以,我们在使用时必须尽量避免设备的汽水腐蚀。  也可以为机械的单独装置提供避免汽蚀的装置。 设置的话可以避免设备的汽蚀,设置后抽真空的效果也会更高。  我们在使用时可以选择使用一些低饱和度的液体作为工作液。 比普通水直接用作工作液效果好。 油的饱和蒸气压比水低一些,因此水环真空泵的真空度也会提高。 一般设备运转时所具有的真空度与工作液的饱和蒸气压有关,因此工作液的运转中使用油效果比较好,可以大幅度降低干式真空泵成为汽水腐蚀状况的频率。 但是,只有在使用防爆电机的情况下,才能使用油作为工作液。  另外,通过安装汽蚀保护管,即使出现气泡也能很快破裂。 另外,此时设备运转时的振动频率也变小。 这样,使用时设备就处于比较稳定的状态。  上述介绍了避免干式真空泵汽蚀问题的几个方法,一般这些方法都不需要使用,只使用其中的1~2种就能得到很好的保护作用。 另外,这些装置中不仅有助于避免汽蚀现象的发生,还有助于设备的运转。
2020 - 10 - 14
随着罗茨真空泵,使用率的提高,井盖的质量也越来越高。由于它的特点和优点,被大家广泛使用。为了更好地利用它,让我们知道罗茨真空泵的需水量。  罗茨真空泵广泛应用于我们的生活,如石油、化工、冶金等。行业。我们知道它的运行与水有关,水质会直接影响设备的运行。所以它的用水量有一定的要求。罗茨真空泵的废水量Q应小于或等于用水量Q,即Q ≤ Q。为严格区分生产用水和非生产用水,有必要控制自然降水进入循环水系统,这在多雨地区尤为必要。根据水质要求和实际情况,部分缺水可补充清水或处理后的废水。  水质应满足生产工艺的要求,不会影响产品的质量和生产的顺利进行。工业用水大致可分为三部分:冷却水、生产工艺用水和用于蒸汽生产的锅炉用水。间接冷却水与不同原料的产品直接接触,但水温升高,冷却后可在循环使用。然而,由于冷却过程中的蒸发,水中的盐含量相对增加,硬度增加。应进行脱盐处理,防止结垢和藻类等生物繁殖。在罗茨真空泵,使用时,水的使用必须符合规定,不仅在数量上,而且在质量上,以确保设备的正常运行。  以上是关于罗茨真空泵的需水量你可以理解,好的需水量效果只有在使用过程中按照正确的操作方法才能达到。不了解可以打电话咨询。我们会根据您的实际要求向您推荐,避免盲目操作带来不必要的麻烦。
2020 - 10 - 26
水环真空泵(简称水环泵)是粗真空泵,得到的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器达到270~670Pa。 水环泵也可以作为压缩机使用。 称为水环式压缩机,是低压压缩机,其压力范围为1~2×105Pa的表压。  水环泵最初被用作吸水环泵,之后被用于石油、化学、工业、机械、矿山、轻工、医药、食品等很多工业部门。 在工业生产的许多工艺中,例如真空过滤、真空引水、真空输送、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到了广泛的应用。 随着真空应用技术的飞跃发展,水环泵在获得粗真空方面一直受到重视。 因为水环泵中的气体压缩是等温的,所以除了可以抽除易燃易爆的气体以外,还可以抽除含尘含水气体,所以水环泵的应用越来越多。  泵体里有适量的水作为工作液。 叶轮在顺时针旋转时,水被叶轮甩到周围,在离心力的作用下,水形成由泵室的形状决定的大致等厚的封闭圆环。 水环的下部内表面正好与叶轮轮毂接触,水环的上部内表面正好与叶片前端接触(实际上叶片在水环内具有一定的插入深度)。 此时,叶轮的轮毂和水环之间形成新月形的空间,该空间被叶轮分成与叶片数量相等的几个小空洞。 以叶轮的下部为起点,叶轮在旋转前的180时,小室的容积变小,与端面的吸气口相通,此时气体被吸气,吸气结束时小室与吸气口隔绝。 叶轮继续旋转时,小腔室变大变小,气体被压缩。 型腔通向排气口时,气体会排出泵外。  如上所述,...
2020 - 11 - 05
除了避免螺杆真空泵无法启动的问题,还需要掌握如何处理螺杆真空泵无法正常启动的问题。在这里,我们将详细介绍螺杆真空泵不能正常启动的三种解决方法。  1.在所有正常使用期间,泵停止后不可能再次启动。通常,提取蒸汽中的冷原料留在泵体内,在常温下冷凝,导致两个电机转子之间以及电机转子与泵壳之间粘连,或者由于提取蒸汽中的烟尘过多,泵体无法转动。  2.如果机械泵不能启动和运行,在正常情况下没有必要先拆卸泵壳。如果有脏东西,可以尝试人工翻过来。可以尝试用有机溶剂熔化来解决它们。如果实在处理不了,可以考虑拆开泵壳进行清洗。  3.如果螺杆真空泵在第一次泵测试中被卡住而不能启动和运行,通常需要考虑是否有脏的金属材料(如螺钉、焊透等。)在管道连接和安装过程中会掉入泵内,堵塞电机转子,导致泵无法启动和运行。  一般来说,螺杆真空泵不能正常启动。为了避免机械泵无法启动和运行,首先要注意的是确保在安装期间没有脏东西落入泵体内,在抽出烟气和冷原料蒸汽时应采取吹扫措施。
2020 - 11 - 17
1、故障现象:泵的抽气量不够  产生原因;  (1)罗茨真空泵的转速不够;(2)密封不严,在进气管路的连接处或轴封处漏气;(3)泵的转子与转子、转子外圆与泵壳,转子端面与端盖周的间隙过大,气体返流量增大;(4)环境温度或冷却水的温度过高。  排除方法:  (1)如泵的转速不够,且抽气量是与泵的转速成正比,则泵的抽气量就会下降。这有两种情况;一种情况是泵的转速未配备好,也就是皮带轮的直径不合适,可更换皮带轮,改变皮带轮的直径;另一种情况可能是皮带安装不当、未张紧,皮带打滑而降低了转速,这可调节电机位置,使皮带张到一定紧度。  (2)查明何处漏气,如是连接法兰处漏气,则可能是由于连接螺钉松动,垫圈压破变质或者是法兰面加工不平;如是在轴封处漏气,则有可能是密封皮碗未装正或破裂,此时则更换皮碗并装正;若是填料密封的,可将扎进的填料掏出,更换新的,但填料的接口必须是斜面而互相搭接服贴,第一圈的接口必须与第二圈的接口错开,不能在同一位置上。  (3)若转子与转子型面间的间隙不均匀,在转圈中处间隙大,另一处间隙小,这由于在装配时同步齿轮的啮合状况未调整好,则这对同步齿轮之一的齿轮作轮毂固定,另一个齿轮的轮毂做成可以调节的,因为两转子的外型是共轭曲面,要互相正常啮合。与此同时,外端的传动齿轮(同步齿轮)也要处于正常啮合状态,这样辐子才能正常传动。否则,即使能转动,也可能出现在转冠中,两转子间的间隙...
2020 - 11 - 27
随着技术创新性发展,真空泵机组的性能也经历了一代一代的技术改进和性能提升。在现今的施工作业活动中,真空泵机组的使用频率也获得了很大的提升。真空泵机组的使用一般处于相对恶劣的工作环境中,难免会对真空泵机组进行腐蚀,那么应该怎样解决呢?  1、表面处理:  彻底清除表面氧化层,用丙酮将真空泵机组待处理表面清洗干净。  2、调和材料:  严格按照比例进行调和,并搅拌均匀,直到与真空泵机组表面颜色没有色差。  3、涂抹材料:  先薄薄涂抹一层修复材料,要确保粘接及完全覆盖,不得留有空隙以防造成二次腐蚀。再将材料均匀的涂抹到修复表面,达到要求的修复厚度即可。  真空泵机组修复完毕按照装配要求进行安装,修复保护的材料应避免受外力的敲击或撞击,如果材料影响真空泵机组装配,可采用打磨的方法处理,千万不可敲击,避免损伤其他材料。
2020 - 12 - 09
1、首先要了解旋片真空泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求,确定修理目标。在进行维修之前,准备好检测手段。  2、判断故障,确诊故障。判断准,可省事。确诊要验证。  3、排除故障,先简后繁,先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤,减少位置变化和跑合运转时间。一般的说,拼接式转子是不可拆卸的,否则形位公差就不保,转子就报废了。  4、有毒有害、有腐蚀性的泵,应请用户先行清洗,并告知必要的防护措施,以保障维修人员的健康。  5、旋片真空泵故障分类  建议把故障分为运转故障和性能故障。  运转故障可包括泵不转,泵温太高,漏油,漏水,最大功率超标等。  性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足要求。  6、故障判断与诊断例举  (1)泵不转。情况不明不能先开泵,以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。  ①泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。  ②不能盘动或盘起来很重的,原因可以是因为起动泵温太低,泵油粘度太高;设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多,或有水汽在泵中凝结,或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑;旋片变形卡住;发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。  (2)泵温太高...
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2021 - 01 - 27
随着各种产品的质量要求和保证,涉及到真空的行业也越来越广泛,而真空机组的应用行业有哪些,你知道吗?深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等,为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点,真空机组以水放射真空泵为真空产生元件,并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置,与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比,在坚持原系统特性的基础上,在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲,真空机组的应用行业有哪些?真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中,不同设备应用不同真空机组,不同品牌真空机组也影响着工作效率,深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009),同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商,如需了解更多真空泵相关信息,欢迎直接来电或是在线咨询客服,将竭诚为您服务。
2021 - 03 - 10
由于真空泵在使用过程中直接与介质接触,因此水环真空泵设备中的泵体,叶轮以及前后分配器必须与腐蚀性物质接触,此外,水环真空泵本身还具有腐蚀性在某些特性上,很容易引起设备的严重腐蚀,尤其是泵体,叶轮以及前后分配器的表面在大面积上更容易发生气蚀。在真空泵具有大的汽蚀面积之后,许多公司试图通过旋转分配器的密封端面来调节轴向间隙,但这不能从根本上解决问题,更不用说通过旋转经销商的密封端面了。无限期,因为这将影响其他大小的机械配合。建议使用聚合物复合材料从根本上解决真空泵的防腐问题。使用高分子化合物作为防腐层和机械修复层,并进行相应的机械加工,以将相应的间隙调整到合适的范围。聚合物复合材料具有良好的耐腐蚀性,并且一旦完全固化,便具有出色的耐腐蚀性。该聚合物复合材料具有优异的粘合性,优异的耐腐蚀性,耐气蚀性和耐磨性。该过程简单,效果明显。安全环保,无毒无害,可回收利用等独特性能。聚合物复合材料泵的防腐蚀保护具有优异的抗磨损,抗腐蚀,抗磨损和附着力性能,可以充分满足使用要求,确保使用寿命,并为企业降低成本。
2021 - 03 - 24
螺杆真空泵具有较高的密封要求。否则,泵中将不会安装任何特殊的机械密封件。开启泵时,内部确实密封,在正常使用中没有泄漏,但是不能完全计算出密封件的数量,用户还必须做好泄漏检测工作,尤其是在停止泵时。那么在真空泵泄漏检测中应该怎么做?  1.首先,有必要找出螺杆真空泵是否可以承受正压以及可以承受多少压力,以确定是否可以使用空气泵方法和可以填充气压。  2.在发现泄漏之前,应仔细仔细清洁焊缝,以清除焊渣,油和灰尘。  3.泄漏检测处的光线应足够,水槽底部应黑暗,水应清澈,并且水中不应有蒸汽。  4.螺杆真空泵应先充气,然后放入水中;否则,如果有大的泄漏,水可能会进入要检查的容器,并且小孔可能被水堵塞。将其放入水中之前,请使用听觉方法检查是否有大的泄漏,然后在清除大的泄漏后将其放入水中。  5.刚将被测部件放入水中时,被测部件的表面可能会出现气泡。如果这些气泡被擦除或刺破,则气泡不再出现,可以判断为在最初产生气泡的地方没有泄漏。如果气泡规则且连续地出现,则在气泡产生的地方会存在泄漏。  6.螺杆真空泵应在水中保持稳定,然后在水面平静下来后进行观察。  7.真空泵的检查部位应尽可能靠近水面。  8.如果发现泄漏,请及时进行标记。如果有大的泄漏,请在修理后检查小泄漏。  经常需要使用螺杆真空泵检漏。即使真空泵没有泄漏,有时我们也很难检测到某些零件的泄漏。直到出现严重情况时才发现它,因此最好立即...
2021 - 04 - 06
真空机组的高频放电是在两个电极之间存在交替的高频电场时发生的放电形式。当在放电管的两端施加交流电压时,气体中的电子和正离子将在交流电场的作用下产生额外的共振。因为正离子的质量比电子的质量大得多,所以共振幅度非常小。  当真空泵的频率较低且共振振动的幅度远大于两极之间的距离时,电子在每个半周期内经历崩溃,放电和熄灭的整个过程。此时的放电情况与DC情况相同。当频率更高时,共振振动的幅度远小于两极之间的距离,随着电子的继续来回移动,其电离能力将大大提高。因为电子共振的幅度非常小,所以进入电极的电子数量将大大减少。  由于电子的扩散速度快于离子,因此扩散的结果是,在轴上出现正电势,在管壁上出现负电势,这又产生了一个由轴指向的静电场。管壁。因此,放电管中有两种类型的电场,一种是围绕磁场线的涡旋电场,另一种是从轴指向管壁的静电场。在这两个电场的同时作用下,电子围绕着轴移动,同时向着管壁膨胀,从而形成了一系列同心环。由于不同半径的电子的能量不同,所以能级和激发量也不同,因此具有不同半径的光环具有不同的颜色。  简而言之,干式真空泵中的高频放电实际上意味着电子继续来回移动,并且电离能力得到增强。此功能可以减少设备的功耗并节省电费,从而节省使用成本并降低电路成本。
2021 - 04 - 19
螺杆真空泵是高科技产品,具有很高的技术含量。它主要用于高纯度真空工艺中。真空度极高,可以适应恶劣的工作条件。它具有提取可凝性气体和颗粒气体的能力。它特别适用于电子,化学工业和生物医学等领域。  螺杆真空泵是一种使用一对螺杆在泵壳中执行高速和反向同步旋转以产生吸气和排气的抽气装置。调节两个螺钉以实现良好的动态平衡,并由轴承和泵壳支撑。螺钉与螺钉之间有一定的间隙,因此,当泵工作时,彼此之间没有摩擦,操作是稳定,噪音低,工作腔不需要油润滑。因此,螺杆泵可以吸入大量的水蒸气和少量的灰尘。对于气体应用,极限真空度更高,功耗更低,并且具有节能和免维护的优点。它是油封真空泵的升级产品。  螺杆真空泵的核心部分,即——螺杆转子,是通过三维曲面数学模型进行设计和求解的。模型实体在五轴链接机床上进行处理。它具有高精度,可靠的质量和稳定的性能,可确保产品长期无故障运行。  螺杆真空泵将在100多个领域中使用真空设备,例如化学工业,冶金,电子,石油,航空航天,工具,造纸,包装,食品,医药,医疗设备以及信息工程,生物工程和微电子工程。
2021 - 05 - 07
今天是时候讲解一下干式真空泵。现在,每个人都对真空泵的价格和一些关键的购买要点感到好奇。接下来,就让我们看一下。  我们需要使用真空泵厂家来预先确定购买无油真空泵时所需的真空泵型号。干式真空泵的类型也多种多样,不同厂家的产品数量也有所不同。作为消费者,我们在产品购买过程中应注意什么?干式真空泵运行期间发生的振动会影响过程和环境吗?如果过程不允许,请选择无振荡的泵或选择抗振荡的方法。溢出的油蒸气对环境有什么影响?假设环境不允许污染,则可以选择无油或将油蒸气吹到室外。工作压力必须满足真空设备的有限真空和工作压力要求。干式真空泵的价格,运费和随后的保护费用。要购买更好的干式真空泵,我们需要在购买前做好所有准备工作,并有充分的了解,以便我们购买的产品良好。  以上是干式真空泵的内容。阅读以上文章后,我认为它一定会对您有所帮助。如果您还有其他疑问,请随时与我们联系。
2021 - 05 - 20
由于罗茨真空泵广泛应用于许多领域,因此具有使用寿命长和对产品性能提出更高要求的优点。为了更好的应用,让我们了解罗茨真空泵的转速不能太高的原因。  尽管大多数机械设备的转速越高,工作效率越高,但是这并不适用于所有机械设备。例如,罗茨真空泵的转速不能太高。一旦其转速太高,就不仅没有提高工作效率的效果。在运行过程中,通过空气阀的作用使真空泵的根部吸气和排气,如果转速过高或过高,则会导致每天无法维持空气阀的作用,这是因为容易产生磁滞现象,这会增加体积的损失。这不利于真空度的提高。同时,这将导致严重的泵阀冲击并增加设备磨损。  罗茨真空泵本身将振动,并且随着速度的增加,其零件的振动也将增加,这将产生不利影响。由于速度高,在一定的抽速下冲程会变短,如果安装了阀,缸径不应太小;否则,可用空间量将增加,压缩线和膨胀线将增加。缩短,不利于真空度的提高。为了确保真空,设备必须采用低速和长行程。提高速度后,罗茨真空泵在平衡通道上的平衡作用可忽略不计,气体无法及时平衡,并且清洗量的影响也无法减少,从而影响了真空度。罗茨真空泵的转速不能太高或太低,只有将其转速保持在合理范围内,才能将其工作效率保持在良好的状态。因此,在控制和使用设备时,应特别注意其转速问题,一旦出现异常现象,应及时进行调整,以免造成不良情况。  以上是罗茨真空泵的转速不能太高的原因。您可以根据实际交易要求选择合适的方法,以免盲目交易造成不必...
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如何防止水环真空泵​设备爆鸣

日期: 2019-11-18
来源:
浏览次数: 82

  一些用户在使用2BV水环真空泵时会遇到排气爆破的情况。这种现象对设备的操作有非常不好的影响,甚至可能损坏设备本身。因此,当出现此类问题时,应及时进行相关检查,并采取相应的预防措施,以防止问题再次发生。那么,如何防止水环真空泵设备爆鸣?

如何防止水环真空泵设备爆鸣


  一、洗涤和缓冲

  在设备前增加一个水洗和缓冲罐可以有效地消除吸入的残留液体,对混合空气也有一定的冷却作用。但是,在实际工作中,经常会出现以下两种现象:首先,当储罐中的残留液体量少时,少量的液体会被吸入泵体中,并且材料会在高温下碳化。其次,当残留液体量很大时,如果不及时排出,2BV水环真空泵很可能会吸入液体并产生冲洗泵,从而导致大的设备事故。因此,工人在生产过程中需要有强烈的责任心,并及时排出残留的液体,以免发生事故。

  二、废气控制

  防止2BV水环真空泵爆鸣,加强废气控制是一项非常重要的安全技术措施。从真空泵排出的废气主要是含有大量甲醇蒸气的混合气体。根据醉酒罐的理化特性和工作习惯,在缓冲罐之前,首先安装一套或几套冷凝装置(通常使用约-10°C的冰盐水)冷凝混合气体;其次,在总排气装置010中,在141455上还安装了一个冷凝单元以冷凝废气,从而将废气中的甲醇蒸气浓度降低到爆鸣下限以下,并保护环境。但是,在冷凝过程中,应适当控制冷凝水的流量。如果流量太小,凝结效果可能会很差。如果流量太大,可能由于过度冷凝而堵塞管道,从而影响真空效果。

  三、过滤器

  在从2BV水环真空泵抽气的过程中,少量的材料和残留的液体被吸入到泵的阀板中,并且一些润滑油也粘附在泵的阀板上。这些材料在高温下长时间碳化,形成碳沉积物。在某些条件下,可燃气体的混合物易于引起爆燃,并通过排放口气管向外排放,形成嘶嘶声。

  为了消除这种现象,可以在前泵气管上安装过滤器设备,以过滤灰尘或残留液体,并定期清洁过滤器设备以确保良好的性能。同时,应及时维护和清洁整个泵体。实践证明,这项工作应每三个月进行一次。

  四、行气管防止阻塞或不平滑

  气管行堵塞或障碍物可能导致及时排出包含甲醇蒸气的混合气体。如果积累到一定程度,则会强烈泄漏,导致爆鸣甚至爆鸣。造成这种现象的原因很多。这可能是由于设计缺陷所致,导致气管的位置相对较低。管道中积水或积油。也可能是由于某些人为因素或自然因素(例如出口阀)引起的。打开或打开不充分,雨罩的罩子会塌陷,导致排气不畅。因此,在设计真空泵位置时,总行气管和相关附件的设计也很重要。

如何防止水环真空泵设备爆鸣


  五、冷却

  由于2BV水环真空泵活塞在气缸中不断往复运动,因此泵体的温度过高,这为材料碳化提供了条件,并引发了事故。为了避免这种情况,要求操作员在启动泵之前先打开泵冷却系统,并确保系统的入口和出口管道畅通无阻。由未冷却水引起的泵体高温导致事故的主要原因是操作人员的责任感较弱,违反了操作规程而忽视了这一点。

  因此,用户在使用2BV水环真空泵之前必须采取相关的安全技术措施,可以有效避免设备爆鸣。另外,有必要加强操作人员的安全操作意识,例如,在使用前必须进行相关检查,并始终注意设备在使用过程中是否会出现问题等。新手一定要选择专业人士来帮助指导,一方面防止设备损坏,另一方面避免由于新手操作不当而引起的事故。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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