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2026 - 08 - 13
很多半导体工厂的设备采购部门,在选晶圆吸附真空泵的时候,始终陷入两难的纠结:选便宜的普通国产泵,真空度差、不稳定,用不了两年就坏,影响良率;选日本坚山的进口泵,性能确实好,但价格贵得离谱,后续维护成本高,现金流压力太大。很多工厂在两者之间反复摇摆,要么选了便宜泵用半年就后悔,要么咬咬牙买了进口泵,运行几年之后发现全生命周期成本高得吓人。深圳恒才引入德国核心技术的晶圆吸附专用水环式真空泵机组,刚好卡在两者之间的最优区间,性能远超普通国产泵,价格和长期成本远低于日本坚山的进口泵,给工厂提供了第三个更优的选择。和普通国产旋片泵相比,恒才的水环机组优势极其明显:普通国产泵的极限真空度只能到1000hPa,运行半年之后磨损加剧,真空度直接掉到600hPa以下,完全达不到晶圆吸附的高真空要求,真空度波动范围超过200hPa,很容易导致晶圆掉片碎片。而恒才的水环机组采用德国双级串联技术,极限真空度可达33hPa,长期运行真空度稳定维持在100hPa以内,波动范围控制在±5hPa,完全满足晶圆吸附的高精度要求,而且水环泵的结构天然耐磨损、耐水汽,哪怕吸入少量硅粉和清洗液,也不会出现泵体快速磨损的问题,使用寿命是普通国产旋片泵的3倍以上。普通泵一套12工位的方案采购成本虽然只要20万,但用2年就要全部更换,2年的总投入超过40万,而恒才的机组可以稳定运行8年以上,长期性价比远超普通泵。和日...
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2018 - 03 - 26
水环式真空泵在造纸行业中的应用 大家都知道水环真空泵在造纸行业中有常应用到,今天来了解下水环真空泵在造纸行业中的应用以及出现的问题。在制浆造纸工艺过程中,有好多处工艺要用到真空脱水这一工艺方法,有网部的真空吸水箱、伏辊、真空吸移辊、真空压榨部以及上、下毛布真空吸水箱等,利用水环真空泵的抽真空能力是造纸制浆真空脱水的一种常用方法。          衡量一个制浆造纸真空系统的水环真空泵的选型是否合理的指标有三个:即抽气量、工作点轴功率及电机配套功率。选型水环空泵时,在抽气功量满足生产线工艺要求的前提下,应尽可能地减少水环真空泵的工作点轴功率,因为水环真空泵消耗的轴功率越小,则制浆造纸的成本就越小。电机配套功率也较小,总装机容量也较小,电气配置成本也可以下降。    一条年产量已定的造纸生产线,其要求的抽气量是一定的,对造纸厂来说,为减少能耗、节约能源,从而降低造纸生产成本,水环真空泵选型的正确性是非常关键重要的。为说明这一问题,我们首先来了解水环真空泵的工作特性。水环真空泵是一容积式的泵,当水环真空泵的型号确定后,其容积也就确定了。对水环真空泵来讲,影响其抽气能力的主要因素有两个:泵的容积大小以及泵运行的转速。水环式真空泵在造纸业结垢的原因及有效的解决措施     ...
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2019 - 09 - 05
螺杆真空泵是运用两只挤出机螺杆,在泵体中作同歩髙速反方向转动而造成的呼吸和排气管功效的抽真空机器设备。机械泵由于运作构造上的差别,其制冷系统也是不一样,那么螺杆真空泵的水冷却方法有哪些?下边就来一块儿认识一下吧!一、汽体水冷却。自来水冷有时候不可以超过理想化的水冷却实际效果,因此一般 在挨近排气管端电机转子周边通水冷却汽体(多见N2),如今海外的流行干井式螺杆真空泵都选用这类方式 。这类方式 有2个益处:1个是能水冷却电机转子及外壳,减少排气管溫度;另外是,当汽体内带有细颗粒物时,能避免细颗粒物堆积或是引起各种放热反应。二、罩壳水冷却。螺杆真空泵因为电机转子在工作中全过程中无润滑脂的参加,没法根据润滑脂带去工作中时造成的发热量。因为无内缩小全过程,排气管溫度十分高,如水冷却实际效果不太好,会导致电机转子和外壳形变,危害抽真空实际效果。因而螺杆真空泵罩壳选用两层壁厚空心构造,人们能够 称作水冷却套,其内嵌冷冻液,是机械泵的关键热管散热安全通道。水冷散热是比较普遍的方式 ,水冷却套中通冷却循环水,能够 超过水冷却罩壳从而水冷却电机转子的目地。总的来说,就是说螺杆真空泵水冷却方法的有关详细介绍了,除此之外,还可以在电机转子內部通冷却水,提升电机转子使用寿命,并超过非常好的水冷却实际效果。但该总体设计,必须必须的技术性及加工水平适用。
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2019 - 10 - 25
螺杆真空泵堵塞怎么办?  一,螺杆真空泵-定期清除油脂和损坏的零件  螺杆真空泵的内部关键部件大致为涡流,蜗轮,导轨滑块和新的活塞杆。对这些组件的损坏将导致螺杆真空泵的总流量减少或微不足道。解决方案:定期清除油脂,损坏并清洁液压腔。  二,螺杆真空泵-标准安全操作流程  1.严格执行螺杆真空泵的启动和停车操作,以进行实际操作。在启动时,零输出打开,并且当螺杆真空泵的出口值达到工作压力时,增压室充满氮气。  2.防止隔膜因充氮而变形,避免隔膜破裂,并缓慢增加泵螺杆真空的输出。当泵停止运转时,也应减慢螺杆真空泵的输出。  三,螺杆真空泵-提升泵维护  1.在螺杆真空泵运行期间进行定期安全检查,检查润滑脂的量,机器泵的声音,出口值工作压力,氢缓冲罐工作压力等。  2.定期更换螺杆真空泵壳隔膜和氢缓冲罐隔膜,以避免损坏两个螺杆真空泵,从而导致金属催化剂停止安全事故。  螺杆真空泵产生水垢  由于螺杆真空泵的工作物质(即补充液),关键是立即引用饮用水或造纸厂的水。由于自来水的高硬度,合金在净水中的电离成分也非常复杂。因此,螺杆真空泵的内部两相流组件在这种材料标准下工作。经过长时间的物理处理,将产生污垢并产生污垢。会损坏螺杆真空泵以使其正常工作。  缩放后的螺杆真空泵真空度将降低。由于在风轮的中部以及入口和泄压阀对话框的中间有污垢,因此密封腔的容积变小,并且入口和出口蒸气体的体积状态也减小了。...
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2019 - 11 - 01
罗茨泵的工作特点  1. 转子与泵室转子和转子之间有一定的间隙,彼此之间不接触,无需用油润滑。  2. 转子具有良好的几何对称性,可以提高速度,以生产出具有大抽速的紧凑型泵。  3,泵工作时振动小,体积大,体积利用率约0.5。  4.在泵室中没有机械真空泵之类的压缩现象,因此不需要排气阀。因此,可以除去可冷凝的蒸汽。  5.快速启动,并在短时间内达到极限真空。低功耗,低运行和维护成本。  6. 罗茨泵在较宽的压力范围(1000Pa〜1Pa)中,抽速大,可以迅速排出突然释放的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵(1000Pa〜1Pa)的不足。小缺陷。因此,它最适合用作增压泵。  罗茨泵广泛用于真空冶金行业中,用于真空脱气,真空熔化,钢水真空处理以及空间模拟,低密度风洞和其他去除腐蚀性气体的设备。它也可用于化学,食品,制药和电机制造等行业的蒸馏,蒸发和干燥生产过程中。  在操作期间,泵送的气体的转子和通过空气入口泵体之间进入。此时,一个转子和泵主体从空气入口分离气体,并且该气体被分离(如图中所示的上半部分的转子连续旋转期间发送到所述排气口。的空间是处于关闭状态,所以没有压缩和膨胀。但是,当将转子的峰值转向排气口的边缘时,由于V部分的压力低于排气口的压力,为了使连接体积中的压力均匀,气体将扩散从到V的区域具有扩散的方向相反于的转子旋转方向的排气口。当转子再次旋转时,V处的气体被压缩到排气口以将...
来源: 真空泵
发布时间:2018-01-26
阿特拉斯螺杆真空泵在印刷行业中的应用,螺杆真空泵替代旋片真空泵解决方案。  与其它技术相比,阿特拉斯螺杆真空泵真空泵的能耗大概能节约50%, GHS VSD,系列是目前市场上能效较高的真空泵。油封旋片...
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