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半导体真空泵应用注意事项
半导体真空泵应用注意事项
2020 - 02 - 24
半导体工艺真空主要用于键合工艺，如蒸发、溅射、等离子体化学气相沉积、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体，对生产和人员安全构成威胁。因此，半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:　　1.定期清洁真空泵和其他附件、过滤器和管道，以避免过压。　　在半导体真空泵的应用中，当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时，介质的组成可能极其复杂。例如，四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅，而四氯化钛水解形成盐酸。假设是油封机械泵，这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假定形成颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质，它们可能阻塞真空泵或管道系统，影响真空泵的性能，导致压力上升或过压，并造成更大的风险。因此，有必要及时清理，必要时设置过滤设备。　　2.有效稀释有害气体的浓度　　半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此，在半导体真空泵的应用中，当提取这些介质时，有必要防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如，当与空气或氧气接触时，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时，也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此，当半导体真空泵抽取这些介质时，在压缩之前，需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到当前条件下的安全范围。　　3.注意氧气的浓度　　如...
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避开这些缺点，才能选择合适的真空泵
避开这些缺点，才能选择合适的真空泵
2020 - 02 - 28
活塞真空泵、旋片式真空泵、滑阀真空泵和罗茨真空泵通过活塞的往复运动或旋转来吸入、压缩和排出气体。然而，活塞是一个运行部件，所以活塞的磨损是不可避免的。随着维修次数的增加，工作真空度会不断降低，直至不能满足生产要求。这种泵的致命缺点是工作噪音大，耗油量大，故障率高。一般来说，需要设置备用机器，这实际上增加了设备投资和运行成本。此外，如果这种泵用于泵送可冷凝气体，如水蒸汽，润滑油将被乳化。因此，它们只能用于泵送不凝性(空气)气体，而不能泵送带有颗粒的介质，这限制了它们的应用范围。　　水环真空泵通过安装在泵壳内的带有多个叶片的偏心转子旋转，向泵壳内喷水，形成与泵壳同心的水环，水环和转子叶片形成周期性的容积变化，以吸入、压缩和排出气体。其缺点是真空度低;不能用粒状介质吸取;转子高速旋转不容易进行防腐处理，因此腐蚀介质不能被吸入。　　使用这些真空泵时应该注意什么?首先，必须检查和确定每个过程所需的真空度。因为每个过程都有自己合适的真空范围，所以必须仔细研究和确定。　　在确定工艺所需真空度的基础上，检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来说，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵低50%。　　检查并确定工艺所需的提取类型和体积。因为如果要泵送的气体类型与泵中的液体发生反应，泵系统就会受到污染。同时，必须考虑确定适当的排气时间和提取过程中产...
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水环真空泵零件安装有哪些要求？
水环真空泵零件安装有哪些要求？
2020 - 03 - 05
一，安装真空泵轴承和泵轴零件　　1.将泵轴和轴承从支架的非驱动端安装到支架中。通过敲击轴承的外环，可以将泵轴安装到支架中。注意:撞击时，垫块或套筒工具应放在轴承的端面上，以防损坏轴承。　　2.安装非驱动端轴承盖和锁紧螺栓。　　3.安装垫圈、驱动端轴承盖和锁紧螺栓。用手转动泵轴，泵轴应平稳转动。如果泵轴转动紧密，稍微松开螺栓，调整泵轴使其平稳转动。　　4.安装平键、联轴器泵轴部分、联轴器压板和锁紧螺栓。　　二，安装真空泵泵体和机械密封部分　　当机械密封静环部件安装在泵体上时，机械密封静环部件可以被水浸湿，然后用手均匀地压入泵体中。小心不要推得太紧!组装后，检查机械密封的静环部分是否与泵体装配紧密。　　将泵体紧紧地压在电机上，并拧紧螺栓。小心不要损坏机械密封的静环部分。　　将垫圈安装到电机后盖中，然后将泵体、电机前盖、轴承、电机转子和内轴承盖部件安装到电机壳体中，并锁定螺栓。　　依次安装电机风扇、挡圈、电机护罩和螺钉。安装完成后，泵的电机风扇护罩端将朝下并垂直于地面，准备安装泵的其他部件。　　三.安装真空泵叶轮　　1、叶轮压在轴承上时，应保证叶轮与泵体前端面保持0.05 ~ 0.15毫米的间隙.水平放置真空泵并检查间隙。如果间隙太小，可能导致真空泵机械故障;如果间隙太大，真空泵的泵送速率将降低。　　2.调整叶轮和泵体前端面之间的间隙后，用深度百分比测量泵体外缘和叶轮平面之间的深度差，以...
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干式真空泵有哪些注意事项
干式真空泵有哪些注意事项
2020 - 03 - 09
在安装和使用干式真空泵之前，客户应该仔细阅读常见的安全问题。如果他们不掌握这些内容，就不容易掌握机械泵运行中存在的风险。这种内容在机械泵的说明书中经常详细介绍。如果您没有它，您可以根据本文了解它:　　1.不安装防护罩，不要操作干式真空泵。在拆卸和更换保护盖之前，断开电机的开关电源。在没有正确安装保护盖的情况下，接近旋转部件是相当危险的。　　2.当物质是具有足够氧气的物质时(二氧化碳的比例超过21%)，请不要操作泵，除非有合适的稀有气体和吹扫系统软件。在没有适当清洗的情况下，吸入被矿物发动机油或非塑性流体力学污染的足够的氧物质将导致爆炸。　　3.采取预防措施，防止在清除过程中长期暴露在焊接烟尘或材料中。　　4.从干式真空泵排出的蒸汽不需要进入封闭或不自然通风的区域。如果提取的蒸汽含有对自然环境有害的成分，在排放到空气中之前必须妥善解决。　　可以看出，在使用干式进口真空泵之前，人们必须掌握许多安全问题，但所有这些都是非常必要的，并且直接关系到实际操作人员的生命安全。因此，我们不必忽视这个警告来确保人和机器的安全。
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磁力泵基本知识与常见操作
磁力泵基本知识与常见操作
2020 - 03 - 12
磁力驱动泵用静密封代替动密封，彻底解决了泄漏问题。主要用于运输有毒、有害、易燃、易爆、腐蚀性和贵重液体。目前，生产中广泛使用的磁力驱动泵有磁力驱动离心泵。下面介绍目前使用的磁力驱动离心泵。　　1.设备的基本知识　　1.1工作原理　　电机通过联轴器连接到外部磁性转子，叶轮连接到内磁转子。内磁转子和外磁转子之间设有完全密封的隔离套，隔离套紧固在泵盖上，泵输送的介质以静态密封的方式密封在泵体内，不会泄漏出去。当外磁转子在电机驱动下转动时，由于内外磁转子的永磁磁极之间的相互吸引和排斥，带动内磁转子一起转动，从而带动泵轴转动，达到输送液体的工作目的。　　1.2设备结构　　磁力泵主要由外壳(泵盖、泵体等)组成。外磁转子，内磁转子，隔离套，轴，轴承等。　　1.3主要绩效指标　　主要参数包括:流量、升力、转速、功率和效率。　　1.4设备的用途　　用于运输有毒、有害、易燃、易爆、腐蚀性和贵重液体。　　2.开始和停止的步骤　　磁力泵严格要求在运行过程中不要空转。空转一小段时间，甚至几秒钟，都会导致泵轴断裂，轴承和隔离套损坏，内外磁钢消磁。　　磁力泵输送的介质不允许含有铁磁性杂质和硬杂质。磁力泵不允许在低于30%的额定值流量下运行。　　2.1启动前的检查和准备　　(1)准备必要的驱动工具:气门钩、扳手等。　　(2)检查泵各连接部分的螺丝是否拧紧，电机接地线是否完好，阀门是否灵活好用。　　(3)带滚动轴承...

高温离心泵在模温机行业中的应用

作者：
时间： 2018-01-26
浏览： 291

高温离心泵在模温机行业中的应用

这一款是德国进口，SPECK品牌磁力驱动高温泵，高效节能，成功应用于某公司模温机行业，它具有如下特点：

（1）由于传动轴不需穿入泵壳，而是利用磁场透过空气隙和隔离套薄壁传动扭矩，带动内转子，因此从根本上消除了轴封的汇漏通道,实现了完全密封.

（2）在磁性材料与磁路设计使用了很高要求.

（3）磁力泵的维护和检修工作量很小.

（4）SPECK高温磁力驱动泵只可输送不含颗粒的介质。

（5）SPECK高温磁力驱动泵在正常和特殊使用情况下，不存在随时间推移而老化退磁的现象。

（6）SPECK高温磁力驱动泵应避免空运转，以免滑动轴承和隔离套烧坏。

高温离心泵在模温机行业中的应用
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