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2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 11 - 01
什么是水环真空泵  一, 水环真空泵的分类  1,单级单作用水环泵  单级单作用水环泵,单级意味着仅一个叶轮,单作用意味着每当叶轮旋转时,吸入和排气均执行一次。该泵具有更高的极限真空度,但泵速和效率较低。  2,单级双作用水环泵  单级双作用水环泵,单级仅意味着一个叶轮,双作用是指每当叶轮旋转一次时,吸入和排气均进行两次。在相同的抽速下,双作用水环泵的尺寸和重量明显小于单作用水环泵。由于工作室在泵毂的两侧对称分布,因此作用在转子上的负载得到了改善。这种类型的泵具有较高的抽速和较高的效率,但极限真空度较低。  3,双级水环泵  双级水环泵主要由串联的单作用泵组成。本质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共享一个心轴。它的主要特点是在高真空和稳定的工作条件下具有大的抽速。  4,大气水环泵  大气水环泵实际上是大气喷射器水环系列的一个机组。 水环泵与大气压泵串联在泵的前面,以增加极限真空度并扩大其使用范围。  二,水环真空泵的优点  1.结构简单,制造精度不高,易于加工。易于操作且易于维护。  2,结构紧凑,泵一般直接与电动机连接,转数较高。具有较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。  3.泵腔中没有金属摩擦表面,也无需润滑泵。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。  4.在泵室中的压缩气体的温度变化非常小,这可以被认为是等温压缩,所以它可以除去易燃易爆气体。  5.由于没有排气...
2019 - 11 - 06
在螺杆真空泵的许多常见故障中,最困难的问题之一是机器无法吸油。如果无法吸收油,则机器将无法工作。让我们详细讨论一下机器。螺杆真空泵设备不能吸收油的要素.  一、螺杆真空泵常见故障:  1、由于存在管道中脏物的危险,它被阻塞或泄漏。  2、吸尘的长宽比超出了允许吸尘的真空泵的阻塞范围。  3、与该组件关联,也就是说,电动机已翻转。  4、油的粘度太大。  二、螺杆真空泵清除方法:  1、预热机油并降低粘度。  2、真空泵维护:螺杆真空泵的轴功率已大大扩展。  3、改变电动机的旋转,使其与泵相同。  4、检查吸管的泄漏部分,找到问题,然后更换法兰垫片并堵塞砂孔。  5、降低泵的安装长宽比,并将其保持在所需的长宽比内。不要太高或太低。  螺杆真空泵可以去除蒸汽中的水蒸气和少量烟灰。市场被应用于制药工业,化工厂,半导体材料等的清洁水平,并且有必要解决诸如机械和设备的吸油之类的若干问题。只有在进行治疗后,才称为对症治疗。
2019 - 11 - 07
使用过真空等离子清洗机的任何人都知道产品的清洁是在真空室内进行的。那么,为什么要在真空中清洁呢?由于进口真空泵是真空等离子清洗机的重要组件之一,因此它的功能是对腔体进行真空清洁,但是您知道如何在真空等离子清洗机中对其进行控制。效果最佳吗?在此,技术人员向您介绍进口真空泵在等离子清洗机中的应用。  因为在真空状态下清洁可以达到更好的效果。将产品放置在连续抽空的密闭室中。如果产品表面有灰尘之类的小颗粒,则将其连续带走。这里的连续抽气意味着真空状态保持在相对稳定的真空状态,即等离子体清洁。机器的排出也需要在稳定的真空状态下进行。  等离子体处理和等离子体清洁技术为后续的塑料,金属,铝或玻璃涂层工艺提供了最佳前提。进口真空泵离子清洗技术可在清洗完成后立即用于后续处理。该应用程序将确保整个过程的清洁度和低成本。由于等离子体具有较高的能量,因此它可以选择性地分解材料表面化学物质或有机物。通过超精细清洁,甚至可以完全清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了最好的先决条件。  等离子体是气体分子在特殊场合(例如真空和放电)中产生的物质。等离子清洁/刻蚀产生等离子体的设备是在密封的容器中放置两个电极以形成电磁场,并使用进口真空泵达到一定真空度。随着气体变得越来越稀,分子或离子的分子间距和自由移动距离也越来越长,并且受到磁场的影响,发生碰撞而形成等离子体,并产生辉光与此同时。等离子体在电磁场...
2019 - 11 - 11
罗茨真空泵具有对应于不同的操作模式中,选择合适的类型不同的模型,和罗茨真空泵和环境的温度在较低的温度需要升高和电气设备被运行速度较慢,所以很容易影响工作效率。  1.在使用该装置的环境温度的应小于40℃,罗茨真空泵和电机的温度上升不超过75℃。在工作1000小时之后的正常磁力泵应去就耐磨环和轴承的端面,然后将交换不应易损件,堆叠在易于运输液晶介质上应该使用后,排水泵积液进行清洁。  2.防止环境温度的影响的工作职能罗茨真空泵,真空泵坚持清洁其它物体不应被放置在真空泵,真空泵不能被堵塞绕通道,以便于所述泵体的热量,冷却,也有利于维修和操作。  3.三角型皮带张力经常注意罗茨真空泵,如果皮带过紧太紧太松应调整,从而导致复杂的泵体温过高。  4.不要让关节每个管道泄漏,橱柜应坚持预真空适当的范围内,一旦出现缺陷,导致变化的非常复杂的罗茨真空泵环境温度发生,及时修复是非常重要的。  5.坚持以冷却水清淤,否则会导致非常复杂的罗茨泵工作环境温度过高。每次驱动器启动间歇4-6次,2S内的各时间,以引发更大的扭矩限制。  降低环境温度对罗茨真空泵运行的影响,它能够更好地控制它的使用好,相应提高生产率和减少设备磨损的情况出现。使用环境温度是非常重要的。
2019 - 11 - 13
水环真空泵有单级和双级,也有单作用和双作用差异。单级和两级真空泵是指叶轮的级数。单/双作用是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体进行一次抽吸/排放。双作用真空泵将其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。  故障维修  轴承磨损  水环真空泵传动部件的磨损是一个普遍的问题,包括轴承位置,轴承座,轴承室,键槽和螺纹。传统方法主要是补焊和电刷镀,但两者都有一定的缺点:补焊高温产生的热应力无法完全消除,可能导致材料损伤弯曲或折断。刷镀受涂层厚度的限制,并且容易剥落,并且上述两种方法使用金属来修复金属。改变“硬对硬”的合作关系是不可能的,在各种力量的共同作用下,它仍然会再次造成磨损。  鉴于上述问题,经常使用聚合物复合材料的修复方法,并且更经常采用的技术体系具有优异的粘附性和优异的抗压强度的综合性能。可以取消聚合物材料修复的应用,并且无需机械加工。没有修复焊接热应力的影响,并且修复厚度不受限制。同时,产品的金属材料没有特许权,可以吸收设备的冲击和振动,避免了再次磨损的可能性,并大大延长了设备部件的使用寿命。企业节省了大量停机时间,并创造了巨大的经济价值。  腐蚀冲蚀修复  真空泵的腐蚀方式可分为两类:全面(均匀)腐蚀和局部腐蚀。前者在真空泵的整个表面上更均匀地发生,而后者仅在局部发生,例如点蚀,缝隙腐蚀,晶间腐蚀,应力腐蚀等。使用聚合物复合材料在真空泵上实施表面有机涂层腐蚀防护...
2019 - 11 - 14
由于各种真空泵的性能可以满足抽真空容器的共同点,因此仍然存在差异。因此,必须明确选择在真空泵系统中承担的任务是非常重要的,在泵的各个工作领域中的作用可以归纳为以下几个方面。  1、系统中的主泵  所谓的主泵是一种真空泵,它直接排空真空系统以获得满足工艺要求所需的真空。  2、粗抽泵  粗抽泵是一种真空泵,它开始从大气压力降低真空系统的压力,直到另一个泵系统开始工作。  3、前级泵  前级泵是用于将另一个泵的前级压力保持在其最大允许前级压力以下的真空泵。  4、维持泵  以维持泵,这意味着当真空系统的吸力很小时,主前级泵无法得到有效利用。为此,在真空系统中另外设置了具有较低抽速的辅助前泵,以维持主泵的正常运行或维持排空容器所需的低压真空泵。  5、粗真空泵或低真空泵  粗真空泵是从大气开始并降低泵送容器压力的真空泵,以在低真空或粗真空压力范围内工作。  6、高真空泵  高真空泵是在高真空范围内运行的真空泵。  7、超高真空泵  超高真空泵是指在超高真空范围内运行的真空泵。  8、增压泵  增压泵通常是真空泵,在低真空泵和高真空泵之间运行,以增加中压范围内泵系统的泵送能力或降低前级泵的泵送速度。
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2025 - 04 - 15
针对PCB热压机配套中央真空泵系统方案,以下是一个综合性的解决方案,结合高效节能、稳定性、维护便利性及智能化控制等关键要素:一、系统设计原则高效节能采用罗茨水环真空机组作为核心配置,罗茨泵作为前级泵快速排出空气,降低后级水环泵负荷,减少能耗。水环泵以水为介质,无需润滑油,避免油污染,符合环保要求。引入变频调速技术,根据生产需求动态调整真空泵运行速度,确保设备始终处于高效区运行。稳定性与可靠性设计集中式抽真空模式,统一管道布局,减少弯头和过长管道,降低气体流动阻力,确保真空度稳定。采用智能控制系统,实时监测真空度、温度等参数,自动调节泵的运行状态,避免全负荷运行,延长设备寿命。维护便利性真空泵及管道系统采用模块化设计,便于快速拆卸和更换部件,降低维护成本。定期对真空泵进行保养,如更换密封件、清洗泵腔,确保性能处于最佳状态。二、具体配置方案真空泵组罗茨泵:作为前级泵,快速抽气,降低系统压力。水环泵:作为后级泵,维持高真空度,处理大量气体。备用泵:配置一台备用泵,确保主泵故障时系统仍能持续运行。管道系统主管道:采用大直径不锈钢管道,减少阻力,确保气体快速流动。分支管道:根据热压机布局,合理设计分支管道,确保每台设备真空度均匀。阀门与传感器:在关键节点安装真空阀和压力传感器,实现精准控制。控制系统PLC控制器:集成变频器、传感器等设备,实现真空泵的自动启停、调速和故障报警。人机界面(HMI...
2025 - 08 - 08
在液冷工艺中,德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性,成为输送冷却介质的理想选择,具体优势如下:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况:适应高温高压液冷需求高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。例如,其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃,扬程200米,流量110m³/h,适用于高压高温场景。高压能力:部分型号(如CY-4282.0067)扬程可达120米,支持高压循环液冷系统(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少...
2025 - 11 - 17
造粒机用干式集中真空泵系统在塑料、化工、食品等行业的造粒生产中具有显著优势,其通过无油、高效、稳定的设计,解决了传统湿式真空泵的诸多痛点。以下是该系统的核心优势及具体应用场景分析:一、核心优势1. 无油污染,保障产品质量干式运行机制:干式真空泵通过机械间隙或特殊材料(如碳精片、陶瓷)实现密封,无需润滑油参与抽气过程,彻底避免油蒸气或油滴进入造粒系统。产品纯净度提升:在塑料造粒中,油污染会导致颗粒表面油斑、内部孔隙率增加,影响材料力学性能(如拉伸强度、冲击韧性)。干式泵可确保颗粒表面光滑、密度均匀,满足高端应用(如医用级塑料、食品包装材料)的严苛要求。案例:某聚乙烯造粒生产线改用干式泵后,产品不良率从3%降至0.5%,客户投诉率下降80%。2. 高效节能,降低运行成本抽气速率与极限真空度优化:干式泵(如螺杆泵、爪式泵)采用多级压缩或变容积设计,抽气速率比传统水环泵提升30%-50%,极限真空度可达1Pa以下,显著缩短造粒机抽真空时间(如从10分钟缩短至5分钟)。能耗对比:以100m³/h抽气量为例,干式螺杆泵功率约7.5kW,而水环泵需15kW(需配套冷却水循环系统),年节电量超4万度(按8000小时运行计算)。维护成本降低:干式泵无油液更换、过滤器清洗等维护需求,年维护成本可减少60%-70%。3. 稳定可靠,适应恶劣工况耐腐蚀与耐颗粒性:干式泵内部结构简单(无复杂油路)...
2019 - 08 - 29
水环真空泵是工业泵送工作中常用的一种设备。这要求水环泵的内部操作具有非常高的流畅性,因此如果存在问题,水环真空泵机器可能会卡住并且不能工作。由于某种原因,水环真空泵马达过载甚至转动,习惯上称这种现象“卡死”。水环真空泵卡住的原因是:1.弹簧损坏,导致旋转件受到不均匀的应力。2.装配不当,局部压力大.3.由于水环真空泵进风口过滤器丢失或损坏,外部污垢和金属屑落入水环泵腔内。4.水环真空泵泵转子,旋转叶片端面与端盖之间的间隙过小,摩擦热产生旋转叶片摩擦或过热而摩擦力过大,且硬度较大旋转叶片太大,因此端面很深。划伤,烧结卡住了.5.当轴与套筒配合过紧时,润滑油路不平滑,泵会因相互粘连而长时间卡住。水环真空泵泵室生锈。6.水环真空泵在潮湿环境中运行或去除潮湿气体,导致泵油变成乳化液或泵油垢或甚至地壳泵油的粘度太大(冬季).7.水环真空泵转子在启动时裂开.8.某些水环真空泵在高低真空室的空气通道上有半圆形凹槽,压在它们上面的橡胶板压得太紧,挡住了中间空气通道等。在卡纸时,由于转子过载或转动水环真空泵电机,电机很容易燃烧。即使不烧坏电机,如果不停止修理,也会损坏水环真空泵的泵腔,破坏旋转叶片,扭转转子,烧坏端面等。水环真空泵堵塞总是发生在转子,旋转叶片和端面或中间隔板之间或转子和泵室之间,这些是决定水环真空泵极限压力的关键部件,所以发卡。在死亡的情况下,必须紧急停止泵,消除故障,并正确修理。不...
2019 - 10 - 24
许多人可能对水环真空泵的排气了解不多,这对设备的运行有害现象,因此我们必须找到在使用过程中防止它发生的方法。  一,水环真空泵-过滤  为了解决这个问题,可以将过滤器装置添加到水环真空泵前进气管中,以进行灰尘或残留液体。过滤并定期清洁过滤设备,以确保良好的性能。同时,对于整个水环真空泵维护泵体并及时清洗阀板。  二,水环真空泵-散热  由于水环真空泵活塞在气缸中不断往复运动,因此泵体的温度过高,导致材料碳化。引发事故的条件。为避免这种情况,请在打开泵之前先打开水环真空泵的冷却系统,并确保系统入口和出口管道畅通无阻。  三,水环真空泵-清洗缓冲  在水环真空泵之前添加水洗和缓冲罐可以有效地清洁吸入的残留液体,并对混合空气具有一定的冷却效果。但是,在实际工作中,经常会出现以下两种现象:  1.罐内残留液体量少时,少量液体被吸入泵体内,物料在高温下会碳化;  2.当残留液体量很大时,例如,如果没有及时排出,则水环真空泵可能会吸入液体并产生冲洗泵,从而引起大的设备事故。  因此,在生产过程中,员工需要严格按照规定使用水环真空泵,并及时排出残留的液体,以免发生事故。  四,行气管阻塞或不流畅  该故障可能导致包含甲醇蒸气的混合气体及时排出。当其积累到一定程度时,它将严重泄漏,并且水环真空泵会猛烈撞击甚至爆炸。  造成这种现象的原因很多。这可能是由于设计缺陷导致的,导致行气管的位置相对较低。管...
2019 - 10 - 31
很多人会问真空泵机组的选择方法?真空机组的工作流程是什么?真空机组的使用说明及注意事项?现在我们就来了解一下.  真空泵机组的选择方法  真空泵机组主要是罗茨泵,真空泵机组是罗茨泵。旋片泵与前级泵串联连接。其结构紧凑,操作简便。适用于抽取空气和其他非冷凝性和非腐蚀性气体,用于需要高抽速和高真空的各种真空系统中。如:真空熔炼,功率电容器,变压器,真空浸渍处理,真空镀膜设备的预萃取。当一个泵不能满足抽气和真空要求时,需要组合多个泵以相互补充,以满足工艺要求。  需要预先抽真空;一些真空泵入口压力低于大气压,并且真空泵机组中的真空泵不能在大气压下运行。需要前级泵,因此需要组合泵。组合使用的真空泵称为真空泵机组,可以使真空系统获得更好的真空度和排量。组合真空泵应正确选择。不同的真空泵对提取的气体有不同的要求。例如,通常罗茨-旋转叶片机组不适用于包含更多可冷凝气体的系统。  真空机组的工作流程是什么  真空机组所需的罗茨真空泵不能直接排到大气中。如果直接排气气氛将形成罗茨真空泵的吸入口和排气口的压力差太大,从而使罗茨真空泵过载,如单纯增加0201真空泵的电机功率将形成罗茨真空泵020 -1导致过热真空泵转子之间的小间隙由于热收缩而迅速被卡住。 罗茨真空机组必须确保罗茨真空泵转子之间的间隙,以确保罗茨真空泵可以达到更高的真空度。因此,罗茨真空泵必须配备前级泵。当前级泵将系统内部的压力拉至一定范...
2020 - 05 - 22
1.水环式真空泵怎么防止腐蚀       水环真空泵是一种粗糙的真空泵,可以获得2000-4000帕的极限真空和270-670帕的一系列大气喷射器。水环真空泵安装了一个带固定叶片的偏心转子。水(液体)被抛到定子的墙上,形成与定子液环同心的液环,转子叶片形成一个可变容积的旋转式可变容积真空泵。水环真空泵具有结构简单、加工容易、抽吸均匀、运行稳定可靠、操作简单、维护方便等优点。  由于水环真空泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体可以去除。由于没有排气阀和摩擦面,带有灰尘、可冷凝气体和气水混合物的气体可以被去除。具有这些突出的特点,尽管它的效率很低,但它仍然广泛应用于石油、化学工业、机械、造纸、采矿、轻工业、医药和食品工业。  2.腐蚀原因分析  随着真空泵在水环,越来越多的应用,由于高温、高压、强腐蚀、气蚀等恶劣环境的影响,设备在运行过程中经常出现磨损、腐蚀、泄漏等现象,制约了企业的正常生产,甚至导致火灾、爆炸、污染等严重的安全事故。腐蚀的主要原因可归纳如下:  1)水环真空泵的水经过多次循环后,不仅酸度增加,而且水环湍流会与一氧化碳充分接触,使水呈酸性,从而在水环真空泵的流动部分造成电化学腐蚀情况,从而造成叶轮等流动部分的腐蚀。  2)水环真空泵边界条件的改变会增加局部流量,在叶轮背面产生负压,在使用过程中容易产生气穴现象,形成大量气泡。在放电...
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螺杆真空泵怎么开机

日期: 2019-10-08
来源:
浏览次数: 81

      螺杆真空泵结构简单,很少零配件,机械设备,开始与许多客户不知道还有没有按照相应的程序进行对机械设备导致大的危害,在下文中详细解释给予根据其如何大家应该适当启动:

螺杆真空泵

  1、当场与中控台联络,确定能够起动,根据当场实际操作柱起动按键起动进口真空泵。


  2、关掉螺杆真空泵出入口管过滤阀。


  3、查验或调整氮封气总流量,确定总流量在2.5—3L/min。


  4、开启吹扫阀,确定蒸汽流量计总流量调高,吹扫5—10分钟后,关掉吹扫阀。


  5、开启螺杆真空泵加工工艺通道阀,选择系统软件。


  6、螺杆真空泵运行全过程中,留意观查人体溫度,可根据温度调节阀调整水流量来操纵溫度(温度调节阀坐落于0标尺时水流量为大,坐落于5标尺时水流量为小),规定溫度尽可能操纵在50—75℃,保证不超出80℃。


  螺杆真空泵从生产制造到以后的应用,生产厂家和客户都必须遵循恰当的流程,恰当的启动针对机器设备的工作中有挺大的协助,假如再次选用不正当性的启动方式不但会损害机器设备还会减少机器设备的使用期。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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