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2023 - 01 - 03
还在用传统液环泵和旋片泵吗抽真空吗?传统液环真空泵和油旋片真空泵带来的结果是耗水量大、噪音大、真空度低、漏油严重,生产成本高等等问题。随着客户提出的要求和想法,恒才机电给出了新的真空改造方案,用于贴膜机抽真空行业的液环真空泵和油旋片真空泵,被罗茨水环真空机组所替代。罗茨水环真空机组又数台罗茨真空泵及司倍克水环真空泵组成的真空泵组,也称之为中央真空系统,这称呼得益于集中抽真空,共享一条抽真空管、共享一套真空系统,使得真空度更稳定,更节能。罗茨水环真空机组的工作原理如下:1.运行高效:在压合机刚开始工作时,可以通过第一真空总管和第一真空泵组迅速达到较高真空度,一般是2-6分钟内将真空度抽至10-30mbar内的合格真空度;2.节能:机组运行总功率通常为原分散小泵的60%左右,在初抽达到理想真空度后,通常只需一组泵就可以维持较高真空度进行保压。罗茨水环真空机组,可用于PCB压合、贴膜机抽真空、曝光机抽真空、PET片材挤出、片材挤出抽真空等行业应用,罗茨水环真空机组给传统生产模式带来新的改变,节能环保、节省电量水费、为产品质量加持!深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2023 - 04 - 19
片材挤出行业真空解决方案是什么?传统的片材挤出机配套真空设备是螺杆真空泵、或是旋片真空泵,也有水环真空泵设备等,那有没有更高效的PET脱气真空解决方案呢?片材挤出工艺不仅要解决预结晶和干燥工艺、成型后产品通透性差、残存气泡、脱气系统生产大量废水等问题。深圳恒才机电设备有限公司专注真空领域,在橡塑片材挤出行业拥有丰富的真空配套经验,为片材挤出工艺作出贡献,现在了解一下片材挤出行业真空解决方案,新一代的有效的片材挤出脱气真空改造方案。深圳恒才机电根据客户生产现状、结合片材对真空度的要求,设计的配套的真空设备,PET脱气定制化的真空系统,采用的是罗茨水环真空机组,即罗茨真空泵和水环真空泵组成,特点如下:1.配有前置过滤器,可过滤粉尘杂质2.真空度高且稳定,带来理想的脱气效果3.改善PET产品质量,告别气泡、透明度高、韧度高4.真空泵温度低,水温低,能耗更低,部件更耐用5.支持在线水清洗,无需酒精,无需停机6.安装容易,维护简单深圳恒才机电设备有限公司的这款罗茨水环真空机组,不仅解决了片材成型后产品通透性差、残存气泡的问题,也解决了脱气系统生产大量废水,使环保的PET行业变得不环保,恒才真空泵厂家为客户解决了难题,节省了生产成本,也提高了片材质量问题,获得客户的认可与支持。
2024 - 03 - 07
罗茨螺杆真空机组在化工行业应用特点是什么?罗茨螺杆真空机组,由一台螺杆真空泵及三台罗茨真空泵,也称为螺杆三罗茨真空机组。罗茨螺杆真空机组,这一先进的真空设备,专为化工行业及特殊有机溶剂真空生产抽气而设计。它采用的新一代螺杆真空泵,不仅抽气速率大,真空度高,而且有效解决了对介质和环境可能造成的污染问题。这种创新的泵型,不仅优化了化工生产的真空工艺,更提升了生产过程的环保性。罗茨真空泵的核心设计,不仅体现在其高效的抽气能力上,更在于其对废气蒸汽的巧妙回收。这一设计不仅减少了废气排放,还为企业创造了附加的经济效益,实现了经济效益与环境效益的双赢。在罗茨螺杆真空机组的运行过程中,有机溶剂被抽出的气体在经过螺杆真空泵后,会进入排气冷凝、分离、回收等步骤。这一系列流程,不仅有效降低了排放气体中的可凝气体含量,达到了环保节能的效果,更为化工行业的绿色、可持续发展注入了新的活力。总的来说,罗茨螺杆真空机组以其高效、环保、节能的特点,为化工行业的真空生产提供了全新的解决方案,推动了行业的绿色转型和升级。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2024 - 06 - 04
在CNC加工领域,真空发生器已经不再是CNC加工中的必需品。为何CNC加工不再需要真空发生器,深圳恒才如何为CNC加工行业提供更真空解决方案。我们来看一下真空发生器在CNC加工中常见的几个问题。1.真空度不足是真空发生器面临的一个主要挑战。2.真空发生器在运行过程中会消耗大量的电力,这不仅增加了生产成本,还不符合当前节能减排的环保要求。3.真空发生器在使用过程中可能会产生噪音和振动,对工作环境和员工健康造成一定的影响。针对这些问题,深圳恒才根据客户的真空需求,量身定制解决方案,以满足不同CNC加工场景的需求。例如,我们可以使用司倍克组成的水环式真空机组,这种机组具有真空度高、运行稳定、节能环保等优点,非常适合CNC加工中的高真空度要求。同时,水环式真空机组还具有噪音低、振动小的特点,能够为员工创造一个更加舒适的工作环境。另外,阿特拉斯螺杆真空泵组成的螺杆真空泵组也是我们的另一款明星产品。螺杆真空泵组具有抽气量大、真空度高、运行稳定等特点,能够满足CNC加工中对于高效、高质量的需求。而且,螺杆真空泵组还具有节能环保的优势,能够在保证加工质量的同时,降低生产成本和能源消耗。除了提供先进的真空设备外,深圳恒才还注重为客户提供全方位的服务支持。我们的技术团队会根据客户的具体需求,进行深入的沟通和了解,确保提供的解决方案能够完全符合客户的期望。同时,我们还会为客户提供设备的安装、调试、培训等...
2024 - 08 - 02
塑胶挤出、模具挤出成型用什么真空设备?塑胶挤出、模具挤出成型可选用罗茨水环真空机组,由多台水环真空泵及罗茨真空泵组成。罗茨水环真空机组是一种组合式真空设备,+由罗茨泵与水环泵串联而成,充分利用了两者的优点,实现了高效、稳定、低噪音的真空抽取。罗茨泵作为前级泵,负责粗抽阶段,其工作原理基于转子间的间隙容积变化来实现气体的吸入与排出,具有抽气量大、效率高的特点;而水环泵作为后级泵,通过工作液(通常为水)在泵腔内形成旋转液环,与气体混合后排出,有效处理含有大量可凝性蒸汽及微小颗粒的气体,确保系统真空度的稳定与清洁。罗茨水环真空机组的工作原理:在塑胶挤出过程中,材料在高温高压下熔融并通过模具挤出成型。此时,挤出机内部及模具周围会产生大量气体、蒸汽及挥发性物质,这些若不及时排出,将严重影响产品的外观质量、尺寸精度乃至内部结构的致密性。罗茨水环真空机组正是针对这一问题设计的解决方案。罗茨泵阶段:首先,罗茨泵启动,利用其高速旋转的转子在泵腔内形成不断变化的容积,将系统中的大部分空气及轻质气体迅速抽出,为后续的水环泵工作创造有利条件。水环泵阶段:随后,水环泵接手,通过工作液(水)与剩余气体的混合作用,进一步将系统中的蒸汽、可凝性气体及微小颗粒有效抽除,并将混合后的液体排出泵外,实现深度真空。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为各行各业提供真空解决方案,真空节能改造方案,以及真空设备和安装...
2024 - 09 - 25
司倍克水环真空机组是药品真空干燥设备的选择,司倍克水环真空泵采用无油设计、机械密封以及多重保护机制,成为了制药企业信赖的选择,在制药生产应用案例也是比比皆是。应用实例:从实验室到生产线的完美过渡司倍克水环真空机组在制药领域的应用,从研发实验室的小规模试验到大规模生产线上的连续生产,都能见到它的身影。1、在实验室阶段,其精准的控制和纯净的真空环境为科研人员提供了理想的实验条件,冷凝器(壳管换热器),符合ASME标准。2、在生产线上,司倍克水环真空机组高效稳定的工作性能,则确保了药品生产的质量和效率,无须专人维护,少易损易耗件,水环真空机组可24H连续运行。3、司倍克水环真空机组以水作工作液,却非常省水,省电,且启动效果快,运行性能稳定,这些特性都是司倍克水环真空机组成为制药行业的的选择。综上所述,司倍克水环真空机组以其无油设计、机械密封、多重保护以及高效节能等显著优势,在药品真空干燥领域展现出了强大的竞争力和广阔的应用前景。对于追求高品质、高效率、绿色制药的制药企业来说,选择司倍克水环真空机组无疑是一个明智的决策。它不仅能够提升药品生产的质量与效率,还能为企业的可持续发展注入新的动力。随着技术的不断进步和市场需求的持续增长,我们有理由相信,司倍克水环真空机组将在未来的制药行业中发挥更加重要的作用。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提...
2024 - 12 - 25
深圳恒才机电设备有限公司代理是司倍克代理商,是华东代理商,为客户提供专业的水环真空泵选型,真空泵配套方案及设备,欢迎大家来访了解,司倍克水环真空泵在行业应用中,不仅起到了密封作用,还起到了冷却作用。循环水箱内的水在泵体内部形成一层水环,通过不断地循环使用,提高了水的利用率和减少了水的消耗。同时,水环的摩擦作用也产生了一定的阻力,使得泵体内部的气体被有效地压缩和排出。这种工作原理使得司倍克水环真空泵具有抽气量大、抽速快的特点,能够满足大规模生产的需求。在具体应用中,司倍克水环真空泵的参数和性能也表现出色。以V系列为例,其流量可达445m³/h,压力为33mbar。作为单级泵,它具有机械密封和阀门设计,确保了泵体的密封性和可靠性。此外,它还能处理干燥和潮湿的气体,以及高达80°C的工作液体和高达120°C的吸收气体。这些特点使得司倍克水环真空泵在多种工业领域中都能发挥出色的性能。在电机方面,司倍克水环真空泵也采用了先进的技术。紧耦合型号采用B35接近标准电机,支架版本采用B5标准电机,这不仅节省了成本,还提高了电机的运行效率和可靠性。同时,电机的声压级在65至72分贝(A)的范围内,确保了操作者在工作过程中的舒适度。司倍克水环真空泵在材质选择上也十分讲究。它采用不锈钢、铸铁和有色金属制成,具有耐腐蚀特色。不锈钢材质更能适应苛刻环境,对于真空使用反腐更耐用、...
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2021 - 03 - 12
螺杆真空泵里面有一些管道,主要用于泵送和运输天然气。当泵投入生产时,生产工人将按照绘制的设计图进行生产。您可以说出外观设计和生产外观。深入分析,尽管管道只是泵的一部分,但其设计也必须仔细进行,这与抽真空的问题有关。那么管道是如何设计的呢?  1.硅镁热熔炼工艺是在残压为13Pa的条件下进行的。为了达到这样的条件,取决于真空管的设计,螺杆真空泵的配置以及安装在真空管中的真空过滤器,结构和真空阀的质量及其安装水平。  2.选择螺杆真空泵后,连接减压罐,阀门,真空过滤器等。与真空管一起形成一个真空系统,一个完整的真空项目。每四个还原罐连接到同一管道和同一真空单元,便于检漏。为了使还原炉连续运行,每个还原炉必须配备一个备用真空装置。  3.对于真空管设计,请尝试简单可靠,尽量减少弯头,阀门,波纹管和其他装置,并尽可能使管变厚和变短。螺杆真空泵应安装在还原炉上方的平台上,以缩短真空管并缩短预真空时间。还可以大大降低管道的泄漏点,使整个系统在生产中安全可靠,系统的真空度很容易达到113Pa。  螺杆真空泵的管道布置是根据泵的型号,尺寸等设计的。另外,其设计应参考泵的配置。无论设计是什么样,主要目的都是从真空泵的角度考虑。
2021 - 03 - 25
循环水水质和工作温度均超过一定指标,这是造成真空泵结垢的主要原因。因此,有必要尽可能降低水的硬度,并控制循环水的工作温度,以解决真空泵水垢的问题。  因此,在循环冷却水运行期间,应测试每个泵的回水温度和回水量,以确保每个泵的正常供水量和水温。回水是一个不超过40C。可通过阀门控制供水。如果回水温度超过规定,则需要补充低温冷水或使用其他冷却方法降低软化池中软化水的温度。此外,水环式真空泵的泵体排水阀不仅可以利用泵的正常内部排水,还可以在运行过程中利用泵体的水压定期冲洗污物和水。它可以防止灰尘积聚,另一方面,也可以防止水渣结垢。  以上是水环式真空泵的内容。正确分析水质指标的运行参数是找到正确预防措施的关键。除了控制水温和定期冲洗泵体外,水处理也是防止泵体弄脏的重要组成部分。真空泵结垢的问题,所以我们必须了解结垢的原因并采取预防措施。
2021 - 04 - 07
随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍,其质量也在不断提高。由于其特性和优势,它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用程序,让我们学习螺杆真空泵有什么优势?  现在螺杆真空泵具有优异的耐腐蚀性。当使用螺杆真空泵时,我们会在启动后两个小时遇到减速器内壁温度很高的情况。对于机械设备来说,这种情况是非常不寻常的。因此,我们需要立即对其进行修复,如果温度没有下降,请注意,螺杆真空泵上的油窗不能与有机玻璃板一起使用。将低温冷却器升高到螺杆真空泵的真空泵位置,并施加负10度的冷却水以降低温度。螺杆真空泵制造商提醒,为了降低螺杆真空泵前泵的工作流体温度,应采取措施将温度降低到20度以下,以达到更好的使用效果。  以上是螺杆真空泵良好使用效果的相关介绍。由于其特性和优点,它被广泛使用。在操作过程中,必须严格按照操作规程进行操作,以达到良好的效果,并避免因麻烦而造成不必要的麻烦。
2021 - 04 - 20
随着螺杆真空泵的使用越来越普遍,其质量也在不断提高。由于其独特的优势,它被每个人广泛使用。为了使每个人都能更好地使用它,让我们了解螺杆真空泵的维护预防措施是什么。  正确使用和定期维护螺杆真空泵可以延长设备的使用寿命。在提高日常操作效率的同时,有必要仔细观察维护过程,尤其是对于那些容易被忽视的小零件。首先检查螺杆真空泵是水平安装还是垂直安装,接地螺钉是否拧紧,电动机电缆连接是否正确以及电动机是否正常旋转。如果是反向操作,则应立即更正。进气管和排气管必须密封。安装消音器和进气阀,准备并检查泵是否与泵以相同的方向运转。如果不是,请立即更正。每次打开螺杆真空泵时,都需要使空气泵运转20至30分钟,然后将液体从泵和消音器排放到排气口。当没有液体排出时,准备正常的泵操作并打开冷却水阀。  螺杆真空泵正在运行。打开进水阀,然后关闭进水口。数据的正常运行对于保护泵非常重要。由于螺杆真空泵的特殊结构,螺杆真空泵的操作不同于机械泵和罗茨泵。在极端压力的情况下,电流将相对较大。通常,电动机的功率是电动机的功率的两倍。在相同的大气条件下,它会非常小,并且达到正常发动机的水平是正常的。当螺杆真空泵停止运转时,关闭进气阀并打开进气阀,切断泵电机的电源,关闭冷却水源,并将冷却水排入泵中,以避免泵体冻结或低于4摄氏温度。冬季会导致螺杆真空泵无法运行。使用螺杆真空泵的正确方法是让每个操作员都掌握它。只有确保设备的...
2021 - 05 - 10
水环真空泵是发电厂真空系统中常用的真空设备。它在打开设备之前保持真空状态并在启动后保持真空状态方面起着重要作用。让我们谈谈真空泵的启动和停止步骤问题。  水环真空泵的启动和停止步骤如下:  1.在开始之前,请确认系统连接完好,作业单已结束,无关人员已从生产现场撤离,并且系统的相关阀状态正确。现场计量表已正常运行。  其次,检查进气门的控制压力是否正常,压缩空气压力是否保持在0.4-0.5Mpa,进气门的电源是否已打开以及开关的测试是否正常。  3.检查真空泵供水系统的阀门是否已打开,冷凝水泵是否正常运行或淡化水系统的压力是否正常。  四,检查冷水机进水口和回水口是否打开,给水压力是否正常,检查汽水分离器,给水管阀处于正确状态,给水阀排水口底部有蒸汽。 -分水器关闭,泵体上的排水阀关闭。  第五,打开水分离器水分离器旁通阀以补充水分离器水位至140-180mm,然后放电磁阀,打开电磁阀前后手动门并放置自动调节装置。  6.测量仪的绝缘材料合格,然后将其发送到电源,检查电机接地线是否完好,并确认满足启动条件。  7.确认排气装置的真空破坏门已关闭,并且轴封加热器水封已经运行。空隙破坏门充满水并密封。  8.开始运行真空泵,电流不大于额定电流,检查真空泵是否正常运行,水气分离器的水位是否正常,泵的电机和轴承是否正常振动。温度变化正常,轴承温度正常。  真空泵的轴承温度应不高于75,电动机...
2021 - 05 - 24
半导体制造业中有许多不同的真空泵。我们将其分为两类:主泵和高级真空泵。主泵在腔体中产生粗糙的中间真空有多种用途。在集成的多腔设备中清空容纳硅晶片的区域;为高级真空泵泵送空气。先进的真空泵用于获得10-3 Torr到10-9 Torr  的压力范围以及超高真空。新晶圆厂使用的现代真空泵是干燥的,这意味着内部没有油或润滑剂会回流到处理室并污染硅晶圆。螺杆泵特点:1.转子轮廓啮合均匀,密封性好,抽气效率高。2.最终真空度高,最大压力可达到0.2 Pa。3.进口螺杆转子专用加工中心一批,加工精度高,产品性能稳定。4.螺杆泵的所有转子都经过了G1动态平衡测试,并且在运行过程中泵的振动很小。5.泵标配了定制的电动机,并且在泵的油腔和电动机之间形成封闭结构,从而消除了电动机端部的动态轴伸密封,并消除了机油泄漏引擎末端出现问题。6.泵标配特殊的可拆洗消音器,具有良好的降噪效果和低噪音,同时易于拆卸,清洗和维护。7.螺杆泵结构合理,可以适应多种保养和维护措施,针对各种对泵有害的情况具有相应的处理方法,可以配备相应的结构或附件,具有很大的相关性。维护效果好,操作简单,处理时间短,可以更好地保证设备的正常运行。
2021 - 06 - 07
干式真空泵和水环真空泵是当今广泛使用的两类真空设备。虽然经常使用,但很多用户并不了解具体的区别。两种类型的设备比较进行介绍。  1、真空稳定性性能对比:  随着水环真空泵运行时间的增加,闭路冷却循环水中有机溶剂的含量逐渐增加,使得闭路冷却循环水的表面蒸气压增加(即更容易在相同条件下挥发),从而导致真空装置的上限真空温度和抽气速度降低,从而延长干燥时间和产品质量。  干爪式真空泵不存在上述问题,因为无水无油。  2、真空度对比:  爪形真空泵的上限真空压力高于5Pa,而水环泵的上限真空压力高于2000Pa。因此,在一些工业条件和矿山,爪形真空可以单独使用更换罗茨水环或常用的罗茨水射流。  3、设备耐腐蚀性能对比:  当系统中有酸性气体时,由于水环真空泵中存在水,酸性气体溶解在水中形成酸性液体。酸性液体由水环泵叶轮驱动,对泵有强烈的冲刷腐蚀。  干爪式真空泵内无水,酸性气体不能形成酸性液体,设备无腐蚀。  4、故障停机和停电对产品和系统的影响对比:  水环真空泵在运行中出现故障停机后,水环泵内的水会在大气压下流回系统,造成产品污染和罗茨泵损坏。  干爪泵内无水,不会发生上述事故。  5、节能降耗效果对比:  水环真空泵依靠叶轮在水离心机中做功,形成吸力,打气腔,从而达到抽气效果。因此,水环真空泵的主要能耗是叶轮在离心水时的能耗,在工作过程中能耗发生变化。  当爪形真空泵接近真空上限时,...
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真空泵有故障怎么办

日期: 2019-10-03
来源:
浏览次数: 65

  真空泵的工作原理是多叶片转子在泵壳内偏心安装。当它旋转时,液体被抛入泵壳,并与泵壳形成同心液环。液环和转子叶片随着容积周期的变化形成一个旋转变容真空泵。真空泵广泛应用于电子、电池、化工、塑料、造纸、包装印刷、电路板冲压、数控加工中心等行业,如果使用不当的话,会出现哪些重大故障需要特别注意呢?

真空泵


  在使用真空泵转移水的过程中,由于以下不当操作,无法抽真空泵:

  (1)真空泵旋转不足或反向旋转会导致发动机烧毁。

  (2)循环水不流动或水管堵塞且阀门未打开。

  (3)循环水太大,循环水又倒了。

  (4)提升泵密封箱(俗称填料),上水管道或法兰泄漏。

  (5)提升真空泵的出口阀未严格关闭。

  (6)真空泵盘泄漏,泵严重磨损或损坏。

  真空泵故障原因及排除方法

  1.真空泵温度过高

  (1)泵送气体的温度太高。进入真空泵之前,应先让气体冷却。

  (2)真空泵冷却水流量不足。冷却水流量应增加。

  (3)吸入硬物会导致真空泵体磨损。应卸下真空泵,除去硬质材料,并修理或更换刮擦的部件。

  (4)装配不当,转子轴线位移,造成单边磨损。应该将其拆解并检查并重新组装。

  2.真空泵油有问题

  (1)机油被污染,机油质量恶化,应更换新机油。

  (2)油位太低。应向机油标记中心线增加机油量,

  (3)机油通道被堵塞,真空泵腔无法保持适当的机油量。检查进油口和进油阀入口,以保持油道畅通。

  (4)个石油品牌不符。应更换真空泵油的原始品牌。

真空泵


  3,真空泵本身漏水

  (1) 气镇阀垫圈损坏:或未拧紧。应更换垫圈并拧紧阀门。

  (2)密封圈泄漏,应检查每个密封部分的密封,更换损坏的密封圈。

  (3)在真空泵中按压隔膜时,压力过大,导致真空泵的腔体变形并漏气。真空泵腔室应修理或更换。

  (4)因为真空泵的端面密封不牢,所以真空泵的端面密封不良,导致漏气。应卸下端盖以检查是否有污垢或不平整,并清洁或维修端盖。

  (5)排气门板损坏,密封不良。应更换阀门。

  4.进气过滤器堵塞。过滤器应卸下并清洁和安装。

  5.摩擦加热真空泵的运行。温度过高会导致真空泵油稀释,并且密封性能会下降。应使用冷却水或电风扇来冷却温度。同时,应根据要求的精度检查,修理或更换相关零件的间隙。

  6.电机和实验室机油真空泵传达异常的电机过载运行,异常的运行噪音,旋转困难或“卡死”现象。

  7.转子弹簧变形或损坏,并且旋转刀片失效。应该修理或更换弹簧变形以使转子叶片合适。

  8.由于加工不良或磨损,匹配间隙太大。应检查真空泵腔,转子,旋转叶片和端盖之间的间隙,并应修理或更换规定的精度。

  了解上述的一些注意的事项,想必大家在平时的使用中会少了许多的不良操作导致的真空泵的损坏,但是如果真空泵真的出现损坏的话小编还是建议大家将机器送到正规的维修厂家进行维修.


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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