咨询热线 HOTLINE
400-862-5533
13928410990
行业资讯 了解行业的最新资讯
2020 - 03 - 04
1.进气和出气管道中的积水  原因分析:运行中水环真空泵与蒸汽冷凝器连接,由于水汽分离设备的工作漏洞,管道可能产生水汽积聚流。水环泵停止运行后,水蒸气会逐渐凝结,最终变成积水。一次产生的累积水可能较少,但多次之后,累积水将增加并最终流回真空泵,导致瞬时电压过高和电机燃烧。  维护和处理:首先,在日常工作中,应定期检查水环真空泵,特别注意进出口管道有无积水,少量积水应及时清理。为防止此类故障再次发生,水环真空泵的水气分离器应进行改造和完善,如采用高耐磨、耐腐蚀的优质钢材,或加大水气分离器的管径,为水气分离提供更多的空间,以减少水蒸气的积聚,消除和防止积水故障。  2.电机异常启动或过热  原因分析:首先,电机启动异常。“异常”是指噪音过大或启动失败,这可能是由于泵内(叶轮阻力分配板内)有异物、电机供电电压低和电机不相等造成的。在此基础上,检查电机的接线,以避免相位故障或电源故障等问题。如果真空泵长时间不运转,除了对开口盖进行除锈外,还应在里面加入除锈剂。必要时,还应打开端盖,检查其中是否有杂物,并调整分配板与叶轮之间的距离。其次,电机过热。有三个原因。一是真空泵的供水量过大,导致电机负载过大。第二,电机缺相。第三,通风口被堵住了。  维护和处理:仔细检查真空泵的排气容积。如果涉及的水量很大,供水阀应适当调整(减少);电工应全面检查电机,避免缺相。仔细检查通风孔。如果有任何问题如堵塞,...
2020 - 03 - 07
真空泵维修可以让我们使用更长的时间。这个问题是让每个人分享在维修前了解进口真空泵的维修。以下是要点。  1、经常检查油位位置,不符合规定必须调整到符合要求。真空泵运行时,油位应以油标中心为准。  2、经常检查油情况,发现油变质应及时更换新油,以保证真空泵的正常工作。  3、换油周期应由用户根据实际使用情况和是否满足性能要求自行决定。对于一般的新型真空泵,建议在清除干净和干燥的气体时,每100小时左右更换一次真空泵油。在油中看不到黑色金属粉末后,可以适当延长换油期。  4.正常情况下,真空泵应在运行2000小时后进行大修,以检查橡胶密封的老化程度,检查排气阀片是否破裂,并清除沉积在阀片和排气阀座上的污垢。清洁真空泵室内的所有零件,如转子、转子、弹簧等。通常,它用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦干。清洁和组装时,小心轻放,小心轻放,避免碰撞。  5、有条件的对同一管道进行清洗,保证管道畅通。  6、重新组装后,应进行试运行。一般应运行2小时,换油两次。由于真空泵在清洗过程中会留有一定量的挥发性物质,正常运行后应投入正常运行。  7、检查真空泵管道和接头有无松动现象。用手转动真空泵,看看它是否灵活。  8、向轴承体添加轴承润滑油,观察油位应在油标中心线,润滑油应及时更换或补充。  9、拧开真空泵泵体的分水塞,倒入水(或浆液)。  10、关闭出口管的闸阀、出口压力表和入口真空计。 ...
2020 - 03 - 12
水环真空泵是一种广泛用于催化剂生产的气体输送设备。通常与带式过滤器(带式输送机)结合使用,利用自身形成的负压条件提取不凝、不溶于水、无颗粒的气体,达到真空过滤的目的。  1.设备的基本知识  1.1工作原理  水环真空泵属于变容真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内。当叶轮旋转时,注入水环泵体内的液体形成旋转液环、液环内表面,叶轮轮毂形成月牙形空间,相邻叶片之间的泵腔容积周期性地增大和减小,以达到吸入、压缩和排出的目的。  1.2设备结构  水环真空泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、配流盘、轴封、供水管道、自动排水阀等组成。  1.3主要绩效指标  主要参数包括:工作流体流量、排气体积、最大真空度、转速和功率。  1.4设备的用途  带过滤器的真空泵。  2.开始和停止步骤  2.1启动前的检查和准备  (1)准备必要的启动工具:阀钩、扳手等。  (2)检查泵各连接部分的螺丝是否拧紧,电机接地线是否完好,阀门是否灵活好用。  (3)通过供水管道向真空泵供水并冲洗,手动旋转转子,然后通过排水管道排放污水。  (4) 点试电机转向以确保正确转向。  2.2引导步骤  (1)打开进气门。  (2)当自动排水阀没有水流出时,启动电机和泵。同时,打开工作供水阀,使真空压力表的指针接近0兆帕(表压)。当泵的绝对吸入压力降低时,指针移动到负值(读数在0-0.003兆帕之间)。  (3)如果供水在轴封外部,...
2020 - 03 - 17
水环泵启动前,先给泵和进水管注水,水环泵运行后,在叶轮高速旋转产生的离心力的作用下,叶轮旋转路径中的水被甩出并压入蜗壳,叶轮的入口形成真空,水池中的水在外部大气压力下沿吸入管被吸入以补充该空间。然后,被吸入的水被叶轮通过蜗壳和进入出口管抛出。由此可以看出,如果离心泵的叶轮连续旋转,它会不断地吸收和挤压水,水会不断地从较低的部分上升到较高的部分或远离较高的部分。  一、水环泵不能输水原因分析  进水管和泵体内有空气  (1) 水环泵在启动前没有装满足够的水。水似乎已经从通气孔溢出,但是空气在没有旋转泵轴的情况下被完全排出,导致少量空气残留在进水管或泵体中。  (2)与水环泵接触进水管的水平段,相对于水流方向的下降斜率应大于0.5%,连接的水环泵的入口端应为最高,而不是完全水平。向上倾斜会保留进水管中的空气,降低水管和水环泵中的真空度,并影响吸水。  (3) 水环由于长期使用,泵的填料磨损或挤压过松,导致大量水从填料和泵轴轴套之间的间隙中喷出。因此,外部空气将从泵的内部流入这些间隙进入水环,影响水的提升。  (4)进水管长时间浸没,管壁因腐蚀出现孔洞,水环水泵工作后,水面不断下降。当这些孔从水面出现时,空气将从孔进入民进水管中流出。  (5)进水管弯头处的裂纹和进水管与水环泵之间的连接处的微小间隙可能导致空气进入进水管。  二、无法启动  首先,检查电源:连接器是否连接牢固;开关是否接...
2020 - 03 - 20
真空泵的维护对专业人员来说不是问题,但是许多专业人员在维护期间会有遗漏。今天小编我将告诉你真空泵维护中应该避免的五个常识性错误。  1、焊接泵体出口自冲洗管  真空泵的冲洗管一般采用正冲洗,即密封介质本身从泵入口通过冲洗管引入密封腔,冲洗密封端面。目的是带走机械密封摩擦副产生的热量,降低密封端面的温度,防止杂质和固体颗粒的沉积和气体滞留等。  由于冲洗管两端的接头密封垫和螺纹接头容易泄漏,有时冲洗液也会腐蚀波纹管的密封。维修时,冲洗管直接拆除,两端接头用电焊焊死。如果没有冲洗管,冲洗液会中断,介质中的杂质和颗粒会在密封腔周围积聚并粘附,摩擦副的工作条件逐渐变得复杂,最终导致摩擦副温度升高,缩短机械密封的使用寿命。  2、拆下波纹管密封导水套  波纹管型机械密封通常配有导水夹套。冷却水从直接位于压盖进入上方或斜上方的导水套外侧流出,通过挡板进入导水套和轴套腔,通过摩擦副,然后直接流出压盖下方。冷却水不仅可以冷却摩擦副,还可以防止密封腔内的液体泄漏。因为波纹管和轴套之间的间隙相对较小,所以在冷却水中形成的杂质和水垢倾向于积聚在波纹管的内表面上,这在严重的情况下可能导致冷却水通道堵塞。  为了减少疏通冷却水通道造成的麻烦,真空泵维护人员经常会处理故障,并随意拆卸导水套。结果,冷却水无阻碍地直接流出密封压盖,从而恶化摩擦副的表面冷却效果,由于过高的水温导致严重结垢。在严重情况下,波纹管密封...
2020 - 03 - 24
1、旋片真空泵不运行。如果情况未知,则无法先打开泵,以免加剧故障。可以和不能用手移动。  答:泵可以旋转而不会旋转。原因可能是耦合故障。皮带在打滑;电机接线错误;电机损坏;电源断电等  B.它无法转动或很重。原因可能是启动泵的温度太低,泵油的粘度太高。由于设计和制造原因造成的泵停止过多。  由于油位过高而停止泵并返回了过多的油(太多的燃料,泵中冷凝的水蒸气或冷凝在排水口气管中的水回流到泵中);泵中的异物(进入气管的焊渣,氧化物,来自泵零件的碎屑,例如旋转板簧);旋转叶片变形并卡住;癫痫发作(铜套,转子,中间壁,泵盖,定子,轴承)。  2、旋片真空泵温度过高。在低位排气门附近测得的最高油温超过了使用手册中指定的值。随着泵的温度升高,泵油的粘度将显着降低,并且泵油的饱和蒸气压将增加,这将增加泵的极限压力并降低泵送效率;容易使橡胶部件老化。热膨胀将使操作可靠。泵温度过高的原因可能是泵的环境温度过高,进气温度过高,进气冷却装置出现故障以及泵长时间连续运行以及介质压力太高水冷泵冷却水量不足,循环水设计效果不佳;水控制阀故障。  3、机油泄漏。它可能发生在轴封,油箱和泵零件的密封面,放油塞,油表,油孔隔板,定子零件和轴承的通孔连接,气镇阀(例如2X-8)等中。部分。可能是由于密封件老化,安装不当,损坏故障,表面不平整,杂质,粗糙度和铸件松动引起的。如果在停止泵后回油,则油将进入气镇阀。如果未关...
2020 - 03 - 27
真空系统就是指由机械泵、真空计及各种各样零件根据管路以适度的方法连接,组成能做到一定真空度规定的设备。真空系统的基础规定是都有哪些?  1.在被抽器件或工作中房间内得到需要的極限真空泵和工作中真空度。  极限真空度就是指器件在无漏放气时所做到的真空度,工作中真空度就是指在器件开展真空泵解决时能够保持的真空度。真空泵解决时通常要释放很多汽体,这时候的工作中真空度将明显地小于極限真空度。極限真空度和工作中真空度都有其必要性,他们从不一样侧边对器件品质造成危害。比如再用金属氧化物负极器件的排气管真空系统中,电10-2极除气和负极溶解会很多排气,假如工作中真空度差,则将会出現电级被氧化及负极激话较差的結果。但器件最终封离时已大部分无漏放气,器件内的真空度就在于排气管真空系统的極限真空度。  2.为得到某一工作中真空度需要的時间  这時间决策于真空系统抽速的尺寸。提升抽速可减少这一时间。大的个人工作室显而易见必须大的抽速。有时候个人工作室尽管并不大,但因为漏放气比较严重,则真空系统也必须大的抽速,不然很多的漏放气将大幅度降低真空度,使系统软件没法工作中。  3.在被抽器件或工作中房间内有适合的残气成份  实践经验,单纯性提升和确保極限真空度及工作中真空度是不足的,还解决残留汽体成份有一定的规定。比如真空泵拍摄器件,以便维持在一年使用寿命期限内敏感度的减少不超巧,规定器件内的残留汽体的氧气含量...
最新资讯 了解公司的最新活动及打折促销
2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
2018 - 06 - 06
真空干燥机系由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。真空干燥的过程就是将干燥物料置放在密闭的干燥室内,用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热,使物料内部的水分通过压力差或浓度扩散差到表面,水分子在物料表面获得足够的动能,在克服分子间的相互吸引力后,逃逸到真空室的低压空间,从而被真空泵抽走的过程。 真空泵是真空干燥最主要组成部份,那么真空干燥机的真空泵使用注意事项有哪些呢,我们就一起来了解吧!1、一般情况下,真空干燥机真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。2、有条件的对真空干燥机管中同样进行清理,确保管路畅通。3、检查真空干燥机真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。4、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。5、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。真空干燥机真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。6、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用...
2018 - 08 - 06
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者。以上都是德国SPECK品牌下的小型离心泵型号,还有高温离心泵型号参数如下面:德国SEPCK为百年老企业,泵产品畅销全球并得到广泛好评,深圳恒才是德国SPECK的华南总代理,专业生产销售真空泵、离心泵和机组等产品,为客户解决真空问题,提供技术方案,实现效益最大化!
2018 - 12 - 20
旋片真空泵是国内最常用到的真空泵,它广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门,特别食品的真空包装已经普遍都有用到,真空吸塑成形的塑料工业,纸张输印的刷行业送,真空夹具和吸附,医院的引水吸附等等。旋片真空泵的安装方法旋片真空泵安装前要细心浏览出品注明书,开箱后应审查装运品质。收好备品附件和技能文书,a.真空泵须安装在环境清洁,空气干燥的场所,室温应在 5—40℃之间,大泵必须用螺栓固定在坚固的水泥基础上。b.在拆开泵包装木箱前须检查木箱是否损坏,拆开木箱检查泵是否损坏,电动机是否损坏和受潮,如发生损坏和受潮现象,必须修复和干燥后,方可进行安装。c.泵吸气筒上部的吸气口处,出厂时已用金属压盖封好,安装时必须检查封口处是否损坏,泵体内有无杂物和污物,必要时要进行维护清理工作。d.泵和真空系统连接时,连接管道须内外清洁,在管道连接处,须用真空耐油橡胶垫密封。泵内严禁掉入异物。e.卸下防护罩及三角皮带用手转动泵皮带轮 2—3转,是否转动正常。接通电源前,必须检查电源电压、周波、相数是否符合电动机铭牌规定接通电源后,电动机转向与泵的转向应相同。将三角胶带防护罩装上。f.将油箱盖上的加油螺塞旋下,将真空油灌入油箱,油量到油标中线为止。在冬季室温过低时,油须加温到15℃后再行注入,油注入后将螺塞旋紧。泵在正常运转时,油箱内油面保持在 油位线上,不得超出。也采用从吸...
2019 - 04 - 10
水环式真空泵的主要应用优势原本旧式的真空输送泵显然在使用上有明显的缺陷,例如他只能在相对干净的空气质量中进行气体的输送和抽取,对于一些空气中含有相对质量的水蒸气,或者相对程度的凝结颗粒,或者一些有毒易燃易爆的气体,这些就使得真空输送泵就难以实现应用,那么此时水环式真空泵的应运而生,就符合了市场的需求迎合了市场的走向,并且它的主要应用优势也颇受大家肯定。 1.结构简单,方便使用一体化操控。 最新出现的水环式真空泵它可以实现带水吸气功能的满足,而且结构相对简单大家自己就可以组装进行使用,由于一体化的操控,所以使用起来更为方便。即便是没有经验的人也不用担心损坏输送泵,就可以实现真空环境真空容器的创设。相对而言这种方式更为安全,同时也大大提升了人们工作的效率。 2.在相对复杂的工作环境中工作更安全。 水环式,真空泵的出现,可以使得人们在相对特殊的空气环境中进行抽取和输送,例如在易燃易爆的气体中在有毒的气体中,或者在含有水蒸气的气体中,或者含有凝结颗粒的气体中都可以实现自由的真空环境的创设,在使用过程中不容易发生危险,对于工作人员而言也相对安全,目前这种机械设备已经广泛地应用于我国的药品食品冶金化工纺织皮革印染等多个行业领域,实现了广泛的使用。 由于这种水环式真空输送泵可以更好地满足恶劣工作条件下的需求,所以在很多的化工领域都实现了广泛的使用,并且也大大提高了使用人员的安全性,防止...
联系我们 专注机电设备多年
  • 服务热线:
    400-862-5533
  • 公司传真:
    0755-23062775
  • 总机电话:
    0755-23062776
  • 移动电话:
    13928410990
  • 总部地址:中国 · 深圳
    深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
  • 关注我们官方的微信

罗茨真空泵检修注意5大故障

日期: 2019-09-26
来源:
浏览次数: 61

  罗茨真空泵故障检修对于很多工厂来说都是麻烦事,有得工厂没有检修工人,要叫真空泵厂家检修,又比较麻烦,耽误的时间也是比较长.但是不检修出问题了影响工厂的进度.今天就给大家介绍罗茨真空泵故障检修的5个点.

罗茨真空泵

  一、罗茨真空泵极限压力达不到


  1. 管道系统漏气,系统检查即可。


  2. 泵体部分漏气,检查泵。


  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。


  4. 油封磨损,更换油封。


  5. 进气温度过高,影响极限压力。


  二、罗茨真空泵抽速不足


  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。


  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。


  三、罗茨真空泵电机过载


  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。


  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。


  11. 采用机械式自动调压旁通阀。


  12. 采用液力联轴器。


  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。


  四、罗茨真空泵泵体过热


  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。


  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。


  17. 转子与泵壳接触,检修。


  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。


  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

罗茨真空泵



  五、罗茨真空泵声音异常


  20. 装配不良,返修。


  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。


  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。


  24. 轴承磨损,更换轴承。


  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。


  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。


  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。


  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。


  六、泵油箱进气浮化


  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。


  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。


  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


推荐产品 / Products
深圳恒才机电真空排水系统专为江河湖泊工业低水位引水设计,核心优势1-3秒快速引水,依托负压技术与智能液位控制,瞬间排空管路气体形成真空,实现低水位工况下极速启动、高效提水 。系统搭载国际品牌核心部件,真空度可达-97kPa,可稳定提升9米以上水位,适配枯水期、低液位取水场景。具备密闭防渗漏、自清洁防淤积、无需地形坡度、管道铺设灵活等特点,适配工业取水、河道截污、园区低水位排水等应用,提供设计—安装—维保一站式服务,运行低噪节能,保障工业引水连续稳定 。
发布时间: 2025 - 12 - 17
深圳恒才晶圆减薄真空一体机是半导体加工领域的专业设备,搭载360度万向轮设计,移动灵活便捷;采用集成式过滤系统,真空处理效率与洁净度双高。设备机身集成智能操控面板,可视化监测与操作更直观,适配晶圆减薄工艺的真空需求,是半导体车间高效生产的核心配套设备。
发布时间: 2025 - 12 - 16
100号真空泵油 专用润滑油 旋片真空机油 包装机通用 100号真空泵专用油 合成透明 低蒸汽压 热稳定性强 适用于多种真空泵 规格齐全,100号真空泵油 高效润滑 抗氧化 抗泡沫 油水分离佳 密封润滑效果好 工业通用
发布时间: 2025 - 08 - 21
深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
联系我们
Contact
  • 扫描关注我们获取更多惊喜

Copyright ©2017 - 2021 深圳恒才机电设备有限公司 
犀牛云提供企业云服务
地址:深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
电话: 86 0755-23062776
传真: 86 0755-23062775
邮编:518000
  • 400-862-5533

    电话联系
  • 二维码

    扫一扫咨询
  • 查看产品视频

    扫码看产品视频
  • 查看公司动态

    扫码看公司动态

top

展开