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2022 - 01 - 24
爪式真空泵的出现及发展推动了真空泵技术的发展。相比于其他真空泵,无油真空泵设备在某些特定工业条件下更加适用,随着科技发展和真空泵要求的提高,能达到未来工业生产要求的真空设备越来越少,因此发展高性能的真空设备成为目前研究的重点和热点。目前厂商制造的真空泵多用润滑油实现减小摩擦,该方法很容易污染真空系统,尽管添加过滤装置可解决该问题,但这样就造成了真空泵制造成本的增加和后期维护的难度,这样也会导致真空泵的结构复杂,故障率升高,而且泵腔内环境被污染的问题并未得到妥善解决。爪型真空泵研制出来的时间比无油真空泵晚,无油真空泵由于无需油作为工作介质,而得到多个行业应用,但爪型真空泵的出现替代了一部分真空泵市场,爪型真空泵同样无需油或水作为工作液,干式运行,且结构简单、运行平稳、可靠性高、后期维护简单和清洁度高等一系列优点,让爪型真空泵成为了目前发展的热点方向。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,是深圳真空泵生产厂家之一,恒才机电拥有技术团队研发生产真空泵产品,所研发的真空泵(水环真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵)、真空系统、真空机组等产品广泛应用于食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,并为客户量身定制行业应用解决方案,更多真空泵方案,欢迎咨询。
2022 - 03 - 11
任何用户都希望自己购买的罗茨真空泵机组具有非常好且稳定的工作效率,要达到这一效果,就必须选择和使用质量好的机组,以在很大程度上保证设备令人满意的工作效率。但此外,还有一些因素会影响罗茨真空泵机组的工作效率,因此我们需要对此方面采取预防措施。那么目前哪些因素会影响其工作效率呢?  1.蒸汽压力由于低蒸汽压力和压力波动对罗茨真空泵机组的容量有很大影响,蒸汽压力不应低于所需的工作压力,但所用真空泵的结构设计已经确定,水环真空泵即使蒸汽压力过高,吸入容量和真空度也不会增加。此外,为了保证锅炉提供的蒸汽压力的稳定性,建议使用专用锅炉向蒸汽喷射泵提供工作蒸汽。确保真空泵机组性能稳定,防止蒸汽压力变化。  2.循环冷却水供应不足,冷凝器会发热,气流声会变大,真空度会迅速下降,甚至蒸汽会返回抽气管。冷凝液在多级罗茨真空泵机组中起着重要的作用,可以大量冷凝蒸汽。真空泵机组排放压力中的蒸汽分压必须高于其对应的全蒸汽压力,因此冷凝液温度应低于该压力下的旋片真空泵全温度,以保证泵体的正常运行。  3.喷嘴是影响罗茨真空泵机组性能的重要部件。存在喷嘴误差、安装变形、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏等问题。  罗茨真空泵在行业中应用广泛,罗茨泵的工作原理、性能特点与凸轮泵基本相同,主要差异在于其转子为罗茨型。罗茨真空泵主要是在泵中反转的两个转子,被一对同步齿轮带动,罗茨真空泵的转子在泵中啮合,但有间隙。  1、罗茨真空...
2022 - 04 - 27
罗茨真空泵真空度下降的处理 1罗茨泵内油路堵塞或不畅,泵腔内没有保留一定量的油。解决办法是检查罗茨真空泵的油路是否畅通,并添加同类型的真空泵油。2.罗茨真空泵轴封蒸汽供应中断。压盖压力调节气体失效。进入腺体系统的水等。而压盖系统的水应适当处理,严重时应制动。3.冷凝器水位高。这通常是因为凝结水泵运行异常或泵出现故障。此时,应启动备用泵,并停止故障泵进行维护。如果冷凝液的硬度水环真空泵很高,可以判断是冷凝器铜管泄漏造成的。此外,凝结水和循环操作不当也是此次故障的原因。4.空荡荡的系统并不紧张。该确认方法可使用蜡烛或专用检漏器来检测负压管道、阀门和冷凝器本体,并在发现泄漏点时及时消除。5.循环的水温太高了。循环水用于冷却罗茨真空泵的工作水。循环水的高温经常导致真空泵的泵送能力和效率降低。 如果罗茨真空泵的冷却水长时间留在泵体内,泵体内的部件将会损坏旋片真空泵,不仅密封性能会受到影响。如果泵长时间存放在露天或温度较低的地方,泵内的冷却水会冻结和膨胀,这很可能导致泵体膨胀和破裂,从而损坏设备。因此,在任何情况下,只要是一个长期不运作的罗茨真空泵,就必须这样做。这是泵维护的一个方面。只有这样,设备才能随时使用,用户才能免受损失。只要记住这一点,就不会对泵造成损坏。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤...
2022 - 05 - 27
新购买的旋片真空泵在使用前必须充分理解旋片真空泵的详细情况。不正确的操作方法,包括系统的连接、安装方法、启动、操作和其他注意事项,容易损坏真空泵。 旋片真空泵极限压力怎么测?1.旋片真空泵的极限压力测定,旋片真空泵的极限压力请使用压缩真空计直接在泵的吸入口测量。第一次使用泵后,长时间使用后,使用新的油后,关闭吸气口至少1小时后,旋片真空泵达到工作温度和泵,将油完全脱气,测量极限压力。 2.旋片真空泵的电气配线,水环真空泵旋片真空泵的电线必须由专业电工执行,使用适当的电机过载保护。单相220V50HZ真空泵必须确保电压在220V10%的范围内。电压低于220V时,必须安装交流电源调节器。请勿在低压和高压下长时间工作,以免电机损坏。旋片真空泵的三相异步电动机接线结束后,必须检查电动机的旋转。电动机的正确旋转方向是电动机轴的旋转方向从电动机的风扇侧逆时针旋转的方向。3.旋片真空泵的系统连接,旋片真空泵的吸气旋片真空泵管请切断为吸入口的尺寸以上尽可能短的尺寸,螺纹接头请采用真空密封。如果泵送的气体中含有灰尘,必须在泵的入口端安装灰尘过滤器。旋片真空泵是容积泵,通过旋转式在泵室连续运转,吸入气体进行压缩,最后从排气口排出。泵主要由定子、转子、旋转板等构成,转子偏心地组装在定子室中。转子槽有两张转子,转子之间放有转子弹簧。定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。转子在定子腔...
2022 - 06 - 27
目前的研究结果表明,阀芯式真空泵的主要振动是由泵阀体运动系统产生的不平衡惯性力引起的。目前,有几种解决不平衡惯性力的方法。一,使用动态平衡。通常,先进行分析和计算,然后再添加游丝摆轮,再在滑轮上添加重量和游丝摆轮,由此可以均衡地减小偏心轮和卷轴的惯性力。实罗茨真空泵践证明,这是一种有效的阻尼方法。二,也可以安装和安装机械减振装置。当然,该装置主要用于具有大吸引速度的高速泵和泵,例如使用泵基座安装防振橡胶。三、泵结构调整,实际类型可用于设计型、卧室和其他类型的泵。在实际应用中,水平结构具有紧凑、重心低的特点,有利于振动和噪音的减少。四、使用各种气缸的组合结构,当然气缸数量合理,配置应考虑到实际使用。深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等真空泵品牌合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。
2022 - 07 - 27
锂电池抽真空为什么不再选用旋片真空泵?爪式泵罗茨泵真空系统方案应用优势:1、其真空系统方案代替其他品牌300M3/h油旋片泵,更高效的锂电含电解液抽真空,其他品牌真空泵系统只能带3台锂电封装机,且维修概率较高2、阿特拉斯DZS150爪泵与ZRS500组合干泵系统可以带5台锂电封装机3、从设备价格对比,比250M3/h干式螺杆泵更划算4、爪式泵与罗茨泵机组非常适合锂电或其它含杂质蒸气等真空应用5、外配深圳恒才特制的真空除酸除雾罐DZS150爪式泵与ZRS500罗茨两泵组合机组,代替了油旋片真空泵使用,高效率,更节能,寿命长!深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,通过从设计选型安装调试维保等一站式服务, 为客户解决真空泵应用、真空工艺改善问题,恒才机电通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作,提供优质的真空泵、真空泵机组、真空泵系统方案等。
2022 - 09 - 07
通俗的讲就是:物体所受到的压强越大越难以汽化或升华,反之就越容易被汽化或升华。这里的难易就是指的是温度高低。实际应用高压锅煮饭,高压加氢反应,真空浓缩,真空干燥等都是利用沸点和压强的关系的应用实例。  真空概念:真空相对于1标准大气压而言,低于1标准大气压的叫做真空,它是相对于1标准大气压而言低多少的数值。通常我们习惯叫做真空度-0.098MPa是错误的,正确叫法是真空度0.098MPa,表压-0.098MPa。  绝对压力,体系压力相对于完全真空的压力。与真空的关系是绝压=1atm-真空度。  真空是如何产生的?  由制造真空的设备不断的将容器或设备内的气体抽出,使得容器或设备内部气体越来越稀薄,造成真空。当容器或设备内部有液体被汽化是,真空度、汽化速度和加热速度是一组动态的平衡关系,相互制约,相辅相成。    真空泵保养维护注意事项  真空度在空抽容器或设备内部低,处理程序。①检查所有的放空口都关闭好,所有阀门都已关好。②检查所有密封口的密封情况, ③检查水温是否过高或冷却水是否开启 ④检查滑阀泵润滑油是否清洁,油位是否正常。检查设备是否需要进行维护和保养。  容器或设备内部有物料,真空度越来越低。①检查放空口阀门是否完全关闭。②检查密封面是否密封好。③水温或润滑油变得很脏。④汽化量过大,导致真空度下降。有其它的系统在使用这个系统的真空。  冬天气温低于5℃时,需要安排将不使用...
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2020 - 10 - 30
螺杆真空泵是一种目前用途较多的泵体,其应用领域遍布各个行业,其中在塑料产品加工行业可作为挤出机除气装置、气体输送装置、气体抽取和压缩装置来使用,我们通过以下的资料来详细的了解一下这方面的知识:  挤出机除气加工过程中,热塑型塑料在挤出机内熔化,并在挤压器螺杆部分进行脱气处理。螺杆真空泵用来从熔化的物中抽出气体和蒸汽成分。抽出所有低分子物质,以获得理想的热塑型塑料质量,具有平滑外形、更高的强度、更好的绝缘性能和较低的气体产生速度。  定型台在挤出机内熔化和脱气的塑料材料进入定型台上的连续截面。典型截面有管材,门窗料、线槽和医用管材等。塑料材料被抽入塑模内。为了进行冷却和润滑,在塑模内侧和连续工作件之间形成一个水膜,由螺杆真空泵稳定的抽空空气。  发泡EPS泡塑生产中,首先采用螺杆真空泵将预膨胀聚苯乙烯颗粒吸入模具,然后利用蒸汽对其增压。最后进行聚合,并被发泡成泡塑制品。为了避免在这个过程中发生变形,对于大型制品件,很容易超过3到4分钟。制品必须进行冷却。在这些制品的发泡装置中采用真空泵冷却,以确保其不会变形,而且其中的水分很快得到蒸发。蒸发过程吸收制品热量,加快了冷却过程。  文中介绍了几种螺杆真空泵在塑料工业中的具体应用。使用这种泵可获得清洁的高真空和超高真空环境,因此不会影响加工出的塑料产品的质量,这是螺杆泵区别于其他真空泵的一个主要特征,同时也是许多行业选用它的原因。
2020 - 11 - 11
如今,各种真空泵的发展越来越受真空应用的影响。普通真空泵不能满足清洁,无油和耐腐蚀的要求。因此,近年来,螺杆真空泵市场需求很大,并且真空产品已经更新。在当今情况下,许多真空系统已被清洁的螺杆真空泵系统取代。那么在使用螺杆真空泵的时候需要注意哪些方面。  螺杆真空泵在2000工作小时后,必须进行检查。检查橡胶密封圈的老化程度,检查排气阀是否破裂,清洁沉积在阀和排气阀座上的污垢,清洁真空泵整个腔体内的零件,例如转子,旋转叶片,弹簧等通常用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦拭。清洁和组装时,请小心轻放,并注意不要撞伤  通常,当新的真空泵泵送干净的干燥气体时,建议在工作100小时后更换一次真空泵油。机油中没有发现黑色金属粉尘后,可以适当延长机油更换周期。  如果螺杆真空泵发出异常声音,请立即停止并检查原因。  在运行过程中,轴承温度不应超过环境温度35,最高温度不应超过80。  在寒冷的冬季使用螺杆真空泵时,在将其停止后,旋开泵体底部的放油螺塞,以排出介质并防止结冰和破裂。  螺杆真空泵工作时,每100小时更换一次润滑油,然后每500小时更换一次润滑油。
2020 - 11 - 24
真空泵一般的为机械真空泵,往复式真空泵、机械增压泵、油封机械泵、滑阀式真空泵、滑片式真空泵。真空泵油是针对水环真空泵,旋片真空泵等的性能要求专门调制的特种润滑油,应针对低、中、高真空的工作条件来选择相应的油品。  真空泵工作原理就不说了,说真空泵油。在真空泵设备运转时,转子上滑片或滑阀环贴着定子的内壁滑动,为了避免划伤,需要有物质来进行润滑。能滑动,说明定子和转子之间有间隙,为了避免空气的进入,需要有物质来进行密封。在高速旋转的转子和定子摩擦时会产生大量的热,需要有物质带走热量来降温。以上三点,是真空泵油的三大基本作用,润滑、密封、散热。  罗茨真空泵每次添加机油都须停车,影响生产。从结构中可以发现,同步导向齿轮箱与罗茨泵泵腔是通过内部的油封来密封的,罗茨泵运转后在泵腔内形成一定的真空度,齿轮箱与泵腔会产生压差,在压差的作用下润滑油会顺着油封进入泵腔,只有当齿轮箱与泵腔内的压力平衡时,润滑油才会停止进入。  随着罗茨真空泵长时间运转,齿轮箱的润滑油会逐渐被吸入泵腔内,显示油液低于标准液位,这时必须停机,从润滑油添加孔加注机油,否则齿轮箱内的润滑油会因大气与泵腔内产生的压差,迅速吸入到泵腔内。  针对这种情况,考虑采取连通齿轮箱与罗茨真空泵入口的方式来平衡压差,使泵腔与齿轮箱保持相同的真空度。在润滑油添加孔处安装一个特制的大型油杯,油杯为聚四氟乙烯车削而成,为避免因油杯孔泄漏导致真空...
2020 - 12 - 04
一、管道泄漏。有时管道会因为不同的原因泄漏。这个时候就需要找专业的人来检查一下是不是因为这个原因。如果是,迅速修复焊接,避免造成更多泄漏。  二、真空泵厂家告诉你,也可能是泵有内部泄漏,说明泵本身有问题。我们应该找出漏洞在哪里,然后焊接来修复漏洞。  三、真空泵供水温度高。当泵长期使用并连续运行时,这种现象很容易出现在设备本身。这时候需要紧急停车,让设备休息几分钟,降温。  四、另外,真空泵的真空压力是一样的。不同的是流量。如果力不够,简单的办法就是把吸盘做大。  五、如果吸附过程中漏气量大,应通过增加真空泵来增加流量;如果强度不够,就要加大吸附面积;如果吸附面积大时薄板变形,应该有多个吸附口。  那么今天的讲解就先到这里了,以上就是今天的全部内容,相信大家对真空泵吸力不足的原因及解决方法也了解了。如还想了解更多关于真空泵维修的相关问题咨询我们。
2020 - 12 - 16
在单作用水环真空泵的零件损坏中,轴的损坏占有很大的比例。泵轴的损坏包括弯曲、出现裂纹和折断。  水环真空泵轴损坏的原因及修理方法  泵轴弯曲的原因多半是由于袖的刚度不够,加之叶轮有较大的不平衡,运行时产生变形所致。轴的弯曲方向和大小可以用下述方法测量:  将轴平放在支承上,将两支承点(可以是泵轴中心孔,也可以是轴颈部位)调至等高,在轴上选择几个等距断面,在轴旋转一圈中用千分表分别测掀四个方向(即每周转动90°时测量一次)上的径向跳动,作好记录。根据此数据可以求得四个方向上的弯曲数值,用图解法可以找到最大弯曲的方向和大小,这样就可以进行矫直了。  泵轴的裂坟和折断的部位,往往发生于局部应力集中的地方,比如键槽边缘处、直径突变处等。损坏的原因往往由于振动促使疲劳破坏。  如果泵轴出现疲劳裂纹(即将折断的先兆),应及时予以更换。如果由于客观因素暂时无法更换而需继续使用时,临时的补救办法是对裂纹进行补焊。使用补焊后的泵轴时,要经常注意补焊区的变化,以免发生事故。  单作用水环真空泵在使用中,经常出现的故障是泵轴的折断(特别是较大气量的泵)。折断面一般都垂直于轴心线,十分整齐象刀切一样,整个断面大部分光滑并呈金属光泽,小部分较粗糙。显然,这就是疲劳破坏所致的断裂特征。  水环真空泵轴损坏的原因及修理方法。  导致疲劳破坏的主要原因是,由于泵轴在运转过程中,泵腔内气体对泵轴的作用力所...
2020 - 12 - 28
离心泵运行期间产生振动和噪声的常见原因如下:  1.离心泵底座不稳定或底脚螺栓松动解决方法:加固底座并拧紧螺栓。  2.叶轮损坏,部分堵塞或叶轮本身不平衡解决方案:修理或更换叶轮,清除碎屑或调整平衡测试。  3.滑动轴承的油环可能断裂或卡住解决方法:校正并拉直泵轴,修理或更换轴承。  4.单级离心泵的联轴器不是同心的解决方法:正确的同心度。  5.吸水管口的浸入深度不足或进水管密封不良水泵吸入空气解决方法:增加浸入深度并修复密封不良的地方。  6.如果发生汽蚀现象,解决方法:找到引起汽蚀现象的原因并进行处理。
2021 - 01 - 08
随着冬季温度的降低,很多场合的水环泵由于气温的原因停止使用,这个时候水环泵的检修和保养变得尤为重要,以下就由小编给大家分享一下冬季水环泵的维修和保养方法。  1.水环泵停用后,要放尽水环泵和管路内的剩水,并把外部泥土清洗干净,以免上冻后积水结冰把泵体和水管胀裂。  2.水环泵的底阀、弯管等铸铁件,应当用钢丝刷把铁锈刷净,然后先涂上防锈漆后再涂上油漆,待干燥后再放入机房或贮存室通风干燥的地方保存。  3.用皮带传动的,皮带卸下来后用温水清洗擦干后挂在干燥、没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使皮带沾上机油、柴油或汽油等油类物质,不要涂松香和其他粘性的物质。  4.检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。对不需要更换的可用汽油或煤油将轴承清洗干净,涂上黄油,重新装好。  5.检查水环泵的叶轮是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。若叶轮磨损太多或已打坏,一般应更换新叶轮。局部损坏可进行焊补,也可以用环氧树脂砂浆修补叶轮,修复后的叶轮一般应进行静平衡试验。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。  6.对弯曲或磨损严重的泵轴,应当修复或更换,否则会引起转子的不平衡和有关部件的磨损。  7.卸下来的螺丝浸泡在柴油里用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或黄油,重新安装起来或者用塑料布包好后放好...
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罗茨真空泵检修注意5大故障

日期: 2019-09-26
来源:
浏览次数: 63

  罗茨真空泵故障检修对于很多工厂来说都是麻烦事,有得工厂没有检修工人,要叫真空泵厂家检修,又比较麻烦,耽误的时间也是比较长.但是不检修出问题了影响工厂的进度.今天就给大家介绍罗茨真空泵故障检修的5个点.

罗茨真空泵

  一、罗茨真空泵极限压力达不到


  1. 管道系统漏气,系统检查即可。


  2. 泵体部分漏气,检查泵。


  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。


  4. 油封磨损,更换油封。


  5. 进气温度过高,影响极限压力。


  二、罗茨真空泵抽速不足


  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。


  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。


  三、罗茨真空泵电机过载


  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。


  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。


  11. 采用机械式自动调压旁通阀。


  12. 采用液力联轴器。


  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。


  四、罗茨真空泵泵体过热


  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。


  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。


  17. 转子与泵壳接触,检修。


  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。


  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

罗茨真空泵



  五、罗茨真空泵声音异常


  20. 装配不良,返修。


  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。


  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。


  24. 轴承磨损,更换轴承。


  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。


  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。


  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。


  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。


  六、泵油箱进气浮化


  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。


  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。


  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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