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2020 - 06 - 19
旋片真空泵主要由泵体、转子,旋片、端盖、弹簧等组成。一个转子偏心安装在旋片真空泵的腔内,转子的外圆与泵腔的内表面相切(两者之间有一个小间隙),两个带弹簧的旋转叶片安装在转子槽内。当转子旋转时,旋转叶片可沿其径向槽来回滑动,并始终与泵壳内壁接触。旋转叶片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵应注意哪些问题?让我们看看!  1、使用旋片真空泵前,确保泵清洁,防止泵内杂物进入。检查油位,以便在泵停止时将机油加注到机油标记的中心。过低不能将油密封到排气阀上,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。在运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔加入。加注后,应拧紧螺塞。应过滤油以防止异物进入堵塞油孔。根据油标准向刻度添加真空泵油。旋转三通阀,使泵的吸入管与大气相通,隔离真空容器,并打开排气口。  2.当环境温度过高时,油温将升高,粘度将降低,饱和蒸汽压将升高,这将导致极限真空降低,尤其是热电偶测得的全压力。  3.真空泵不应用于抽取氧气含量高、爆炸性和对金属腐蚀的气体。此外,吸入可能与泵油和含有大量水蒸气的气体发生反应的气体也是不合适的。  4.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时运行。  5.泵正常运行后,缓慢旋转三通阀,将泵的吸入管与抽空的容器连接起来,并将其与大气隔离。  6.用手转...
2020 - 06 - 23
螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员,出现于上世纪90年代前后,发展缓慢。 但是,作为理想的干式泵,螺杆真空泵问世后,得到了迅速的发展。 现在就来理解一下小编和基本知识吧!  一、螺杆真空泵特点  螺杆真空泵起源于螺杆式压缩机和螺杆式液体输送泵,是容积式真空泵中理想的干式真空泵。 由于能够清洁无油真空环境,对含有腐蚀性气体、凝缩性蒸汽、粉尘粒子的气体有很强的适应性,在电子半导体、制药、石油化学等清洁真空环境的要求严格、气体成分复杂的行业中,螺杆真空泵受到欢迎,是传统的油封机械泵、液体环泵的模型  螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相对运动,周期性地改变齿间容积来输送气体,实现抽出的目的。 这些特征包括:  1、清洁无油,多相混输,适应性广。 螺杆真空泵转子之间有严格的间隙,泵室内无油,能吸入腐蚀性气体、有毒及粉尘、凝结性蒸汽等复杂气体。  2、结构简单,动平衡好,可靠性高。 螺杆真空泵零件少,核心零件没有易损件,没有不平衡惯性力,运转可靠,寿命长。  3 .结构简单,零件少,操作、维护简单。  4、强制输送空气,能在大压力范围内保证大的吸引速度,排气量几乎不受排气压力的影响。  二、螺杆真空泵的结构  螺杆真空泵一般为双轴结构。 螺杆真空泵是经由一对非对称螺杆转子在泵室同步、高速反转,使齿间容积周期性地变化而产生进气和排气作用的排气设备。  其主要结构有螺杆转子、轴承、泵体、密封件等。...
2020 - 07 - 01
对于许多制造业来说,离开干燥加工技术是不可想象的,就好像冷藏货物、婴儿奶粉制造、研钵干燥、木材干燥和陶器干燥都必须有相对干燥的加工技术。就干燥加工技术而言,干式真空泵在这里起什么作用?让我们来看看以下内容:  干式真空泵用于进行干燥加工工艺,原料中所含的液体在减压作用下蒸发成蒸汽并抽出。与加热干燥相比,真空干燥机械设备更加方便、快捷、温和、节能环保。该制造工艺特别适用于化学产品、药品和食品行业的干燥加工工艺,以及其他过热可能导致产品损坏或下降的应用。  例如,在浓缩果汁生产或咖啡和水果低温干燥的整个过程中,干式真空泵有利于保持产品质量的一致性,并储存维生素等重要成分和味道。真空干燥机械和设备特别适用于干燥表面积很大的产品,如转化成再生颗粒或其他具有吸水能力的化合物。此外,机械泵也可用于干燥工业生产部件。  干式真空泵可以在非常潮湿的环境中运行,整个运行过程中没有切削液。由于不需要切削液,避免了生产和制造原料空气污染的可能性。这一特点可以考虑各种干燥加工工艺的要求,也是干燥加工工艺的合理选择。
2020 - 07 - 06
现在随着技术的发展,现在常见的真空泵中有几个主要是罗茨泵、回转泵、涡形泵和螺杆真空泵,螺杆泵在选定和使用时,有什么想法呢?今天,我们来看看无油螺杆泵的选定和价格。 螺杆真空泵的主要选定特征如下。  1、无油螺杆真空泵能在大气压下在短时间内抽真空到1pa (绝对压力状态)。 该真空泵的内部部分不仅能有效地实现真空单元的主要功能,还能节约能源消耗。 这种类型的真空泵比螺旋真空泵的功耗低。  2、无油螺杆真空泵能长时间运转,经常稳定,不受水温和提取物质的影响。  3、螺杆泵工作室内没有其他介质,不接触,能够有效地得到清洁的真空环境,不排出多馀的废油、废气等。 在螺杆泵的排气口设置常压下的冷凝器装置,能够有效地回收在真空环境下不能冷凝的溶剂,有效地提高溶剂回收率。  4 .低噪音、地震、低排气温度、易于使用的维护很方便。  5、可以灵活选择水冷还是空冷。  6、可应用于化工、医药行业、电子设备生产、干燥处理等各种行业。  以上就是关于螺杆真空泵的选型与价格介绍相关内容,更多内容请关注我们更新的信息。
2020 - 07 - 09
最近,一些用户报告说,水环真空机组很快就发现间隙增大,泄漏也很大。这是因为泵送气体中含有大量固体颗粒,固体颗粒与泵体之间的摩擦会极大地影响使用寿命。具体影响分析如下。  如果泵送的气体含有固体颗粒,一些颗粒将随气体排出泵外,而其他颗粒将不断在泵的间隙摩擦,导致间隙增大,导致泄漏增加,真空度和气体体积减小。因此,水环真空机组不适合泵送和压缩含有大量固体颗粒的气体,特别是那些具有较大颗粒尺寸和较高硬度的气体。  需要泵送含颗粒气体的解决方案:  如果不可避免,可以在气体进入水环真空机组前进行净化(如设置过滤网或增加真空缓冲罐等)。如果净化困难,泵送后应将机组中的颗粒清洗干净。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公司。联系电话400-8625533,手机13928410990。
2020 - 07 - 15
罗茨真空泵必须在完全的容积水平上工作,与旋片真空泵相比,罗茨真空泵没有内部压缩功能,能压缩排气压力。与旋片真空泵相比,与介质接触的所有组件都是无油的,适用于罗茨式真空泵的所有部件仍然适用于干式真空泵。  1.未达到极限压力,原因是配管.系统或泵部分漏气,前级泵的极限压力降低,润滑油水环真空泵的质量差,油封性差。维修方法是检查系统的泵,修理前段泵,更换润滑油和油封。  2.吸引速度低,原因是配管的通路能力低,前级泵的吸引速度低,需要增加配管的通路能力,修理和更换前级泵。  3.电机过载,可能是因为入口压力太高,转子端面与端盖的一面接触,来自前级泵的回油进入了罗茨茨真空泵旋片真空泵的泵室内。这需要调整压力.转子和防逆流油的设置。  4.在极限压力下工作,在极限压力下工作的状态下,真空泵的旋转速度很快,气体不会从壳体表面放出热。因为温度突然上升,转子和外壳的间隙变小,真空泵停止。否则,会导致真空泵变成真空。  检查一个造纸真空脱水系统的罗茨真空泵的选定是否适用罗茨真空泵的标准主要如下  1.呼吸力  2.动作点轴功率  3.电机功率  在选定罗茨真空泵时,吸引力满足生产线的工艺要求的情况下,可以尽可能减少洛茨真空泵的工作点的轴力,在罗茨真空泵消耗的轴力小的情况下,制浆造纸的生产成本进一步变小,马达的设置力也小的情况下,电配置成本也得到抑制。  深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,...
2020 - 07 - 20
配管的积水  由于水环真空泵与蒸汽冷凝器连通,另一方面,水环真空泵在运转中水蒸气分离设备上有工作的漏洞,因此配管内容易积存水蒸气。另一方面,如果停止水泵的运转,水蒸气凝结形成积水,因此随着积水的次数增加,水向真空泵内逆流,在短时间内形成大的电压,电动机容易烧损。  为了避免管道积水对马达造成的危害,应定期检查水环真空泵的使用情况,重点检查气管道是否有积水,如水环真空泵果发现的话,应立即进行清扫。为了防患于未然,为了改造水环真空泵的水分分离器,采用了具有更高耐磨损性和耐腐蚀性的钢材,或者加粗水分分离器的管筒的直径,能够在充分的空间内进行水分分离,从而大幅度减少水蒸气的堆积流,避免了积水故障。  运转动力不足,水环真空泵的实际运转动力不足,一般仅达到30%左右,最大不超过50%。工作效率低,影响生产效率。此类问题的原因主要是电机供电旋片真空泵不足,不能满足水泵正常工作的转速需要。另外,由于配管的积水、水环真空泵的供水量不足,叶轮和分配板之间的间隙无法良好地密封,动力下降。  产生轴向力的原因,因为吸排液口的压力不同,所以在不完全对称的叶轮两侧液体的压力不同,从而产生了轴向力。如果叶轮两侧的液体压力无视轴的截面积,也不考虑叶轮的旋转对压力分布的影响,则作用于叶轮的力是轮盘受到的力和轮盖受到的力的差,转化计罗茨真空泵算式是出口压力和入口压力的差和叶轮盖的面积的积,出口压力为。  轴力引起的...
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2020 - 03 - 21
无油真空泵的原理及选择要求  无油真空泵是一种无需任何油润滑就能工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作方便、维护方便、不污染环境的优点。无油真空泵耐久性好,是一种抽真空、压缩两用的真空泵,是获得真空的基础设备,应用范围非常广泛。  无油真空泵与普通容积泵相同,由定子、转子、转子、气缸、电机等主要部件组成。带旋片的转子偏心安装在固定气缸内。当转子高速旋转时,转子槽中的四个径向滑动旋片将泵室分成四个工作室。由于离心力的作用,旋片紧紧地附着在气缸壁上,将定子的入口和出口隔开。定子循环工作,改变体积,从排气口排出吸入的气体,从而达到抽气的目的。  无油真空泵的工作原理之一是当体积大时吸入空气,当体积小(压力变大)时排出空气。容积变化是通过移动机械零件来实现的,要求小间隙和高精度,如爪式泵。  另一种是依靠非常高的机械转速,通过定向冲击将空气分子带走,如分子泵。第三种是低温泵,几乎所有的空气分子都被冻结并困在接近零度的冷表面上。  无油真空泵的选择  与油泵相比,无油真空泵真空度低,泵送能力小,但体积小,安装容易,维护简单,移动方便,不产生油烟,不污染环境,特别适合要求较高的实验室使用。它也是实验室中最常规的设备之一。  因此,在购买无油真空泵时,必须首先确定所需的真空度。如果要求高,所选真空泵应高于要求的真空度。否则不符合抽真空要求,也不符合工作要求。其次,在选择型号时,无油真空泵的抽油率...
2020 - 03 - 25
水环真空泵因不同原因漏水,其处理方法也不同。不同情况造成的漏水,应根据实际情况选择合适的方法解决。那么水环真空泵漏水的处理方法是什么?  1.正在操作的机器漏水  如果发现工作机器漏水,不得立即停止工作。应保持最低稳定转速。同时,应在排放水以冷却发动机的同时,向冷却系统的内边缘添加水。发动机应在短时间内缓慢行驶,然后开到附近的掩蔽处进行拆卸。  2.真空泵外壳突然破裂导致漏水  如果因真空泵外壳突然破裂或内部零件损坏而导致漏水,并丧失抽水功能,可酌情更换相关零件,以消除故障。  3.泵本身损坏严重。  如果泵损坏严重,且途中没有维修条件,不锈钢真空泵的进出口管可以直接连接,充分利用冷热水的自然循环,暂时维持发动机的正常温度。或者用一个内管或桶作为容器将其牢固地固定,然后从容器中抽出两根橡胶管,其中一根连接到发动机的进水口,另一根连接到发动机的出水口,两根管子的另一端插入容器中,橡胶管应牢固地固定。  4、只有泵壳开裂和漏水  如果水环真空泵外壳有裂纹和漏水,可以清洁裂纹,然后用粘合剂修补。在紧急情况下,可将鸡蛋清加水泥混合成粘性物质,涂抹在裂缝上,固化几分钟后即可使用。  如果水环真空泵的水封因密封不严而轻微漏水,但磨损不太严重,可以在玻璃板或平板上铺上砂布,水封的密封面可以磨平。胶木水封也可以翻转和重复使用。然而,应该注意的是,水盖和泵体之间的接触面应该研磨以确保其密封性能。  ...
2020 - 03 - 30
水环真空泵机组在长时间的使用下,会使得设备散发出热量,如果在一定时间内散发的热量过多就会使设备受到一定的损坏,因此这时候我们就需要有一定的处理措施,那么今天我们就为大家讲解下关于冷却的四大处理方法。  1、转子的油膜冷却  这种冷却方法是在水环真空泵机组入口处连接一个输油管,用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。  2、空气冷却  所谓湿式真空泵,即是由间级或双级泵吸入的空气经压缩后,通过综合吸收及有相位差的组合消音器传送。  3、水冷却  水环真空泵机组由于输送和压缩气体而产生热量,这些热量须从转子传至壳体而散发。  4、转子的内部冷却  为了使水环真空泵机组在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。
2020 - 04 - 03
选用真空系统在粮食加工机械中的运用,主要是利用真空系统真空包装的基本塬理,根据真空干燥设备、真空泵预浸、真空泵煎炸、真空包装袋等全过程开展农产品加工,以提升农产品加工的生产率、农产品加工质量及其增加农业产品储藏时间等。粮食加工机械指把各种农产品加工成供立即消费的成品、生产制造用的种子和化工塬料的工业设备。理论的农产品加工机械设备还包含生产加工各种各样畜禽、林产品和海产品的机械设备和机器设备。  德国真空系统在粮食加工机械中的运用,有什么作用呢?  1.提升生产率  根据真空系统,可合理提升粮食生产加工的生产率。在真空干燥设备中,将粮食放置真空泵情况下,利用其所水分含量熔点低的特性来开展干躁,加速了粮食的干躁速度。  2.提升生产加工质量  根据真空系统,可进一步提高粮食生产加工的生产加工质量。如在真空泵情况下干躁农业产品,等于冷冻干燥,可防止在高温下对营养元素的毁坏,防止粮食中人体脂肪的空气氧化机遇、黑色素褐变或别的空气氧化霉变等。真空泵煎炸时,具备油炸温度低、营养元素损害少、粮食彭化实际效果显着、防止植物油脂化学作用等优势。  3.增加粮食储藏时间  根据真空系统,可适度增加农业产品的储藏时间。如选用真空包装袋,是在真空泵情况下进行对农业产品的包装全过程。其包装全过程是先将粮食装进密封性器皿后,在器皿密封以前真空包装,使密封性后的器皿内基础没有气体.历经包装后的农业产品,可避免空...
2020 - 04 - 07
水环式真空泵的原理大家都了解,是气体由管途经闸阀进到水环泵或制冷压缩机,随后经导气弯头排进气液分离器中,经气液分离器排汽管排出来。水环式真空泵应用制造行业普遍,如电子器件、充电电池化工厂、塑料、造纸工业、印刷包装、路线版压合、CNC、塬油、制药业、食品类等各制造行业中,关键加工工艺有真空过虑、真空引水渠、真空给料、真空挥发、真空萃取、真空反潮和真空除气这些,那么选购水环式真空泵的情况下应当留意什么难题呢?下边小结了8点不容忽视的关键主要参数:  1、水环式真空泵在其工作中压强下,应能排出去真空设备加工工艺全过程中造成的所有气体量。  2、对于被抽气体挑选相对的水环真空泵。如气体中带有蒸气、颗粒物、及腐蚀气体,应考虑到在泵的进气口路安装辅助机器设备,如冷却器、除尘设备等。  3、水环式真空泵的工作中压强应当考虑真空设备的极限真空及工作中压强规定。一般 挑选泵的极限真空度要高过真空设备工作中真空度一个半到一个量级。  4、水环式真空泵工作中时造成的震动对加工工艺全过程及自然环境有没有危害,若加工工艺全过程不允许,应挑选无震动的真空泵或是采用防震对策。  5、真空设备对油环境污染的规定。若机器设备严格管理无油渍时,应取各种各样无油泵。假如规定不严苛,能够挑选有油泵,再加一些抗油环境污染对策。  6、水环式真空泵清除的油蒸气对自然环境的危害。假如自然环境不允许有环境污染,能够选无油水环式真...
2020 - 04 - 10
真空泵有可选择性抽真空,因此,有时候采用一种泵不可以考虑抽真空规定,必须几类泵组成起來,相互之间填补才可以考虑抽真空规定。如钛升化泵对氢有很高的泵效,但不可以抽氦,而三极型无心插柳离子泵,(或二极型非对称加密负极无心插柳离子泵)对氩有一定的泵效,二者组成起來,便会使真空泵装置获得不错的真空值。  真空泵高溫缘故:工作转速低,气压,排风量小。电机输出功率大,工作中电流量大,热值大。风机叶轮数较少,造成的排风量小。真空泵电机所属母相电压380V,因为电缆线压力降及负载分派不匀,电机具体所加工作电压只能369V,工作电压稍低导致运作电流量大。电机附带尘土、油渍,减少了热管散热能力。  解决方案:电机输出功率、转速比是和真空泵相符合的,不可以变更。散热风扇安裝于电机主轴轴承上,电机转速比决策了工作转速,也不能拆换。提升风机叶轮总数虽能具有一定功效,但叶子总数提升后,转子动平衡不易找,如找正不太好,会造成电机震动提升。将原散热风扇罩加長40cm,在里面改装一个与散热风扇罩同直徑轴流风机,轴流风机电机输出功率850W,转速比1489r/min,工作电压380V。原散热风扇再次保存。轴流风机服装学校另设一路开关电源操纵,轴流风机与主电机不设连锁加盟。真空泵起动后立即起动轴流风机运作,真空泵停止运营后30min停止运营轴流风机,令其主电机获得充足制冷;按时消除电机上尘土,维持电机散热器清理,提升其...
2020 - 04 - 13
针对医疗事业,针对医院门诊和医疗机构而言,配置一套可以信赖的机器设备尤为重要。真空泵为医疗事业出示了效率高的解决方法。进口真空泵在医疗机械中的运用关键有:蒸气杀菌、吸气设备、气褥、防护衣、口腔治疗仪、中央系统超滤装置等。真空泵高新科技主打产品的真空泵商品关键有进口真空泵、罗次真空泵、干试挤出机螺杆真空泵、无油进口真空泵、无油活塞杆真空泵及超滤装置,接下去我们来聊一聊进口真空泵在医疗事业上的运用。  伴随着真空设备在生产制造和科研行业中对其运用气体压强范畴的规定愈来愈宽,大多数必须由几类真空泵构成真空泵抽真空系统软件相互抽真空后才可以考虑生产制造和科研过程的规定,因为真空泵运用单位所涉及到的压力的范畴很宽,因而一切一种种类的真空泵都不太可能彻底适用全部的压力范畴,只有依据不一样的压力范畴和不一样的工作标准,应用不一样种类的真空泵。  进口真空泵在医疗事业上的运用  选用进口真空泵冷干人血液刚开始进到销售市场,以后的几十年内,选用真空泵冷干式长期性储存主动脉、人体骨骼、肌肤、眼角膜和神经组织等各种各样人体器官的工作中慢慢进行起来。由于冷干时能够维持生物细胞不被毁坏,冷干后植物体依然具备活力。复水后,植物体能够复生再植。伴随着医药学科学研究的发展趋势,身体的其他的人体器官也有望冷干存储,便于复生再植。  真空干燥是根据液体在真空泵标准下的烧开温度,即液体即便在超低温下也会挥发的物理学特点...
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罗茨真空泵检修注意5大故障

日期: 2019-09-26
来源:
浏览次数: 61

  罗茨真空泵故障检修对于很多工厂来说都是麻烦事,有得工厂没有检修工人,要叫真空泵厂家检修,又比较麻烦,耽误的时间也是比较长.但是不检修出问题了影响工厂的进度.今天就给大家介绍罗茨真空泵故障检修的5个点.

罗茨真空泵

  一、罗茨真空泵极限压力达不到


  1. 管道系统漏气,系统检查即可。


  2. 泵体部分漏气,检查泵。


  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。


  4. 油封磨损,更换油封。


  5. 进气温度过高,影响极限压力。


  二、罗茨真空泵抽速不足


  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。


  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。


  三、罗茨真空泵电机过载


  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。


  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。


  11. 采用机械式自动调压旁通阀。


  12. 采用液力联轴器。


  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。


  四、罗茨真空泵泵体过热


  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。


  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。


  17. 转子与泵壳接触,检修。


  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。


  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

罗茨真空泵



  五、罗茨真空泵声音异常


  20. 装配不良,返修。


  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。


  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。


  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。


  24. 轴承磨损,更换轴承。


  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。


  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。


  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。


  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。


  六、泵油箱进气浮化


  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。


  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。


  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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