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2020 - 11 - 24
现在罗茨真空泵主要用于真空冶炼、真空焊接、真空浇铸、真空喷漆、真空干燥、真空动力实验以及化工制药、电真空器件制造等罗茨真空泵所能达到的真空范围内的各种真空处理。罗茨真空泵最大的优点就是在较低入口压强下具有较高的抽气速率,且能达到相对高的极限真空。真空泵配件为用于真空泵噪声治理的,真空泵消音器。罗茨泵得到这么广泛的应用,对于它的操作方法大家更应该熟记于心,下面我们再来看看它的正确操作方法,大家可一定要记住啦!  一、准备工作  1、操做人员一定要熟读产品使用说明书。  2、在产品使用前确保在产品没有因长时间放置由环境因素导致产品产生的因素。  3、在工作中如发现异常声响和振动时应停机排查。  4、电气设备外壳必须接地或接零。  二、启动前的准备工作  1.打开冷却水进水阀,检查冷却水是否顺畅。  2.外伸轴封空腔及油杯内满润滑油,齿轮箱及轴承箱内的润滑油加至油窗直径的2/3到3/4高度,润滑油用1号真空油。  3.在以下条件下使用时,必须采取相应的措施:  a.吸入气体中有粉尘或颗粒时,应在吸气口前安装除尘器或过滤器。  b.吸入气体如果具有腐蚀性,必须采取中和措施。  c.吸入气体中含有水蒸气,而选用的前级泵又是油封式机械泵时,此前级泵应该带有气镇装置,水蒸气过多时,必须安装冷凝器。  三、启动程序  1.启动前级泵  2.打开前级泵预抽旁通管道上的阀门和罗茨泵进气管道上的阀门。 ...
2020 - 12 - 04
真空泵大家可能都听说过,但并不是很了解,甚至有的人都不清楚真空泵是什么,真空泵的工作高效、稳定,真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。那么接下来真空泵厂家带大家了解一下真空泵的用途。  一、真空泵可广泛运用于石油化工设备、制药、食品加工、能源和冶金生产制造行业。真空泵可以抽酸性气体,如四氢呋喃;另外真空。该泵还能够提取易燃易爆气体,如氧气、氢气和甲烷。真空泵可用以蒸发、精馏、过滤、真空干燥等领域。就食品类加工业而言,真空泵还可用以升华、干燥、脱水等。同时,它还广泛运用于真空蒸发、真空干燥和真空保鲜。  二、与别的机械真空泵对比,循环水真空泵的结构更简易,生产制造上几乎没有什么要求。但循环水真空泵效率低,真空度低。对于真空泵在食品加工行业的应用,循环水真空泵可以给包装袋充气,添加食品类,通过抽真空打开包装,运输包装材料和产品。除此之外,循环水真空泵普遍用以干燥、蒸发、蒸馏、结晶和物料输送。  三、小型真空泵广泛运用于日常生活中,小型真空泵普遍用以气体或液体分析设备应用,如PM2.5空气指数检测、3D打印机、医疗设备和医疗保健。  四、真空泵还可以用以汽车工业,真空泵利用负压增加驱动力。真空泵的主要参数包括:真空罐的容积和不同速度下的真空度形式,以及不同时间的转速、油压、油温。普旭真空泵厂家浅谈真空泵的用途告诉你,当转速为零时,真空泵根据...
2020 - 12 - 16
真空泵对我们来说已经不陌生,在使用的时候,有时会出现磨损的情况,真空泵磨损原因是什么呢?  一、真空泵磨损的原因  真空泵的轴颈表面的磨损是不均匀的,主轴颈与连杆轴颈的径向磨损主要呈椭圆形,且真空泵的最大磨损部位相互对应,即各主轴颈的最大磨损处靠近连杆轴颈一侧;而连杆轴颈的最大磨损处也是靠近主轴颈一侧。曲轴轴颈沿轴向还有锥形磨损。轴颈的椭圆形磨损是由于作用于轴颈上的力沿圆周方向分布不均匀引起。  发动机工作时,连杆轴颈所受的综合作用力始终作用在连杆轴颈的内侧,方向沿曲轴半径向外,造成连杆轴颈内侧磨损最大,形成椭圆形。连杆轴颈产生锥形磨损的原因是由于通向连杆轴颈的油道是倾斜的,当真空泵回转时,在离心力的作用下,润滑油中的机械杂质偏积在连杆轴颈的一侧,加速了该侧轴颈的磨损,使连杆轴颈的磨损呈锥形。  此外,连杆弯曲,气缸中心线与真空泵中心线不垂直等原因,都会使轴颈沿轴向受力不均,而使磨损偏斜。主轴颈的磨损呈椭圆形,主要是由于受到连杆、连杆轴颈及曲柄臂离心力的影响,使靠近连杆轴颈的一侧与轴承产生的相对磨损较大。此外,轴颈表面还可能出现擦伤与烧伤。擦伤主要是由于机油不清洁,其中较大的坚硬机械杂质在轴颈表面刻划引起的。轴颈表面的烧伤是由于烧瓦引起的,烧瓦主要是由于润滑不足、机油过稀、油路阻塞等原因造成的。  二、解决磨损的办法  传统的方法主要以补焊和刷镀喷涂为主,但是这两种方法都不能从根本...
2020 - 12 - 28
离心泵的运行中应注意哪些问题?  1)检查仪器是否工作正常且稳定。电流表读数不允许超过电机额定电流。如果电流太大或太小,应及时停止检查。  2)检查流量,以查看仪表读数是否正常。您还可以查看水管中的水流量来估算流量。  3)检查轴封装置是否热以及带填料密封的单级离心泵是否正常泄漏。滴水应为滴水形式,滴水速度为30-605滴/分钟。滴落情况反映了填料的压缩程度,可以调节填料压盖螺栓以控制操作期间的滴落量。  4)检查离心管道泵电机轴承的温升。通常,轴承的温升不应超过周围环境的35C,轴承的高温不应超过75C。如果没有温度计,也可以用手触摸。如果感觉很热,则应停止机器进行检查。  5)经常检查离心泵是否有振动和噪音。如果太大,请将其关闭以进行检查。  6)油环必须与泵轴异步地自由旋转。  7)记录水位,主电流,电压,功率因数,功耗,温度等技术数据,并定期进行分析,为管理水电提供科学依据。  8)严格执行岗位责任制和安全操作规程。
2021 - 01 - 08
水环泵结冰是常有的事,尤其是北方的地区,一到冬天就容易结冰,针对这种情况我们总结了以下几点措施对水环泵就行维护。以下六条为冬季水环泵注意事项。要多多维护以防冻裂水环泵,缩短水环泵的使用寿命。  1、将水环泵内的水排空,使用时再加水。防止水环泵结冰冻裂水环泵。  2、如果水环泵结冰,使用热水或者开水倒入水环泵内化冰。或者加热水环泵外壳。  3、使用井下泵。将水环泵放入井下,一般井下水环泵离地面深,不会结冰。  4、采用保温型水……将保温层加入蒸汽或者热——以防水环泵结冰。  5、 采用非自吸离心泵。使用时,加入水即可。  6、将泵置于一个常温环境。零度即可。
2021 - 01 - 27
随着各种产品的质量要求和保证,涉及到真空的行业也越来越广泛,而真空机组的应用行业有哪些,你知道吗?深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等,为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点,真空机组以水放射真空泵为真空产生元件,并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置,与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比,在坚持原系统特性的基础上,在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲,真空机组的应用行业有哪些?真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中,不同设备应用不同真空机组,不同品牌真空机组也影响着工作效率,深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009),同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商,如需了解更多真空泵相关信息,欢迎直接来电或是在线咨询客服,将竭诚为您服务。
2021 - 03 - 06
为了能更好地选择和使用真空泵,我们总结了以下注意事项,以便您可以选择合适的产品。根据实际使用情况,应注意以下几点:  1.真空泵产生的振动是否会对过程和环境造成影响。如果该过程不支持,则应选择无振动的泵或采取一系列的防振措施。  2.了解要泵送的气体的成分,气体中是否有灰尘颗粒,是否具有腐蚀性等。选择真空泵时,您需要了解气体的组成,并且需要为要泵送的气体选择相应的泵。如果气体中包含蒸汽,颗粒和腐蚀性气体,则应考虑在泵的进气管中安装辅助设备。  3.在其工作压力下,真空泵可以从真空设备中抽出过程中产生的所有气体。  4.正确组合真空泵。有时选择的泵类型不能满足泵送要求。由于真空泵是有选择地泵送的,因此需要相互补充的各种泵组合才能满足泵送要求。如果钛升华泵的抽氢速度快,但不能抽氦气,则三极溅射离子泵(或两极非对称溅射离子泵)对氩气的抽出速度一定。两种组合将使真空设备获得相应的真空度。  5.真空设备对碳氢化合物污染的要求。如果设备明确要求无油,则应使用各种无油泵,例如水环泵,分子筛吸附泵,阴极离子泵,低温泵等。如果要求不严格,则可以安装油泵。除了一些预防碳氢化合物污染的措施外,还进行了选择。  6.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定范围的工作压力。因此,泵的工作点应在此范围内选择,而不是允许其在2530mmHg以下长时间运行。  7.真空泵排出的油蒸气如何影响环境?如果环境不允许污...
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2019 - 08 - 30
芳烃萃取装置不仅可以降低汽油中的苯含量,提高汽油质量,保护人类赖以生存的环境;更重要的是,它可以提供高纯度的基本原料,为满足日益增长的石化工业和化学纤维工业的需求,通过非芳烃产品的提取,也可以作为生产优质溶剂油的原料。介绍干式螺杆真空泵在芳烃萃取过程中的应用。芳烃萃取装置中的回收塔是生产芳烃产物和回收溶剂的重要单元。由于溶剂降解温度的限制,回收塔通常设计成在负压环境下操作。在传统的芳烃工艺包装中,回收塔的真空系统主要由蒸汽喷射泵实现,蒸汽喷射泵在生产中消耗大量的水并产生大量的污水,容易造成环境污染。近年来,随着石化行业设备水平的提高和国家对节能减排的重视,干式真空系统逐渐取代了传统的湿式系统。干式真空泵系统和工艺蒸汽不会相互污染,并且在通过干式螺杆真空泵压缩和增压后,工艺蒸汽可以直接从废气处理系统中除去。推荐用于芳烃萃取设备主要应用的真空解决方案是干式真空泵真空吸尘。为什么选择干式螺杆真空泵?它的性能特征是什么?干式螺杆真空泵的性能特点1.工作室内没有介质,可以获得清洁的真空。2.工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层,可适应恶劣的工作环境。3,气体不在泵内压缩,适合抽取可冷凝气体.4,单个泵可以从大气压泵送到1Pa,真空系统可以大大简化。5.水温对真空几乎没有影响,节约90%以上的水,甚至不用水。6,无油耗,不滴水7.旋转部件之间无摩擦,高速运转,体积小.8.结构简单,维护方便。9,泵...
2019 - 09 - 05
干式真空泵根据电磁能量运行。为了实现每个人的规定,制造商的产品开发了各种供电系统方法。以下是电源系统和机器设备底压的简要介绍:一,抽底压螺杆机械泵,两个内部挤出机螺杆,在一次工作中,蒸汽体由挤出机螺杆促进,出风口从进气口推出并连续推动。二,供电系统方法1,蓄电池(1)蓄电池是电池的总称。由于基本原理与干电池不同,它可以显示大量的电流和输出功率。因此,它用于电池车辆,小型车辆等,移动车辆,农用车辆,喷雾器,郊区取样等。位置都能够向供电系统供应机械和设备。(2)普通干电池内阻大,电流本身很小,大部分工作电压消耗内阻。因此,工作电压迅速降低,从输出功率和施加时间的观点来看是合适的供电系统。2,干式真空泵因为提取的物质是“水或液体”(1)特性占很大比例,微型真空泵,SF等的工作物质是“蒸气”,比重最轻,因此工作中的电流量通常大于前者,约为1到10安培。(2)前一工作中的电流量通常不大,从几百mAh到几个不同的水平。为了正确操作干式真空泵,必须保证正常运行,掌握机器和设备的供电系统方法,便于今后应用的选择,掌握底压泵送方法,方便解决将来的问题。此外,通常维护是必不可少的。深圳恒才机电设备有限公司以“诚”为本, 持之以“恒”,赋之以“才”,以我们的专业和专注来忠诚地服务每一个客户, 提供给客户持续和稳定的干式真空泵解决方案,带给客户良好的干式真空泵体验, 是我们“恒才”的职责。
2019 - 09 - 11
1.真空泵油封性能真空泵油需求具有合适的粘度。在低温下,真空泵可以快速启动。在高温下,真空泵油可以具有良好的密封性能。真空泵油的泵温度较低。上升。不含轻质挥发性成分,降低了真空泵在运行过程中的回收率。  2,真空泵油的饱和蒸汽压力饱和蒸气压是真空泵油的关键指标之一。在恒温密闭容器中,蒸汽和液相达到动态平衡的压力称为饱和蒸气压。 油的饱和蒸气压应尽可能低。在泵的高工作温度下,它仍应具有足够低的饱和蒸气压并且低于真空泵的极限压力。在60℃的温度下,它必须达到至少6.5×10 -5 kPa(温度每升高20℃,饱和蒸气压下降约一个数量级)。  3,真空泵油的最终全压和最终分压最终全压力由皮拉尼仪表或热电偶真空计测量的真空泵材料(气体)产生的压力之和。外国目前正在关注全面压力的测试指标。 最终分压:由水银压缩真空计(Mcometer)测量的泵的极限空气分压,两级旋片泵的分压应≤6×10-5kPa。极限全压力和极限分压差请求不超过一个数量级。两者之间的差异越大,真空泵油中含有的挥发性成分越多,油的性质越差。 (注:最终全压和极限分压均由两级高级真空泵停止) 4,真空泵油的平滑度摩擦表面的摩擦磨损,表面的疲劳和磨损,腐蚀和磨损等。两者都与平滑条件有关。真空泵油的优异性能有利于抑制腐蚀和磨损;它可以...
2019 - 09 - 18
牧场目前常用的真空泵主要有2 种:旋片式真空泵、罗茨真空泵.今天我们就来说一下罗茨真空泵.罗茨真空泵优点:可以长时间操作运行,抽气能力强,维护保养少、可靠性高、无需油的润滑和密封(只需要齿轮箱油)、无任何污染缺点:价格相对较高,维修比较复杂适用牧场:罗茨真空泵是重型真空供给设备,应用于大型挤奶设备罗茨真空泵如何正确维护保养?每运行500 小时需要进行的维护工作a.需要检查皮带张紧度,不能超过6 mm,并校正真空泵与电机的皮带在一条水平线上。b.检查真空泵的齿轮箱油位是否在视液镜中间刻度。c.给罗茨真空泵轴承端打高温润滑脂。每运行1 000 小时需要进行的维护工作a.执行500 小时维护工作。b.清洗罗茨真空泵泵头,最好是在挤奶前,利用真空泵运转产生的热量除去水汽,清洗需要4 L水,碱性或者酸性清洗剂需要32 mL,冲洗完后立即用清水冲洗,一般情况是连续2次碱清洗后用1次酸清洗。c.测试真空泵的抽气量(在真空度为50 kPa时)和真空泵的背压(不超过5 kPa)。每运行4000 小时需要进行的维护工作a.执行500 小时和1000 小时维护工作。b.更换泵头齿轮箱内的润滑油,重新添加润滑油到视液镜中心位置。c.检查皮带情况,必要时更换,并收紧皮带,压紧和拉伸皮带不超过6 mm。罗茨真空泵常见的故障分析抽气能力下降a.加入不正确的润滑油致使泵内磨损,直至泵损坏。需更换添加厂家推荐的润滑...
2019 - 10 - 21
水环真空泵机组的工作原理是什么  防腐蚀型水环真空装置由真空泵(也称为机械增压泵)作为主泵(包括中间泵)组成,而水环泵是以前的泵自称机组。该产品具有很高的极限真空度(一级)。 极限真空度高达150Pa,级别极限真空度高达25Pa,3级极限真空度高达1Pa)。  当然,工业泵还可以定制非标准多级成套设备,以适应更高的应用领域,并具有防腐蚀和防腐蚀选项。  水环真空装置可用于泵送没有固体颗粒的空气,腐蚀性气体,也可用于真空输送各种悬浮或结晶的有机或无机酸(次氯酸和氢氟酸除外)。在密闭容器中获得更高的真空度。  真空机组可以完成真空机组的操作,并在化学酸性条件下完成有机溶剂的回收功能,从而提高经济效益并减少环境和水污染。  电触点真空台——根据不同的真空度实现自动开合,有效地保护了被点击的电器,提高了工作效率。  气液分离器——具有气相冷凝和液相冷却两者,以防止工件的二次蒸发,降低真空度,并确保真空系统的真空度稳定。  工作流体——可以与水一起使用,并且回收溶剂也可以用于在密闭条件下操作整个系统,并且可以有效地回收有机溶剂。  为了减少环境污染,机器,水环泵,泵,分离器,冷凝器,管件和其他配件均由防腐材料制成。  广泛用于化工生产,真空蒸馏,提纯,干燥等机组作业。  水环真空泵什么情况下要加附属配件设备  耐腐蚀水环真空泵结合了诸如耐腐蚀材料和高真空的技术。定制设计的多级水环真空单元,具...
2019 - 11 - 04
聚酯工艺是一种使用合成原料生产合成纤维的工艺技术。鉴于低吸水率,染色困难和容易产生静电的缺点,用于在聚酯工厂中应用真空系统。酯类在中国三大合成纤维行业中占有举足轻重的地位。因此,解决聚酯问题等同于帮助合成纤维工业更好地发展。  随着聚酯技术水平的不断提高,许多制造商将根据他们不同的工艺特点和操作经验继续改进真空系统,以有效减少真空管的堵塞并减少有机物的排放。确保了真空系统的长期稳定运行。  聚酯装置真空系统中使用的真空泵主要是旋片真空泵和罗茨真空泵。不同的聚酯工艺对真空的要求不同,可以在不同的真空控制模式下使用。  真空系统是用于获得特定要求的真空的抽气系统。真空系统实际上是真空装置的相似名称。真空装置是一个由多个真空泵组成的闭环真空装置。它没有某些设备,例如散热器和冷凝器。真空系统通常被称为完整的组件范围。它是真空泵,真空计,真空箱,控制集成箱以及诸如真空阀,冷阱等其他组件,它们根据某些要求通过真空管组合在一起,并具有需要抽吸功能的抽吸装置。它的功能是在指定的时间和空间获得真空,保持真空,并确保在系统中实施过程或物理过程。  聚酯装置的真空系统的功能是除去缩聚反应中生成的乙二醇(EG),沿链增长方向进行反应,并提取反应中生成的少量水和醛。其他不可冷凝的气体可提供反应所需的真空条件,以确保产品质量。  在整个聚酯装置中,真空系统与人体的呼吸系统一样重要。在聚酯生产的后期,缩聚反应和...
2019 - 11 - 06
螺杆真空泵通过螺杆和套筒产生的密封腔容量变化来吸入和排出液体。在应用过程中,不可避免的会出现损坏的问题,下面将对螺杆真空泵设备损坏进行详细介绍。  一、如果搪瓷材料中有填充母料(例如磷酸钙或玻璃纤维),则会加速螺杆和机筒的损坏。  二、螺杆真空泵温度类别  1、它们中的每一个通常具有理想的熔融生产和加工温度类别,并且应控制料筒的生产和加工温度以使其接近此温度范围。  3、在狭窄和均质区域,如果塑料的熔融不规则,则损害会增加。  2、粒状塑料从混合桶进入机筒,然后首先到达进料区。进料部分会有部分干摩擦。当塑料加热不充分时,气缸的不平整将容易导致枪管腔体。并且螺杆的表面损伤增大。  三,螺杆真空泵速比应正确校准:  1、因为某些塑料中添加了增强剂,例如玻璃,矿物或其他填充母料。这种化学物质在不锈钢上的摩擦通常比熔融塑料大得多。  2、在塑料的注塑成型中,如果使用高速比来增加塑料的剪切应力,则还会使相对大量的植物纤维撕裂,同时植物纤维也被撕裂。尖锐的尾巴,使伤害大大提高。  3、当不锈钢钝化和空转时,无机矿物对刮削有很大影响。因此,速度比不适合过高地强调。  四、螺杆真空泵中螺杆在机筒中旋转,并且材料摩擦两者,导致螺杆和机筒的工作表面缓慢损坏:  1、螺纹逐渐变小,枪管的内螺纹逐渐变大。这样,螺钉和气缸通过间隙彼此配合,随着两者的缓慢损坏而增加。  2、因为料筒前部的发功机和隔板的摩擦阻...
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螺杆真空泵的选择技巧

日期: 2020-04-21
来源:
浏览次数: 57

  螺杆真空的选择非常重要。它不仅可以快速购买所需产品,还可以提高生产效率,节省时间和人力。因此,在选择螺杆真空时应该更加注意。

  螺杆真空泵的选择技巧

  1.掌握真空系统是否有油污要求。如果没有严格要求的油,建议选择所有类型的非油泵。如果要求不严格,可以选择一个油泵,并添加一些具体措施,以防止油污染,以满足清洁真空的要求。

  2.螺杆真空泵的极限压力应满足工作压力。所选泵的极限压力可以低于工艺要求的压力。

15KW螺杆真空泵


  3.螺杆真空泵有一定的工作压力范围。选择时请掌握真空泵的工作压力范围,不要在压力范围内长时间工作。

  4、清除被泵送气体的成分。了解螺杆真空泵是否包含可冷凝蒸汽、无颗粒灰尘和无腐蚀。总之,要掌握螺杆真空泵的气体成分,就要选择泵的型号和规格。如果气体含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体,建议在泵入口管道上安装冷凝器、除尘器和其他辅助设备。

  5.选择螺杆真空泵型号时,要考虑真空泵排出的油气(油烟)是否会污染环境。如果有污染,选择无油真空泵或尽快将油和气体排放到室外。

  正确掌握螺杆真空泵的选择技巧也会主动选择,这更有利于选择性价比更高的产品。

  节能螺杆真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。联系电话13928410990。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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