旋片式真空泵主要是中小型真空泵。旋片式真空泵有两种类型的单级旋片式真空泵和两级真空泵。所谓的两级旋片式真空泵是两个串联的单级泵结构。通常，将其制成两个阶段以获得更高的真空度。
微电子学需要越来越小的电子元件和电路，以及更高的集成要求。这与真空技术的应用密不可分，特别是VLSI的微加工技术。几何结构，超薄层生长技术和粒子束注入技术的形成都需要高质量，清洁的真空环境。依赖真空技术和设备。目前，今天的VLSI工艺需要真空条件（旋片式真空泵可以提供）。
因此，在微电子技术中，进口旋片式真空泵在这方面起着一定的作用。
微电子技术是一种基于各种半导体器件的高科技电子技术，以集成电路为核心。它具有体积小，重量轻，可靠性高，工作速度快的特点。微电子技术对信息时代产生巨大影响。
微电子技术是在传统电子技术的基础上发展起来的。它被称为“微电子学”，顾名思义，因为它是一种小型的先进技术，其特点是“四微”：1它的信号处理是固体中的微观电子。它是在运动中实现的; 2其工作范围是实心甚至是晶格级微区; 3信号交换只在很小的范围内进行; 4它的体积很大，可以放一个电子功能，甚至一个子系统集成在一个微芯片上。简而言之，微电子技术是一种独特而神奇的特殊技术，可在几乎看不见的范围内工作。
微电子技术也对电子产品的消费市场产生了深远的影响。低成本，可靠，小巧轻便的微电子技术层出不穷。电子技术产品和微处理器不再是世界上专业科学仪器的贵族，而是定居在各种流行产品中，并进入普通人的家中。例如，电子玩具，游戏机，学习机和其他家用电器。即使是传统的汽车机械产品也已渗透到微电子技术中。使用微电子技术，汽车安全防盗系统，出租车计量装置等的电子发动机监控系统已被广泛使用，有时甚至在现代汽车中使用。有几十到几十个微处理器。
本文主要介绍了旋片式真空泵在微电子工业中的成功应用。旋片式真空泵广泛应用于冶金，机械，军工，电子，化工，轻工，石油，医药生产和科研等部门。它已广泛用于食品的真空包装和塑料工业的真空成型。印刷业中的纸张传输，真空装置和真空吸尘。