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2020 - 03 - 12
离心泵的节能方法  1、离心泵选型时,在考虑成本效益的前提下,尽可能选择高效方案。  2.监督影响离心泵效率的关键部件的制造质量,如叶轮、泵体、泵盖、导流板(立式长轴泵)等,特别是控制叶轮外形、出口角度、叶片分度、流道形状、光滑度等质量。  3.在生产现场中安装调试过程中,必须保证泵的基础牢固,泵与驱动机中对准良好,前后阀门开关灵活,管道布置设计合理,现场控制安全可行,运行监控仪表齐全准确,能够实时监控泵的运行过程。  4、注意设备点检,在正常的小修、大修周期中内,应对易损部件进行检查和更换,确保泵的长期高效安全运行。  离心泵主流节能技术分析  离心泵的主要节能技术有:叶轮切割技术、变频技术、三元流量技术和专用节能泵。让我们分析一下这些节能技术的特点。切割叶轮节能。  在离心泵中的结构中,叶轮是决定水量和高度扬程的重要部件。其工作原理是叶轮高速旋转,带动内部液体旋转,从而产生离心力。决定离心力大小的一个重要因素是旋转半径。一旦离心泵的叶轮被切断,即叶轮的直径减小,那么叶轮内液体的离心力肯定会减小。后果只能是泵的流量、扬程等参数降低,可能对安全生产造成隐患。  变频节能技术  变频的主要工作原理是依靠变频来改变离心泵驱动电机的频率,降低电机的转速,达到节能的效果。其主要应用范围是:  1.电机的负载根据生产条件的需要定期变化。在这种情况下,当生产负荷降低时,电机的负荷也会降低。利用...
2020 - 03 - 17
许多人可能不太了解水环真空泵的排气爆裂现象,但这是对设备操作有害的现象,必须采取预防措施来防止这种现象。  一、过滤器  为了解决这种现象,在水环式真空泵的前气管道上安装了过滤装置,以过滤灰尘和残留液体,并定期清洁过滤设备以确保其性能。同时,维护水环真空泵的整个主体并及时清洁阀门  二、冷却  由于水环真空泵的活塞杆在主缸中反复移动,因此泵壳温度过高,这表明原材料碳化的标准,从而导致安全事故。为避免这种情况,请在运行水环真空泵之前打开制冷系统,并确保可以访问系统软件。  三、洗涤和缓冲  在水环真空泵之前增加水洗和缓冲液储罐可以有效去除吸入的残留液体,并对混合气体具有一定的冷却效果。但是,在特定的工作中,①当罐中的残留液体量少时,少量的原料液体被吸入泵体中,并且经常发生在高温下材料碳化的现象。 ②当有大量的残留液体时,如果不立即排出,则水环式真空泵将吸入原料液体并排出泵,这可能导致大的设备事故,因此,在生产过程中,根据按照水环真空泵的规定,为避免发生事故,必须立即将残留的液体排干  四、行气管被阻止或被阻止  该故障可能导致包含甲醇蒸气的混合气体及时排出,并且如果累积到一定程度,则会强行泄漏出去,并且水环式真空泵会破裂甚至破裂。  造成这种现象的原因很多,可能是由于设计缺陷引起的。 气管行的位置相对较低,导致水或油积聚在管道中,或出于某些人工或自然原因,例如水环真空泵的排气阀没有打...
2020 - 03 - 21
真空泵在实验室的应用越来越广泛。真空泵可以和其他仪器一起使用,而不是单一的装置。在实验室中,不同类型的进口真空泵对于制造各种化学品和处理危险物质和挥发性液体是必要的。哪些进口真空泵适合实验室使用?在使用真空泵一段时间后,许多用户会遇到各种问题,例如真空计观察到的真空度不足(吸力不足)、泵送速度太慢、在相对封闭的房间内噪音太大、或使用泵时油雾不能正常使用等。这些问题通常与选型有关。为了解决这个问题,给出了以下方案。  进口真空泵是将挥发性液体从一个地方输送到另一个地方的理想选择,因为它是完全封闭的,可以在不损坏系统的情况下处理物品。真空泵还可以快速有效地混合各种类型的粘性液体。然而,并不是所有的实验室真空泵都是一样的。真空泵是每个实验室必不可少的辅助设备,不同仪器设备的应用需要不同的真空泵。  购买实验室真空泵时,主要考虑以下因素:  1.需要保护环境免受污染吗  由于设计原理,一些进口真空泵需要使用其他介质来辅助泵的运行,如油旋片真空泵和水循环式真空泵,它们需要分别注入泵油和连接水源。使用泵油时,油雾会排放到空气中,污染环境;水泵必须位于水槽的边缘,因为它需要连接到水源。然而,一些需要在细胞室的洁净室中泵送细胞培养物上清液的顾客不能使用这种产品。此时,应选择无油真空泵,此类产品可接入电源。  2.哪种仪器和设备一起使用  使用不同设备的目的甚至不同。有些要求较高的真空度,如真空蒸馏...
2020 - 03 - 25
水环真空泵的原理:  叶轮工作,泵体内充入适量的水作为工作流体。当叶轮旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用,根据泵室的形状,水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切,而水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上,叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环之间形成月牙形空间,在一边的月牙形空间中的两个相邻叶片之间的空间连续增加,气体通过吸入口连续吸入;另一侧月牙形空间中相邻叶片之间的空间不断减小,吸入的气体不断压缩,压力不断增加,当压力大于外部压力时,气体通过排气孔排出。在泵的连续运行过程中,吸入、压缩和排出过程连续进行以获得真空。  水环真空泵使用注意事项:  1.连接管道时,严禁在泵内使用焊渣进入。  2.泵的进水管道连接到循环水箱的中部和下部。  3、严禁在极限压力(尖叫声)下工作,此时应调整位于泵体上的放气阀。  4.泵不允许无水连续工作,否则会损坏机械密封。  5、不应在泵腔充满水的状态下启动泵,防止扭矩过大而造成主轴断裂  6.冬季停泵时,泵室内的水应及时排出,以防冻裂。  7.当硬水用作工作流体时,工业锅炉上使用的10%草酸或清洁剂应定期放入泵室浸泡和清洗。  水环真空泵叶片的损坏类型主要是叶片损坏、叶片裂纹、叶片腐蚀或气蚀。  1.叶片断裂  这主要是由于固体卡在泵中,如金属块和碎石。当叶轮旋转时,它会碰到固体块或被固体卡住...
2020 - 03 - 30
真空泵机组的实际操作  真空泵机组是以泵主导泵,以旋片泵为前面泵串连而成的。真空泵机组采用的水环泵变成前面泵比其他的真空泵更加有益,因为它不仅摆脱了每台水环泵应用时極限压差,在一定工作压力下抽真空速度低的缺陷。这里给大伙儿详细介绍下真空泵机组的实际操作,恰当的实际操作才可以确保设备进行工作量。  1、查验真空泵机组的润滑油液位应在油窗上标示的标尺范畴内并确定润滑油清理;  2、确定泵前的真空储罐内无积液,氮压闸阀、排尽闸阀及水泵底阀均处在关掉情况;  3、查验确定往复真空泵曲轴箱内的润滑油液位在油窗上标示的标尺范畴内,曲轴箱内无脏物;  4、向油杯里添加清理的润滑油并略微启开他们的针型阀,使润滑油能一滴一滴地引入汽缸中。  真空泵机组在改装废气搜集设备后,能够搜集在高真空系统软件中没法凝结、没法缩小搜集的汽体,而又另外防止了水环发电机组所造成的很多污水的排污而造成 环境污染的难题。由于真空泵机组的优势,被广泛运用在各行各业。  真空泵机组的运作对环境有哪些要求  真空泵机组除具备优良的机械设备性能和生产加工性能外,也要考虑别的性能的规定,即非常容易除气、低的饱和蒸气压、一定的有机化学可靠性、一定的纯净度和洁净度、适合的辐射源工作能力等。因此真空泵机组具备独特性,对清理解决规定是十分严苛的,对自然环境是有一定的规定的,应更大限度消除或降低零件的环境污染。  真空泵机组指沒有特别要求的...
2020 - 04 - 02
不管莱宝螺杆真空泵是不是一切正常运行,实际操作工作人员都务必对其开展维护保养。比如:在对莱宝螺杆真空泵维修维护保养时必须将真空泵的气体压力阀应每星期开启一次,泵应在满载标准下运行约2钟头,以查验泵壳是不是渗油,工作中房间内是不是有噪声。那么莱宝螺杆真空泵维修时还必须留意些哪些?下边来让我们一起去掌握下:  莱宝螺杆真空泵维修时要留意查验滚动轴承的工作中和润化状况。滚动轴承和外侧的温度应该比自然环境温度高15℃~20℃。最大温度不可超出30℃~35℃,即带座轴承外侧的具体温度不可超出55℃~60℃;针对一切正常工作中的滚动轴承,每一年需加3-4次油,每一年最少清理一次滚动轴承,并拆换全部润滑脂。若是莱宝螺杆真空泵维修时全过程中发现异常噪声,能够 拆下来两边盖上的销钉,查验离心叶轮两边面是不是损坏,自动排气阀板是不是一切正常。  莱宝螺杆真空泵维修全过程中,必须查验油量是不是低及其稀油标识线。若有低稀油标识,应立即给油,不然会危害真空泵的真空值。剩余油不可以过多,不然会导致启动艰难和油泵等难题。在莱宝螺杆真空泵维修全过程中,还必须查验油量部位,若不是符合规定,调节油量至符合规定。真空泵运行时,油量要以油位表管理中心为标准。在莱宝螺杆真空泵维修全过程中,还务必查验油的品质。假如发觉油霉变,应立即拆换新油,以保证真空泵的一切正常运行。  在莱宝螺杆真空泵维修全过程中,还务必查验密封垫片的脆...
2020 - 04 - 07
【真空吸塑机原理】  真空吸塑机就是说各种各样规格和种类的吸朔成型机器设备,在其中十分重要的一个机器设备就是真空泵。旋片真空泵可以保证塑料薄膜或塑料片精准地依照磨具而成型。现阶段在食品类、饮品、糖、文具用品、五金工具、日用品、化工用品的生产制造生产过程中必须采用真空泵来做到吸朔成型的目地,说白了真空吸塑机,那的原理务必配套设施真空泵应用。真空吸塑机销售市场十分大,许多真空泵生产厂家都大力推广真空吸塑这方面行业。但挑选销售市场发售配套设施吸塑机的真空泵各种各样质量残差参差不齐,分别吹嘘。做为顾客,你该怎样为真空吸塑机如何选择合适的旋片真空泵?最先看主要参数,下列二种指标值做为参照:  1:看真空度:说白了真空度是空气稀薄水平的一种表达方法,一般 以帕Pa、毫巴Mba、mmHgmmHg等企业表达,在吸朔产品成型后,产品汽泡大多数是由于真空度达不上规定,而造成 产品出现缺陷的状况。相对性于产品凹形槽很深的产品,真空度规定就较为高。  2:看总流量:指单位时间内真空泵抽除流过封闭式管路或合理截体的流体力学量,常见M3/H,L/S,L/Min表达,真空泵总流量是考量吸附力的一个关键标示,人们挑选真空泵时要留意,产品的规格型号,薄厚来计算他一个小时,或是是一分钟,必须抽除的气体有多少,那样来明确必须多大流量的真空泵。  【真空吸塑机真空泵平时常见问题】  在真空吸塑的全过程中,一般状况下都是造...
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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医用真空泵与工业真空泵选型的不同

日期: 2019-08-02
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医用真空系统是医院设计和施工的重要组成部分。其主要应用原理是真空吸力。在医用真空泵系统的构建中,医用真空泵的选择不同于一般工业真空泵的选择。这些差异主要涉及三个方面。

真空泵

第一,工业生产应用中的真空真空倾向于更高,而医用真空的真空更低

。涉及工业生产的真空应用更广泛,跨度很大。许多真空应用的真空度通常低于1 hPa;而医用真空吸尘器主要是吸尘,一般不需要太高的真空度,绝对压力大多在13~60kPa之间,大部分比工业真空泵低得多。因此,在选择医用真空泵时,有必要进行区分。

第二点是真空室的连续性是不同的

工业真空应用中的许多真空室是间歇性使用的,这意味着真空泵的操作大多是间歇性的;医用真空系统连续使用,并与不同的气体点同时使用。

第三,真空使用的目的是不同的

大多数工业真空泵抽出真空室中的气体,为生产创造真空环境;而医用真空吸尘器主要用于真空吸尘,主要用于提取各类液体(当然,目的是提取麻醉废气等)因此,在选用医用真空泵时,主要关注的是在设计压力下真空泵可以提供多少体积流量,以及每单位时间可以吸出多少液体。这也与工业真空泵的选择不同。相应的抽速和入口压力等诸多因素。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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