真空泵是一种产量大，应用面很广的产品，但它确实是直接影响真空设备性能质量的必备基础产品。真空泵的范围从高/超真空到粗/低真空。产品可分为14类：

高/超真空——低温泵，分子泵，溅射离子泵，钛升华泵，扩散泵。 

中真空——干式泵，两级旋片泵，罗茨泵，油增压泵，水蒸汽喷射泵。 

粗/低真空——单级旋片泵，滑阀泵，液环泵，往复式真空泵。 

真空泵市场根据用户需求动态变化。市场增长的主要驱动因素是半导体行业的快速发展以及干泵和分子泵应用的日益增长。 

目前，全球真空泵市场年销售额约为20亿美元，年增长率约为7％。 

中国有许多真空泵制造商。所有真空泵的年销售额约为1.5亿元，仅相当于美国 Kinney真空泵的年销售额。通过对全球真空泵市场的分析，可以看出各种真空泵的市场和应用领域在不断变化和发展。中国的真空泵制造业历史悠久，基础扎实。国内生产的真空泵已经在各个领域得到应用和验证。一些泵也出口到国外，并得到了外国用户的认可，并得到了好评。应该说中国的真空泵制造业在中国内外部市场仍有巨大的发展空间。 

 1.液环泵

虽然液环泵是一台粗真空泵，但它在中国的石油，化工，电力，纺织，造纸，医药等领域仍有很大的市场。

在国外，液环泵的销量占真空泵市场总量的14％，仅次于干泵，因此Nash，Seimems和Kinney等公司正在中国投资或建立销售网络以扩大其在中国的市场份额。由于液环泵主要是铸造而且加工要求不高，因此它是一种劳动密集型产品。因此，国产液环泵在价格上具有竞争优势。关键是要改进设计，减少体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。 

 2.滑阀泵

由于滑阀泵更耐用可靠，国内外各种真空炉，涂布机，烘干和浸渍设备使用滑阀泵作为前级泵，但滑阀泵铸件很重，加工工作量很大，因此国外真空厂正在寻找合作伙伴，为了使国内滑阀进入国际市场，有必要进一步降低泵的振动和噪音，防止燃油喷射和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

3.直联旋片泵

随着真空技术在各种应用中的不断扩展，对直联旋片泵的需求不断增加。由于此类泵的数量众多，加工和装配工作量非常大，而且价格非常低，因此一些国外真空制造商在中国设立了专业工厂。国内中小型直联旋片泵已经过技术通过，价格远远低于国外泵。因此，国产泵仍具有竞争优势。关键是要解决轴封油泄漏问题以及旋转叶片材料和真空泵油的性能质量问题。确保直联泵在高速和高温下稳定可靠，进一步提高了国产直联旋片泵除去水蒸气的能力。 

 4.罗茨泵

来自国外罗茨泵的生产情况，几家大型外国公司，如Leybold，Balzers，Alcatell，Edwards和ULVAC，他们的罗茨泵销量占全球销售额的罗茨泵超过5％，这5家仅占20％，生产的是罗茨泵并不大，但国外罗茨泵的价格远高于国产泵。目前，国内外几乎所有大小型高真空和中等真空系统都配备有罗茨泵，以缩短抽气时间，提高生产效率。因此，国内罗茨泵必须在占领国内市场的基础上进入国际市场。进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决了轴封漏油问题，提高了泵的外观质量，提高了泵的平稳性和清洁度。另外，有必要考虑一些国家和地区的工频是60Hz，并且必须在增加速度的条件下确保罗茨泵的长期运行的可靠性。 

目前，国内气冷直排气氛罗茨泵进展迅速，技术成熟。

由于泵在排气口下方配备了气体冷却器，一部分冷却后的气体通过管道返回泵室冷却转子，使压缩热平衡，泵可直接排气到了大气层。为了满足不同极限真空的要求，泵可以串联使用。通常，前面增加了空气冷却的直排气氛罗茨泵，实现的极限真空比前级泵高一个数量级。这种类型的泵实际上是干泵，因为泵室中没有工作介质。目前，这种气冷式在线气氛罗茨泵和机组已经在石油，化工，塑料，农药，涡轮转子动平衡，航天空间模拟等设备的长期运行中进行了测试，因此应予以推广和应用。在中国申请。 

5.分子泵 

分子泵在许多国外半导体领域，它被用来取代低温泵，尤其是溅射，刻蚀和LCVD。复合材料分子泵和牵引泵用作主泵。 

由于水蒸汽的分子泵仅为相同直径低温泵抽速的四分之一，因此分子泵的排气时间比低温泵的排气时间长。为了增加抽速，在分子泵的入口侧安装了-130°C~-150°C的低温冷板，称为低温分子泵。水蒸气被低温板捕获，其他气体被分子泵抽走。这种低温分子泵适用于真空镀膜设备，不仅提高了生产效率，还提高了薄膜质量。随着中国半导体产业，电影产业和科学研究的迅速发展，分子泵应成为中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵应该从小到大构建一个完整的系列，并研发各种复合分子泵，牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。 

 6.干泵

海外干泵市场继续增长，其主要驱动力来自半导体工业，化学工业和电影工业的快速发展。在日本，半导体工业用干式真空泵取代了油封机械泵。超过45％的欧美半导体行业用干式真空泵取代了油封机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，有多级罗茨真空泵，多级爪式真空泵，螺杆真空泵，涡旋真空泵，往复式活塞真空泵和涡轮无油真空泵。极限压力为10 Pa至10-2 Pa，0 x 7d6为20 m3/h至500 m3/h。

据统计，目前国内干泵应用不到1％。半导体行业的国产干泵全部从国外进口，价格非常昂贵。因此，中国应大力研发干泵，使干泵成为中国真空行业新的经济增长点。