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2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 11 - 01
什么是水环真空泵  一, 水环真空泵的分类  1,单级单作用水环泵  单级单作用水环泵,单级意味着仅一个叶轮,单作用意味着每当叶轮旋转时,吸入和排气均执行一次。该泵具有更高的极限真空度,但泵速和效率较低。  2,单级双作用水环泵  单级双作用水环泵,单级仅意味着一个叶轮,双作用是指每当叶轮旋转一次时,吸入和排气均进行两次。在相同的抽速下,双作用水环泵的尺寸和重量明显小于单作用水环泵。由于工作室在泵毂的两侧对称分布,因此作用在转子上的负载得到了改善。这种类型的泵具有较高的抽速和较高的效率,但极限真空度较低。  3,双级水环泵  双级水环泵主要由串联的单作用泵组成。本质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共享一个心轴。它的主要特点是在高真空和稳定的工作条件下具有大的抽速。  4,大气水环泵  大气水环泵实际上是大气喷射器水环系列的一个机组。 水环泵与大气压泵串联在泵的前面,以增加极限真空度并扩大其使用范围。  二,水环真空泵的优点  1.结构简单,制造精度不高,易于加工。易于操作且易于维护。  2,结构紧凑,泵一般直接与电动机连接,转数较高。具有较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。  3.泵腔中没有金属摩擦表面,也无需润滑泵。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。  4.在泵室中的压缩气体的温度变化非常小,这可以被认为是等温压缩,所以它可以除去易燃易爆气体。  5.由于没有排气...
2019 - 11 - 06
在螺杆真空泵的许多常见故障中,最困难的问题之一是机器无法吸油。如果无法吸收油,则机器将无法工作。让我们详细讨论一下机器。螺杆真空泵设备不能吸收油的要素.  一、螺杆真空泵常见故障:  1、由于存在管道中脏物的危险,它被阻塞或泄漏。  2、吸尘的长宽比超出了允许吸尘的真空泵的阻塞范围。  3、与该组件关联,也就是说,电动机已翻转。  4、油的粘度太大。  二、螺杆真空泵清除方法:  1、预热机油并降低粘度。  2、真空泵维护:螺杆真空泵的轴功率已大大扩展。  3、改变电动机的旋转,使其与泵相同。  4、检查吸管的泄漏部分,找到问题,然后更换法兰垫片并堵塞砂孔。  5、降低泵的安装长宽比,并将其保持在所需的长宽比内。不要太高或太低。  螺杆真空泵可以去除蒸汽中的水蒸气和少量烟灰。市场被应用于制药工业,化工厂,半导体材料等的清洁水平,并且有必要解决诸如机械和设备的吸油之类的若干问题。只有在进行治疗后,才称为对症治疗。
2019 - 11 - 07
使用过真空等离子清洗机的任何人都知道产品的清洁是在真空室内进行的。那么,为什么要在真空中清洁呢?由于进口真空泵是真空等离子清洗机的重要组件之一,因此它的功能是对腔体进行真空清洁,但是您知道如何在真空等离子清洗机中对其进行控制。效果最佳吗?在此,技术人员向您介绍进口真空泵在等离子清洗机中的应用。  因为在真空状态下清洁可以达到更好的效果。将产品放置在连续抽空的密闭室中。如果产品表面有灰尘之类的小颗粒,则将其连续带走。这里的连续抽气意味着真空状态保持在相对稳定的真空状态,即等离子体清洁。机器的排出也需要在稳定的真空状态下进行。  等离子体处理和等离子体清洁技术为后续的塑料,金属,铝或玻璃涂层工艺提供了最佳前提。进口真空泵离子清洗技术可在清洗完成后立即用于后续处理。该应用程序将确保整个过程的清洁度和低成本。由于等离子体具有较高的能量,因此它可以选择性地分解材料表面化学物质或有机物。通过超精细清洁,甚至可以完全清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了最好的先决条件。  等离子体是气体分子在特殊场合(例如真空和放电)中产生的物质。等离子清洁/刻蚀产生等离子体的设备是在密封的容器中放置两个电极以形成电磁场,并使用进口真空泵达到一定真空度。随着气体变得越来越稀,分子或离子的分子间距和自由移动距离也越来越长,并且受到磁场的影响,发生碰撞而形成等离子体,并产生辉光与此同时。等离子体在电磁场...
2019 - 11 - 11
罗茨真空泵具有对应于不同的操作模式中,选择合适的类型不同的模型,和罗茨真空泵和环境的温度在较低的温度需要升高和电气设备被运行速度较慢,所以很容易影响工作效率。  1.在使用该装置的环境温度的应小于40℃,罗茨真空泵和电机的温度上升不超过75℃。在工作1000小时之后的正常磁力泵应去就耐磨环和轴承的端面,然后将交换不应易损件,堆叠在易于运输液晶介质上应该使用后,排水泵积液进行清洁。  2.防止环境温度的影响的工作职能罗茨真空泵,真空泵坚持清洁其它物体不应被放置在真空泵,真空泵不能被堵塞绕通道,以便于所述泵体的热量,冷却,也有利于维修和操作。  3.三角型皮带张力经常注意罗茨真空泵,如果皮带过紧太紧太松应调整,从而导致复杂的泵体温过高。  4.不要让关节每个管道泄漏,橱柜应坚持预真空适当的范围内,一旦出现缺陷,导致变化的非常复杂的罗茨真空泵环境温度发生,及时修复是非常重要的。  5.坚持以冷却水清淤,否则会导致非常复杂的罗茨泵工作环境温度过高。每次驱动器启动间歇4-6次,2S内的各时间,以引发更大的扭矩限制。  降低环境温度对罗茨真空泵运行的影响,它能够更好地控制它的使用好,相应提高生产率和减少设备磨损的情况出现。使用环境温度是非常重要的。
2019 - 11 - 13
水环真空泵有单级和双级,也有单作用和双作用差异。单级和两级真空泵是指叶轮的级数。单/双作用是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体进行一次抽吸/排放。双作用真空泵将其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。  故障维修  轴承磨损  水环真空泵传动部件的磨损是一个普遍的问题,包括轴承位置,轴承座,轴承室,键槽和螺纹。传统方法主要是补焊和电刷镀,但两者都有一定的缺点:补焊高温产生的热应力无法完全消除,可能导致材料损伤弯曲或折断。刷镀受涂层厚度的限制,并且容易剥落,并且上述两种方法使用金属来修复金属。改变“硬对硬”的合作关系是不可能的,在各种力量的共同作用下,它仍然会再次造成磨损。  鉴于上述问题,经常使用聚合物复合材料的修复方法,并且更经常采用的技术体系具有优异的粘附性和优异的抗压强度的综合性能。可以取消聚合物材料修复的应用,并且无需机械加工。没有修复焊接热应力的影响,并且修复厚度不受限制。同时,产品的金属材料没有特许权,可以吸收设备的冲击和振动,避免了再次磨损的可能性,并大大延长了设备部件的使用寿命。企业节省了大量停机时间,并创造了巨大的经济价值。  腐蚀冲蚀修复  真空泵的腐蚀方式可分为两类:全面(均匀)腐蚀和局部腐蚀。前者在真空泵的整个表面上更均匀地发生,而后者仅在局部发生,例如点蚀,缝隙腐蚀,晶间腐蚀,应力腐蚀等。使用聚合物复合材料在真空泵上实施表面有机涂层腐蚀防护...
2019 - 11 - 14
由于各种真空泵的性能可以满足抽真空容器的共同点,因此仍然存在差异。因此,必须明确选择在真空泵系统中承担的任务是非常重要的,在泵的各个工作领域中的作用可以归纳为以下几个方面。  1、系统中的主泵  所谓的主泵是一种真空泵,它直接排空真空系统以获得满足工艺要求所需的真空。  2、粗抽泵  粗抽泵是一种真空泵,它开始从大气压力降低真空系统的压力,直到另一个泵系统开始工作。  3、前级泵  前级泵是用于将另一个泵的前级压力保持在其最大允许前级压力以下的真空泵。  4、维持泵  以维持泵,这意味着当真空系统的吸力很小时,主前级泵无法得到有效利用。为此,在真空系统中另外设置了具有较低抽速的辅助前泵,以维持主泵的正常运行或维持排空容器所需的低压真空泵。  5、粗真空泵或低真空泵  粗真空泵是从大气开始并降低泵送容器压力的真空泵,以在低真空或粗真空压力范围内工作。  6、高真空泵  高真空泵是在高真空范围内运行的真空泵。  7、超高真空泵  超高真空泵是指在超高真空范围内运行的真空泵。  8、增压泵  增压泵通常是真空泵,在低真空泵和高真空泵之间运行,以增加中压范围内泵系统的泵送能力或降低前级泵的泵送速度。
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2020 - 06 - 01
在工厂中最普遍应用的都是水环真空泵,水环真空泵可以满足大多说工厂的生产需求。但是在使用水环真空泵的能力受到一些影响。那么这些影响是什么呢?我们一起来看一下。  1、工作中蒸汽和水分含量的研究:蒸汽工作压力稍低和工作压力起伏对真空泵的工作能力有很大危害,蒸汽工作压力不应小于规定压力,但常用真空泵总体设计确定,蒸汽工作压力过高,供气量和真空值上升。  2、循环系统冷却循环水规定的研究:冷却循环水供应量不足,冷却器加热,旋风噪声增大,真空值急剧下降,蒸汽返回支气管。  3、真空泵厂家规定真空泵系统软件密封性的研究:真空泵有限时,由一级排出的水非常少,时而非常少。 因此,认为一级泵排出了很多水,泄漏了系统软件。 通常蒸汽泄漏的原因是,没有安装垫圈,反而没有安装或者损坏,地脚螺栓没有扭转,法兰盘面损坏,砂眼焊接,没有安装接头(气压计、负压计等)。  4、机头规定的科学研究:机头是危害真空泵特性的重要因素,机头安装逆、应变、堵塞、破坏、侵蚀和泄漏不足。 采取任何预防措施都不可避免地堵塞磁头。  5、自然环境的危害关键在于抽气对管理系统的环境污染,在脱溶处理的全过程中,脱溶释放出大量抽气,另外,一些微小的空气氧化甘薯粉皮等小颗粒被真空泵吸入,这些小颗粒附着在泵壳上,减少了支气管吸入通道的流导。         上面我们的5条广东水环真空泵性能受到...
2020 - 06 - 08
利用真空与大气空间产生压力差的力量工作,这种机械能具有压力随处均匀的特点,这些真空设备多用于粮食、面粉、饲料行业,通过设置在运输系统终点的真空泵吸入系统内的空气,使运输管内产生低于大气压的负压气流材料与大气一起从起点喷嘴进入配管,随着气流向终点分离器内输送,材料粒子通过重力或离心力从气流中分离出来,气体被除尘后,通过真空泵或离心风扇排出到大气中,对环境友好。  真空输送设备主要用于粮食行业的谷物装卸,可以放置在港口、码头、筒仓或散装物料的保管场所,可以吸取物料送到仓库等接收场所,不需要对装运散装物料的船舶、车辆等进行特别改造,粮食等粉粒物料系统是输送散装物料的理想选择可长距离垂直搬运,操作方便。 机器整体性能可靠,作业清洁,运输材料装卸损失少,作业效率高。 小型、轻量、结构紧凑、安装方便,无低噪音、振动,维护方便。 采用负压运输方式处理搬运,可改善各种粮食设施的作业环境,减少粉尘对设备的磨损,保护作业人员免受粉尘伤害,防止粉尘爆炸,减少对周围环境的粉尘污染。 具有巨大的社会利益和环境利益。  1958年在上海港和长沙等地开始使用真空吸尘器从船舶上收集粮食。 以食品工业部门为例,我国有1000多家面粉厂采用真空运输,其中港口采用的真空运输已达200吨/小时的运输能力。 真空输送作为一种新的输送技术,预计在适应的领域会进一步发展  真空输送具有以下特点  1、设备结构简单,制造、加工、...
2020 - 06 - 12
卡死是真空泵维护过程中常见的异常现象,习惯上把由于某种原因马达过载而不旋转的现象称为“卡死”。  真空泵卡死的原因  弹簧破损,不对旋片施加力的组装不适当,对某一部分施加力,吸气日的过滤器丢失或破损,外部的污垢、金属屑、玻璃屑等落入泵室内。 另外,泵转子、转子的端面和端盖之间的间隙过小,除了因摩擦发热导致转子伸长或过热的摩擦之外,转子的硬度太大,在端面上产生很深的伤痕,烧结卡死。 轴和套筒的配合过紧的话,润滑油路会变得不顺畅,有时会因粘在一起而粘住。  真空泵长时间不使用,泵室内生锈的泵在湿度高的环境下工作,或吸入湿气体,使泵油成为乳液或泵油的水垢,变成壳,泵油粘度太大(冬天)转子在启动的瞬间破裂的一部分泵的高度, 低真空室的气道上有半圆槽,上面的橡胶板被压得很紧,堵住了中间气体的逆通道等,泵容易卡死。 这样的缺点经常很危险,由于转子在卡死的瞬间不会使马达过载或旋转,所以马达容易烧损。 即使不燃烧马达,如果不早点停止修理,泵室也会辗死、损坏旋转体、扭转旋转体、烧端面。  卡死总是发生在转子、转子和端面或中R4板之间,或转子和泵室之间,这些部位是决定真空泵极限压力的重要部位。 所以,如果发生卡死现象,就要紧急停止泵,排除故障,进行适当的修理。 绝对不能再试机器,也不能勉强做。 否则,泵将完全废弃,无法修复。 前面也叙述了同样的例子。  有些水泵的卡死习惯很容易修复。 例如,左右级的气...
2020 - 06 - 17
阿特拉斯真空泵有以下超强节能优势:  1. 螺杆转子(静态节能)  2. 变频技术(动态节能)  3. 数据拓展(动态节能)  4. 一级能耗节电,能耗低,真空泵产品已达到国际先进水平。  阿特拉斯真空泵生命周期成本低:  以下两个实例充分展现GHSVSD+系列生命周期成本低的特性:  具有极低的生命周期成本(包括维护费用和能耗)。与油润滑或干式旋片泵相比,投资回报周期至少可以缩短两年,这还只计算了能耗和维护费用,没有将安装的便利性考虑在内。  新采购设备,阿特拉斯真空泵的生命周期成本可削减50%左右。  阿特拉斯螺杆泵的螺杆转子主要的优势就是采用了爱德华品牌的干螺杆技术,该产品具有很好的工作效益,并且抗颗粒性能好,使用寿命长,产气量大。  阿特拉斯真空泵的变频技术和空压机一样是行业高的 ,变频范围能做到10%-100%。一般市场上竞争对手的变频范围是60%-100%(实测)。  数据挖掘这方面阿特拉斯真空泵内置数据采集器和显示屏,用户可以很直观的看到,机器的使用情况,以及之前出现过的故障和将会出现什么故障,能做到一种预先防范的作用。  阿特拉斯真空泵广泛的应用领域:  适用于塑料、管道干燥、玻璃、制瓶、制罐、木材、包装、电子、印刷、造纸、肉类包装、热处理、氮化、冶金、高度模拟、干燥和一般疏散任务、涂层、中央吸尘真空系统、厂务中央真空系统等各类应用。
2020 - 06 - 20
如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、冒烟、喷油、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵内乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,关机后再逐一消除。以下是旋片真空泵故障的方法,希望对大家有用!  一、旋片真空泵的烟雾和喷油:指运行中从旋片真空泵排气口喷出的烟雾或喷油。  1、冒烟,如果泵刚刚开始运行冒烟现象,属于正常,如果长时间冒烟就不正常。解决方法:烟雾表示修理泵入口外的管道、阀门和容器。泄漏检测后,烟雾将会消失。  2.喷油意味着进气口外有许多泄漏点,甚至进气口也暴露在大气中。解决方法:密封泵的进气口,使泵运转。如果没有注入油,就有泄漏。排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换损坏的排气阀片。  二、旋片真空泵的噪声:这里指的是泵的噪声。  1.敲缸、泵运转时发出不规则的噪音,像金属敲打金属的声音。这是转子撞击泵体的声音。这种情况主要是由配套旋转板之间的弹簧断裂或收缩或弹出故障造成的。  解决方法:打开泵,检查螺旋弹簧是否损坏。更换弹簧。  2.排气阀噪音大,主要是泵排气阀损坏。  解决方法:更换排气阀片。  三、旋片真空泵真空度下降  指目前测得的旋片真空泵真空度低于出厂指标或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些主要情况。  1.此次添加的旋片真空泵油品牌与原厂不同。不同等级的真空泵油由于不同等级油的饱和蒸汽压不同,结果也不同。  解决方...
2020 - 06 - 24
高温油泵的选用技巧要点  高温油泵作为优质的热油循环泵和热体输送泵,是热交换设备中的理想辅助泵,能够输送不含固体粒子的高温液体。 高温油泵采用自热散热结构,改变了传统的水冷结构,使泵结构更合理、高效地节能,优化了产品性能,大幅提高了使用可靠性。 高温油泵的选定可以从管路配置和运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程五个方面考虑。 接下来具体分析高温油泵的选定技术。  1、装置系统的管路配置条件是指送液高度、送液距离、送液方向,例如吸收侧最低液面、排出侧最高液面等数据和管路的规格和长度、材料、管路的规格、数量等,进行精梳计算和汽蚀馀量的检查。  2.操作条件的内容很多,例如液体的操作t饱和蒸汽力p、吸入侧压力PS (绝对)、排出侧容器压力PZ、海拔高度、环境温度操作是间隙还是连续,高温热泵的位置是固定还是可以移动。  3.包括液体性质、液体介质的名称、物理性质、化学性质和其他性质,物理性质有温度c密度d、粘度u、介质中的固体粒径和气体含量等,这涉及系统扬程、有效空化量的计算和合适的泵类型:化学性质,主要指液体介质的化学腐蚀性和毒性  4.装置系统所需要的扬程是选择泵的另一重要性能数据,一般来说,要扩大5%-10%的馀量选定扬程。  5. 流量是选择高温泵的重要性能数据之一,与装置整体的生产能力和输送能力直接相关。 设计院的技术设计可以算出泵正常、最小、最大3种流量。 选择泵时,以最大...
2020 - 07 - 01
旋片真空泵是油封式机械真空泵,是真空技术的基本真空获得设备之一。  旋片真空泵可以从密闭容器中排出干燥的气体,只要有气镇装置,也可以排出一定量的凝缩性气体。 但是,含有氧,金属有腐蚀性,不适合使泵油发生化学反应,提取含有粒子状尘埃的气体。 有单级旋片真空泵和二级真空泵两种。  1.旋片真空泵结构说明  旋片真空泵是容积泵,通过旋转式在泵室连续运转,吸入气体进行压缩,最后从排气口排出。 泵主要由定子、转子、旋转板等构成,转子偏心地组装在定子室中。 转子槽有两张转子,转子之间放有转子弹簧。 定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。  转子在定子腔内旋转时,转子在弹簧张力和自离心力的协同作用下其端部与泵腔内壁紧贴而折动,定期地扩大吸气口侧的腔内容积而吸入气体,并且逐渐缩小排气口的容积,压缩吸入的气体并从排气口排出。  2.旋片真空泵特征和适用范围  特点:  真空泵的吸气口安装了金属网的粗过滤器。 可以防止固体异物被吸入泵室。 油分离器内安装了高效的石油气分离效果的排气过渡器。 停止泵时,内置在吸气口的吸气阀将泵与被吸引系统隔离,防止油返回被吸引系统。 水泵用空气冷却。 XD旋片真空泵的所有泵都由串联的电动机通过弹性联轴器驱动。  适用范围:真空泵适用于密闭系统抽真空。 真空包装、真空成形、真空吸引等。  入口压力范围: 100Pa—100000 Pa,超过该范围时,真空泵的排气口会产生...
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水环真空泵组精雕机的应该特点

日期: 2024-01-18
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水环真空泵组精雕机的应该特点,你知道有哪些吗?

你们知道精雕机和真空泵的搭配吗?先说说这精雕机, CNC精雕真空泵系统,那可是雕刻工艺的巅峰之作,能在各种材料上精雕细琢,无论是金属、塑料还是玻璃,都能轻松搞定。这精雕机要想发挥出最大的威力,还得靠真空泵来助阵!给精雕机配上德国司倍克水环式真空泵,那简直就是理想!


水环真空泵组



真空泵的作用可大了!它能迅速抽走精雕机操作过程中产生的废屑和粉尘,让工作环境变得干净又卫生。更关键的是,真空泵还能提供稳定的负压,保证精雕机在雕刻过程中不会受到外界干扰,确保作品的质量和精度。


水环真空泵组精雕机的应该特点,为什么偏偏要选择德国司倍克水环式真空泵呢?这还得从它的性能说起。这款真空泵采用了先进的水环技术,能够在短时间内迅速达到所需的真空度,而且运行稳定、噪音小、寿命长。更厉害的是,它还具有强大的抽气能力,即使在大量废气的环境下也能轻松应对。


真空吸附,精雕机真空设备



在精雕机旁放置一台德国司倍克水环式真空泵, CNC精雕真空泵系统,为你的精雕机提供着强大的支持,让你的雕刻工艺更加出色。

深圳恒才机电设备有限公司为客户提供综合性真空解决方案,提供专业的真空装置,从真空方案设计到真空系统安装、维护、维修等一站式服务。

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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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