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2021 - 09 - 23
粗真空类型,粗真空应用及作用详述:粗真空类型:罗茨真空泵、水环真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵等。粗真空泵的作用主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。罗茨真空泵主要用于粗真空、抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀,不溶于水,含有少量固体颗粒的气体,以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品,是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置,实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离;加上活塞环使用了自润滑材料,便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放,所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。干式真空泵也是粗真空应用常见的真空泵,无需油或水作为工作介质,经常用来替代水环真空泵或油螺杆真空泵,无油无水不影响工作环境且没有污水排放,是环保真空泵。干式真空泵在医疗、制药行业应用较为常见,且干式真空泵价格不低,但效果明显理想。
2021 - 10 - 23
选择油旋片真空泵作为罗茨泵的前级泵,可发挥哪些优势,罗茨旋片真空机组搭配应用特点是什么?1.配置GVS油润滑旋片真空,具有0.1-1mbar的极限真空度,16-840立方米每小时的高抽速,旋片泵温度低于其他设备,有优化保油能力,润滑油寿命更长等特点2.选用JRP150-2000罗茨真空泵,具有大抽速优势(153-2050每立方每小时),罗茨真空泵真空度可达0.05pa,结构紧凑,易于安装,搭配各类真空机组及真空系统。3.罗茨旋片真空机组应用范围广,可用于食品、电子元件真包装、玻璃板的吊运、木板/塑料板吸持、造纸和印刷行业,纸板装卸输送等等4.罗茨旋片真空机组采用了JSP罗茨泵+GVS旋片泵,以达到所需真空度要求,相比于单独真空泵使用,罗茨旋片真空机组的搭配适用行业也更多。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,通过从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,主要有水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,为客户提供泵浦方面的优质工程方案。
2021 - 11 - 24
旋片式真空泵常见故障与消除方法:  1.导致旋片真空泵真空度低的原因有哪些?恒才真空泵厂家总结,影响真空泵真空度的原因,以及针对真空度低不同原因不同解决方法,如下:(1)油量不足。加油。(2)泵油不清洁,乳化了。开气镇阀,换新油。(3)泵油牌号不对。换油(4)进油孔堵塞。清理进油孔,调节油量。(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处,更换密封圈。(6)排气阀片损坏。换新阀。(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。(8)泵温升高,油的粘度过低。加大冷却水量。(9)泵油气体温度过高。加气冷装置。(10)端盖螺钉松紧不一,造成转子轴芯偏移。拆开重装。(11)旋片弹簧断裂。换新弹簧。(12)进气管过滤网堵塞。清洗。(13)气镇阀未关好/损坏。关闭/修理。(14)泵轮键断裂,轮空转。换键。2.卡泵:(1)端面间隙过小,泵油温升过高。研磨旋片,调整间隙。(2)泵内进入杂物。清理。(3)泵温升高。加强水冷。(4)转子断裂。拆泵更换。(5)泵腔生锈。洗锈。3.噪声大:(1)旋片弹簧断裂。换弹簧。(2)装配零件松动。重装。(3)零件有毛刺,装配有变形。重装、修磨、换件。(4)电机轴无油。加润滑油。4.漏油:(1)轴孔、端盖、油标、油箱等部位密封件损坏或没压紧。换密封件,拧紧螺钉。(2)油箱有漏孔。堵好漏孔。5.启动困难:(1)油温过低。加热到15℃以上。(2)泵内润滑不好。调节油量。(3)泵腔内未放...
2021 - 12 - 27
市面上真空泵质量鱼龙混杂,实际应用的真空水平参差不齐,如何选择真空机组成为pet片材厂家的关注点,一台优质的PET真空机组带来的效果远不止于提高产能和质量。PET片材存在的问题,PET片材透明度不高怎么办?PET片材透明度不高、片材脆?多半是真空度不够。PET真空机组合理选型设,可以解决这个问题,双罗茨水环真空机组真空度可达负101kpa且稳定运行,抽速大、真空度高是保障片材挤出品质的原因之一。PET片材挤出对真空度及稳定性要求严格,本文主要对PET透明片挤出,为何选用罗茨泵+水环泵组成的罗茨水环真空机组,欢迎查阅下述内容:采用恒才的PET真空机组--罗茨水环真空机组优势1.真空度可达到-98至-101kpa,完全塑胶片材挤出要求;2.采用独特闭环循环水设计,无需排水、无需用油,节能低成本3.无易损件,免维护,只需罗茨真空泵更换油深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统、高品质真空泵产品。
2022 - 02 - 15
现在随着技术的发展,现在常见的真空泵中有几个主要是罗茨泵、回转泵、涡形泵和螺杆真空泵,螺杆泵在选定和使用时,有什么想法呢?今天,我们来看看无油螺杆泵的选定和价格。 螺杆真空泵的主要选定特征如下。  1、无油螺杆真空泵能在大气压下在短时间内抽真空到1pa (绝对压力状态)。 该真空泵的内部部分不仅能有效地实现真空单元的主要功能,还能节约能源消耗。 这种类型的真空泵比螺旋真空泵的功耗低。  2、无油螺杆真空泵能长时间运转,经常稳定,不受水温和提取物质的影响。  3、螺杆泵工作室内没有其他介质,不接触,能够有效地得到清洁的真空环境,不排出多馀的废油、废气等。 在螺杆泵的排气口设置常压下的冷凝器装置,能够有效地回收在真空环境下不能冷凝的溶剂,有效地提高溶剂回收率。  4 .低噪音、地震、低排气温度、易于使用的维护很方便。  5、可以灵活选择水冷还是空冷。  6、可应用于化工、医药行业、电子设备生产、干燥处理等各种行业。  以上就是关于螺杆真空泵的选型与价格介绍相关内容,更多内容请关注我们更新的信息。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统、高品质真空泵产品。
2022 - 03 - 23
螺杆真空泵的使用注意事项1、定期检查油位位置、油质情况,如发现异常应立即调整,确保真空泵正常工作。2.检查螺杆泵马达是否正常运转,柔软性尝试有木有。3.定期检查并清扫螺杆真空泵管中,确保管道畅通。4、定期检查螺杆泵的套筒磨损情况,发生异常时立即更换。5、干式螺杆真空泵运转中,轴承温度超过环境温度的3.5度时要不得。 最高温度超过8.0则要不得。6.停止作业时,请关闭男同性恋阀和压强计,然后停止马达。7.在最初使用螺杆真空泵的一个月内,定期更换润滑油,使工作状态更好。8.环境在寒冷的温度下工作时,必须防止泵体冻裂,停止后必须打开水龙头放入内部9.长时间不使用真空泵时,分解泵本体进行漂亮地,在泵本体内部和连接部涂抹润滑工进行保管。真空泵系统运转注意事项:  1、运转过程应经常检查压力表和其它仪表(如电气仪表)的读数。  2、注意经常检查泵轴承的温度,泵轴承温度最高不得超过80℃。  3、经常检查填料的发热和漏水情况。  4、检查泵的转速是否正常。  5、泵不能低于30% 的额定流量和高于130% 的额定流量下长时间工作。  6、注意检查泵的振动和噪声,如有异常振动及异常噪声应马上停车检查。  对于上述内容的数据应及时记录,并根据记录数据的变化以分析判断是否需要进行检修。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵...
2022 - 04 - 30
为什么水环真空泵使用范围那么广泛?这取决于水环真空泵的优势比较明显,现在来看看水环真空泵(水环式真空泵/水环泵)的使用优势有哪些。水环真空泵的优势如下:1)结构简单,对制造精度要求低,易于加工。2)结构紧凑,泵的转速高,罗茨真空泵不需要减速器就可以直接与电机连接。因此,利用小的结构尺寸,可以获得大的位移并且占据的面积小。3)压缩气体基本上是等温的,即在压缩气体的过程中,温度变化很小。4)由于泵腔内没有金属摩擦面,所以不需要润滑泵,磨损很小。旋转部件和固定部件之间的密封可以通过水封直接完成。5)吸入均匀,工作稳定可靠,操作简单,维护方便。德国进口品牌SPECK 水环式真空泵V30-V55,采用气体传输真空泵原理,水环泵上偏心设计更节能,不锈钢水环真空泵,防爆、密封机轴设计,小型体质节省空间,易于安装。深圳水环真空泵厂家,是德国司倍克真空泵代理商,水环式真空泵V30-V55型号,不锈钢水环真空泵,防爆更节能,可应用于真空机组配套、真空泵系统解决方案。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,通过从设计选型安装调试维保等一站式服务, 为客户解决真空泵应用、真空工艺改善问题,恒才机电通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作,提供优质的真空泵、真空泵机组、真空泵系统方案等。
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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真空泵分离器添加润滑油怎么操作

日期: 2022-05-06
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真空泵分离器添加润滑油怎么操作?关于真空泵保养、真空泵维修、真空泵系统售后服务等,欢迎咨询深圳恒才机电有限公司。

在驱动力的作用下,真空泵的油雾分离器从一侧穿过油气混合物中的滤纸和真空泵的油雾分离器的棉油被截留,从而实现气体和真空油的分离过程。过滤后的真空泵油随回油管循环使用,无油废气排放,达到无污染、清洁的效果。

真空泵分离器添加润滑油怎么操作?

1.真空泵运行时检查:检查真空泵油雾分离器压力表是否堵塞。当压力表读数在红色区域时,这意味着油雾分离器堵塞,必须更换。

2.如果油雾分离器没有压力表,油雾分离器的电阻通过水环真空泵驱动电机电流的变化来测量。真空泵的驱动电机或流量消耗的电流减少,表明油雾分离器堵塞,必须更换。


水环真空泵,水环泵


3.如果真空泵油雾分离器压力表指示的压力低于正常值,或者驱动电机消耗的电流低于正常值,则油雾分离器损坏,需要更换。

4.如果排出的气体含有油,必须更换,因为油雾分离器堵塞或损坏。真空泵的油雾分离器不能彻底清洗,堵塞的油雾分离器必须更换。

5.在更换真空泵的油雾分离器之前,请关闭真空泵并切断电源,以确保旋片真空泵真空泵达到大气压。从油箱上打开通风盖板,用专用内部六用途扳手拆下通风过滤器,并将带密封圈的新油雾分离器的开口端安装在油箱中的正确位置。


深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。

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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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