三叶罗茨真空泵工作原理:罗茨真空泵具有二个三叶型转子,通过一对同步反向旋转高精度齿轮驱动,右图为转子在泵腔内旋转120°,完成一次吸、排气的过程。三叶转子采用渐开线型线,转动时互相不接触并保持恒定间隙。
二、主要特点:
●转速高、容积率高、温升低、振动小。
●结构简单、性好,操作、维护方便。
●转子被锁紧,无轴向串动现象、故障率更低。
●所有平面静密封采用O型圈密封,可以反复拆装。
●主轴采用机械密封,确保泵腔无油和长期无泄漏。
●端盖密封可采用机械密封、骨架、活塞环和迷宫密封等多种形式。
三叶罗茨真空泵比传统二叶型罗茨泵在抽气效率、允许压差、温升、振动、噪声等关键性能指标上都具有明显的技术优势。三叶转子采用高精度齿轮传动和精密轴承支承,噪声低、运转更加平稳,在低入口压力下仍具有较大抽气速率。
三、应用范围:
三叶罗茨真空泵不能单独使用,必须与前级真空泵配套使用,配置不同类别的前级泵后,罗茨真空泵各项性能指标会有所不同。
罗茨真空泵主要应用于需要大抽速和粗、中真空(103~10-2Pa)的真空系统,例如真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干噪、真空蒸馏。