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2019 - 11 - 13
水环真空泵是使用液体作为工作介质的粗泵。水被用作工作介质,称为水环真空泵。其他人可以使用油,硫酸和乙酸作为工作介质。工业水环真空泵的应用大部分。  使用真空泵时,需要注意以下事项:  1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空镀膜需要的真空度为1 × 10-5mmHg,所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。  2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化,其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作,但其工作压力应小于1020mm 10-5mmHg。  3、真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。  4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时一个泵无法满足泵送要求,因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时,真空装...
2019 - 11 - 14
有时使用水环真空泵,您会发现操作效率特别低。这可能是因为设备的速度太低,导致泵送能力差。您应该如何找到低速?是什么原因?让我们仔细研究一下设备运行时速度太慢的原因。  1、水环真空泵动力机维护错误  电机绕组烧毁后的维护中,匝数,线径和接线方法可能与以前有所不同,或者由于维修过程中完全维修的失败而可能改变速度。  2、传动皮带磨损  有许多大型真空泵使用皮带传动。长时间后,皮带会由于磨损而松动,这会导致打滑并降低速度。  3、设备本身的机械故障  叶轮和泵轴之间的紧固螺母松动,或者由于长期使用而导致泵轴变形和弯曲。这将导致水环真空泵的叶轮位置移动,直接接触泵体并发生摩擦,或者轴承出现。损坏,这些很可能会降低速度。  4、水环真空泵安装不正确  两个皮带轮之间的中心距离太小或两个轴之间的平行距离,或者皮带的紧侧附着在上侧,所以包角太小,计算两个皮带轮的直径错误地,并且两个轴之间的偏心率很大。它还会改变速度。  5、人为因素  原始电机损坏后,很多水环真空泵设备都配备了另一个不合适的电机。这将导致流量减少,升力低或什至没有水。  上面介绍了五个水环真空泵使用率过低的原因。通常,有许多我们在使用过程中产生问题原因。我们没有去仔细的检查。我们有必要进行各种调查,然后确定原因,才能解决问题。
2019 - 11 - 16
水环真空泵的气蚀现象也可能成为汽浊现象。这意味着水会影响叶轮。如果在叶轮下长时间损坏怎么办?我们如何防止这种情况?出现了这种情况原因是什么?下面让我们看一下。  1、水环真空泵气蚀现象原因  导致气蚀的主要原因有两个:工作水汽化和水环真空泵压缩不足。  (1)在水环真空泵设备运行时,当泵局部区域的压力降至与工作水温相对应的饱和压力以下时,工作水会汽化并出现气泡。随着工作水的流动,这些气泡被带到高压区。压力上升后,气泡突然破裂,蒸汽重新凝结,形成孔洞,周围的水将高速流入腔体,形成局部高频水锤,对叶轮造成冲击,并形成气蚀现象。很长时间;  (2)压缩结束时,如果压力仍未达到排气口的压力,则泵腔外部的未冷却水将从排气口流回泵腔,从而引起腔室内压力突然上升。发生气蚀。  2、水环真空泵气蚀现象预防措施  (1)进出工作水的温度要足够低才能获得所需的真空度。  (2)水环真空泵内要有足够的工作水,以尽量减少工作水的温升。  (3)避免从工作水冷却器中阻塞,弄脏和泄漏空气。  (4)增加吸入口的压力。  通常,水环真空泵的气蚀现象是水在环境的影响下蒸发,然后在到达叶轮之前,气泡消失并充满水,这将冲击叶轮并形成气蚀。使用真空泵时,我们必须及时检查并修复问题。如果无法解决问题,请联系真空泵厂家的售后服务人员进行维修。
2019 - 11 - 19
冶金学是从矿物中提取金属或金属化合物,并使用各种加工方法将金属制成具有一定性能的金属材料的过程。冶金工业是指采矿,选择和烧结金属矿石并将其冶炼成金属材料的工业部门。自冶金工业的建立和发展以来,人们一直在探索各种方法来减少大气环境和杂质对金属材料冶炼的影响,但是直到真空技术出现后,它才能够从根本上解决这个问题。冶金技术取得了根本性突破。本文介绍了罗茨真空泵在冶金行业中的应用。  罗茨真空泵广泛用于冶金行业,例如真空蒸馏,真空脱气,真空烧结,真空热处理等。  真空冶金是在标准大气条件下进行的冶金操作。它可以实现在大气中无法进行的冶金过程,防止金属氧化,分离具有不同沸点的物质,去除金属中的气体或杂质,增强金属中碳的脱氧能力并提高金属和合金的质量。真空冶金通常用于金属的冶炼,精炼,铸造和热处理。随着尖端科学技术的飞速发展,真空冶金越来越多地用于稀有金属,钢和特殊合金的冶炼。  罗茨真空泵在冶金行业的技术应用,请在4点仔细阅读。  1、 罗茨真空泵钢水中的真空处理  使用真空处理技术来改善钢的质量已经开发了很长时间,并且已经发展到每次处理数百吨的规模。常用的钢水真空处理方法如下:1钢桶处理方法; 2。 2钢液柱的处理方法; 3真空铸锭; 4起重处理方法; 5循环处理方法; 6工业感应精炼。  2、 罗茨真空泵在真空感应炉  真空感应炉是真空冶炼的重要设备。在具有或不具有成形的产品的熔融过程中...
2019 - 11 - 20
真空渗锌技术是一种用于钢材防腐处理的新工艺,它代表着钢防腐处理技术发展的新趋势。  传统的电镀工艺是:(表面清洁)酸洗→渗锌→钝化→干燥→成品。在酸洗和钝化工艺中,将产生酸洗和钝化废水,这需要进行废水处理。同时,由于使用了钝化铬,钝化废水和完成的表面或多或少地残留在人体上。和对环境有害的铬离子。  真空渗锌是一种清洁环保的新型钢防腐工艺,是在铁素体状态下进行的化学热处理。它以锌粉为原料,在旋转密闭容器中,加热的钢在真空条件下与锌粉接触,从而锌原子均匀地扩散并渗透到钢制工件的表层中,从而形成钢制工件底座的表面层。致密且均匀的金属间化合物——锌铁合金层(称为渗锌层)。  与热浸渗锌相比,真空渗锌具有以下优点:  1、真空渗锌是在真空条件下形成锌铁合金层,使锌原子渗透到钢制零件的表层,从而减缓或避免氧化,并改善渗锌零件的耐腐蚀性和耐磨性。该技术最适合于加工形状复杂的零件,无论是螺钉,钢制内壁还是凹槽等,渗锌后渗锌层表面均光滑,厚度均匀且不起皱,并且不容易剥离。  2、真空渗锌层的厚度可以控制在20-120微米的范围内,这完全解决了热浸渗锌紧固件耐受性差的问题。  3、真空渗锌在密闭的容器中进行,从而完全消除了锌蒸气对大气的污染,从而完全消除了因锌蒸气中毒和热浸渗锌而“射击”的工人燃烧的高温锌液。历史。  4、在空气污染严重或长期浸泡在盐水(海水)中的环境中,真空渗锌部件的耐腐蚀性能尤为突...
2019 - 11 - 22
选择高温油泵与了解其主要参数密不可分,这些参数包括泵排量,额定流量,理论流量,额定转数等,其中:  1.排量(mL/r):泵每转一圈可排出的液体量;  2.理论流量(L/min):在额定转数下,通过计算方法获得的每单位时间泵可排放的最大流量;  3.额定压力(Mpa):可以保证泵在正常工作条件下可以长时间运行的最高压力;  4.额定流量(L/min):在正常工作条件下长期运行时可以输出的最大流量。  5.额定转数(r/min):可以保证在额定压力下长时间正常运行的最大转数;  6.最大转数(r/min):在额定压力下,允许泵在短时间内超过额定速度的最大速度;  7.驱动功率(KW):在正常工作条件下可以驱动液压泵的机械功率。  通常,应根据系统的实际工作条件进行选择。为了提高系统的可靠性并延长高温油泵的使用寿命,可以在泵的额定压力的70%至80%之间选择固定设备中液压系统的正常工作压力。液压系统的工作压力可以在泵额定压力的50%至60%之间选择。  选择高温油泵的第二个最重要的因素是泵的流量或排量。泵的流量与工作条件有关。所选泵的流量必须大于液压系统运行的最大流量。  泵的效率值反映了泵的质量。一般来说,主机的常用运行参数应在泵效率曲线的高效率区域。  此外,不应同时使用高温油泵的最大压力和最大速度,以延长泵的使用寿命。  速度的选择应严格按照产品规格表中指定的数据进行,并且不得超...
2019 - 11 - 25
糖不仅是人们生活中必不可少的消费产品,而且还是食品,医药和其他行业的重要原材料。发展制糖业。增加食糖产量,满足人们的生活需求,繁荣市场。结果表明,在制糖工业中旋片真空泵有3种应用,包括CO2、污物过滤的制备及其在蒸发器和真空吸盘中的应用。  制糖业是高度机械化的,连续的现代生产产业。它的原料是我们通常所说的糖。它的生产过程几乎包括所有主要的化学单元,并且是一家食品生产企业,具有完整的化学单元生产过程。  旋片真空泵的特点  1、抽速快,体积小,重量轻,噪音低,维修方便,极限真空高。根据国际限制,真空度为6×10-2Pa(即5×10-4托,注意:托=133.32Pa)。  2、具有可靠的防尘装置。当杂物通过防尘装置时,其他旋片泵可以连接到泵室。我公司生产的真空泵通过防尘装置,只能在防尘装置的外部流通。这确保了泵的正常运行,并完全解决了碎屑进入泵腔的问题。  3、有一个带排放阀和进油口的复合螺钉。在中国生产多年的两级旋片泵是在燃油箱内的低位排气阀座上设计的。当油孔被堵塞时,应排干机油并拆下油箱以清理油孔。只要真空泵拧下复合螺钉,它就可以清理油孔并排出碎屑和水蒸气。即,快速省力,大大提高了泵的工作效率。  旋片真空泵制糖行业的一种应用——以制备二氧化碳  CO2压缩机不仅压缩,还可以保持气体清洁。压缩机完全无油,对固体颗粒的摄入不敏感。压缩机的圆盘确保转子和叶轮之间的...
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2019 - 10 - 24
许多人可能对水环真空泵的排气了解不多,这对设备的运行有害现象,因此我们必须找到在使用过程中防止它发生的方法。  一,水环真空泵-过滤  为了解决这个问题,可以将过滤器装置添加到水环真空泵前进气管中,以进行灰尘或残留液体。过滤并定期清洁过滤设备,以确保良好的性能。同时,对于整个水环真空泵维护泵体并及时清洗阀板。  二,水环真空泵-散热  由于水环真空泵活塞在气缸中不断往复运动,因此泵体的温度过高,导致材料碳化。引发事故的条件。为避免这种情况,请在打开泵之前先打开水环真空泵的冷却系统,并确保系统入口和出口管道畅通无阻。  三,水环真空泵-清洗缓冲  在水环真空泵之前添加水洗和缓冲罐可以有效地清洁吸入的残留液体,并对混合空气具有一定的冷却效果。但是,在实际工作中,经常会出现以下两种现象:  1.罐内残留液体量少时,少量液体被吸入泵体内,物料在高温下会碳化;  2.当残留液体量很大时,例如,如果没有及时排出,则水环真空泵可能会吸入液体并产生冲洗泵,从而引起大的设备事故。  因此,在生产过程中,员工需要严格按照规定使用水环真空泵,并及时排出残留的液体,以免发生事故。  四,行气管阻塞或不流畅  该故障可能导致包含甲醇蒸气的混合气体及时排出。当其积累到一定程度时,它将严重泄漏,并且水环真空泵会猛烈撞击甚至爆炸。  造成这种现象的原因很多。这可能是由于设计缺陷导致的,导致行气管的位置相对较低。管...
2019 - 10 - 31
很多人会问真空泵机组的选择方法?真空机组的工作流程是什么?真空机组的使用说明及注意事项?现在我们就来了解一下.  真空泵机组的选择方法  真空泵机组主要是罗茨泵,真空泵机组是罗茨泵。旋片泵与前级泵串联连接。其结构紧凑,操作简便。适用于抽取空气和其他非冷凝性和非腐蚀性气体,用于需要高抽速和高真空的各种真空系统中。如:真空熔炼,功率电容器,变压器,真空浸渍处理,真空镀膜设备的预萃取。当一个泵不能满足抽气和真空要求时,需要组合多个泵以相互补充,以满足工艺要求。  需要预先抽真空;一些真空泵入口压力低于大气压,并且真空泵机组中的真空泵不能在大气压下运行。需要前级泵,因此需要组合泵。组合使用的真空泵称为真空泵机组,可以使真空系统获得更好的真空度和排量。组合真空泵应正确选择。不同的真空泵对提取的气体有不同的要求。例如,通常罗茨-旋转叶片机组不适用于包含更多可冷凝气体的系统。  真空机组的工作流程是什么  真空机组所需的罗茨真空泵不能直接排到大气中。如果直接排气气氛将形成罗茨真空泵的吸入口和排气口的压力差太大,从而使罗茨真空泵过载,如单纯增加0201真空泵的电机功率将形成罗茨真空泵020 -1导致过热真空泵转子之间的小间隙由于热收缩而迅速被卡住。 罗茨真空机组必须确保罗茨真空泵转子之间的间隙,以确保罗茨真空泵可以达到更高的真空度。因此,罗茨真空泵必须配备前级泵。当前级泵将系统内部的压力拉至一定范...
2020 - 05 - 22
1.水环式真空泵怎么防止腐蚀       水环真空泵是一种粗糙的真空泵,可以获得2000-4000帕的极限真空和270-670帕的一系列大气喷射器。水环真空泵安装了一个带固定叶片的偏心转子。水(液体)被抛到定子的墙上,形成与定子液环同心的液环,转子叶片形成一个可变容积的旋转式可变容积真空泵。水环真空泵具有结构简单、加工容易、抽吸均匀、运行稳定可靠、操作简单、维护方便等优点。  由于水环真空泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体可以去除。由于没有排气阀和摩擦面,带有灰尘、可冷凝气体和气水混合物的气体可以被去除。具有这些突出的特点,尽管它的效率很低,但它仍然广泛应用于石油、化学工业、机械、造纸、采矿、轻工业、医药和食品工业。  2.腐蚀原因分析  随着真空泵在水环,越来越多的应用,由于高温、高压、强腐蚀、气蚀等恶劣环境的影响,设备在运行过程中经常出现磨损、腐蚀、泄漏等现象,制约了企业的正常生产,甚至导致火灾、爆炸、污染等严重的安全事故。腐蚀的主要原因可归纳如下:  1)水环真空泵的水经过多次循环后,不仅酸度增加,而且水环湍流会与一氧化碳充分接触,使水呈酸性,从而在水环真空泵的流动部分造成电化学腐蚀情况,从而造成叶轮等流动部分的腐蚀。  2)水环真空泵边界条件的改变会增加局部流量,在叶轮背面产生负压,在使用过程中容易产生气穴现象,形成大量气泡。在放电...
2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
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莱宝单级旋片真空泵SV300B特点有哪些?

日期: 2021-09-13
来源:
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Leybold莱宝油封式真空泵——莱宝SV300B单级旋片真空泵


莱宝SV300B单级旋片真空泵特点有哪些?


1、莱宝SV300B旋片真空泵本身带有防返油阀、气镇阀(选用件)、出口过滤器、回油线路和油冷却回路,泵由直联法兰电机驱动。

2、由于莱宝SOGEVAC系列真空泵浦在从1000mbar的极限气压到0.08mbar的极限压力之间,都可以运转使用。

3、莱宝SOGEVAC系列真空泵不能抽侵蚀性、腐蚀性、易燃易爆气体。


莱宝旋片真空泵,莱宝真空泵



莱宝SV300B旋片真空泵应用范围:

食品包装、金属工业、石化工业、真空热处理、真空吸塑、医药科技、电子科技、半导体工业、真空电镀等行业

莱宝SV300B单级旋片真空泵带有防返油阀、气镇阀、出口过滤器、回油线路和油冷却回路,抽速280m³/h,真空度0.08mbar,高真空度。


深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,是深圳真空泵生产厂家之一,深圳恒才机电设备有限公司所研发的真空泵(水环真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵)、真空系统、真空机组等产品广泛应用于食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,并为客户量身定制行业应用解决方案,深圳恒才机电是深圳集成监控系统公司行业的之一。



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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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