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2020 - 03 - 26
罗茨真空泵缩小汽体需要的输出功率与压差正比,一旦汽体压差过高,泵就将会出現负载状况,导致电机绕组烧蚀。  一、处理泵负载难题的方式关键有下列几类:  1、选用机械式全自动变压进气阀  进气阀安裝在罗茨真空泵的出入口和入口中间的旁通阀管路上。此阀操纵泵出入口中间的压差不超过额定电流。当压差做到额定电流时,闸阀靠压差功效全自动开启,使罗茨真空泵出入口和入口互通,施展入口中间的压差快速减少,这时候罗茨真空泵在基本上无压差的负载下工作中。当压差小于额定电流时,阀全自动关掉,汽体根据罗茨真空泵内由前面泵吸走。含有旁通阀调速阀的罗茨真空泵能够与前面泵另外起动,使发电机组实际操作简易便捷。  2、选用液力传动连轴器  选用液力传动连轴器也可以避免泵的负载状况产生,使泵能够在高压差下工作中。液力传动连轴器安裝在泵和电机中间。在一切正常工作态度下,液力传动连轴器由电机端向泵传送额定值扭矩。罗茨真空泵的较大压差由液力传动连轴器所传送的较大转距来决策,而液力传动连轴器可传送的较大转距由在其中的液體量来调整。当泵在高压差下工作中或与前面泵另外启动,在液體连轴器內部造成了转速比差即拖动,只传送一定的扭矩,使泵降速工作中。伴随着抽真空的开展,汽体负载减少,罗茨真空泵慢慢加快至额定值转速比。  3、选用真空泵电气元器件操纵泵入口工作压力  在罗茨真空泵的入口管路处按置真空泵膜盒汽车继电器或电触点真空压力表等工作...
2020 - 03 - 31
(一)定义  1、真空泵(VacuumPump)  (1)真空泵的界定  真空泵就是指运用机械设备、物理学、有机化学或物理学的方式对被抽器皿开展抽真空而得到真空泵的元器件或机器设备。通俗化而言,真空泵是用各种各样方式在某一密闭中改进、造成和保持真空泵的设备。  (2)真空泵的关键性能参数  关键技术参数有抽真空速度、极限压力、额定功率、唿吸及排气口规格这些。  (3)常见的真空泵类型  真空泵有很多种类,工业生产上应用数最多的是液环式真空泵、油润化旋内置式真空泵;而医院门诊负压吸引系统软件的真空泵中心站常见的真空泵除所述二种种类外,也有水喷式真空泵、爪形电机转子干试真空泵等种类。  2、背压(BackPressure)  背压,从其字面上上的意思看来,就是指某排放系统后端压力,一般有二种叙述方式,一就是指健身运动流体力学在密闭式器皿中沿其相对路径(如管道或排风通道)流动性时,因为遭受阻碍物或急弯道的阻拦而被释放的与健身运动方位反过来的压力;二就是指系统软件排出来的流体力学在出口处或二次侧遭受的与流动性方位反过来的压力(超过本地大气压力)。  比如,液压制动系统的背压是指液压制动系统因其中下游摩擦阻力或元器件进、出口特性阻抗比率转变而造成的压力。  3、真空泵的背压(VacuumPumpBackPressure)  全部的泵类在工作中时都是出现背压。泵的背压就是指泵所输出的流体力学相...
2020 - 04 - 03
罗茨真空泵(通称:罗茨泵)就是指泵内配有2个反过来方位同歩转动的叶型转子,转子间、转子与泵壳内腔间有细微空隙而互相触碰的一种变容真空泵。  罗茨真空泵在原油、化工厂、塑胶、化肥、汽轮发电机转子转子动平衡、航天航空室内空间仿真模拟等设备上获得了长期性运作的磨练,因此应当在中国大力发展和运用。另外也普遍用以原油、化工厂、冶金工业、纺织品等工业生产。真空泵零配件做为真空泵消声器,用以真空泵的噪声处理。  原理  罗茨泵是一种无内缩小的真空泵,一般压缩比很低,故高、中真空泵必须前面泵。  靠泵腔内一对叶型转子同歩、反方向转动的推压功效来挪动气体而保持抽真空的真空泵。  罗茨真空泵就是指具备一对同歩高速运转的鞋面形转子的机械设备真空泵,此泵不能独立抽真空,前面要配骨架密封、水环等可直排空气。  它的构造和原理与罗茨风机类似,工作中时其唿吸口与被真空包装器皿或超滤装置主抽泵相连。这类真空泵的转子与转子中间、转子与泵壳中间互相触碰,空隙一般为0.1~0.八毫米;不用用食油润化。转子型线有圆斜线、渐开线齿轮和旋轮线等。渐开线齿轮转子泵的容量使用率高,加工精度便于确保,故转子型线要用渐开线齿轮型。罗茨真空泵的转速比可达到3450~4100转/分;抽真空速度为30~10000升/秒(一升=10-3米3);极限真空泵:单极为6.5×102帕,双极为1×103帕。  罗茨泵的极限真空泵...
2020 - 04 - 08
液环真空泵,合适工业生产和粗真空范畴内的湿冷和腐蚀性运用。  在此项新开发设计中有五项关键的技术性特点:  1)换热器由离心叶轮、端板、储液器和不锈钢板做成,因此商品能够 曝露在腐蚀性和极端化加工工艺汽体自然环境中;  2)内部引入安全通道减少了泄露的风险性;  3)电动机法兰盘的水准布局降低了珍贵的维护时间;  4)机封的应用可避免泄露并增加维护间距;  5)设备外场是紧凑型而牢固的隔音罩,能够 维护电子器件部件并增加泵的使用期。  除此之外,液环真空泵还配置了2个速率可控性的调速控制器。在其中一个调速控制器将真空泵的速率调整到真空水准,另一个调速控制器依据运作标准调整根据离心水泵的出水量,以防出现汽蚀风险性。2个调速控制器根据优化算法可接连同歩,持续保持最好特性。液环真空泵可以避免全自动间断,因而用户不必担心休止情况下真空泵会产生常见故障。  液环真空泵的集成化气体逻辑性控制板可监控器泵的关键特点和主要参数,另外还出示预设值操纵选择项。那样,用户能够 依据加工工艺规定精准调节真空泵,节约能源。根据联接和操纵好几个液环真空泵;容许视频监控系统和远程操作,有利于泵获得最好维护和最多的一切正常运作时间。此外,用户仅需在必需时添充挡板,可降低水的耗费。  液环真空泵系列产品液环真空泵的运输速率为750~105b2503/hr,它包含了普遍行业的运用,如中央政府真空、制药业、塑胶,输运和...
2020 - 04 - 10
食用油在生活起居中大伙儿都是采用,最了解但是了。但是从原材料到成品油批发,食用油必须历经榨取、精炼才会出现在人们的饭桌。这一全过程中,食用油精炼加工工艺中会在其中有两条工艺流程会涉及真空泵设备运用。螺杆真空泵生产厂家带大伙儿一起了解下他们。  食用油精炼  食用油原材料历经榨取,得到精炼油后马上会进到到精炼环节。全部精炼环节一般会涉:过虑、碱化、中合、分离出来、手洗、分离出来、干躁、吸咐脱色、过虑、析气、蒸馏脱臭、过虑,这种工艺流程,随后会得到精炼制成品。这种工艺流程中,吸咐脱色及其蒸馏脱臭都必须在真空泵标准下开展,换句话说他们会涉及真空设备运用。  先说吸咐脱色。吸咐脱色就是说用催化剂载体将油中的黑色素成份除掉。食用油中黑色素成份繁杂,包含叶绿素、胡罗卜素、黄酮类黑色素、花色素等。全部脱色全过程必须在80~90℃的滚油中开展,催化剂载体与黑色素功效的另外还伴随氧化还原反应,危害成品油批发的颜色和可靠性,因而必须在100Pa上下的真空泵标准下开展,降低防止别的副作用。  而脱臭是由于精炼油历经早期的解决后,还会继续有一定量的油酸、微量分析的代烃、大环内酯、氮化合物及甘植物油脂金属氧化物等,这种低熔点组分变成食用油中的“异味”组分,会危害食用油的口味、味道、颜色及其可靠性,因而必须除去他们。植物油脂的蒸馏脱臭就是说运用异味组分与别的有效组分中间的熔点差别,在一定温度和真空值标准下,依...
2020 - 04 - 14
顾名思义,进口真空泵油是真空泵中使用的润滑油。除了普通润滑油所谓的润滑、冷却、抗氧化、油水分离等特性外,更强调的是在低压下,轻质组分远远少于常规油品。一般来说,抽真空时不抽油和气。这样,你的真空泵将很快达到真空效果,而不是抽气,真空度将不会总是能够达到。这需要高度的炼油,必要时应选择合成油。然而,进口真空泵油的常见问题是什么?真空泵如何更换真空泵油?  进口真空泵油的常见问题是什么?真空泵换油引起的问题有哪些排除方法?  1.泵出口有喷油现象:加油太多,减少了加的进油量;进气口应该是加,以避免长时间抽气。  2.泵出口有雾:检查入口及其他部位是否有漏气现象。  3.低真空度:其他轻质液体是否混入泵腔和油中。更换新油后,泵应正常运行一段时间,以检查泵的所有密封部件是否有空气泄漏。  4、校对测试仪器。  我们都熟悉真空泵,它们被广泛使用。真空泵如何节省进口真空泵油?  以下是几个要点的总结,供你参考。  (1)用重力方法将容器放在放油口下面,拧紧放油螺钉,让真空泵中的旧油自动流入容器。排出旧油后,从吸入口注入少量干净的真空泵油(100 ~ 500毫升),冲洗真空泵腔,内部,然后启动真空泵运行约1分钟,再次关闭真空泵,排出注入的新油。如果释放的油仍未获得,则应继续用新的杂油冲洗,直至清洁为止。然后,拧上放油螺钉。拧下加,油孔上的螺钉,将前真空泵油注入真空泵的加,使油位达到油标记线,然后...
2020 - 04 - 16
无油干式真空泵在节能环保方面具有前所未有的优势,更代表了未来泵行业发展的趋势。许多干式无油真空泵具有不同的真空参数和不同的功能差异。如何根据自身的工艺特点选择干式无油真空泵,首先需要了解各种干式无油真空泵的选型知识。只有这样,才能尽可能多地购买理想的真空泵,降低购买成本,从而获得稳定的真空需求。它给企业的未来带来了很高的经济效益。以下是无油干式真空泵选择的详细说明。我希望它能帮助你。  无油干式真空泵的大多数用户是从原来的油封真空泵和水环真空泵改装而来的。那么为什么越来越多的企业客户放弃原来的油封真空泵或水环真空泵而选择干式无油真空泵呢?  干式无油真空泵。工作泵室没有油和水,既不会污染真空室,也不会污染萃取介质。并且可以直接排放到大气中。虽然短期购买的成本超过了传统真空泵,但干式无油真空泵的后期使用和维护成本要低得多,而且时间越长,后期成本差异越明显。  无油真空泵  干式无油螺旋真空泵是一种干式、无接触、等螺距的螺旋真空泵。这两个螺钉经过精确的动平衡处理,并由轴承支撑。设备在泵壳里。螺钉和螺钉之间有一定的间隙。泵运行稳定,没有相互冲突。工作室没有介质。因此,干式无油螺杆真空泵可以去除含有许多可冷凝气体和粉尘的气体,是一种环保节能的真空泵。它比油封机械真空泵、液环真空泵、往复式真空泵等类型的真空泵更适用。  一、干式螺杆真空泵的选择  1、干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排出真...
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2025 - 05 - 21
电子封装过程中使用水环真空泵机组,主要基于其能够满足工艺对真空环境的严格要求、具备稳定可靠的性能、适应复杂工况的能力以及符合环保与安全标准等多方面优势。以下为具体分析:一、满足电子封装工艺对真空环境的要求高真空度需求:电子封装过程中,许多工艺步骤需要在高真空环境下进行,以确保封装材料的纯净度和封装质量。水环真空泵机组能够提供稳定的真空环境,满足电子封装工艺对真空度的严格要求。低气体残留要求:在电子封装中,任何微小的气体残留都可能对封装性能产生严重影响。水环真空泵机组具有高效的抽气能力,能够迅速将封装腔室内的气体抽出,降低气体残留量,提高封装质量。二、水环真空泵机组的性能优势结构紧凑,占地面积小:水环真空泵机组通常设计紧凑,占地面积小,便于在电子封装生产线上集成和安装。运行稳定,维护方便:水环真空泵机组采用成熟的技术和可靠的设计,运行稳定,故障率低。同时,其维护也相对方便,降低了生产线的停机时间和维护成本。适应性强:水环真空泵机组能够适应不同的工况和封装材料,满足电子封装工艺的多样化需求。三、水环真空泵机组在电子封装中的具体应用封装腔室抽真空:在电子封装过程中,水环真空泵机组用于将封装腔室内的气体抽出,形成高真空环境,为后续的封装工艺提供条件。气体回收与处理:水环真空泵机组在抽气过程中,能够将抽出的气体进行回收和处理,避免对环境造成污染。与其他设备协同工作:水环真空泵机组可以与其他电...
2018 - 05 - 23
双级旋片真空泵工作原理:如图所示,双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切(两者间的有很小的间隙),转子里开了个槽,槽内装有旋片。当转子旋转时,旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触,沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍:阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑,无振动,运行平稳,应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业:l  冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸馏l  作为高真空应用的前级泵l  真空冶金l  薄膜技术l  真空冷冻干燥l  变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l  低温容器抽真空 双级旋片真空泵技术参数:双级旋片真空泵维护保养:1.       根据需要检查油位,至少每月一次,2.       根据具体应用更换油,3-6个月,3.       每次更换油,检测并清洁入口过滤器,4.     ...
2018 - 07 - 25
暑假期间,开车出去游玩都会很堵,像周六日出去海边玩,车子堵起来会走走停停。那天出去玩,我发现一辆车很特别,一辆轻型商用车,这辆车不像一般轻卡车那样不规则的怠速抖动,非常安静。只听到驾驶室里传来悦耳的音乐,隔着显眼的福耀玻璃,看到了轻卡车司机淡定的笑容。车子开始缓缓移动,这时我看到了车尾显眼的 ——“比克纯电动车”。科普柯工业真空科普柯真空事业部北区出售团队,在2018月刚与比克新能源轿车有限公司签订了两台阿特拉斯·高效变频驱动喷油螺杆真空泵的出售合同。    作为我国最具发展潜力的自主新能源轿车出产企业之一,公司是以电动轿车动力体系集成技能为核心的新能源轿车研制、制作及出售的整车出产企业。公司致力于电动轿车的研制及技能创新,使用全球抢先的轻量化车身技能及其制作工艺、高效制动能量收回体系、安全节能电动空调体系、整车功能验证、动力电池热管理体系等产品及技能,用心打造符合我国及国际市场的电动轿车产品。  GHS VSD+螺杆真空泵可靠性与高效能完胜  镜头回到2016年的深秋,郑州阿特拉斯·科普柯的授权代理商在惯例拜访中发现郑州比克工厂在注液工艺中运用的某国产品牌双级旋片泵损坏率很高,该工艺需求的真空度为50-100mBarA。代理商在与阿特拉斯·科普柯北区出售经理咨询、探讨之后,引荐客户运用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效变频驱动喷油螺杆真空...
2018 - 10 - 09
真空可分为4级:  粗真空 (RV):  1000 - 1 mbar  中真空 (MV):  1 - 10-3 mbar  高真空 (HV):  -3 - 10-7 mbar  超高真空 (UHV):  -7 mbar真空的度量单位:国际制单位:  mbar + Pa   1 mbar = 100 Pa = 1 hPa其它单位:  N/m²  1 N/m² = 1 Pa = 0,01 mbar  Torr  1 Torr = 1,33 mbar  mmHG  1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar  Atmosphere  1 atm = 1013 mbar  Micron  1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar  PSI  1 psi = 0,069 bar         % Vacuum  1 % Vacuum = 10 mbar
2018 - 12 - 05
德国speck进口真空泵使用恒才100#真空泵油,具有适宜的化学稳定性和热稳定性,耐水解,与密封材料的相容性很好。 进口真空泵油的性能要求:1.高温下饱和蒸汽压要低,易挥发成份要少。饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的最高工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5  kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。 2.最低水含量和吸水性。极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力:用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力,双级旋片泵分压力应为≤6×10-5 kPa。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,真空泵油中含有的挥发成分就越多,油品的性质就越差。 3.要有一定粘度,且随温度变化小(粘度温升曲线平滑)。真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。 4.润滑性能好,机械应力...
2019 - 03 - 29
德国SPECK品牌高温油泵常常应用到各个行业中,如塑料,造纸,CNC等等,那么高温油泵在使用前后需要准备哪些工作呢?下面,深圳恒才机电张工总结了四大点高温油泵在使用前后需要做的工作,我们一起来学习了解一下。一、在使用高温油泵前要对热载体炉进行清洁工作1、做好对热载体炉房的清洁和卫生工作,高温油泵应做到炉房内不得堆积杂物。2、加热炉房应该保持良好的照明条件。3、要对除尘器以及出灰箱进行清灰处理,一般的高温油泵每班应清灰二至三次。4、油、气炉应该经常进行擦除燃烧表面的油污及其积灰,高温油泵特别是立式的气炉,顶部会因温度较高,严禁放置一些易燃物品。5、要保持热载体炉及其设备的外观清洁度,高温油泵要清除外部的积灰,这样不仅可以给高温油泵创造干净卫生的环境,而且还更易于观察设备运转状态,以及可以时发现设备的隐患。二、在使用前要对高温油泵进行检查工作1、检查高温油泵使用情况及其高位槽导热油的温度,要严禁超过70℃,这样是为了防止结焦和泄漏。2、对高温油泵本体及燃煤炉炉膛、炉排以及其附属设备进行巡回检查,要及时发现产生的问题,并要采取相对应的措施。3、燃煤加热炉的炉膛不应该出现冒火和吸风现象。炉子高温导热齿轮油泵钢结构状态以及砌体和炉门应该完好,时刻保持炉膛严密性。3、检查各项设备运转情况,传动情况应无杂声响。燃煤炉排调速箱上煤机卷扬机械减速前润滑油应充足渣机和引风机应充满润滑油,应于引风机冷却...
2019 - 06 - 21
旋片式真空泵组装的时候需要注意些什么呢,下面是深圳恒才张工为大家捋的8个要求,一起来了解一下吧!1、旋片式真空泵的电机转子平衡现象是否符合规定,2、旋片式真空泵叶片与电机转子之间的协作空地,3、旋片式真空泵的泵轴即电机转子轴机器设备前,要判断它是否变型、弯折了,4、真空泵泵浦电机转子与轴承位的同轴度是否到达须要,5、真空泵轴承与轴承端盖之间的空地調整,6、几回额封密缓冲赔尝布置的缩紧量是否到达须要,7、真空泵封密部件空地的調整,8、连轴器的同轴度是否符合须要,真空泵油在应用中的改变 真空泵油在应用中遭受了温度、空气、危害介质、机械设备剪切、金属材料催化、等的效果,其构成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响,功能逐渐变差。      真空泵的组装也是非常重要的工程,可以在组装前先看明介绍或电话咨询真空泵厂家专业人员进行指导安装。
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罗茨真空泵故障检修

日期: 2021-06-30
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  罗茨真空泵故障检修

  一、极限压力达不到

  1. 管道系统漏气,系统检查即可。

  2. 泵体部分漏气,检查泵。

  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。

  4. 油封磨损,更换油封。

  5. 进气温度过高,影响极限压力。

罗茨真空泵故障检修

  二、抽速不足

  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。

  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。

  三、电机过载

  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。

  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。

  11. 采用机械式自动调压旁通阀。

  12. 采用液力联轴器。

  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。

  四、泵体过热

  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。

  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。

  17. 转子与泵壳接触,检修。

  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。

  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

  五、声音异常

  20. 装配不良,返修。

  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。

  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。

  24. 轴承磨损,更换轴承。

  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。

  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。

  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。

  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。

  六、泵油箱进气浮化

  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。

  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。

  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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