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2020 - 05 - 13
最近几天,我国大部分地区进入都经历了一个炎热的夏天,因为在夏季的高温环境中,当机械故障频繁发生时,由于真空泵可能会有异常的噪音、喷油、甚至卡钻等现象,一旦温度过高,在炎热的夏天运行真空泵时应该注意什么以保证真空泵的正常运行?  以下是夏季高温下真空泵运行的一些注意事项:  一、真空泵操作人员注意:  1、必须摆放整齐,工具、构件、配件摆放整齐,安全保护装置齐全,管线齐全;  2、清洁工作应做到,设备由内向外清洁,无黄色气泡,滑动面、螺杆、齿条和齿轮无油垢,检查无碰伤,各部确认不漏油,不漏油。  3、润滑时,要按时换油,加油,加油要符合要求,油枪、油壶和油杯要齐全,油毡和油线要清洁,油标要光亮,油检要通畅。  4、安全可靠,实行定人定机和交接班操作制度,遵守操作规程,合理使用,监控异常,无事故发生。  二、真空泵要求:  1.防止真空泵或真空泵放置在阳光下!尽可能将真空泵放在阴凉的地方,并小心不要将真空泵放在户外时暴露在阳光下。它自己的真空泵在工作时间温度很高。如果热量难以消散,真空泵的温度就会上升。一旦真空泵达到零界温度,就会发生机械故障!尽可能降低真空泵的工作温度。彻底更换真空泵油!  2.真空泵应处于通风位置或在室内配备冷却装置,以提高真空泵的散热性能。尽可能降低真空泵的工作温度。  三、耗材及时更换。主要是油雾分离器(排气滤芯)和油!这两种消耗品必须及时更换。如果排气过滤器报...
2020 - 05 - 16
一、真空泵油的特点  如果真空泵吸入腐蚀性气体,它会与油反应,腐蚀泵中的零件。吸入的空气中通常含有水蒸气和冷凝水,这会导致真空泵油乳化和金属腐蚀。因此,要求它具有良好的耐腐蚀性和抗乳化性。  二、选择真空泵油时要考虑的因素:  1.真空泵油的密封性能  真空泵油需要有合适的粘度,能使真空泵在低温下快速启动,在高温下密封性能好,泵内温升低。它不含轻挥发性成分,并在运行过程中降低真空泵的回油率。  2.真空泵油的饱和蒸汽压  饱和蒸汽压是真空泵油的关键指标之一。在恒温密闭容器中,汽液两相达到动态平衡时的压力称为饱和蒸汽压。  油的饱和蒸汽压应该尽可能低。在泵的最高工作温度下,饱和蒸汽压仍应足够低,并应低于真空泵的正常极限压力。在60的温度下,它必须达到至少6.510-5千帕(温度每上升20,饱和蒸汽压将下降一个数量级)。  3.限制真空泵油的满压和分压  极限全压:用皮拉尼真空计或热电偶真空计测量的真空泵中所有物质(气体)产生的总压力。目前,国外对全压力测试指标十分重视。  极限分压:用水银真空计(麦克斯韦计)测量的泵的极限空气分压,两级旋转叶片泵的分压应610-5千帕。极限全压和极限分压之间的差值要求不超过一个数量级。两者之间的差异越大,真空泵油中含有的挥发性成分越多,并且油的性能越差。  4.真空泵油的平滑度  摩擦表面的摩擦和磨损、外观疲劳和腐蚀磨损都与光滑条件有关。真空泵油的良...
2020 - 05 - 21
干式真空泵已经出现了很长时间,但没有明确的定义。就更换油封机械泵而言,一般认为它们可以在从大气压到10-2Pa的压力范围内工作。在泵的抽气流道(如泵室),没有油和液体可以使用,排气口与大气相通,并能不断向大气排放气体的泵称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。  市场上有许多类型的干式真空泵。根据其基本原则,只有两种类型,即:  (1)容积式干式真空泵,如多级罗茨泵、爪式泵、往复活塞泵、螺杆泵和涡旋泵等。该干式真空泵的极限压力一般为0.1~10Pa,泵送速度为0.01 ~ 0.04m3/s  (2)动量传递型无油真空泵,如涡轮式油泵。排气侧与大气相连,在连续流动状态下压缩相对较高。这是一个粗糙的泵,可以从大气压力泵1022帕。该结构采用径向流和周向流泵的复合结构,采用多级串联泵送。该涡轮泵的极限压力约为10-2Pa,泵送速度为0.02-0.15 m3/s。牵引型干式真空泵也属于动量传递型干式真空泵。  与油封机械泵相比,这些干式真空泵达到相同的极限压力,其残余气体成分完全不同。分析结果表明,CnHm气体(烃类气体)是油封泵残余气体的主要成分,而干式真空泵的残余气体是空气成分。这证实了干式真空泵的抽真空过程中没有油污染。  一些螺杆干式真空泵厂家在结构设计中仍使用润滑油,如泵的传动齿轮和轴承,也使用合成油,如真空油和其他润滑脂。采取了某些措施来防止油蒸汽出现在泵室中。严格地说,它不是无油...
2020 - 05 - 28
真空泵广泛应用于石油化工和制药行业。旋片真空泵制造商也列出了它们。具体用途是什么?接下来让我们看看它们。  气体回收。在石油和天然气工业领域,气体被释放到大气中。无论是上游生产还是下游精炼,气体回收都是从储罐中回收烃类气体的过程。气体回收可通过移除真空并压缩储罐中的气体来实现。通过使用干式泵,乙烷气体可以被回收、液化,然后再利用。  瓦斯气体回收。气体回收主要是炼油污水系统或生产中的气体回收。由于其成分,这种气体通常被认为是废气,但分离后,它可以回收。该方法是用真空泵将其输送到管道压缩机,压缩后输送到发电设备进行处理,可用于联合发电。这不仅有利于环境保护,还能产生新的效益。  燃气升压和提高石油采收率。提高燃气升压和提高石油采收率是一个上游过程,包括消除油井真空以释放油井压力,从而使石油能够更自由地流动并增加石油产量。同时,它还包括附带的气体回收。  原油稳定化。通过使用真空泵或压缩机排出溶解气体并稳定实际蒸汽压力,可以稳定原油。  原油减压蒸馏及芳烃抽提尾气收集。通过常压蒸馏或真空蒸馏,原油被分离成不同的组分,并根据不同的沸点进行提取。真空蒸馏比常压蒸馏效率高。工艺中排放的非冷凝轻烃气体通常收集在一个共同的容器中,并通过管道排放用于燃烧(点火炬)。现代炼油技术可以将其排放到真空泵或压缩机进行压缩,再返回到燃烧器进行燃烧,并回收能量。这对当前实施环境保护无疑非常重要。  石油和天然...
2020 - 06 - 04
真空泵维修一般分为三类:一般维护、中等维护和大修。  一、真空泵的一般维护  一般维护和定期维护同时进行,在维护的同时对泵进行检修,以保证泵的工作能力。  建议由我们的专业人员进行一般维护工作。  二、真空泵中等维护  当真空度不能满足工作要求或泵头有异常声音时,应在中间修理泵头。  1.检查并更换泵头的所有零件,更换轴封和泵油。  2.清除气缸套、转子和排气阀上的碳。  3.清洁进气法兰的零件,必要时更换进气单向阀。  4.组装泵头并调整转子间隙。  5.组装整机,运转1小时,检查技术参数。  中间修理工作必须由我们公司的专业人员进行。  三。真空泵大修  当真空泵严重损坏,运行数据严重减少时,需要进行检修和维护。大修的保修期为3个月。  零件(一套大修包):转盘、轴承、轴套、轴封、密封圈、排气过滤器、滤油器、泵油。  1.清洁以下部件:油路系统、排气阀、缸体、转子、进气总成和排气总成。  2.组装真空泵的泵头并调整转子间隙。  3.组装整机,运行1小时,测试技术参数。
2020 - 06 - 10
由于各种真空泵的性能能够满足抽真空容器的共同点,所以仍然存在差异。因此,在选择时,确定泵在真空系统中承担的工作任务非常重要。泵在各种工作领域的功能总结如下。  1.主泵  系统中的所谓主泵是真空泵,其直接对真空系统的真空容器抽真空,以获得满足工艺要求所需的真空度。  2.粗抽泵  粗抽泵是指真空泵开始将真空系统的压力从大气压降低到另一个泵系统可以开始工作。  3.前级泵  前级泵是指用于将另一台泵的前级压力保持在其最高允许前级压力以下的真空泵。  4.维持泵  维持泵是指当真空系统抽真空很小时,不能有效使用主级泵。为此,在真空系统中配备了另一个具有较低泵送速度的辅助前级泵,以维持主泵或真空容器所需的低压真空泵的正常运行。  5.粗真空泵或低真空泵粗  低真空泵是指从大气开始,在降低待泵送容器的压力后,在低真空或粗真空压力范围内工作的真空泵。  6.高真空泵  高真空泵是指真空泵在高真空范围内工作。  7.超高真空泵  超高真空泵是指工作在超高真空范围内的真空泵。  8.增压泵  增压泵通常是指在低真空泵和高真空泵之间工作的真空泵,用于在中间压力范围内增加泵送系统的泵送量或降低前一泵的泵送速率要求。
2020 - 06 - 15
螺杆泵是一台结构独特的容积式泵。它主要由驱动电机和减速器、连杆和连杆箱、定子和转子等组成。根据螺杆泵轴套抱死分析介质和转速对轴套间隙的要求,提出了解决轴套抱死的整改方案。  一、螺杆泵轴套抱死原因分析  根据滑动轴承的工作条件,衬套孔与轴的配合一般为间隙配合。零件中轴直径和衬套孔之间的尺寸偏差通常是通过在平均工作温度为20时确保轴和衬套孔之间的合理间隙变化来确定的。影响滑动轴承过热的因素有很多。在合理的轴承结构设计和正确的材料选择条件下,滑动轴承的过热主要是由于轴承径向间隙装配和使用不当造成的。  滑动轴承径向间隙对轴承过热故障的影响。滑动轴承的径向间隙是轴承孔直径和轴颈直径之差。滑动轴承应具有一定的径向间隙。其功能如下:它是实现轴与轴承之间活动连接的最低条件;它是控制轴运行精度的保证。这是形成液体润滑的重要条件。因此,滑动轴承的径向间隙非常重要,过大或过小都是极其有害的。如果间隙过小,很难形成润滑油膜,摩擦热也不容易带走,严重时会使轴承过热而“抱轴”。如果间隙过大,油膜难以形成,会降低机器的运行精度,产生严重的振动和噪音,甚至导致烧瓦事故。  在轴承的实际使用过程中,由于间隙过小,摩擦热不易带走。此外,润滑油为中残油,含有许多杂质,容易产生进入间隙,导致轴承过热。在严重的情况下,轴承会“抱轴”,烧瓦。  二、螺杆泵轴套抱死的预防和改进措施  为了防止轴承过热,如果径向间隙增大,=...
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2026 - 07 - 28
在印制电路板(PCB)制造行业中,层压工艺是决定多层板压合质量、绝缘性能及良品率的核心工序。然而,长期以来,许多PCB企业被一个看似不起眼的辅助设备——真空泵所困扰。传统的层压车间里,最常见的配置是“一台压机配一台旋片真空泵”。这种分散式的真空获取模式,不仅占据了大量车间空间,更在实际生产中暴露出诸多难以调和的矛盾,成为制约企业发展的瓶颈。过去,PCB层压机多采用老式油封旋片真空泵。旋片泵虽然结构简单,但其内部必须使用真空油作为密封和润滑介质。在层压过程中,压机加热温度通常超过200度,高温下内层线路板、半固化片等材料会释放出大量气体和低分子挥发物。这些气体被吸入旋片泵后,极易与真空油发生反应,导致油品乳化、变质,不仅丧失了密封和润滑功能,还会损坏泵体内部机械结构。更为严重的是,旋片泵在运行中会产生大量油雾,弥漫在车间内,气味刺鼻,不仅污染了车间环境,甚至可能反流污染PCB板材,造成不可逆的废品。此外,单机配置在面对多台压机同时启动时,往往出现抽气能力不足的问题,真空度波动大,导致板材压合时空气排出不彻底,产生气泡或分层。某知名PCB厂的张总对此深有体会。改造前,他的车间里几十台压机旁各摆着一台旋片泵,不仅噪音震耳欲聋,且油污满地,环境极其杂乱。旋片泵故障频发,维修师傅几乎每天都在修泵、换油,严重影响了生产进度。在了解到行业痛点后,张总找到了深圳恒才机电设备有限公司。作为全球五百强...
2026 - 08 - 13
很多半导体工厂的设备采购部门,在选晶圆吸附真空泵的时候,始终陷入两难的纠结:选便宜的普通国产泵,真空度差、不稳定,用不了两年就坏,影响良率;选日本坚山的进口泵,性能确实好,但价格贵得离谱,后续维护成本高,现金流压力太大。很多工厂在两者之间反复摇摆,要么选了便宜泵用半年就后悔,要么咬咬牙买了进口泵,运行几年之后发现全生命周期成本高得吓人。深圳恒才引入德国核心技术的晶圆吸附专用水环式真空泵机组,刚好卡在两者之间的最优区间,性能远超普通国产泵,价格和长期成本远低于日本坚山的进口泵,给工厂提供了第三个更优的选择。和普通国产旋片泵相比,恒才的水环机组优势极其明显:普通国产泵的极限真空度只能到1000hPa,运行半年之后磨损加剧,真空度直接掉到600hPa以下,完全达不到晶圆吸附的高真空要求,真空度波动范围超过200hPa,很容易导致晶圆掉片碎片。而恒才的水环机组采用德国双级串联技术,极限真空度可达33hPa,长期运行真空度稳定维持在100hPa以内,波动范围控制在±5hPa,完全满足晶圆吸附的高精度要求,而且水环泵的结构天然耐磨损、耐水汽,哪怕吸入少量硅粉和清洗液,也不会出现泵体快速磨损的问题,使用寿命是普通国产旋片泵的3倍以上。普通泵一套12工位的方案采购成本虽然只要20万,但用2年就要全部更换,2年的总投入超过40万,而恒才的机组可以稳定运行8年以上,长期性价比远超普通泵。和日...
2018 - 08 - 23
深圳恒才真空泵以清洁无污染,而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业,今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。  半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:    1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备;  2、有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物...
2019 - 10 - 23
关于维护水环真空泵滤芯,您可能不知道!  水环真空泵的滤芯应经常检查以避免整个设备的故障,滤芯使用一段时间后,可以及时更换,不仅达到良好的过滤效果,也将是水环。真空泵的冲击将受到影响。  通常,在打开水环真空泵之前,请检查零件是否完整和有故障,以免使用中出现问题并影响工作效率。对于过滤器滤芯,在检查完所有零件而没有任何问题之后,您可以打开水环真空泵以查看驱动电流。如果电流正常,则可以,但是如果电流减小,则可能为水环。真空泵过滤器被阻塞,这会影响电流的运行。  水环真空泵的滤芯应定期检查。如果灰尘过多,建议更换滤芯,以确保水环真空泵设备的正常运行。  教您4招,解决水环真空泵出水少  1,水环型真空泵-使用过高的扬程  所使用的水环真空泵使用不当,扬程太高或使用中的阀未正确调节,导致扬程的使用太高。  根据规定的范围使用处理方法:并适当减少其使用扬程或其他合适的规格。  2,水环真空泵-过滤器堵塞  水环真空泵的过滤器堵塞,导致水环泵水畅通无阻,出水量减少。  处理方法:去除水环真空泵的过滤器的内部和外部,以及潜水泵周围的水和碎屑。  3、水环真空泵-旋转方向相反  水环真空泵向相反方向旋转,出水量很小。  处理方法:交换水环真空泵抽出电流和电源的任何两相的位置。  4、水环真空泵-叶轮或泵盖磨损  处置方法:卸下水环真空泵,修理或更换叶轮和泵盖。  您知道水环真空泵对环境有何要求吗...
2019 - 10 - 29
水环式真空泵是催化剂生产中广泛使用的一种气体输送设备,一般与带滤机(胶带机)配套使用,利用自身形成的负压条件,抽取不凝结、不溶于水、不含有颗粒的气体,达到真空过滤的目的。  1.设备基础知识  1.1工作原理  水环式真空泵属于变容式真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内,当叶轮旋转时,注入泵体内液体形成旋转的液环,液环内表面与叶轮轮毂形成一个月牙形空间,相邻叶片间泵腔容积周期性的增大和减小,实现吸气、压缩和排气的目的。  1.2设备结构  磁力泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、分配板、轴封、供水管路、自动排水阀等组成。  1.3主要性能指标  主要参数包括:工作液流量、排气量、最大真空度、转速、功率。  1.4设备用途  带滤机抽真空。  2.水环式真空泵开停机步骤  2.1开机前的检查与准备  (1)准备必要的开车工具:阀门钩、扳手等。  (2)检查泵的各连接部分的螺丝是否紧固,电机接地线是否良好,阀门是否灵活好用。  (3)通过供水管路向真空泵内供水冲洗,用手盘动转子,然后通过放水管路把污水排尽。  (4)点试电机的转向,确保转向正确。  2.2开机步骤  (1)打开进气阀。  (2)当自动排水阀没有水流出时,起动电机,泵运转。同时打开工作水供给阀,使真空压力表指针接近0MPa(表压)。随着泵的吸入绝对压力的下降,指针向负值偏移(读数在0~-0.003MPa之间)。  (3)如果是轴封...
2020 - 05 - 06
螺杆真空泵是一种真空泵设备,也是一种用来抽取水的泵。在整个抽取过程中,它产生了一定的流量。从总数流量来看,它可以反映泵的实际应用状态。在使用前,必须进行适当的调整,以确保泵的高效率。如何调节它的水量流量?  一、螺杆真空泵供水调节方式:  当螺杆真空泵正常运行时,适当打开电源阀门,检查通道负压表的工作压力。逐渐降低电源阀油管的压力。当负压表的表针开始上升和下降时,水流量不足。再次逐渐打开电源闸阀。当负压表的表针再次稳定时,此时水流量正常。  二、螺杆真空泵供水调节常见问题:  当没有足够的水专利复审3)时,螺杆真空泵的抽真空能力将降低。如果水太多流量,将导致浪费和浪费水源,并将继续扩大泵的励磁电流。因此,当使用机械泵时,首先检查负压表是否正常工作。  因此,必须对螺杆真空泵的水流量进行有效调节。由于水流量与泵机械设备的抽真空能力和泵内的工作压力有关,如果水流量不够或太大,肯定会导致危险。因此,必须有效调节泵水流量。  进口真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。联系电话18820944856
2020 - 07 - 09
真空泵的使用通常与水有关,但它仍然需要水来支持它的工作。很多时候我们是以加水的方式来做的。关于给真空泵加水的说法是什么?  真空泵运行时,需要用液体作为工作液体,基本上是选择水作为工作液体。当叶轮顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力,水形成由泵腔形状决定的大致相等的厚度封闭圆环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切。水环的上内表面正好与刀片的尖端相接触(事实上,刀片具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环,之间形成一个新月形空间,该空间被叶轮分成几个具有相同叶片数的小腔。如果以叶轮下部为0为起点,当叶轮旋转180前,小腔的体积由小到大,并与端面上的吸入口连通,则气体被吸入,当吸入结束时,小腔与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,气体被压缩;当小腔与排气口连通时,气体从泵中排出。  当水量减少时,其工作效率将降低,这将增加能耗和运行成本。工作流体的作用不仅是抽取气体,而且是降低泵体的温度。工作流体比正常水平低得多,这将增加泵体的热值,降低泵的耐用性并增加维护成本。因此,水环真空泵运行时必须保持工作流体的正常液位,这有利于泵的正常运行、维护和降低成本。  工作流体可视为其工作动力。如果停电了,真空泵能做些什么来努力战斗呢?因此,我们平时不应该吝啬,时不时地给他们一些水,这样他们就能以好工作的形式回报我们。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN...
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罗茨真空泵故障检修

日期: 2021-06-30
来源:
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  罗茨真空泵故障检修

  一、极限压力达不到

  1. 管道系统漏气,系统检查即可。

  2. 泵体部分漏气,检查泵。

  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。

  4. 油封磨损,更换油封。

  5. 进气温度过高,影响极限压力。

罗茨真空泵故障检修

  二、抽速不足

  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。

  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。

  三、电机过载

  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。

  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。

  11. 采用机械式自动调压旁通阀。

  12. 采用液力联轴器。

  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。

  四、泵体过热

  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。

  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。

  17. 转子与泵壳接触,检修。

  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。

  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

  五、声音异常

  20. 装配不良,返修。

  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。

  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。

  24. 轴承磨损,更换轴承。

  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。

  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。

  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。

  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。

  六、泵油箱进气浮化

  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。

  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。

  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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