咨询热线 HOTLINE
400-862-5533
13928410990
行业资讯 了解行业的最新资讯
2025 - 05 - 21
电子封装过程中使用水环真空泵机组,主要基于其能够满足工艺对真空环境的严格要求、具备稳定可靠的性能、适应复杂工况的能力以及符合环保与安全标准等多方面优势。以下为具体分析:一、满足电子封装工艺对真空环境的要求高真空度需求:电子封装过程中,许多工艺步骤需要在高真空环境下进行,以确保封装材料的纯净度和封装质量。水环真空泵机组能够提供稳定的真空环境,满足电子封装工艺对真空度的严格要求。低气体残留要求:在电子封装中,任何微小的气体残留都可能对封装性能产生严重影响。水环真空泵机组具有高效的抽气能力,能够迅速将封装腔室内的气体抽出,降低气体残留量,提高封装质量。二、水环真空泵机组的性能优势结构紧凑,占地面积小:水环真空泵机组通常设计紧凑,占地面积小,便于在电子封装生产线上集成和安装。运行稳定,维护方便:水环真空泵机组采用成熟的技术和可靠的设计,运行稳定,故障率低。同时,其维护也相对方便,降低了生产线的停机时间和维护成本。适应性强:水环真空泵机组能够适应不同的工况和封装材料,满足电子封装工艺的多样化需求。三、水环真空泵机组在电子封装中的具体应用封装腔室抽真空:在电子封装过程中,水环真空泵机组用于将封装腔室内的气体抽出,形成高真空环境,为后续的封装工艺提供条件。气体回收与处理:水环真空泵机组在抽气过程中,能够将抽出的气体进行回收和处理,避免对环境造成污染。与其他设备协同工作:水环真空泵机组可以与其他电...
2019 - 10 - 28
众所周知,干式真空泵是高科技产品,具有很高的技术含量。关键是应用于高纯度真空泵加工的全过程。真空值极高,可以集成到极端负载中,并且具有抽出冷凝水和包含颗粒物的功能。工作能力非常适合清洁自然环境,并且很容易解决生锈问题。那么新技术干式真空泵的特点是什么,我们一起来看看!  1.工作过程中腔体内没有任何物质,可以清洁真空泵。  2.工作腔和螺杆定子表面均具有防锈涂层,可以整合到极限载荷中。  3.在真空泵中蒸气体不会减少,适合于抽取可凝性气体。  4.每个真空泵可以从空气中抽到1Pa,超滤单元可以大大简化。  5.温度对真空泵的危害较小,最多可节水约0.9,使其不能消耗水。  6.无油耗,无滴落。  7.旋转部件之间没有摩擦,可以高速运行,并且整个设备重量轻。  8.结构简单,维修方便。  9.抽汽体立即排入真空泵机壳,无环境污染,无环保护工承压,蒸汽的采集更加方便快捷。  10.可与真空泵,分子泵组合,组成无脂发电机组。  我看到这里的每个人也都感受到了进口真空泵的技术含量。它具有高精度,高质量,稳定的性能,适用于电子设备,化工厂,生物技术,金属材料激光。切削加工,粮食加工等行业。其发展前景也将越来越好。
2019 - 11 - 05
为了保证真空泵的性能和寿命,平时大家要注意保养的真空泵。我们需要注意什么呢?   1,检查真空泵油  一定要使用干净和真空泵油适量;水泵运行工况与泵油更换周期不同,一般为两年,除了定期检查必须做到的。  2,真空泵油的基本参数  ①粘度:68#。  ②矿物油。  ③2L-3L。  ④泵油推荐:真空泵油。  3,换油方法  仪器关闭光源时换油,关闭仪器的电源开关。打开放排水塞,所使用的油排放到合适的容器。当油流被停止,然后再拧上放电10秒),在泵室中的剩余油被排出时,关闭电源,重新打开放排水塞,排空剩余的排油塞拧上(检查O形环,所述替换受损)。拧开注油塞注入新油。  4,清洁空气入口过滤器  该过滤器在使用时,由于灰尘,油渍和其它污染物将被吸附并在过滤网页积累,导致降低的抽气速度,甚至堵塞;污物进入泵室,而在泵磨损加剧;根据需要经常使用不同的条件检查过滤器。如果过滤器需要清洗,以去除过滤器的清洁,重新安装后干燥;如果损坏需要更换。  注意:  请务必切断电源前检查,在检查过程中可不能开机,否则有受伤的危险。只要停泵,泵的温度是非常高的,所以一定要检查后再次泵完全温度降下来,以免造成烫伤。  必须从泵和电动机的电源和温度的断开是不高的时间来更换油泵。  具体型号的真空泵请查看说明书,或者咨询售后工作人员。
2019 - 11 - 07
水环真空泵是什么       水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。       水环真空泵的原理  水环真空泵由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成。叶轮被偏心的安装在泵体中,当叶轮旋转时,进入水环泵泵体的水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上,叶片在水环内有一定的插入深度)。此时,叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。  如果以叶轮的上部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时,小腔的容积逐渐由小变大,压强不断地降低,且与吸排气盘上的吸气口相通。当小腔空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进小腔,此时正处于吸气过程。当吸气完成时与吸气口隔绝,小腔的容积逐渐减小,压力不断增大,此时正处于压缩过程。当压缩的气体提前达到排气压力时,从辅助排气阀提前排气。与排...
2019 - 11 - 08
油泵的常见故障是漏油,漏油无法达到极限真空,并且油路被阻塞且无法启动。因此,维护非常重要。一般的维修前检查是观察泵油的颜色,检查油位,检查入口和出口过滤器等。以下小系列将分享油泵检查,维修和重新装填的预防措施。  1.油路故障检查  始终检查真空泵油位的位置。如果不符合要求,则必须进行调整以满足要求。使用真空泵运行时,油位在油标准的中心。  始终检查机油质量,并发现应及时更换新机油以确保真空泵正常工作。  用户可根据实际使用条件以及是否满足性能要求考虑换油周期。  通常,当使用新的真空泵去除干净和干燥的气体时,建议每100小时更换一次机油。在油中看不到黑色金属粉末后,将来可以延长换油周期。  在正常情况下,应在运行2000小时后对真空泵进行大修:  检查橡胶密封圈的寿命,  检查排气门是否破裂。  清除沉积在阀板和排气阀座上的污垢。  清洁整个真空泵腔室的零件,例如转子,旋片,弹簧等。  2.油路配件清洁  通常用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦干。清洁和组装时应小心。管道油被堵塞,必须清洁管道以确保管道畅通。  更换老化的密封件,添加和更换新的机油,清洁机油管路,更换老化的分配器,转子和弹簧,更换损坏的功率组件和电机线圈。  重新组装后,应进行测试。通常,它必须运行2小时,并且换油两次。由于清洁过程中真空泵中会有一定数量的发物,因此在正常运行后将可以进入正常运行。  3....
2019 - 11 - 12
传统凝汽器抽真空的设备主要采用射汽抽气器和射水抽气器,但这两种设备都存在效率低、噪声大的缺点。随着汽轮机组向高参数、大容量方向发展,使用这种设备就显得很不经济。如果采用水环真空泵,就可以大大提高效率,降低能量消耗和噪声污染。  水环真空泵的工作原理和基本结构  为水环真空泵原理图。水环真空泵由泵体、偏心叶轮、吸气口和排气口等部分组成。当叶轮按图中指示的方向旋转时,由于离心力的作用,水被叶轮甩向四周,形成了一个与泵腔同心的近似等厚度的封闭圆环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切,下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间, 而这一空间又被叶轮分成若干个小腔。如果以叶轮的上部A 为起点,那么叶轮在旋转的前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,经过吸入段 B后小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转(后180°)时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体排出水环真空泵。  工作水温对水环真空泵的影响  环真空泵的工作水温升高时,吸气量变小;吸气压力越低,其吸气能力的差距越大。  水环真空泵特性分析  不同型号的水环真空泵,其吸气量曲线基本有3 种不同的趋势。经研究发现,水环真空泵吸气量曲线与吸气容腔和吸气口的大小有关。当吸气口较小,吸气容腔相对较大时,随着吸气压...
2019 - 11 - 13
近年来,随着人们生活水平的提高,建筑装饰装饰审美要求也越来越严格,花岗岩,大理石,因为一定的强度和颜色多样,深受人们的喜爱,成为建筑装修的首选材料。但由于降雨因素的影响,和环境的石头,也将出现在长期使用表面变色,污垢等现象附着力影响石材的质感,建筑的美观性大大降低。建筑石材表面常见的处理方式是应用防水剂保护,但防水剂不能有效渗入石材,没有显著的保护作用。因此,用石头来处理污染的真空处理技术,为以后的施工提供参考。真空泵在石材防污中的应用。  分析石材防污真空泵制造商和两个真空处理知识点。  石材采取通常拒水防护处理,考虑到石材本身已经给出含有石材表面需要加工前须干燥水,干躁治疗通常以两种方式:首先,自然干燥法,通过流动石空气的装置自然干燥,但这种方法需要大量的空间,可以很容易受气候的影响;第二,通过加热,电加热器干燥过程进行干燥,但会有不均匀的发热现象,加剧废料。  所谓的真空主要加工是指建筑石材被放置在水的压力下的沸腾温度,在石材表面水分被迅速蒸发,干燥到一定程度的石头斥水涂层表面的渗透性,所述的喷涂是在一个密闭容器中完成在低于008MPa的压力下之后,没有与包含在溶剂沸点温度拒水超过饱和石被放置,保持足够时间以确保防水剂能够有效地渗透到石材。此外,为了有效的效果发挥防水剂,可以提前有效地去除空气中的石内部在喷涂过程,然后将石的表面涂层对渗透率的压力下防水剂。  在石材防污加工真...
最新资讯 了解公司的最新活动及打折促销
2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
2018 - 06 - 06
真空干燥机系由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。真空干燥的过程就是将干燥物料置放在密闭的干燥室内,用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热,使物料内部的水分通过压力差或浓度扩散差到表面,水分子在物料表面获得足够的动能,在克服分子间的相互吸引力后,逃逸到真空室的低压空间,从而被真空泵抽走的过程。 真空泵是真空干燥最主要组成部份,那么真空干燥机的真空泵使用注意事项有哪些呢,我们就一起来了解吧!1、一般情况下,真空干燥机真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。2、有条件的对真空干燥机管中同样进行清理,确保管路畅通。3、检查真空干燥机真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。4、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。5、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。真空干燥机真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。6、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用...
2018 - 08 - 06
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者。以上都是德国SPECK品牌下的小型离心泵型号,还有高温离心泵型号参数如下面:德国SEPCK为百年老企业,泵产品畅销全球并得到广泛好评,深圳恒才是德国SPECK的华南总代理,专业生产销售真空泵、离心泵和机组等产品,为客户解决真空问题,提供技术方案,实现效益最大化!
2018 - 12 - 20
旋片真空泵是国内最常用到的真空泵,它广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门,特别食品的真空包装已经普遍都有用到,真空吸塑成形的塑料工业,纸张输印的刷行业送,真空夹具和吸附,医院的引水吸附等等。旋片真空泵的安装方法旋片真空泵安装前要细心浏览出品注明书,开箱后应审查装运品质。收好备品附件和技能文书,a.真空泵须安装在环境清洁,空气干燥的场所,室温应在 5—40℃之间,大泵必须用螺栓固定在坚固的水泥基础上。b.在拆开泵包装木箱前须检查木箱是否损坏,拆开木箱检查泵是否损坏,电动机是否损坏和受潮,如发生损坏和受潮现象,必须修复和干燥后,方可进行安装。c.泵吸气筒上部的吸气口处,出厂时已用金属压盖封好,安装时必须检查封口处是否损坏,泵体内有无杂物和污物,必要时要进行维护清理工作。d.泵和真空系统连接时,连接管道须内外清洁,在管道连接处,须用真空耐油橡胶垫密封。泵内严禁掉入异物。e.卸下防护罩及三角皮带用手转动泵皮带轮 2—3转,是否转动正常。接通电源前,必须检查电源电压、周波、相数是否符合电动机铭牌规定接通电源后,电动机转向与泵的转向应相同。将三角胶带防护罩装上。f.将油箱盖上的加油螺塞旋下,将真空油灌入油箱,油量到油标中线为止。在冬季室温过低时,油须加温到15℃后再行注入,油注入后将螺塞旋紧。泵在正常运转时,油箱内油面保持在 油位线上,不得超出。也采用从吸...
2019 - 04 - 10
水环式真空泵的主要应用优势原本旧式的真空输送泵显然在使用上有明显的缺陷,例如他只能在相对干净的空气质量中进行气体的输送和抽取,对于一些空气中含有相对质量的水蒸气,或者相对程度的凝结颗粒,或者一些有毒易燃易爆的气体,这些就使得真空输送泵就难以实现应用,那么此时水环式真空泵的应运而生,就符合了市场的需求迎合了市场的走向,并且它的主要应用优势也颇受大家肯定。 1.结构简单,方便使用一体化操控。 最新出现的水环式真空泵它可以实现带水吸气功能的满足,而且结构相对简单大家自己就可以组装进行使用,由于一体化的操控,所以使用起来更为方便。即便是没有经验的人也不用担心损坏输送泵,就可以实现真空环境真空容器的创设。相对而言这种方式更为安全,同时也大大提升了人们工作的效率。 2.在相对复杂的工作环境中工作更安全。 水环式,真空泵的出现,可以使得人们在相对特殊的空气环境中进行抽取和输送,例如在易燃易爆的气体中在有毒的气体中,或者在含有水蒸气的气体中,或者含有凝结颗粒的气体中都可以实现自由的真空环境的创设,在使用过程中不容易发生危险,对于工作人员而言也相对安全,目前这种机械设备已经广泛地应用于我国的药品食品冶金化工纺织皮革印染等多个行业领域,实现了广泛的使用。 由于这种水环式真空输送泵可以更好地满足恶劣工作条件下的需求,所以在很多的化工领域都实现了广泛的使用,并且也大大提高了使用人员的安全性,防止...
联系我们 专注机电设备多年
  • 服务热线:
    400-862-5533
  • 公司传真:
    0755-23062775
  • 总机电话:
    0755-23062776
  • 移动电话:
    13928410990
  • 总部地址:中国 · 深圳
    深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
  • 关注我们官方的微信

罗茨真空泵故障检修

日期: 2021-06-30
来源:
浏览次数: 31

  罗茨真空泵故障检修

  一、极限压力达不到

  1. 管道系统漏气,系统检查即可。

  2. 泵体部分漏气,检查泵。

  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。

  4. 油封磨损,更换油封。

  5. 进气温度过高,影响极限压力。

罗茨真空泵故障检修

  二、抽速不足

  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。

  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。

  三、电机过载

  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。

  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。

  11. 采用机械式自动调压旁通阀。

  12. 采用液力联轴器。

  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。

  四、泵体过热

  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。

  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。

  17. 转子与泵壳接触,检修。

  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。

  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

  五、声音异常

  20. 装配不良,返修。

  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。

  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。

  24. 轴承磨损,更换轴承。

  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。

  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。

  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。

  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。

  六、泵油箱进气浮化

  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。

  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。

  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


推荐产品 / Products
深圳恒才机电真空排水系统专为江河湖泊工业低水位引水设计,核心优势1-3秒快速引水,依托负压技术与智能液位控制,瞬间排空管路气体形成真空,实现低水位工况下极速启动、高效提水 。系统搭载国际品牌核心部件,真空度可达-97kPa,可稳定提升9米以上水位,适配枯水期、低液位取水场景。具备密闭防渗漏、自清洁防淤积、无需地形坡度、管道铺设灵活等特点,适配工业取水、河道截污、园区低水位排水等应用,提供设计—安装—维保一站式服务,运行低噪节能,保障工业引水连续稳定 。
发布时间: 2025 - 12 - 17
深圳恒才晶圆减薄真空一体机是半导体加工领域的专业设备,搭载360度万向轮设计,移动灵活便捷;采用集成式过滤系统,真空处理效率与洁净度双高。设备机身集成智能操控面板,可视化监测与操作更直观,适配晶圆减薄工艺的真空需求,是半导体车间高效生产的核心配套设备。
发布时间: 2025 - 12 - 16
100号真空泵油 专用润滑油 旋片真空机油 包装机通用 100号真空泵专用油 合成透明 低蒸汽压 热稳定性强 适用于多种真空泵 规格齐全,100号真空泵油 高效润滑 抗氧化 抗泡沫 油水分离佳 密封润滑效果好 工业通用
发布时间: 2025 - 08 - 21
深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
联系我们
Contact
  • 扫描关注我们获取更多惊喜

Copyright ©2017 - 2021 深圳恒才机电设备有限公司 
犀牛云提供企业云服务
地址:深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
电话: 86 0755-23062776
传真: 86 0755-23062775
邮编:518000
  • 400-862-5533

    电话联系
  • 二维码

    扫一扫咨询
  • 查看产品视频

    扫码看产品视频
  • 查看公司动态

    扫码看公司动态

top

展开