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2026 - 09 - 28
在电子晶圆制造领域,真空泵是保障工艺洁净度与良率的核心设备。从光刻、薄膜沉积(CVD/PVD)到刻蚀、离子注入,每一个环节都离不开稳定的真空环境支撑。可以说,真空泵的性能直接决定了晶圆生产的良率、能耗和运营成本。长期以来,日本某山等日系品牌凭借无油干式技术、耐腐蚀设计和稳定的抽速表现,占据了半导体真空泵市场的主导地位。日本某山泵在晶圆厂的应用已有数十年历史,其螺杆式、爪式转子结构设计成熟,全程无润滑油,能有效避免油蒸气对晶圆表面的污染,配合不锈钢镀层或陶瓷涂层工艺,还能耐受HCl、Cl₂等腐蚀性工艺气体,在业内积累了良好的口碑。然而,随着半导体行业竞争加剧,晶圆厂面临的成本压力越来越大。进口品牌真空泵的高昂采购成本、漫长的交货周期以及滞后的售后服务,让不少晶圆厂陷入"用得起、等不起"的困境。一台进口真空泵动辄数万甚至数十万元,一条产线配下来就是百万级投入;从下单到到货,周期通常在2-3个月,遇到产能紧张还要排队;一旦设备故障,需要等海外工程师或寄回维修,停机损失动辄以小时计。在这样的背景下,晶圆厂迫切需要一款既能满足工艺要求,又能显著降低综合成本的真空解决方案。德国CircuTec真空泵机组正是应运而生——价格优势:同规格产品比日系品牌低30%以上CircuTec依托德国成熟的真空技术体系和规模化生产优势,在保证性能的前提下大幅优化了成本结构。同规格产品采购价格...
2019 - 10 - 29
1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,如果真空干燥过程要求工作真空度为10 mmHg,真空泵厂家所选真空泵的真空度应至少为2 mmHg,最好为1 mmHg。通常将泵的极限真空度选择为比真空设备的真空度高一半数量级。  2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:2BV系列水环真空泵的工作压力范围为760mmHg〜25mmHg(绝对压力),在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化(详细变化)泵性能曲线) ,其稳定的工作压力范围为760〜60mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应在25〜30mmHg的条件下长时间工作。  3.在工作压力下,真空泵应能够清除真空设备过程中产生的所有气体。  4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时一个泵无法满足泵送要求,因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时,真空装置将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压,因此需要前级泵,因此必须将这些泵组合在一起。  5.真空设备对油的污染要求。如果严格要求设备无油,则应选择各种无油泵,例如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。...
2019 - 11 - 05
今天给大家介绍一下水环真空泵的一些知识,包括管道布置注意事项及加适量水的原因.有兴趣的可以阅读一下.       一,水环真空泵加适量水  水环真空泵中装入水作为工作流体的适当的量。当叶轮顺时针旋转时,水由叶轮周围抛出,离心力,一个闭合的环形形状,通过泵室的厚度确定的水形成近似于等。水环的内表面的下部与轮毂,刚好接触表面(实际上,叶片进入水中环的插入一定深度)和水的上部的叶片尖端正好相切环。此时,叶轮轮毂,以形成环和水之间的月牙形空间,并且这个空间被划分成相等数目的叶轮叶片和若干小室中。  如果叶轮0°为起点的下部,则水环真空泵叶轮的体积被旋转在从小到大的小室的前面180°,并且与进气口的端面连通,气在此时被吸入,当来自小腔和进气口分离吸入的端部;当叶轮继续从大至小的旋转,小室中,水环真空泵,使得气体被压缩;当小室与排气口连通,该气体被排出泵外。  第二,水环真空泵管结构的设计考虑  1,最大水环真空泵和压力管件可承受放电应予以考虑。  2,水环真空泵的管道应该被布置为直管,以最小化管道配件和最小化管道的长度,则必须将导通时弯曲的弯曲半径应管的三到五倍的直径,以使角度可能大于90℃。  3,合理选择水环式管的直径,大直径管,在相同的流速,流速小,阻力损失小,但价格高,体积小口径管道,导致电阻损失急剧增加,所以所选泵的扬程增...
2019 - 11 - 07
水环真空泵抽真空的原理  水环真空泵是以泵转动部分的机械作用排除泵体内气体,其工作原理为:偏心轮安装在充有适量工作水的椭圆形泵体内,带有若干前弯叶片的转子在泵体内旋转时,形成水环并在叶轮轮毂与水环间形成一个新月形空腔,转子每转动1周,转子上2个相邻叶片与水环间所形成的空腔,由小到大、再由大到小作周期性变化。当空腔由小变大时,产生真空,经进气口吸入气体;由大到小时,产生压力,气体被压缩并经排气口排出。由于每个相邻叶片与水环所构成的空腔均处于不同的容积变化过程,所以当转子转动时,泵的吸排气均为连续、不间断过程。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~1013 hPa 时,叶轮叶片外圆的线速度应为14~17 m/s ,较大规格的泵因为叶轮直径大是以转速较低,所以在达到同样抽气量的前提下,应尽量选择转速较低的泵,大泵消耗的比功率较小,即效率较高。  2、应考虑水温的影响  因为海内外水环真空泵的手艺文件上的功能曲线及技术数据均是在进水温度为15 ℃的前提下得出的,前面也已经介绍了水温低于或高于15 ℃时水温对气量的影响系数计算公式。  3、吸气阻力的影响  由于煤气的吸风口经常在井下且远离水环真空泵(一些煤矿达...
2019 - 11 - 08
旋片真空泵/压缩机用于混合罐的“充气垫”中,以产生高于流浆箱(或“原料罐”)原料水平的压力/真空,从而最大程度地控制物料排量(“喷雾”速度)。泵通常通过一系列阀,充当真空泵和压缩机,在“进料池”上方的空隙中产生真空或压力,以控制流浆箱的静压头接下来,分析渣浆罐的作用以及在渣浆罐中使用旋片真空泵时需要注意的问题。  调浆箱的定义和作用是什么?  定义:混合箱是一个敞开的方形箱,放置在储罐和除砂器之间,以调节送至造纸机的纸浆量。  流浆箱旋片真空泵的作用  1、调整发送到造纸机的纸浆量,以使定量稳定。  2、调整纸浆浓度。根据要添加白水稀释液的纸张,很适合除砂和筛分,并且将纸张均匀混合以制成均匀的纸张。  深圳旋片真空泵的特点  旋片真空泵具有体积小,重量轻,噪音低,启动方便的优点。此外,还有防止回油的措施和防止溢油污染现场的措施。  1、旋片真空泵是获得真空的基本设备。它可以单独使用,也可以用作各种高真空系统的前置泵和前置泵。它是罗旋片真空装置。  2、旋片式真空泵的入口持续向大气开放,不超过3分钟。  3、该泵不适用于去除含有对金属有腐蚀性且对泵油具有化学反应性的粉尘的气体。气体中氧气过多,易爆炸。  4、旋片真空泵可用作压缩泵或输送泵。  将稀释方法与白水和泵结合使用时,应注意什么?  1从混合罐到渣浆泵的管道不应水平安装,并应有一定的倾斜度以防止纤维沉淀。  2混合箱的泥浆阀的...
2019 - 11 - 12
在冷凝式发电厂中,大多数将使用旋片真空泵作为冷凝器抽水设备。今天,我们将介绍旋片真空泵在冷凝式发电厂中的应用。为什么夏天可以大大改善冷凝水?随着小编的加入,机组的真空度和经济性将得到改善。  旋片真空泵的结构是什么?  旋片真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖,弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的腔体中,转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间有很小的间隙),并且两个转子叶片安装在转子中插槽。旋转时,旋片的顶端通过离心力和弹簧的拉力保持与泵室的内壁接触,转子的旋转带动旋片沿泵的内壁滑动。泵室。旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓两级是指串联连接两个单级泵。通常,将其分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥气体,如果安装了气镇装置,则可以去除一定量的可冷凝气体。但是,它不适用于去除氧气含量过高,对金属有腐蚀性,对泵油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。  真空真空泵是两级直接耦合结构。其工作性能包括两个部分:高压阶段和低压阶段。其吸气口与真空设备相连。在操作过程中,容器中的气体将被大量吸入和排放。抽真空时,关闭高压排气阀,将在高压段吸入的气体转移到第二段并通过第二段吸排,使真空设备获得一定的真空度。泵的技术参数为6 × 10-2,泵与电机连接在轴上,转速高,体积小,结构紧凑,流动性方...
2019 - 11 - 14
水环真空泵运行时,必须使用滤芯滤芯。它可以用来过滤一些杂质等,并阻塞设备内部的杂质。设备损坏。市场上广泛使用三种滤芯元件,但是无论使用哪种滤芯,使用时都需要清洁。这是小型来看看水环真空泵滤芯的分类及其清洁方法。  一、水环真空泵滤芯分类  1、进气滤芯  它主要用于防止固体颗粒或细灰进入真空泵内部,同时避免机器磨损并确保设备在运行期间处于相对稳定的状态。可以同时保护设备内部的组件。用于定义的使用寿命。  2、油滤芯  该装置主要用于润滑油的过滤。它也被广泛使用。它通常安装在油路上,这对设备的运行也至关重要。  3、排气滤芯  它的功能比较广泛,使用时可用于排气阻力,也可用于水环真空泵的油分离,使设备处于相对稳定的状态。  二、水环真空泵滤芯清洁方法  1、首先,需要在清洁之前设置滤芯的压差并记录下来。  2、用苛性钠清洗。将滤芯放入清洁车中。需要将清洁试件悬挂在腐蚀试件上以检测过滤液的腐蚀。如果腐蚀严重,需要及时进行调整。否则,滤芯可能会损坏。在清洁过程中,有必要清洁滤芯上多余的油污和积炭,并将温度升至90至105°C,这也可以起到消毒作用24-48小时。  3、碱洗后,将滤芯放入CCL清洗车中,清洁滤芯上的沥青质和焦炭粉,然后在室温下洗涤20小时和24小时。确保将清洗液清洗到滤芯的每个位置。  4、清洁后检查。必须使用30倍放大镜枪检查每个滤芯的内部和外部以及表面清洁度...
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2019 - 12 - 11
旋片真空泵的工作原理已经被介绍了很多次,今天我们又要对其进行熟悉。旋片真空泵我们见过很多.下面我们就来介绍一下.  旋片真空泵的旋片将转子,泵腔和两个端盖包围的月牙形空间分成A,B和C三个部分。当转子沿箭头方向旋转时,该空间与吸气口的连通容积正在逐渐增加,正在吸入。与排气口连通的空间C的体积逐渐减小,并且处于排气过程中。中央空间B的体积逐渐减小,并且处于压缩过程中。  由于空间A的体积逐渐增加(即扩大),气体压力降低,并且旋片真空泵入口处的外部气体压力比空间A中的压力强,因此气体被吸入。将空间A与吸气口隔离,将其转到空间B的位置,气体开始被压缩,体积逐渐减小,然后与排气口连通。当压缩气体超过排气压力时,排气门被压缩气体推开,该气体通过油箱中的油层排放到大气中。  旋片真空泵的连续运行达到连续泵送的目的。如果废气通过空气通道转移到另一级(低真空级),则由低真空级将其抽走,然后压缩到大气中并排放到大气中,从而形成两级泵。此时,总压缩比分为两个阶段,从而提高了极限真空度。 液环真空泵的工作原理:液环真空泵通常用于水环真空泵和纳西泵。它主要用于泵送气体,尤其是在泵送腐蚀性气体时。  在泵体内使用适量的水作为工作流体。当叶轮顺时针旋转时,水将被叶轮甩出。由于离心力,水形成了一个厚度大致相等的闭合环,该闭合环由泵腔的形状决定。 水环下部的内表面与叶轮壳正切,而水环上部的内表面与叶片的尖端刚好接...
2019 - 12 - 15
高温齿轮泵易损件包括以下几类:泵体,轴心,叶轮,轴承和机械轴封,其中:  1、泵体:在机械力或热应力的作用下易于破裂。由于工作过程中的气穴现象或冬天的泵壳中积水(例如损坏)的影响,冷冻时也容易破裂。如果重型泵无法维修,请更换新泵。  2、叶轮是高温齿轮泵的重要工作部件。它是黄铜制成的。由于制造质量和使用原因,它也很容易损坏。当叶轮高速旋转时,硬件碎片很容易损坏甚至被碎片破坏。有些缺陷可以修复,而有些缺陷则不能修复,即应更换新的叶轮。  3、高温齿轮泵电机的轴通常为碳钢或不锈钢,但由于制造质量,使用或拆卸等原因也容易损坏。 易便电机轴弯曲。可能存在裂纹,磨损等,并且可能会发生断裂事故。如果损坏严重且无法修复,则应更换新轴。  4、高温齿轮泵轴承是易磨损易燃的易损件之一。轴承的平均寿命通常为7000小时,但由于安装不当,使用时间长或维护不善,很容易磨损或损坏。除了轴承的单个零件可以用新零件更换外,一般还需要整体更换。  5、但是我们不能错过高温泵的机械轴封。它是高温齿轮泵中易磨损的零件之一。磨损后很容易泄漏。高温泵选择机械轴封时必须使用高温电阻。  在更换高温齿轮泵轴封的过程中,应注意以下几点:  1、检查轴封口径的尺寸。  2、检查轴封的耐热性是否符合技术要求。  3、检查轴封质量的技术要求。  4、垂直轴密封件旋转中心线速度范围内的技术标准。  5、旋转轴密封件的同心中心和密封件不...
2019 - 12 - 18
螺杆真空泵能抽出大量水蒸气和少量烟雾的蒸汽,其封闭能力在机械设备的应用中很容易造成泄漏问题。目前,人们应该仔细研究外科的内部和外部。以下是机械设备泄漏安全通道计算的详细介绍:  一、螺杆真空泵泄漏安全通道长度的测量  1.泄漏安全通道。接触线间隙由轴向间隙和齿侧间隙构成组成,齿顶圆上的间隙由电机转子齿顶圆表面和壁腔组成组成。  2.应规定每次泄漏的长度和总面积。在计算轴向间隙和齿侧间隙的长度L1、L2和L3时,应首先计算每段图形的接触线公式。  3.用跟踪点法计算触摸网络上每个点的室内空间坐标,然后立即累加这些点之间的距离,得到触摸线的长度从能够。等级越大,数值越精确。  4.封闭容量之间的泄漏是由间隙两侧的压力差异和挤出机螺杆的旋转引起的。前者导致工作流量压力,后者导致切割流量。两者之和是流量。  二.螺杆真空泵摘要  1.根据间隙能够的基本理论计算螺杆真空泵的极限真空值。  2.计算公式压力,用于计算机械泵闭合容量之间的平均泄漏和平均功。  3.计算了螺杆真空泵的内部功压力和泄漏量:信息表明,功压力和泄漏量在进气端迅速减小,并随着间隙的减小从进气端向排气端逐渐减弱。  4.根据齿顶圆间隙的泄漏误差以及轴向间隙和齿侧间隙的泄漏误差,间隙不断减小,当间隙低于一定值时,喷嘴泄漏将超过环形间隙泄漏。  螺杆真空泵广泛应用于医药行业、化工厂、半导体材料等公司行业,对螺杆真空泵的清洗有很高...
2019 - 12 - 21
为了在使用水环真空泵过程中获得更好的泵送效果,必须确保良好的真空条件。当设备不能满足条件时,但不替换设备的条件时,可以使用辅助真空系统。  1、 水环真空泵辅助真空系统的功能和组成  对于小体积,小放气率和泄漏率,可以将试件直接连接到检漏仪的外部法兰上以进行检漏,而无需辅助真空系统。如果泄漏率和气体释放率较大或体积较大,则如果将泄漏检测器直接连接到泄漏检测器,则可能无法拉高泄漏检测器的真空度,从而导致泄漏检测器无法工作。在这种情况下,要执行泄漏测试,您只能调节节流阀使其略微打开,但这会增加响应时间。另外,第一次抽空试件时,水蒸气,油蒸气等可能会污染检漏仪,因此也需要辅助真空系统。辅助系统包括前级泵,辅助泵,阀门,真空计和标准泄漏。辅助泵可以是扩散泵或罗茨泵(是否需要辅助泵取决于具体情况),以及前级泵用气镇机械泵。  一些水环真空泵检漏仪具有一系列阀门。使用这些阀,您可以使用检漏仪的抽气系统来完成对小的,放气的和泄漏的零件的预提取和检漏。无需额外的辅助提取系统。但是,从保持检漏仪灵敏度的稳定性的观点出发,请勿将仪器的真空泵用于预泵。一些国外的检漏仪配备了辅助抽吸系统,使用起来更方便。  2、 水环真空泵检漏仪在辅助系统中的位置  检漏仪与辅助系统之间的连接有两种情况,两种方法的特性不同。在没有大泄漏的干净容器上执行泄漏检测时,应将泄漏检测器连接到前级(低真空)侧。另一方面,对于被污染...
2019 - 12 - 24
水环真空泵适用于高负压矿井中也适合很多工程。水环真空泵的轴封在使用过程中是非常重要的,我们常说的泄漏就是从这里开始的。以下是教你如何检测方法轴封设备是否泄漏。  1、真空损坏门关闭,无泄漏。  2、凝汽器蒸汽侧水门关闭,无泄漏。  3、检查真空系统水位计是否是否破裂、泄漏。  4、检查低压缸排气出口是否是否完整,有无吸气。  5、检查水环真空泵负压处于和状态下低压加热器水位是否是否正常,排水门是否是否关紧。  6、真空系统阀门的水封、管道、法兰或焊接接头是否不严密,特别是从膨胀箱或锅炉启动分离器到冷凝器的管道和阀口。  7、检查是否(真空状态的抽取管道连接到气缸)是否漏气。当负载降低时,真空下降,负载增加后,真空略微上升。  8、检查调速给水泵的重力回水是否是否为导向冷凝器。如果回水体积小,水封袋无法密封。真空泵密封水的重力回水应倒入沟渠。  使用水环真空泵需要一系列定期检修,尤其是轴封。检查轴封也非常重要。只有不泄漏才能,设备才能正常运行,而不会延迟工作进度。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一...
2019 - 12 - 26
2bv水环真空泵(Water ring vacuum pump)是一种用于抽出地下甲烷的真空泵,甲烷中往往有许多腐蚀性物质。为了使设备正常工作,我们需要解决腐蚀问题。以下是一些解决分享防腐蚀的措施。  一,目前使用聚合物复合修复材料来实施表面有机涂层防腐是目前非常好的防腐措施之一。  二,2bv水环真空泵腐蚀原因:  全面腐蚀是设备的整个表面。局部腐蚀发生在局部,如孔腐蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、磨损腐蚀、分层腐蚀、应力腐蚀开裂、腐蚀疲劳、氢腐蚀开裂等。  三,2bv水环真空泵腐蚀修理方法:  1.水环真空泵表面应先进行处理,表面氧化层用丙酮清洗,待修复表面应涂上调整后的材料,达到固化前要求的修复厚度。  2.固化时间应缩短一半,但提升温度不得超过材料的承载温度。材料温度应保持在24小时/24℃,材料温度应提高11℃。  3.安装应根据装配要求进行。如果材料影响组装,应采用抛光方法。切勿敲打,以免损坏其他材料。但是,应注意保护修复材料,以避免受到外力撞击或冲击。  4.与传统的压力容器焊接修复相比,表面附着保护操作更加方便,成本相对较低,可广泛应用于磨损、气蚀和腐蚀零件及预保护涂层的修复,修复效果理想。  2bv水环真空泵由于在高温高压环境下长期工作,容易出现空气腐蚀、磨损、腐蚀、泄漏等现象。因此,在使用前和工作中要做好防腐工作,避免不必要的麻烦,提高工作效率。建议在采购的时候选择防腐...
2019 - 12 - 30
下面介绍使用罗茨真空泵时的常见问题和解决方法。 罗茨真空泵需要在纯音量下运行。与旋片式真空泵相比,罗茨真空泵没有内部压缩功能。它可以压缩排气压力。与旋片式真空泵相比,与介质接触的所有部件均为无油,并且所有适用于罗茨真空泵的部件也适用于干式真空泵。  快速疏散在应用中,必须实现几秒钟的抽气周期,因此操作员必须确保罗茨真空泵和前级泵的比率为1:2。必须确保该比率,因为前级泵泵在100 hPa的压力下排出空气,这会占用大部分的泵送时间,而罗茨真空泵可以在10 hPa的压力下有效运行。因此,前级泵尺寸必须相应更大。  启动泵如果使用多级泵站或并联运行的多个真空泵的组合,则必须以交错的间隔启动这些泵。首先要启动的是大气泵,它可以避免过多的功率尖峰并保护断路器的成本。这可以通过定时元件轻松地在控制器和PLC中实现。另一种方法是使用变频器缓慢启动泵。  液体侵入突然的液体侵入会损坏泵,因为当发生快速冷却时,气体无法达到蒸发液体所需的温度。由于前级泵已经过载,并且前级压力可能升得太高,因此无法及时抽出多余的蒸汽。为避免这种情况,必须在处理室和罗茨真空泵之间安装一个接收器,以便在进入泵之前吸收液体。  灰尘会在产生颗粒或携带灰尘的过程中积聚,例如在冶金或拉晶过程中,有必要在泵的进气口安装灰尘过滤器,以保护罗茨真空泵和下游泵。首次使用该系统时,应在罗茨真空泵的进气口安装一个所谓的防碎片网,以防止由于清...
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罗茨真空泵故障检修

日期: 2021-06-30
来源:
浏览次数: 259

  罗茨真空泵故障检修

  一、极限压力达不到

  1. 管道系统漏气,系统检查即可。

  2. 泵体部分漏气,检查泵。

  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。

  4. 油封磨损,更换油封。

  5. 进气温度过高,影响极限压力。

罗茨真空泵故障检修

  二、抽速不足

  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。

  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。

  三、电机过载

  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。

  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。

  11. 采用机械式自动调压旁通阀。

  12. 采用液力联轴器。

  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。

  四、泵体过热

  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。

  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。

  17. 转子与泵壳接触,检修。

  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。

  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

  五、声音异常

  20. 装配不良,返修。

  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。

  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。

  24. 轴承磨损,更换轴承。

  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。

  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。

  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。

  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。

  六、泵油箱进气浮化

  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。

  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。

  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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发布时间: 2025 - 12 - 17
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