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2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
2019 - 10 - 29
现在很多厂家生产的开料机将根据客户要求配备一个真空泵,为方便客户固定板,但使用注意事项真空泵,但没有明确告知消费者,导致很多客户在真空的时间泵故障不能确定是哪里出了问题,今天我们对水环真空泵的常见问题做一下简单的解释。  水环真空泵主要组成部件有以下几种:  1、吸气口:连接木工雕刻机吸附管道。  2、除尘罩:防止木屑等杂物进入泵内。  3、止回阀:停机时,防止泵内的水回流到设备内。  4、进水管:向泵内注入工作液,设备产生真空。  5、进水阀门:控制工作液的流量,开机之前必须完全打开阀门,并确保水已经进入泵内,才能启动真空泵。  6、排水口:在设备使用10天左右,排空水箱内的工作液,更换干净的软化水。  7、排气口:在吸附过程中产生的气体,通过排气口排入大气,排气口不可堵塞,不可接超过两米的管路,不可接直径低于5CM的管路,否则极易超负荷,损坏电动机。  8、上水位口:向水箱内加水,直到上水位口向外淌水为止,并在每天启动真空泵前定时加水,保证水箱内有充足的工作液。  9、水箱:盛放工作液。  那么在水环使用之前我们应该注意哪些问题?  特别提醒:每次开启真空泵的时候,必须确保真空泵里面有工作液!且工作液位需达到电机轮轴以上!  一:吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露。  二:初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞现象。  三:连接电动机电源,并调整运转方...
2019 - 11 - 05
真空泵的作用是从除了气体分子的真空室抽真空,以减少在所述真空室中的气体压力,以便达到所需的真空度。广义地从大气中高真空具有大的范围内,到目前为止还没有一个真空系统可以覆盖该范围。因此,为了实现不同的产品的过程指标,和工作的设备的工作寿命要求效率,不同的真空部分需要选择真空系统的不同的配置。为了获得最佳的结构中,真空泵系统被选择,有以下几点应予以考虑。  1,确定在真空中工作范围  它首先检查以确定真空的每个过程的要求的程度。由于每个进程具有其自身的真空范围的适应,必须仔细研究,以确定。  2,确定最终的真空  在真空排气系统由过程所需要的真空度的检查的基础上确定的限制的真空度,因为该系统确定真空系统的工作最好的真空度最终。  一般地,该系统的极限真空比操作系统,真空度低20%,比真空前级泵的极限程度低50%。  3,选择主真空泵计算  S = 2.303v / TLOG(P1 / P2).  其中:S是真空抽速,v是真空室的容积,t为达到所要求的真空度所需的时间,p1为初始压力,P2是真空的所需程度。  4,真空容积  检查时间以达到所需的真空水平时,泄漏的真空线的流动阻力。  考虑的需求,以达到真空排气速度所需的真空度后,根据工艺要求一定的条件下维持。  5,排气的类型和量泵送  检查的排气用吸入工艺要求的类型和数量。因为反应发生,如果液体泵的气体种类和真空泵系统将被污染。同时,...
2019 - 11 - 07
水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。  水环真空泵的工作原理       叶轮与泵体呈偏心配置,当叶轮旋转时,水在离心力的作用下沿泵体内壁形成近乎等厚的旋转水环,水环内表面与叶轮轮毂外表面构成月牙形的工作腔,并被叶轮叶片分割成大小不等的空腔。前半转空腔的容积逐渐扩大,气体从外界吸入;后半转空腔的容积逐渐缩小,气体被压缩后排出外界。从而完成吸气、压缩、排气三个工作阶段。  过压缩现象与压缩不足现象  1、过压缩现象:封闭小腔没有到达排气口,其内气体已经达到排气压力(一般常发生在大泵中,且吸气压力较高时容易发生);  2、压缩不足现象:封闭小腔与排气口接通,但其内气体尚未达到排气压力(常发生在吸气压力较低时)。  以上现象均与吸入气体压力变化,而泵的两口位置(压缩比)固定不变有关。  解决问题的办法  1、在排气口前设置橡皮球阀:当小腔内气体过早达到排气压力时,球阀打开。  2、采用柔性排气阀设计(专利),避免过压缩现象。柔性排气阀通过自动调节排气面积而降低泵的能量消耗。从而达到运行效率。  3、设计时,以吸入压力(极限压力)来确定泵的压缩比(排气口位置)  压缩比 ...
2019 - 11 - 08
在真空系统的应用中,提取的气体不仅包括应用过程中产生的各种气体,而且还包括系统中的原始大气。整体内容是什么?今天,小编会给你理一理。  1.真空系统过程中产生气体  它包括过程中从材料中逸出的气体以及过程中引入的气体,并且还包括真空系统中的液态或固态气化气体。对于不同的过程和要处理的不同材料,此气体量的计算是不同的。  2.真空系统中最初存在气体  在真空系统中,真空容器腔室,真空管道等最初包含一定量的大气气体成分。在泵送的初始阶段,它们是真空系统的主要气体负载,最早也被系统带走。  3.真空系统中泄漏气体  泄漏气体包括通过真空密封连接和各种泄漏路径泄漏到真空系统中的气体。对于给定的真空系统,泄漏的气体量是恒定的。不同的真空系统应用,不同的极限压力以及对气体泄漏量的严格限制。  4.真空系统中各种材料表面上释放的气体的解吸  在常压下,真空系统中材料的表面会吸附并溶解一些气体。在负压下,这部分气体将再次释放。它的渗出流与材料特性,加工和材料的表面状态有关。  5.真空系统外部的气氛通过壁材料渗透系统中的气体  气体也溶解并渗透到固体中。因此,大气通过容器壁结构的材料将一部分气体渗透到真空系统中。在普通的金属系统中,这种渗透可以忽略不计,但是在玻璃真空系统或薄壁金属系统中的某些应用将需要考虑渗透气体的影响。  以上五个方面构成了真空系统的总泵送负荷。
2019 - 11 - 12
爪型真空泵,是一种转子为爪型的真空泵,泵的腔体内不使用任何油类和液体,所以称为真空泵。在结构上多采用多级爪式转子串联组合而成的,通过联轴器直接与电机相连。真空泵可分为容积式和动量传输式两种,爪型真空泵按工作原理划分属于变容积式真空泵。  爪型真空泵由于具有腔体内干燥、对被抽容器没有污染、能直连大气、单泵抽吸力大等优点,被广泛地应用于航天、化工、制药等行业。但爪型真空泵的动平衡分析及密封特性一直是研究的热点问题。  爪型真空泵的结构  爪型真空泵的结构特点,各级转子串联、直径和形状相同,各级转子间相位为固定,由中间壁来隔离,形成各级的泵腔,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上,由转子旋转过程中自动开关。转子无任何摩擦地悬浮于泵腔内做同步反方向运动。  当电动机1开始工作时,电机主轴直接连到主动轴4上,主动轴4通过成对齿轮3的啮合实现与从动轴5的连续转动,4级泵腔依次串联,每级泵腔内各有一对做同步异向双回转运动规律的爪型转子8共轭啮合,实现吸气、压缩、排气、混合的连续过程。气体首先通过进气口,进入通道,在一级转子的作用下,一级泵腔内的气体进入2级泵腔,而后进入3级、4级泵腔,最后气体经过排气道进入冷凝区,气体液化后流向排液口,经收集处理可循环利用,同时残存气体通过消声器排入大气。  多级爪型真空泵可以起到抽真空以及气液分离的作用。为了防止轴承和齿...
2019 - 11 - 14
近年来,中国城市生活用水量逐年增加,因此建设建筑物用水至关重要。因此,有必要选择一个良好的真空系统,建筑物排水中的应用值得关注。  真空系统在建筑排水中中的应用,属于排水及污水处理环保设备领域。用于建筑物排水系统的当前控制系统中真空泵站系统和厕所控制系统不是两个独立的系统。这两个系统共享一个真空检测开关。该系统由相同的真空检测开关操作和停止。恒定值控制,一旦真空检测开关发生故障,两个系统都将被停用。  真空泵站系统中真空泵和污水泵非常有用。备用泵仅在当前泵出现故障时才激活。频繁的启动往往会缩短有源泵的寿命。浴室控制系统中控制模块(如马桶座圈)的参数设置值是固定的,无法修改,因此不能在系统中的每种情况下灵活使用。  本文的目的是解决现有建筑排水系统控制装置中真空泵和排污泵使用不正确,马桶座等控制模块无法设置修改参数,无法显示的问题用于确认诸如马桶座等控制模块故障的问题。为了达到上述目的,技术人员使用了一种真空系统技术方案来构造一种建筑物的真空排水装置,该建筑物包括抽水马桶控制系统,该抽水马桶控制系统通过排污管与抽真空系统相连。  真空系统利用真空泵抽真空箱和管网中的空气,使管网中长期保持0.035〜0.045Mpa的相对真空,排污迅速。通过压力差将其吸入真空管,然后进入真空收集器(罐中;进入收集器(罐)的污水可以排入附近的重力排水网络或污水处理厂,或者可以输送到生态卫生中设备。  启...
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 14
高温油泵是有泵体、泵盖、内外转子、泵轴、轴端组合密封等零部件组成。主传动为一套相互啮合的转子组成,轴端密封采用耐高温回流式组合密封、采用水箱式冷却方式控制轴封出温度。很多客户问到高温油泵应该如何选型,下面小编列了几点高温泵选型的参数和注意事项。                                                                    1、流量是选油泵的重要性能数据之一,它直接关系到整个装置的的生产能力和输送能力。如设计院工艺设计中能算出泵正常、最小、最大三种流量。选择泵时,以最大流量为依据,兼顾正常流量,在没有最大流量时,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。    2、油泵的温度,要选择操作流体的最大要求的温度,比方流体最大的温度要求是350,但泵的实际最大操作温度却是320,那便会造成漏油或者泵直接坏掉不能运行,所以一定要选择合适的或者大于最大的操作流体温度的泵。  3...
2018 - 06 - 15
如今的各领域的生产活动中各类真空泵是维持生产正常进行的关键设备,在这种设备中旋片式真空泵一直都是经典好用的代表之一。尤其是性能优高质量的旋片式真空泵可以长期保持稳定可靠的状态。所以这些领域的工作者就很热衷询问旋片式真空泵哪个品牌好。下面本文分享的就是挑选旋片式真空泵的几个技巧。    一、调查研究旋片真空泵品牌商的实力背景  在采购之前最好是调查一下该旋片式真空泵品牌商的实力背景,包括它的发展历史人员构成以及日常管理模式都可以反映出它的设备的可靠性。而且可以说这种机械设备的关键性装置是需要强大的资金和技术实力来提供支持的。  二、实地考察旋片真空泵设备的运转状态  如果有机会,可以去旋片式真空泵的生产场地直观体验一下,去体验它的生产工艺,它的质检管理等等。当然重中之重的工作一定是考察评估旋片式真空泵在真实的运转中的状态表现,主要看它的密封性以及在不同生产系统中实现真空所花费的时间和持久度等等。  三、向专家前辈讨教旋片真空泵选型经验和指导  实际上旋片式真空泵这类真空制造设备的研发发展历史是很长的,那么身边不乏有一些有专业知识以及相关经历的人存在,实际是懂得利用这些人际关系去向专业人士讨教经验也是很好的技巧。他们可以从经验和专业知识的角度给我们挑选旋片式真空泵很好的指导。  在大家工作中关于旋片式真空泵的挑选是有很多技巧可以参考的,包括可以调查真空泵制造商的品牌历史以评估它的整体实...
2018 - 08 - 13
螺杆真空泵常常应用到CNC行业中,陈工总结了七点螺杆真空泵在CNC应用中的注意事项,下面我们一起来学习一下吧。1、 螺杆真空泵开机前必须做好进、排气管,罐排水装置等彻底放光管道积水,真空罐上加液位指示管,以便于人工观测。2、靠近螺杆真空泵管道上加上手动排水器(带透明管显示是否有水)3、水环泵改螺杆泵,真空罐之后,螺杆泵不允许与水环泵并管线!!否则水环泵停机时水倒抽入管网后,被螺杆真空泵吸入,会导致螺杆真空泵报废!!!!!4、螺杆真空泵自动阀门时间长了往往不可靠,失灵了也没人知道,必须加装液位显示管人工监视。5、CNC加工除了液态水会导致油乳化、还有水汽问题也要当心,处理方法很简单即开机时螺杆真空泵真空度不得低于100mbar.6、  阿特拉斯螺杆真空泵一般设定卸载压力30mbar若CNC长用气量长时间在30mbar,会发生油乳化。7、  GHS VSD+系列螺杆真空泵排气管上有一个排水口,接上软管用于排掉排气管产生的倒灌冷凝水。
2018 - 10 - 24
旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵,主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。旋片泵有单级和双级两种,双级就是在结构上将两个单级泵串联起来,一般多做成双级的,以获得较高的真空度。。旋片式真空泵工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵,旋片式真空泵可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵,它被广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等行业和科研部门。阿特拉斯双级旋片泵:使用旋片式真空泵的十个知识点:1、使用旋片式真空泵前,保证泵的清洁,防止杂物进入泵内。查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起封油作用,影响真空度。过高,会引起通大气启动时喷油。运转时,油位有所升高,属于正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油,从注油孔加入。加油完毕后,应旋上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔,加油按油标指示刻度加入真空泵油。旋转三通阀,使泵的吸气管与大气相通,而与被抽空容器隔绝,打开排气口。2、环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。3、旋片真空泵不应用来抽除含氧量过高、有爆炸性以及对金属有腐蚀的气体。另外,也不宜吸入能与泵油起反应的气体和含有大量水蒸气的气体等4、旋片真空泵可在通大气或任何真空度下一次启动,泵口如装接电磁阀,应与泵同时操作。...
2019 - 03 - 01
年后来,有很多模温机行业的客户来寻问方案选型问题,那今天张工就跟大家分析一下模具行业模温机的高温离心泵选型问题。现在模具行业中最常见的就是德国百年老企SPECK品牌的高温磁力泵(离心泵),德国SPECK品牌磁力泵因为高效节能且寿命长外型小,所以在市面热销,那么模温机行业选型高温磁力泵我们首先要了解些什么呢?一、高温磁力泵对应模具的 出入口尺寸,如几进几出? 几回路?装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。二、高温磁力泵的操作点(流量 扬程)?1.流量是选高温油泵的重要性能数据之一,它直接关系到整个装置的的生产能力和输送能力。如设计院工艺设计中能算出泵正常、最小、最大三种流量。选择泵时,以最大流量为依据,兼顾正常流量,在没有最大流量时,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。2.扬程装置系统所需的,是选泵的又一重要性能数据,一般要用放大5%—10%余量后扬程来选型。三、高温磁力泵输送介质?液体性质,包括液体介质名称,物理性质,化学性质和其它性质,物理性质有温度c,密度d,粘度u,介质中固体颗粒直径和气体的含量等,这涉及到系统的扬程,有效气蚀余量计算和合适泵的类型:化学性质,主要指液体介质的化学腐蚀性和毒性,是选用导热油泵材料和选用那一种轴封型式的重要...
2019 - 04 - 17
真空泵使用久,如果不注意保养就会出现走漏的情况,所以我们要常常进行检查,那如何来判断真空泵是不是发生了走漏的情况呢?下面我们一起来了解一下。一、查看真空泵状况的抽汽管道与汽缸联接的当地能否漏空气,此处漏空气在负荷降低时真空降低,负荷升高后真空稍有上升。 二、查看凝汽器汽侧放水门封闭,不走漏。三、查看真空损坏门封闭,不走漏口。 四、查看处于负压状况下的低压加热器水位能否正常,放地沟门能否紧密。五、查看真空泵调速给水泵的重力回水能否导人凝汽器,若是回水量较小,水封袋封不住应将给水泵密封水重力回水倒至地沟。 六、查看真空体系阀门的水封、管道、法兰或焊口有否不紧密处,尤其是胀大箱或锅炉起动分离器至凝汽器的管道及阀门口。 七、查看真空泵低压缸排汽安全门无缺、无吸气。八、查看真空体系的水位计不割裂、走漏。 以上八点真空泵的走漏检查。真空泵在使用了一段时间后一定要多多进行保养维护。
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罗茨真空泵故障检修

日期: 2021-06-30
来源:
浏览次数: 78

  罗茨真空泵故障检修

  一、极限压力达不到

  1. 管道系统漏气,系统检查即可。

  2. 泵体部分漏气,检查泵。

  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。

  4. 油封磨损,更换油封。

  5. 进气温度过高,影响极限压力。

罗茨真空泵故障检修

  二、抽速不足

  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。

  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。

  三、电机过载

  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。

  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。

  11. 采用机械式自动调压旁通阀。

  12. 采用液力联轴器。

  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。

  四、泵体过热

  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。

  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。

  17. 转子与泵壳接触,检修。

  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。

  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

  五、声音异常

  20. 装配不良,返修。

  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。

  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。

  24. 轴承磨损,更换轴承。

  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。

  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。

  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。

  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。

  六、泵油箱进气浮化

  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。

  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。

  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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