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2022 - 03 - 08
一.干式螺杆真空泵原理介绍  干式螺杆真空泵的原理是利用一对螺杆,在螺杆真空泵的泵室内同步反向高速运行,由两个转子.泵体和侧盖组成几个室,实现吸排气作用的泵机械设备。这些个的气室定期地从真空泵的吸气口侧向排气口侧“移动”,气体以低速旋转的方式被输送。 即使真空泵继续运转,气体的流动也不会改变,所以能在一定程度上引出可能被气体夹住的细微粒子和蒸汽。  干式螺杆真空泵工作时,两螺杆相互间不产生直接摩擦力,泵室内不需润滑油,运行中机械平稳,发出的声音小。与等长螺杆真空泵相比,改变螺距结构的真空泵极限真空度高,有良好的间隙设计和连续压缩方式,单泵可达到0.0075torr(0.01 hpa )的极限真空。 能耗更低,变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。 在半导体行业,干式螺杆式真空泵,大幅度提高了工作环境的质量,提高了生产的产品品质和性能。  二.干式螺杆真空泵的选型特点  干式螺杆式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用茄克衫冷却水蒸发制冷转子,干式真空泵采用符合流体动力学的螺旋状冷却水茄克衫结构,提高了热交换效率,产生了更好的蒸发制冷效果,干式真空泵的泵室内部也合理维持了低温度  众所周知,溶液中的酸性络离子和碱性络离子与金属发生化学反应时,金属就会腐蚀,温度越高化学反应越快,腐蚀速度越快。一般的真空泵采用耐腐蚀材质,或者转子使用耐...
2022 - 04 - 25
罗茨真空泵机组具有非常好且稳定的工作效率,要达到这一效果,就必须选择和使用质量好的机组,罗茨水环真空机组其中的罗茨真空泵质量要求很高,来了解下关于罗茨真空泵使用的注意事项,更多真空泵订购、真空方案应用、真空泵售后维修保养等服务,欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司。罗茨真空泵在行业中应用广泛,罗茨泵的工作原理、性能特点与凸轮泵基本相同,主要差异在于其转子为罗茨型。罗茨真空泵主要是在泵中反转的两个转子,被一对同步齿轮带动,罗茨真空泵的转子在泵中啮合,但有间隙。1、罗茨真空泵总是检查油位的位置,如不满足要求,必须进行调整以满足罗茨真空罗茨真空泵泵的运行要求。2、罗茨真空泵的换油期间因实际使用情况而异,能满足用户的性能要求和其他方面的考虑,一般的新型罗茨泵,排气,100小时左右的工作换油后,油中看不到黑色的金属粉,截止日期后油可能会延长。3、罗茨真空泵要经常检查油品的质量,发现油品的变质,换新油,确保罗茨真空泵正常工作。4、罗茨真空泵的一般情况下,罗茨泵2000小时后检查,检查密封件的劣化程度,检查排气阀是否破裂,清洗阀板和排气阀座的污垢深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统...
2022 - 05 - 24
水环真空泵的工作原理水环真空泵启动时,泵内的液体在叶片旋转产生的离心力的作用下在泵上形成旋转液环,水环真空泵的叶轮偏心安装在泵室内,因此叶轮的轮毂和水环内面在泵室上部形成切线,在泵室下部接触。前半部分,随着叶片和水环之间的密封空间逐渐变大,形成了几个空洞,气体从分配板的吸入口被吸入。在后半段,密闭内腔的容积逐渐减少,空间内的气体被压缩,从分配水环真空泵板的排气口排出。加入的液体是冷凝水,不仅可以形成液体环,还可以减少气体压缩产生的热,密封分配板和叶轮端面的间隙。 在水环真空泵的运转中,一部分工作液与气体一起排出,因此有必要向真空泵内连续供水。泵内不产生金属摩擦,使用中不需要润滑,寿命长。此外,水环真空泵结构紧凑,转速高,操作简单,压缩温差变化小,能吸收易燃的爆炸性气体。但是,水环真空泵有能效低的缺陷,效旋片真空泵率为30%~50%,真空度低,工作介质被限制在饱和蒸气压。 真空泵工作原理不同罗茨真空泵(简称:罗茨泵)是指泵内内置有两个相反方向同步旋转的叶状转子,转子之间、转子与泵壳内壁之间有微小间隙,相互不接触的可变容量真空泵。水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子,将水(液体)投向定子壁,水(液体)形成与定子同心的液环,液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变罗茨真空泵容积真空泵。 适用范围不同罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航空宇宙...
2022 - 06 - 23
进口真空泵作为我们日常生产生活工作中经常会用到的一种设备,在使用时我们可能会遇到各种各样的旋片真空泵故障,例如:真空泵冒烟、真空泵不足、真空泵噪音、真空泵卡死、真空泵漏油、真空泵温度高、真空泵抽不上力、真空泵不转、真空泵压力太小、真空泵漏水等。其实导致真空泵出现故障,很多时候都是因为平时使用不当而造成的,当进口真空泵出现漏水现象,我们应该如何处理?   1、如果发现正在作业的发动机的真空泵漏水,不得立即停止其工作,应使其保持在最低的稳定转速,同时向冷却系内边加水边放水(注意:打开加水口盖时,应在其上方放一遮盖罗茨真空泵物,防止被冒出的水蒸气烫伤),使发动机降温,短时间、慢速行驶,驶至附近隐蔽处再进行排除。 2、如果真空泵损坏得非常严重,途中又没有修理条件,可将真空泵的进、出水管直接接上,以充分利用冷热水的自然循环作用临时使发动机保持正常的温度;或者利用一内胎或水桶作为容器,将其牢牢地固定住,然后从容器中引出两根胶管,一根接在发动机的进水口上,另一根接在发动机的出水口上,两根管子的另外一端都插入容器内,并应将胶管固定牢固。   深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。恒才机电与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等品牌合作,为客户提供各行...
2022 - 07 - 25
根据客户反应的,旋片真空泵、水环真空泵应用于开料机的现状,以下内容为旋片真空泵、水环真空泵在开料机设备使用的效果及问题,欢迎查阅,如需定制真空解决方案、真空泵改造系统、改善真空工艺等需求,欢迎直接致电联系我们。干式旋片真空泵在开料机设备的应用:1.低效率干式旋片泵;2.维修率高,增加企业人工和材料成本;3.旋片泵直接在车间散热、直接提高车间温度、特别是夏季工作环境恶劣;4.增加车间噪音,影响工作环境;水环真空泵应用于开料机优劣势1.水循环泵效率低,且随着水温的变化抽速易下降;2.水循环泵性能随着易受水质影响,一般二三年后结垢导致抽速下降;3.耗费水资源,环保政策严格,对废水的排放处理要求高。恒才机电对开料机真空泵应用改造新思路:建立中央真空系统--高效节能中央真空系统。a.采用高效变频螺杆真空泵,效率比普通旋片泵高40%,使用稳定性也远超旋片泵和水环泵,减少维修人力物力。b.设置中央真空站,连接管道至车间生产末端,直接抽真空,大大降低车间噪音和环境温度,节省水资源。c.干净整洁的独立机房,真空泵主机保固10年,寿命远超一般旋片泵。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 09 - 02
进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势?由阿特拉斯旋片真空泵GVD 28和罗茨真空泵ZRS 250,组成罗茨旋片真空机组,搭配真空腔体应用,可以应用在哪些行业呢,进口旋片罗茨真空机组应用有哪些优势?在密闭腔体内进行激光焊接,使真空焊接工艺更加完美。解决了传统真空泵存在的问题,比如抽真空度达不到要求、真空泵系统运行抖动大不稳定、抽气时间长、不够节能环保等问题。进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势?阿特拉斯GVD 28+ZRS 250真空机组应用:1、阿特拉斯双级油润滑旋片真空泵GVD 28,具有优异的极限真空压力、低噪音无、振动运行;2、阿特拉斯罗茨真空泵ZRS 250抽气时间缩短达50%、节约成本;3、轴封技术,无油泵结构,无污染;4、自动调整泵的转速,从而防止电机过载、过热;5、坚固耐用、耐腐蚀,运行压力低,可靠性极高。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 10 - 25
“国际玻璃年”的宣布,这使得人们更加关注能源密集型玻璃行业的生产过程,而稳定的真空技术对于玻璃的可持续生产也有显著的影响。玻璃瓶和玻璃罐通过真空技术成型,最后的步骤也需要真空技术,包括加上客户的商标或是名字。玻璃成型时,如果玻璃模具和玻璃之间的滞留空气已被尽可能地去除,就能更好地压印商标或名字。阿特拉斯·科普柯凭借其为玻璃生产打造的创新驱动概念, GHS VSD+系列是市场上节能型变频油润滑螺杆真空泵:通过VSD变频控制,它可以精确并且快速地适应相应的真空要求,变速和设定点控制提供了理想的真空度。使用的GHS VSD+ ,已经为其节省了约27%左右的能耗。降低能耗并不是GHS VSD+真空解决方案的唯一优势,新的中央真空系统仍可为整个生产提供持续性的、稳定的真空度。另外,GHS 4600 VSD+真空泵的低噪音水平、节省空间的一体化设计也是很大的特点。即插即用,安装简便;深圳恒才机电也可以说是为玻璃制造商提供了一站式服务——从泵到连接系统深圳恒才机电设备有限公司联手阿特拉斯·科普柯为各行业制造商提供节能、智能、可持续发展的真空解决方案,为玻璃制造商提供了三台GHS 4600VSD+变频油润滑螺杆真空泵,该系列产品拥有高效、智能的VSD变频技术。
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2020 - 11 - 10
罗茨真空泵在使用过程中可能会满足某些要求,但在生产过程中,必须严格遵守操作规定进行操作,以获得良好的效果。让我们了解罗茨真空泵产生噪音的原因。  无论是罗茨真空泵还是其他设备,通常在运行过程中都会产生噪音,但是如果噪音太大,则肯定会发生内部异常,需要立即进行检查。如今,不同质量的发动机的噪音经常掩盖罗茨泵的噪音。一种是风扇噪音通常很大,这是由于风扇的变形引起的,另一种是使用质量差的轴承引起的轴承噪音。  罗茨泵转子碰撞包括转子与转子,转子与泵体,转子与侧盖之间的碰撞噪声。主要原因是轴刚度不足,转子的径向位移和轴上的齿轮位置,齿轮间隙太大或太小以及轴承的轴向位移太大。除了齿轮本身的加工精度外,罗茨泵还会影响齿轮噪音以及安装齿轮的两个转子轴的平行度。除了轴承本身的精度外,设计不足还会导致轴承噪音增加,例如轴承内圈和外圈的过度安装,轴刚度不足,润滑油,灰尘,水,腐蚀性气体和罗茨泵运行期间液体污染。噪音基本上是由碰撞,磨损等引起的。内部零件之间。声音产生部分也相对易于使用。因此,在检查和设备维护期间必须维护这些零件。  以上是罗茨真空泵噪音的原因。在操作过程中,必须严格遵守法规进行操作。如果您听不懂,可以致电咨询。我们是专业的制造商,将为您提供合理的建议。
2020 - 11 - 23
一、真空泵和电机的安装  水环真空泵和压缩机在安装前,用手转动联轴器,保证泵内没有卡住和其它损坏现象。整套设备运抵安装地点时,如果包装已损坏或受潮,以及泵已经出厂八个月以上时,应在安装前全部拆开检查。如果真空泵或压缩机正常,将泵和电动机安装在泵座上时,应校正电动机轴与泵轴的同心度,因为如果电动机轴与泵轴之间有极小的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损。校正方法如下:将直尺平行放在联轴器上,在整个圆周的任何位置直尺应与联轴器圆周完全密合,没有间隙,且联轴器的轴向间隙相等时,则达到了所要求的同心度。  电动机与泵轴,即使有极小的倾斜,也会引起轴承发热和零件过早磨损等严重后果,如果安装正确,用后即能轻松地转动泵轴。在泵的进气口应安装过滤装置,以防异物进入泵腔内。  二、汽水分离器的安装  汽水分离器根据外形图安装在地基上。如果必须改变安装位置时,应注意分离器的联接管路不宜过长,转弯不宜过急,否则水和气在管道中的流动损失必将增加,从而增加了泵排气端的压力,这样就降低了气量和真空度,增加了功率消耗。  三、水环真空泵与汽水分离器的管路安装  水环真空泵的排气管应与汽水分离器进撖这相连,当作压缩机使用时,汽水分离器的排气管应和使用压缩空气的系统相连接。抽真空时如不设排气管路,气体则由分离器上的排气口直接排至大气。如需排至室外,则可将分离器的排气口通过管路引到室外。在泵的进气管路上应安装阀门进行...
2020 - 12 - 03
为了让大家能够更好的选择并使用真空泵,我们总结了以下几点注意事项,让您能够选择到合适的产品。根据实际使用的情况,我们要注意这些:  1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持,应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。  2、了解被抽气体成分,气体中有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵的时候需要知道气体成分,针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒以及腐蚀性的气体,需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。  3、真空泵在其工作压强下,可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。  4、正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气,需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。  如果钛升华泵对氢有很高的抽速,但是不能进行抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速两组合起来,则会使真空装置得到相应的真空度。  5、真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时,应该选用各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染的措施。  6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适,而不能让它在25~30mmHg下长期的工作。  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。...
2020 - 12 - 15
在使用真空泵的过程中,无论是国产的还是进口的,质量的好坏都没有关系,但是经过长时间的工作,如果不及时正确地进行维护,总是会或多或少地出现故障。如果真空泵由于长期故障或缺乏使用而无法正常启动,则必须详细分析具体问题。本文主要总结了真空泵无法启动或由于故障而无法启动的原因和故障排除方法。  1.真空泵不启动的原因如下:  (1)驱动电机电压不正确或过载。  (2)电机启动器过载保护太小或设定值太低  (3)保险丝烧断。  (4)如果真空泵配有交流电机:电机电容器已损坏。  (5)检查真空泵油的使用情况。真空泵已回油,油温太低,油变质,并且真空泵腔中充满了来自真空泵的油,并注意油是否已乳化(泡沫白色)或烧焦(变黑),真空泵油的劣化会影响旋片和转子之间的摩擦,并导致叶片粘在泵腔中。  (6)真空泵或马达卡住。  (7)油泵磨损或异物堆积  (8)吸油管堵塞。  2.真空泵无法启动,维修方法如下:  (1)为电机提供正确的电压。  (2)将电机起动器过载保护的设置数据与电机铭牌上的数据进行比较,并在必要时进行更正。如果环境温度较高:根据正常电机电流,可以将设置值提高。  (3)检查保险丝。  (4)要求专业技术人员修理或更换电机。  (5)更换真空泵油,拆开真空泵,修理气缸体和其他零件。如果叶片严重损坏,则需要更换真空泵叶片。  (6)确认电机已关闭,然后断开风扇盖。用手旋转电机和真空泵。如...
2020 - 12 - 25
水环式真空泵长时间工作后,泵的外部或内部将有一些污垢。在这种情况下,我们必须清洁它。外部清洁相对容易,但是泵内清洁却很困难。泵的内部通常是由于工作不足而造成的,并且会产生大量水垢和残留杂质,如果内部未彻底清洁或未清洁,将会影响泵的运行。那么我们如何清洁水环式真空泵?  1.第一次清洁水环式真空泵时,为了省钱,您可以先使用再生汽油,然后使用洗涤汽油,最后使用航空汽油对其进行清洁。然后仔细检查是否有损坏和划痕。  2.水环式真空泵每月应清洁泵腔内积聚的异物。例如,您可以在短时间内打开排放管上的阀门或打开排放塞。  3.稀释硝酸或其他可溶性物质,但不应使用高纯度物质,否则将直接损坏水环真空泵的内部组件。将其放入容器中,等待约一个小时,然后用清水直接冲洗。  4.小心地从真空泵上卸下喷嘴和导管,然后将其卸下。使用干净的棉线,薄纸或用过的纸来清洁泵内以及喷嘴和导管上的油脂。使用浓度为50-100g/L的苛性钠溶液,加热至6070浸泡,或直接使用有机溶剂,如四氯化碳,  用三氯化乙烯,丙酮等浸泡并洗涤,然后用冷水冲洗几次。用热空气干燥零件或在烤箱中干燥(最好不要清洁没有纯棉线的零件表面,以防止棉线进入泵体。)切记擦干干净的零件(吹或用丝布擦拭然后擦干)并盖上它们,以防止灰尘落下。如果有待修理和加工的零件,则可以用干净的真空泵油适当地涂其他零件,以防生锈。  5.可以用油石或金相砂纸轻轻擦拭有锈...
2021 - 01 - 07
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。  真空泵的分类  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。  变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。  动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。(单独段介绍)  变容真空泵又分为:往复式,旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式),其它型式。  真空泵的规格及型号表示法  国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型;字母前的数字表示泵的级数,单级时“1”省略;字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。
2021 - 01 - 19
现在的水环真空泵的材质一般都是铸铁的,长时间使用后,会因为磨损或腐蚀产生锈迹,出现这种情况后很多人都不去在意,但如果长期生锈,会影响水环真空泵的使用期限,其实水环真空泵生锈主要有以下几种原因。  1、水环真空泵在长时间使用后,表面的涂层经过风吹日晒雨淋,老化后脱落,也会导致设备生锈,当遇到酸溶液或碱溶液后会产生化学反应,生成二氧化铁。  2、经常下雨导致空气潮湿也会导致生锈,一旦下雨,铁锈就会受到环境影响,铁锈会流到各处表面,产生生锈的痕迹,时间久了会引发大面积的修饰。  3、在安装的时候因为施工人员不注意,碰坏了真空泵的防锈涂层,导失去了保护的地方就会受到水汽或酸碱溶剂的腐蚀,严重会导致锈穿,影响设备的使用。  4、人的汗液PH值为5~6,也会引起水环真空泵生锈,所以要避免手直接触摸,应带手套或用手巾擦干汗液。  以上就是水环真空泵生锈的主要原因。因此现在很多类型的真空泵都改用了不锈钢材质,大大降低了生锈的可能性,以后大家在使用的过程中如果发现生锈及时除去,以延长真空泵的寿命。
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罗茨真空泵故障检修

日期: 2021-06-30
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  罗茨真空泵故障检修

  一、极限压力达不到

  1. 管道系统漏气,系统检查即可。

  2. 泵体部分漏气,检查泵。

  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。

  4. 油封磨损,更换油封。

  5. 进气温度过高,影响极限压力。

罗茨真空泵故障检修

  二、抽速不足

  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。

  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。

  三、电机过载

  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。

  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。

  11. 采用机械式自动调压旁通阀。

  12. 采用液力联轴器。

  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。

  四、泵体过热

  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。

  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。

  17. 转子与泵壳接触,检修。

  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。

  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。

  五、声音异常

  20. 装配不良,返修。

  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。

  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。

  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。

  24. 轴承磨损,更换轴承。

  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。

  26. 旁通阀跳动,超压差。前级泵极限压力下降,维修或更换前级泵。

  27. 运转中产生较大的颗粒进入泵内部造成机件磨损。

  28. 泵的安放位置移位。如倾斜。

  六、泵油箱进气浮化

  29. 前级水环泵与罗茨泵之间的止回阀失效,前级泵的工作液回流。

  30. 水冷却夹套出现砂眼,冷却水漏进油箱。

  31. 所抽气体里面含水分太大引起。


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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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