螺杆真空泵在使用过程中经常充满氮气，这主要是因为氮气用于吹扫泵，这可以延迟泵中腐蚀性气体的腐蚀，从而起到良好的保护作用。
为什么螺杆真空泵使用氮气?我们可以总结以下原因：
1.将氮气注入螺杆真空泵中，以在真空泵的内壁上形成一层薄弱的保护气膜。氮气压力不应太高或太小。太多会影响真空效果并增加功耗;太小会导致无法形成保护作用。
2.泵送腐蚀性气体的泵将使用氮气，氮气将吹扫泵以延迟腐蚀性气体腐蚀泵的时间。
3.真空镀膜过程中使用的某些气体会对螺杆真空泵产生腐蚀作用，因此将使用此泵。但是，壁中的氮气已从泵中分离出来。
4.可以涂覆多少单位的氮以产生所需的颜色。有些颜色使用乙炔。在实际应用中，大多数使用氩气。
5.气密，稀释的工艺气体。减少过程的腐蚀和附着力。
6.没有温度，压力或催化剂等辅助条件，氮气很难与外界反应。因此，在清洗泵系统的过程中，使用氮气进行清洗更加安全可靠。
7.吸附氮的热量小，在物体表面的吸附时间短。当氮气吸附在螺杆真空泵的壁面上时，将很容易被泵吸。清洁真空系统中的氮气吹扫正式使用了此功能。在真空镀膜中，用干燥的氮气吹扫和清洁真空系统后，氮分子将首先被吸附在真空系统的壁上。由于容器壁表面的吸附位置是恒定的，因此当容器中充满氮分子时，其他分子(例如水分子)将会减少。因此，真空系统的整个泵送时间将大大减少。
氮气是一种稳定，无害的气体，可以很好地保护螺杆真空泵，有效延长使用寿命，减缓腐蚀问题。