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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

发布时间: 2025 - 12 - 27

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深圳恒才真空引水机组优势

发布时间: 2025 - 12 - 26

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VG水环真空泵替代sk水环真空泵用于真空引水

发布时间: 2025 - 12 - 24

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行业资讯了解行业的最新资讯

2022 - 03 - 08

一.干式螺杆真空泵原理介绍　　干式螺杆真空泵的原理是利用一对螺杆，在螺杆真空泵的泵室内同步反向高速运行，由两个转子.泵体和侧盖组成几个室，实现吸排气作用的泵机械设备。这些个的气室定期地从真空泵的吸气口侧向排气口侧“移动”，气体以低速旋转的方式被输送。即使真空泵继续运转，气体的流动也不会改变，所以能在一定程度上引出可能被气体夹住的细微粒子和蒸汽。　　干式螺杆真空泵工作时，两螺杆相互间不产生直接摩擦力，泵室内不需润滑油，运行中机械平稳，发出的声音小。与等长螺杆真空泵相比，改变螺距结构的真空泵极限真空度高，有良好的间隙设计和连续压缩方式，单泵可达到0.0075torr(0.01 hpa )的极限真空。能耗更低，变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念，可使能耗降低30%，是油封式真空泵的好替代品。在半导体行业，干式螺杆式真空泵，大幅度提高了工作环境的质量，提高了生产的产品品质和性能。　　二.干式螺杆真空泵的选型特点　　干式螺杆式真空泵具有良好的制冷方式，市售的干式真空泵多使用茄克衫冷却水蒸发制冷转子，干式真空泵采用符合流体动力学的螺旋状冷却水茄克衫结构，提高了热交换效率，产生了更好的蒸发制冷效果，干式真空泵的泵室内部也合理维持了低温度　　众所周知，溶液中的酸性络离子和碱性络离子与金属发生化学反应时，金属就会腐蚀，温度越高化学反应越快，腐蚀速度越快。一般的真空泵采用耐腐蚀材质，或者转子使用耐...

罗茨真空泵工作原理使用注意事项

2022 - 04 - 25

罗茨真空泵机组具有非常好且稳定的工作效率，要达到这一效果，就必须选择和使用质量好的机组，罗茨水环真空机组其中的罗茨真空泵质量要求很高，来了解下关于罗茨真空泵使用的注意事项，更多真空泵订购、真空方案应用、真空泵售后维修保养等服务，欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司。罗茨真空泵在行业中应用广泛，罗茨泵的工作原理、性能特点与凸轮泵基本相同，主要差异在于其转子为罗茨型。罗茨真空泵主要是在泵中反转的两个转子，被一对同步齿轮带动，罗茨真空泵的转子在泵中啮合，但有间隙。1、罗茨真空泵总是检查油位的位置，如不满足要求，必须进行调整以满足罗茨真空罗茨真空泵泵的运行要求。2、罗茨真空泵的换油期间因实际使用情况而异，能满足用户的性能要求和其他方面的考虑，一般的新型罗茨泵，排气，100小时左右的工作换油后，油中看不到黑色的金属粉，截止日期后油可能会延长。3、罗茨真空泵要经常检查油品的质量，发现油品的变质，换新油，确保罗茨真空泵正常工作。4、罗茨真空泵的一般情况下，罗茨泵2000小时后检查，检查密封件的劣化程度，检查排气阀是否破裂，清洗阀板和排气阀座的污垢深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：水环真空泵，旋片真空泵，螺杆真空泵，罗茨真空泵，离心泵，高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统...

水环真空泵和罗茨真空泵工作原理区别

2022 - 05 - 24

水环真空泵的工作原理水环真空泵启动时，泵内的液体在叶片旋转产生的离心力的作用下在泵上形成旋转液环，水环真空泵的叶轮偏心安装在泵室内，因此叶轮的轮毂和水环内面在泵室上部形成切线，在泵室下部接触。前半部分，随着叶片和水环之间的密封空间逐渐变大，形成了几个空洞，气体从分配板的吸入口被吸入。在后半段，密闭内腔的容积逐渐减少，空间内的气体被压缩，从分配水环真空泵板的排气口排出。加入的液体是冷凝水，不仅可以形成液体环，还可以减少气体压缩产生的热，密封分配板和叶轮端面的间隙。在水环真空泵的运转中，一部分工作液与气体一起排出，因此有必要向真空泵内连续供水。泵内不产生金属摩擦，使用中不需要润滑，寿命长。此外，水环真空泵结构紧凑，转速高，操作简单，压缩温差变化小，能吸收易燃的爆炸性气体。但是，水环真空泵有能效低的缺陷，效旋片真空泵率为30%~50%，真空度低，工作介质被限制在饱和蒸气压。真空泵工作原理不同罗茨真空泵(简称：罗茨泵)是指泵内内置有两个相反方向同步旋转的叶状转子，转子之间、转子与泵壳内壁之间有微小间隙，相互不接触的可变容量真空泵。水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子，将水(液体)投向定子壁，水(液体)形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变罗茨真空泵容积真空泵。适用范围不同罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航空宇宙...

进口真空泵使用方法出现漏水如何处理

2022 - 06 - 23

进口真空泵作为我们日常生产生活工作中经常会用到的一种设备，在使用时我们可能会遇到各种各样的旋片真空泵故障，例如：真空泵冒烟、真空泵不足、真空泵噪音、真空泵卡死、真空泵漏油、真空泵温度高、真空泵抽不上力、真空泵不转、真空泵压力太小、真空泵漏水等。其实导致真空泵出现故障，很多时候都是因为平时使用不当而造成的，当进口真空泵出现漏水现象，我们应该如何处理？　　1、如果发现正在作业的发动机的真空泵漏水，不得立即停止其工作，应使其保持在最低的稳定转速，同时向冷却系内边加水边放水（注意：打开加水口盖时，应在其上方放一遮盖罗茨真空泵物，防止被冒出的水蒸气烫伤），使发动机降温，短时间、慢速行驶，驶至附近隐蔽处再进行排除。 2、如果真空泵损坏得非常严重，途中又没有修理条件，可将真空泵的进、出水管直接接上，以充分利用冷热水的自然循环作用临时使发动机保持正常的温度；或者利用一内胎或水桶作为容器，将其牢牢地固定住，然后从容器中引出两根胶管，一根接在发动机的进水口上，另一根接在发动机的出水口上，两根管子的另外一端都插入容器内，并应将胶管固定牢固。　　深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：水环真空泵，旋片真空泵，螺杆真空泵，罗茨真空泵，离心泵，高温油泵。恒才机电与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等品牌合作，为客户提供各行...

开料机真空设备为什么不用旋片泵和水环泵？

2022 - 07 - 25

根据客户反应的，旋片真空泵、水环真空泵应用于开料机的现状，以下内容为旋片真空泵、水环真空泵在开料机设备使用的效果及问题，欢迎查阅，如需定制真空解决方案、真空泵改造系统、改善真空工艺等需求，欢迎直接致电联系我们。干式旋片真空泵在开料机设备的应用：1.低效率干式旋片泵；2.维修率高，增加企业人工和材料成本；3.旋片泵直接在车间散热、直接提高车间温度、特别是夏季工作环境恶劣；4.增加车间噪音，影响工作环境；水环真空泵应用于开料机优劣势1.水循环泵效率低，且随着水温的变化抽速易下降；2.水循环泵性能随着易受水质影响，一般二三年后结垢导致抽速下降；3.耗费水资源，环保政策严格，对废水的排放处理要求高。恒才机电对开料机真空泵应用改造新思路：建立中央真空系统--高效节能中央真空系统。a.采用高效变频螺杆真空泵，效率比普通旋片泵高40%，使用稳定性也远超旋片泵和水环泵，减少维修人力物力。b.设置中央真空站，连接管道至车间生产末端，直接抽真空，大大降低车间噪音和环境温度，节省水资源。c.干净整洁的独立机房，真空泵主机保固10年，寿命远超一般旋片泵。深圳恒才机电设备有限公司，专注于真空泵领域，为客户提供专业真空设备及真空解决方案，康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。

进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势？

2022 - 09 - 02

进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势？由阿特拉斯旋片真空泵GVD 28和罗茨真空泵ZRS 250，组成罗茨旋片真空机组，搭配真空腔体应用，可以应用在哪些行业呢，进口旋片罗茨真空机组应用有哪些优势？在密闭腔体内进行激光焊接，使真空焊接工艺更加完美。解决了传统真空泵存在的问题，比如抽真空度达不到要求、真空泵系统运行抖动大不稳定、抽气时间长、不够节能环保等问题。进口旋片罗茨真空泵组有哪些优势？阿特拉斯GVD 28+ZRS 250真空机组应用：1、阿特拉斯双级油润滑旋片真空泵GVD 28，具有优异的极限真空压力、低噪音无、振动运行；2、阿特拉斯罗茨真空泵ZRS 250抽气时间缩短达50%、节约成本；3、轴封技术，无油泵结构，无污染；4、自动调整泵的转速，从而防止电机过载、过热；5、坚固耐用、耐腐蚀，运行压力低，可靠性极高。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用，恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。

玻璃瓶真空成型用节能变频油润滑螺杆真空泵

2022 - 10 - 25

“国际玻璃年”的宣布，这使得人们更加关注能源密集型玻璃行业的生产过程，而稳定的真空技术对于玻璃的可持续生产也有显著的影响。玻璃瓶和玻璃罐通过真空技术成型，最后的步骤也需要真空技术，包括加上客户的商标或是名字。玻璃成型时，如果玻璃模具和玻璃之间的滞留空气已被尽可能地去除，就能更好地压印商标或名字。阿特拉斯·科普柯凭借其为玻璃生产打造的创新驱动概念， GHS VSD+系列是市场上节能型变频油润滑螺杆真空泵：通过VSD变频控制，它可以精确并且快速地适应相应的真空要求，变速和设定点控制提供了理想的真空度。使用的GHS VSD+ ，已经为其节省了约27%左右的能耗。降低能耗并不是GHS VSD+真空解决方案的唯一优势，新的中央真空系统仍可为整个生产提供持续性的、稳定的真空度。另外，GHS 4600 VSD+真空泵的低噪音水平、节省空间的一体化设计也是很大的特点。即插即用，安装简便；深圳恒才机电也可以说是为玻璃制造商提供了一站式服务——从泵到连接系统深圳恒才机电设备有限公司联手阿特拉斯·科普柯为各行业制造商提供节能、智能、可持续发展的真空解决方案，为玻璃制造商提供了三台GHS 4600VSD+变频油润滑螺杆真空泵，该系列产品拥有高效、智能的VSD变频技术。

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进口真空泵出现漏水如何处理?

2020 - 04 - 26

进口真空泵做为人们平时生产制造衣食住行工作上常常会采用的一种机器设备，在应用时人们将会碰到各式各样的常见故障，比如：真空泵起烟、真空泵不够、真空泵噪声、真空泵卡住、真空泵渗油、真空泵温度高、真空泵抽不了力、真空泵不转、真空泵工作压力很小、真空泵漏水等。实际上造成真空泵出现常见故障，许多情况下都是由于平常错误操作而导致的，当进口真空泵出现漏水状况，人们应当如何处理?　　碰到进口真空泵漏水这个问题时不必慌乱，进口真空泵出现漏水状况，人们应当如何处理呢?人们针对实际问题分析究竟是什幺缘故导致的这一常见故障，随后还有目的性的去处理。　　1、假如发觉已经工作的柴油发动机的真空泵漏水，不可马上终止其工作中，应使其维持在最少的平稳转速比，另外向制冷系内边加河边加水(留意：开启放水口盖时，应在其上边放一遮住物，避免被出现的水蒸气烫伤)，使柴油发动机减温，短期内、慢速度行车，驶至周边藏身之处再开展清除。如果是突遭真空泵罩壳裂开而漏水，或真空泵内零件毁坏而丧失泵水功效时，可酌情考虑拆换有关零件，故障检测。　　2、假如真空泵毁坏得十分比较严重，中途又没有维修标准，可将真空泵的进、出水口立即接好，以灵活运用热水管的当然循环系统功效临时性使柴油发动机维持一切正常的温度;或是运用一内胎或塑料水桶做为器皿，将其死死地固定不动住，随后从器皿中引出来二根橡胶软管，一根接在柴油发动机的进水管上，另一根接在柴油发动机...

高温油泵的选择技巧

2020 - 04 - 28

高温油泵作为优质热油循环泵和热载体输送泵，是换热设备中理想的配套泵，能够输送无固体颗粒的高温液体。高温油泵采用自加热散热结构，改变了传统的水冷结构，使泵结构更加合理、高效、节能，产品性能得到优化，使用可靠性大大提高。高温油泵的选择可从管道布置、运行工况、液体性质、输液量和装置扬程五个方面考虑。接下来将为您详细分析高温油泵的选择技巧。　　1.装置系统的管道布置情况是指进液高度、进液距离、进液方向、侧最低液位、出料侧最高液位等数据，以及管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等。为了计算系统的扬程和检查气蚀。　　2.有许多操作条件，例如液体的操作温度、饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力PZ、海拔、环境温度的操作是间歇的还是连续的、以及高温导热油泵的位置是固定的还是可移动的。　　3.液体性质，包括液体介质名称、物理性质、化学性质和其他性质，物理性质包括温度C、密度D、粘度U、固体颗粒直径和介质中气体含量等。这涉及到系统的扬程、有效汽蚀余量的计算和合适的泵型：化学性质，主要指液体介质的化学腐蚀性和毒性，是选择高温导热油泵材料和使用哪种轴封类型的重要依据。　　4.设备系统所需的扬程是泵选择的另一个重要性能数据。一般情况下，电梯应在放大5%-10%后选择。　　5.流量是惠州高温油泵厂家的重要性能数据之一，直接关系到整个装置的生产能力和输送能力。例如，设计院可以在工艺设计中计算正...

真空泵工作原理通俗解析

2020 - 04 - 30

真空泵是指使用机械、物理、化学或物理化学方法对泵送容器进行抽吸以获得真空的装置或设备。一般来说，真空泵是一种使用各种方法来改善、产生和保持封闭空间内真空的装置。　　由于真空应用部门涉及的工作压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，只能使用不同类型的真空泵。为了便于使用和满足各种真空工艺的需要，有时根据性能要求组合各种真空泵并以单元形式应用。　　1.真空泵的类型　　随着真空应用的发展，真空泵有多种类型，泵送速度从每秒零点几升到每秒几十万或几百万升。随着真空技术对其在生产和科研领域的应用压力范围的要求越来越宽，为了满足生产和科研过程的要求，多台真空泵组成一个真空泵系统来共同抽气是非常必要的。　　常用的真空泵有：干式螺旋真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋转叶片泵、罗茨泵和扩散泵等。这些泵是我国国民经济各行业应用真空技术的主要泵。近年来，随着中国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用产业保持了快速增长势头。同时，在真空泵应用领域不断扩大等因素的推动下，我国真空泵行业实现了持续、稳定、快速的发展。　　2.真空泵的总体结构公式和传动方式　　真空泵泵体的布置结构决定了泵的整体结构：1)立式结构：进、排气口水平布置，便于管道的组装和连接。然而，这种泵重心高，高速时稳定性差，所以这种泵主要用于小型泵。2)水平结构：泵有一个上入口和一个...

水环真空泵怎么注水

2020 - 05 - 07

水是水环真空泵不可缺少的。一方面，当我们检查泵时，我们检查它的水量是否充足。只有在水量充足的前提下才能提高设备的效率，许多功能都是在加水充足的前提下实现的。然而，由于结构原因，许多用户无法注水。以下细节详细描述了注水过程。　　1、小泵站人工注水法，进水管直径小于300毫米，进水管入口通常有底阀，一般采用人工注水法，即从泵壳上部的专用充排水孔处的注水漏斗注水。　　2、在启动水环真空泵之前，将水箱注满水并密封。水泵启动后，水泵从真空箱进入水箱。由于水箱中的水位下降，水箱中形成一定的真空。在大气压力的作用下，水箱中的水通过进水管进入进入水箱，形成水循环，使水泵开始正常运行。　　3、真空水箱注水法对于无底阀的小型泵站，可采用真空水箱注水法。　　4、常用的方法是在水环真空泵的吸气孔或靠近泵的进水管上安装手动泵，以泵送空气和分水，使其成为水环真空泵启动时的注水工具，从而取消了泵进水管上的底阀，减少了能量损失，提高了水泵装置的效率。　　5、自引水和注水对于半潜式泵房，无需人工注水即可将水引入泵内。这种泵站也有明显的优势，即易于实现泵站自动化，时效性强。　　向2bv2-071水环真空泵注水时，必须检查水循环是否正常，压力是否保持在正常范围内。用水填充泵的优点是降低能耗，并使泵始终处于正常使用状态。

真空泵原装配件有哪些优势

2020 - 05 - 13

真空泵是一种广泛的机械设备。随着当今市场对真空泵认识的不断提高，对真空泵的需求越来越大。尽管许多人经常使用真空泵，但他们对真空泵附件了解很多。因此，他们经常购买一些专业的真空泵配件来组装和使用真空泵。事实上，关于这个真空泵的组装，严格地说，最初的包装由于几个原因工作得更好。　　一、真空泵原装配件的优势　　1.首先，原来的部分更好地融合在一起。　　事实上，这个原理大家都会很熟悉，因为现在的真空泵配件，也涉及到很多组装问题，完全是原装产品，有了原装配件，可以使用起来更方便，经过原装组装，配件之间的磨合在使用过程中会相对更好，更安全。　　2.其次，原有配件的失效概率相对较低　　原始配件在使用中出现故障的概率也相对较低。如果不是原装配件和多个部件混合在一起，实际上并不是对每个人都有好处，因为非常好的部件或其他问题和条件容易不兼容，这将影响用户的使用效率，这也是一个重要的方面。　　3.原有配件维护更方便　　简而言之，所有的配件都来自制造商，因此即使他们自己的设备存在细微的故障和小问题。部门处理速度很快。如果有混搭，很多不同的部门可能会同时参与，这将导致售后处理的麻烦。这就是为什么许多人不想看它。　　一般来说，真空泵附件的使用和更换对于经常使用真空泵的人来说也是一个问题。因此，更换时使用原装产品通常更明智。效果也是最好的，以便为真空泵提供最大的优势。　　二、真空泵原装配件的必要性　　一般的仿制...

造纸厂该怎么选择水环真空泵

2020 - 05 - 18

1、选择节能型水环真空泵　　目前，国内外市场上有2BV、2BE、V、vg等系列适用于造纸行业的水环真空泵。通过近年来水环真空泵在原油和低真空行业新产品的开发，水环真空泵的效率有了很大的提高。　　2、选择低速水环真空泵　　水环真空泵的效率与转速直接相关。水环真空泵的空气量主要与转速有关。当转速高于规定值时，轴功率与转速呈近似二次关系。当转速增加10%时，风量也增加10%，而轴功率增加约20%。因此，在选择真空泵时，应尽可能选择低转速的水环真空泵。　　3、真空点的合理组合　　具有相似空间位置的真空度和真空点应结合在一起，并由较大的水环真空泵抽吸。水环真空机组的组合应考虑有利于管道布局和区分各功能区。当风量相近，真空度不同时，可选用带隔板的水环真空泵。　　4、水环真空泵组合点容积应换算　　5、应适当考虑真空泵管道损耗　　从每个真空元件吸入的气体在管道中流动时会有一定的管道损耗，这将导致气体压力降低和体积膨胀。　　6、介质温度应适当校正　　由于造纸机上水环真空泵抽取的气体是温度较高的湿空气，而水环真空泵的工作流体由于条件限制，水温较高，与水环真空泵性能曲线上标定的工作条件不一致，因此需要对空气温度和水温进行修正。　　当空气温度较高而水温较低时，修正后的空气量会较小，所选的水环真空泵会较小，否则所选的国产水环真空泵会较大。

滤油机真空泵常见故障类型有哪几种呢?

2020 - 05 - 22

随着工业化的发展不断进步，滤油机成为很多工厂的必要设备。很多工厂的滤油机使用年限过长。导致真空泵出现问题。滤油机真空泵常见故障类型有哪几种呢?　　1.真空泵排气口冒烟;　　2.真空泵喷油、漏油;　　如果真空泵问题不是很严重的情况下,可自行拆开真空泵,更换真空泵易损件之后对真空泵进行清洗组装,达到保养真空泵的目的;　　3.真空泵噪音超标;　　4.真空度下降;　　5.真空泵发烫等现象。　　对滤油机真空泵正确的保养可减少真空泵维修的难度,应适当的对真空泵进行保养才能更好的使用真空泵,以下对真空泵保养问题提出几点建议：　　1.长时间停机启动真空泵前,应断续多次启动真空泵;　　2.首次安装真空泵应检查电机是否正转,也就是电机与泵内转子转向一致,一般电机上方标有电机正常运转方向;　　3.应定期更换真空泵油,一般3~6个月进行一次更换,如发现泵油乳化、碳化等情况,还应及时更换真空泵专用油.　　4.在使用完真空泵后,应对真空泵进行放;　　5.在真空泵运转时油温不应高于75度,如故障原因请即时联系真空泵厂家;　　6.旋片式真空泵应安装在清洁的滤油机、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源、温度过高的区域;　　7.如果真空泵需24小时运转,必须每半年对真空泵进行一次保养维修;　　8.如果滤油机真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在危险,应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器,如果杂质、粉尘、水份量过...

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螺杆真空泵的应用有哪些

日期： 2021-03-30

来源:

浏览次数: 42

　　螺杆真空泵由于自身独特的特点，无论是其单独使用还是和罗茨泵，分子泵等其他真空泵组合成真空系统，都能够达到最满意的效果。

螺杆真空泵的应用有哪些

　　腐蚀性的液体，被排除泵外。如果选用我们生产的螺杆真空泵的话，并采取合适的处理措施，就毫无这种环境污染的后顾之忧。

　　在化工.制药(包括生物制药.合成制药.中成药等).花费.建材.有色金属冶炼等行业内，使用螺杆真空泵都能满足这些工艺要求，达到事半功倍的效果。

　　螺杆真空泵，有序泵内的过流部分没有任何的真空泵油，在泵运行中和停机后，没有返流真空泵油油蒸汽的可能性，运行不会对被加工物料等有卫生要求的产品造成污染。同时也不会对造成被抽气体造成第二次污染。

　　在食品，保健品行业中，特别是食品包装业，将有很广泛的市场前景。对一些要求完成气体输送目的的工艺，更是理想的选择。今后也将成为微电子、半导体、精密加工等行业的首选真空获得设备。

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发布时间： 2025 - 08 - 21

真空引水机组是一款集高效引水装置可过滤泥水沙石

深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备，以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍：一、核心配置：德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定：采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵，利用水作为工作介质，通过叶轮旋转形成水环，实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳，适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体，满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强：泵体材质可选不锈钢或特殊合金，适应不同水质和化学环境，延长设备使用寿命。低噪音设计：通过优化水环形成与气体流动路径，降低运行噪音，改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作：配备西门子触摸屏，实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数，并一键调整运行模式（如手动/自动切换）。远程管理：支持与上位机或云端平台连接，实现远程监控与数据分析，提升运维效率。安全保护：内置过载、过热、缺相等多重保护功能，确保设备安全运行。二、性能优势：快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力：水环真空泵在短时间内建立高真空度（通常可达-0.098MPa以上），迅速排除系统内空气，形成负压环境，实现快速引水。大流量设计：泵体流道优化，减少阻力损失，确保在引水过程中维持高流量，缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物：过滤器内置搅拌装置，通过旋转叶片打散沉淀物，防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞，同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中，实现高效过滤。微粒状固体过滤：滤网精度可根据需求定制（如50-200目），有效拦截沙石、微粒等杂质，避免其进入泵体或管道，保护设备免受磨损。排水便捷：过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构，可定期清理滤网或排出沉积物，维护简单，降低停机时间。...

发布时间： 2025 - 07 - 23

旋片真空泵机组360度轮移动方便携带

高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...

发布时间： 2025 - 07 - 22

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