1.适宜的粘度和良好的粘温特性：液环真空泵室的内容积不断变化形成排气作用，润滑油需要适宜的粘度和粘温特性。
2.极低的蒸汽压：这是真空润滑油的一大特性，因为真空泵对真空度的要求很高，一般使用石蜡类窄馏分润滑油，扩散真空泵也可以使用蒸汽压低的硅油或其他合成油。
3.良好的耐腐蚀性和耐乳化性：如果是真空泵的腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内的零件，使空气中含有水蒸气冷凝水，引起润滑油的乳化和金属腐蚀，要求润滑油具有良好的耐腐蚀性和耐乳化性。
4.良好的热氧化稳定性：由于滑板和泵体的高速摩擦，油温上升，油品容易氧化分解，特别是扩散泵在高温环境下工作，使系统内的蒸汽压上升，降低真空度。因此要求润滑油具有良好的热氧化稳定性。
5.低临界压力：临界压力是润滑油的重要使用性能指标。此外，为了不影响润滑油的饱和蒸气压，水环真空泵在使用中请勿含有轻量成分。