螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员，出现于20世纪90年代前后，发展缓慢。

　　但是，作为理想的干式泵，出现了螺杆真空泵，并得到了迅速的发展。现在就理解小编和基本知识吧.

　　一、螺杆真空泵的特点

　　螺杆真空泵起源于螺杆压缩机和螺杆式液体输送泵，是容积式真空泵中理想的干式真空泵。由于能够清洁无油真空环境，对含有腐蚀性气体、凝结性蒸汽、粉尘粒子的气体有较强的适应性，清洁电子半导体、制药、石油化学等真空环境的要求严格，在气体成分复杂行业中，螺杆真空泵很受欢迎

　　螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相对运动，使齿间容积周期性变化来输送气体，实现抽出。这些特征包括：

　　1.清洁无油，多相混输，适应性广。螺杆真空泵转子之间有严格的间隙，泵室内无油，可吸入腐蚀性气体、有毒及粉尘、凝结性蒸汽等复杂气体。

　　2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆真空泵零件少，芯零件无易损件，无不平衡惯性力，运行可靠，寿命长。

　　3、结构简单，零件少，操作、维护简单。

　　4.通过强制输送空气，可以在宽的压力范围内确保大的吸引速度，排气量几乎不受排气压力的影响。

　　二、螺杆真空泵的结构

　　螺杆真空泵一般为双轴结构。螺杆真空泵是经由一对非对称螺杆转子在泵室同步高速反转，使齿间容积周期性变化而产生进气和排气作用的排气设备。

　　其主要结构为螺杆转子、轴承、泵体、密封件等。螺杆转子经过精密的动平衡补偿由轴承支承，安装在泵室，螺杆与螺杆之间保持严格的一定间隙。泵工作时，相互没有摩擦，工作顺利，噪音低，室内不需要润滑油。因此，螺杆真空泵在能够吸引含有大量水蒸气和粉尘的气体时，具有极限真空高、低耗电、节能、免维护等优点。

　　螺杆真空泵的主要结构

　　由上图可知，螺杆真空泵结构简单。形式上，根据螺杆真空泵分为卧式和立式的螺杆转子型生产线，分为单头螺杆真空泵和多头螺杆真空泵。单头螺杆真空泵通过转子的螺距、等螺距螺杆。

　　多头型金属丝可在一个金属丝内完成进气、压缩、排气过程，金属丝较少，能有效地减少泵的体积和重量，适用于大抽吸速度区域，但其金属丝复杂，需要特殊工具和专用机床，加工费用高，且由于三角泄漏的原因，真空度高

　　单头型生产线适用于小型螺杆真空泵，市场上也多为单头式真空泵。其中等间距螺杆真空泵室内不压缩，固体粒子和凝结性气体能够简单排出，但排气温度和能量消耗率高的可变间距螺杆真空泵室内有压缩，排气温度低，能量消耗低，但粉尘粒子和凝结性气体的耐性存在等间距差。

　　三、螺杆真空泵的工作原理

　　由于是由螺旋压缩机产生的，所以螺旋真空泵的工作原理也与螺旋压缩机相似。用近似的多线进行说明。

　　1.进气过程

　　a.进气进程开始

　　b.进气中

　　c.进气过程结束

　　2.压缩过程

　　a.启动压缩进程

　　b.正在压缩

　　c.压缩过程结束排气开始

　　3.排气过程

　　a、排气中b、排气中结束

　　螺杆真空泵的排气过程。齿间容积与排气口连通后，排气过程开始。随着齿间容积的缩小，有排气压力的气体从排气口排出。

　　四、螺杆真空泵的应用

　　螺杆泵不仅适应性宽，而且能够在严格的条件下进行排气，并且能够实现高真空度(0.1~1Pa)。因此，随着半导体、石油化学行业的迅速发展，螺杆真空泵作为理想的干泵开始广泛应用于电子半导体、医药化学工业领域如半导体行业的蒸镀、蚀刻、医药化学工业行业的蒸馏干燥、中间

　　由于型线技术和加工成本，螺杆真空泵的购买费用比较高，但从长远来看，其宽度适应、高效节能环保特性和低故障修理率，在运行周期内给企业带来了较高的综合利益和社会环境利益，使用更多的通用性是未来的趋势。