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2023 - 01 - 03
还在用传统液环泵和旋片泵吗抽真空吗?传统液环真空泵和油旋片真空泵带来的结果是耗水量大、噪音大、真空度低、漏油严重,生产成本高等等问题。随着客户提出的要求和想法,恒才机电给出了新的真空改造方案,用于贴膜机抽真空行业的液环真空泵和油旋片真空泵,被罗茨水环真空机组所替代。罗茨水环真空机组又数台罗茨真空泵及司倍克水环真空泵组成的真空泵组,也称之为中央真空系统,这称呼得益于集中抽真空,共享一条抽真空管、共享一套真空系统,使得真空度更稳定,更节能。罗茨水环真空机组的工作原理如下:1.运行高效:在压合机刚开始工作时,可以通过第一真空总管和第一真空泵组迅速达到较高真空度,一般是2-6分钟内将真空度抽至10-30mbar内的合格真空度;2.节能:机组运行总功率通常为原分散小泵的60%左右,在初抽达到理想真空度后,通常只需一组泵就可以维持较高真空度进行保压。罗茨水环真空机组,可用于PCB压合、贴膜机抽真空、曝光机抽真空、PET片材挤出、片材挤出抽真空等行业应用,罗茨水环真空机组给传统生产模式带来新的改变,节能环保、节省电量水费、为产品质量加持!深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2023 - 04 - 19
片材挤出行业真空解决方案是什么?传统的片材挤出机配套真空设备是螺杆真空泵、或是旋片真空泵,也有水环真空泵设备等,那有没有更高效的PET脱气真空解决方案呢?片材挤出工艺不仅要解决预结晶和干燥工艺、成型后产品通透性差、残存气泡、脱气系统生产大量废水等问题。深圳恒才机电设备有限公司专注真空领域,在橡塑片材挤出行业拥有丰富的真空配套经验,为片材挤出工艺作出贡献,现在了解一下片材挤出行业真空解决方案,新一代的有效的片材挤出脱气真空改造方案。深圳恒才机电根据客户生产现状、结合片材对真空度的要求,设计的配套的真空设备,PET脱气定制化的真空系统,采用的是罗茨水环真空机组,即罗茨真空泵和水环真空泵组成,特点如下:1.配有前置过滤器,可过滤粉尘杂质2.真空度高且稳定,带来理想的脱气效果3.改善PET产品质量,告别气泡、透明度高、韧度高4.真空泵温度低,水温低,能耗更低,部件更耐用5.支持在线水清洗,无需酒精,无需停机6.安装容易,维护简单深圳恒才机电设备有限公司的这款罗茨水环真空机组,不仅解决了片材成型后产品通透性差、残存气泡的问题,也解决了脱气系统生产大量废水,使环保的PET行业变得不环保,恒才真空泵厂家为客户解决了难题,节省了生产成本,也提高了片材质量问题,获得客户的认可与支持。
2024 - 03 - 07
罗茨螺杆真空机组在化工行业应用特点是什么?罗茨螺杆真空机组,由一台螺杆真空泵及三台罗茨真空泵,也称为螺杆三罗茨真空机组。罗茨螺杆真空机组,这一先进的真空设备,专为化工行业及特殊有机溶剂真空生产抽气而设计。它采用的新一代螺杆真空泵,不仅抽气速率大,真空度高,而且有效解决了对介质和环境可能造成的污染问题。这种创新的泵型,不仅优化了化工生产的真空工艺,更提升了生产过程的环保性。罗茨真空泵的核心设计,不仅体现在其高效的抽气能力上,更在于其对废气蒸汽的巧妙回收。这一设计不仅减少了废气排放,还为企业创造了附加的经济效益,实现了经济效益与环境效益的双赢。在罗茨螺杆真空机组的运行过程中,有机溶剂被抽出的气体在经过螺杆真空泵后,会进入排气冷凝、分离、回收等步骤。这一系列流程,不仅有效降低了排放气体中的可凝气体含量,达到了环保节能的效果,更为化工行业的绿色、可持续发展注入了新的活力。总的来说,罗茨螺杆真空机组以其高效、环保、节能的特点,为化工行业的真空生产提供了全新的解决方案,推动了行业的绿色转型和升级。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2024 - 06 - 04
在CNC加工领域,真空发生器已经不再是CNC加工中的必需品。为何CNC加工不再需要真空发生器,深圳恒才如何为CNC加工行业提供更真空解决方案。我们来看一下真空发生器在CNC加工中常见的几个问题。1.真空度不足是真空发生器面临的一个主要挑战。2.真空发生器在运行过程中会消耗大量的电力,这不仅增加了生产成本,还不符合当前节能减排的环保要求。3.真空发生器在使用过程中可能会产生噪音和振动,对工作环境和员工健康造成一定的影响。针对这些问题,深圳恒才根据客户的真空需求,量身定制解决方案,以满足不同CNC加工场景的需求。例如,我们可以使用司倍克组成的水环式真空机组,这种机组具有真空度高、运行稳定、节能环保等优点,非常适合CNC加工中的高真空度要求。同时,水环式真空机组还具有噪音低、振动小的特点,能够为员工创造一个更加舒适的工作环境。另外,阿特拉斯螺杆真空泵组成的螺杆真空泵组也是我们的另一款明星产品。螺杆真空泵组具有抽气量大、真空度高、运行稳定等特点,能够满足CNC加工中对于高效、高质量的需求。而且,螺杆真空泵组还具有节能环保的优势,能够在保证加工质量的同时,降低生产成本和能源消耗。除了提供先进的真空设备外,深圳恒才还注重为客户提供全方位的服务支持。我们的技术团队会根据客户的具体需求,进行深入的沟通和了解,确保提供的解决方案能够完全符合客户的期望。同时,我们还会为客户提供设备的安装、调试、培训等...
2024 - 08 - 02
塑胶挤出、模具挤出成型用什么真空设备?塑胶挤出、模具挤出成型可选用罗茨水环真空机组,由多台水环真空泵及罗茨真空泵组成。罗茨水环真空机组是一种组合式真空设备,+由罗茨泵与水环泵串联而成,充分利用了两者的优点,实现了高效、稳定、低噪音的真空抽取。罗茨泵作为前级泵,负责粗抽阶段,其工作原理基于转子间的间隙容积变化来实现气体的吸入与排出,具有抽气量大、效率高的特点;而水环泵作为后级泵,通过工作液(通常为水)在泵腔内形成旋转液环,与气体混合后排出,有效处理含有大量可凝性蒸汽及微小颗粒的气体,确保系统真空度的稳定与清洁。罗茨水环真空机组的工作原理:在塑胶挤出过程中,材料在高温高压下熔融并通过模具挤出成型。此时,挤出机内部及模具周围会产生大量气体、蒸汽及挥发性物质,这些若不及时排出,将严重影响产品的外观质量、尺寸精度乃至内部结构的致密性。罗茨水环真空机组正是针对这一问题设计的解决方案。罗茨泵阶段:首先,罗茨泵启动,利用其高速旋转的转子在泵腔内形成不断变化的容积,将系统中的大部分空气及轻质气体迅速抽出,为后续的水环泵工作创造有利条件。水环泵阶段:随后,水环泵接手,通过工作液(水)与剩余气体的混合作用,进一步将系统中的蒸汽、可凝性气体及微小颗粒有效抽除,并将混合后的液体排出泵外,实现深度真空。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为各行各业提供真空解决方案,真空节能改造方案,以及真空设备和安装...
2024 - 09 - 25
司倍克水环真空机组是药品真空干燥设备的选择,司倍克水环真空泵采用无油设计、机械密封以及多重保护机制,成为了制药企业信赖的选择,在制药生产应用案例也是比比皆是。应用实例:从实验室到生产线的完美过渡司倍克水环真空机组在制药领域的应用,从研发实验室的小规模试验到大规模生产线上的连续生产,都能见到它的身影。1、在实验室阶段,其精准的控制和纯净的真空环境为科研人员提供了理想的实验条件,冷凝器(壳管换热器),符合ASME标准。2、在生产线上,司倍克水环真空机组高效稳定的工作性能,则确保了药品生产的质量和效率,无须专人维护,少易损易耗件,水环真空机组可24H连续运行。3、司倍克水环真空机组以水作工作液,却非常省水,省电,且启动效果快,运行性能稳定,这些特性都是司倍克水环真空机组成为制药行业的的选择。综上所述,司倍克水环真空机组以其无油设计、机械密封、多重保护以及高效节能等显著优势,在药品真空干燥领域展现出了强大的竞争力和广阔的应用前景。对于追求高品质、高效率、绿色制药的制药企业来说,选择司倍克水环真空机组无疑是一个明智的决策。它不仅能够提升药品生产的质量与效率,还能为企业的可持续发展注入新的动力。随着技术的不断进步和市场需求的持续增长,我们有理由相信,司倍克水环真空机组将在未来的制药行业中发挥更加重要的作用。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提...
2024 - 12 - 25
深圳恒才机电设备有限公司代理是司倍克代理商,是华东代理商,为客户提供专业的水环真空泵选型,真空泵配套方案及设备,欢迎大家来访了解,司倍克水环真空泵在行业应用中,不仅起到了密封作用,还起到了冷却作用。循环水箱内的水在泵体内部形成一层水环,通过不断地循环使用,提高了水的利用率和减少了水的消耗。同时,水环的摩擦作用也产生了一定的阻力,使得泵体内部的气体被有效地压缩和排出。这种工作原理使得司倍克水环真空泵具有抽气量大、抽速快的特点,能够满足大规模生产的需求。在具体应用中,司倍克水环真空泵的参数和性能也表现出色。以V系列为例,其流量可达445m³/h,压力为33mbar。作为单级泵,它具有机械密封和阀门设计,确保了泵体的密封性和可靠性。此外,它还能处理干燥和潮湿的气体,以及高达80°C的工作液体和高达120°C的吸收气体。这些特点使得司倍克水环真空泵在多种工业领域中都能发挥出色的性能。在电机方面,司倍克水环真空泵也采用了先进的技术。紧耦合型号采用B35接近标准电机,支架版本采用B5标准电机,这不仅节省了成本,还提高了电机的运行效率和可靠性。同时,电机的声压级在65至72分贝(A)的范围内,确保了操作者在工作过程中的舒适度。司倍克水环真空泵在材质选择上也十分讲究。它采用不锈钢、铸铁和有色金属制成,具有耐腐蚀特色。不锈钢材质更能适应苛刻环境,对于真空使用反腐更耐用、...
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2023 - 05 - 16
塑料有限公司是一家集改性塑料研发生产塑料染色加工、塑料原料销售于一体的专业改性和染色塑料生产企业;共8条造粒生 产线,原用8台2.2KW水环泵,真空度只能保持在-0.5bar左右,且产生大量废水,企业环保压 力非常大,废液清理工作一直无法有效解决。自从采用深圳恒才公司无油干式泵+三级分离系统后, 即中央真空系统,由多台干式无油真空泵组成,真空度提高至近-0.8bar,且实现废液自动分离,有效解决了企业环保问题。新系统优势中央真空系统:无油、无废水;保护环境,造福子孙后代;车间内,热排放大量减少。改善员工工作环境,提升满意度;新型环保系统不需要 水做为工作液,避免因为抽真空带来的二 次水污染;中央系统有备机轮换使用,系统供应24小 时不间断,避免因空气供应问题停产时间深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 03 - 13
叶轮上偏心设计的水环真空泵是一种广泛应用于各种工业领域的真空设备,其独特的工作原理使得它在许多场合下表现出色。下面将详细介绍上偏心设计的水环真空泵的工作原理及其优势。首先,我们来了解上偏心设计的水环真空泵的基本结构。该泵主要由泵体、转子、叶片、进水口和出水口等部分组成。其中,泵体和转子构成了泵的工作腔,叶片则固定在转子上,随着转子的旋转而旋转。进水口和出水口则分别用于引入和排出工作液体。在叶轮上偏心设计的水环真空泵中,转子的偏心距是关键参数之一。由于转子的偏心,当转子在泵体内旋转时,其叶片将不断地与泵体内壁形成一定厚度的水环。这个水环随着转子的旋转而旋转,并在离心力的作用下不断地向外扩张。当水环扩张到与进水口相连通时,水环中的一部分水将被吸入泵内,填补因转子旋转而形成的低压区域。随着转子的继续旋转,水环中的水将被甩向泵体的外周,并通过出水口排出。这个过程中,由于水环的不断扩张和收缩,将在泵体内形成一定的真空度,从而实现对被抽气体的抽吸。叶轮上偏心设计的水环真空泵的工作原理可以概括为“水环扩张吸气,水环收缩排气”。通过不断地引入和排出工作液体,该泵能够在泵体内形成稳定的真空度,从而满足各种工业应用的需求。叶轮上偏心设计的水环真空泵具有许多优势。首先,由于采用了上偏心设计,该泵在结构上更加紧凑,占地面积小,方便安装和维护。其次,该泵在运行过程中噪音低、振动小,对工作环境的影响较小。此外...
2024 - 06 - 11
在当今竞争激烈的商业环境中,选择一个可信赖的阿特拉斯螺杆真空泵代理商对于企业的成功至关重要。广东螺杆真空泵代理的优势和特点,帮助您了解并选择一家值得信赖的合作伙伴。深圳恒才机电在阿特拉斯螺杆真空泵领域拥有丰富的经验和专业知识。公司拥有一支技术精湛、经验丰富的团队,能够为客户提供专业的技术支持和解决方案。无论是螺杆真空泵的选型、安装、调试还是维护保养,深圳恒才机电都能提供全方位的服务,确保客户在使用过程中无后顾之忧。深圳恒才机电代理的阿特拉斯螺杆真空泵产品具有高品质和可靠性。公司代理的阿特拉斯螺杆真空泵品牌在市场上享有良好的声誉,产品性能稳定、可靠,能够满足客户在各个领域的应用需求。无论是用于化工、制药、食品还是电子等行业,深圳恒才机电都能提供合适的阿特拉斯螺杆真空泵产品,确保客户的生产顺利进行。除了优质的产品,深圳恒才机电还注重售后服务和客户体验。公司建立了完善的售后服务体系,为客户提供及时、高效的技术支持和解决方案。同时,深圳恒才机电还积极与客户沟通,了解客户的需求和反馈,不断优化产品和服务,提升客户满意度。此外,深圳恒才机电还具备灵活多样的合作方式。公司可以根据客户的具体需求和预算,提供定制化的解决方案和优惠的价格。无论是单次购买还是长期合作,深圳恒才机电都能提供合适的方案,帮助客户降低成本、提高效率。综上所述,深圳恒才机电作为广东螺杆真空泵代理商,在技术、产品、服务和合作方式...
2024 - 08 - 07
为什么PCB热压机油泵选用罗茨水环真空机组?由深圳恒才机电设备有限公司出品的真空设备,具有节能、环保、洁净、低噪音、低热量等优势,应用于热压机行业的罗茨水环真空机组,也不例外。PCB热压机油泵罗茨水环真空机组的特点主要包括高效能抽真空能力、‌节能环保、‌稳定性与可靠性以及集中式抽真空的便利性。‌高效能抽真空能力:‌罗茨水环真空机组结合了罗茨泵的高抽速与水环泵的极限真空度优势,‌形成强大的抽真空能力。‌在PCB热压过程中,‌这种组合能够迅速将板材间的空气抽出,‌形成稳定的真空环境,‌有效避免了因空气残留导致的热压不均和气泡问题,‌从而提高了PCB的层压质量和成品率。‌节能环保:‌相较于传统的单一真空泵系统,‌罗茨水环真空机组在能效上有了显著提升。‌罗茨泵作为前级泵,‌能够快速排出大部分空气,‌降低后级水环泵的工作负荷,‌减少了能源消耗。‌同时,‌水环泵以水为工作介质,‌无需额外的润滑油,‌避免了油污染,‌符合现代制造业对环保的要求。‌深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,提供真空改造方案、真空设备、真空系统、真空泵售后服务等。罗茨水环真空机组在PCB热压机油泵系统中展现出了其高效、‌节能、‌稳定和便利的特点,‌显著提升了生产效率和产品质量。‌
2024 - 10 - 17
深圳真空泵生产厂家恒才机电表示,要保证康斯顿罗茨真空泵的长期稳定运行,日常的使用与维护至关重要。本文将从罗茨真空泵的使用、维护两大方面进行深入探讨,以期为用户提供全面的指导和建议。康斯顿罗茨真空泵的维护1. 定期检查与清洁定期检查是维护罗茨真空泵的关键。用户应定期检查泵体各部件的紧固情况,确保无松动现象;观察润滑油位,及时补充或更换;检查电机运转是否正常,有无异常声响或发热现象。此外,还需定期清理泵体表面的灰尘和油污,保持泵体清洁;检查并清理进气口过滤器,防止杂质进入泵内损坏转子。对于泵腔内的积尘和杂质,也应定期进行清理,防止堵塞影响泵的效率。2. 润滑与冷却润滑和冷却是罗茨真空泵正常运行的保障。用户应确保泵的润滑系统正常,定期更换润滑油,保持润滑良好。在选择润滑油时,应选用适合罗茨真空泵的专业机油,避免使用不合适的油品导致设备损坏。同时,对于需要水冷的泵型,还需检查冷却系统,确保冷却水或油的流量和温度在适宜范围内,防止过热导致设备损坏。3. 密封性检查罗茨真空泵的密封性直接关系到其性能和使用寿命。用户应定期检查泵体各密封处的密封性,如发现泄漏应及时处理。对于机械密封、O型圈、密封垫等关键密封件,应定期检查其磨损情况,如有磨损应及时更换。在更换密封件时,应使用专业的检测工具,确保安装的准确性和有效性。4. 深度维护与更换部件除了日常检查和清洁外,罗茨真空泵还需要定期进行深度维护。这...
2025 - 01 - 04
线路板吸附检测罗茨鼓风机应用,这套罗茨鼓风机真空泵系统,是用于吸附加搬运线路板进行检测的,罗茨鼓风机真空泵通过产生负压,提供强大的吸附力,确保线路板牢固地吸附在吸附盘上,在检测过程中保持稳定。深圳恒才机电设备有限公司设计的罗茨鼓风机,还能快速、准确地搬运不同型状尺寸的线路板,实现高效的生产线传输。罗茨鼓风机在吸附搬运检测线路板的工艺中具有以下优势:稳定吸附:真空泵通过产生负压,能够提供强大的吸附力,确保线路板牢固地吸附在吸附盘上,使其在搬运和检测过程中保持稳定。高效搬运:利用真空泵的吸附功能,可以快速、准确地搬运线路板,实现高效的生产线传输。相比传统的机械搬运方式,真空泵搬运更加灵活,能够适应不同形状和尺寸的线路板。清洁除尘:真空泵可以有效地吸除线路板表面的尘埃和杂质,提高检测的精度和可靠性。通过清洁除尘,还可以减少对环境的污染,符合绿色生产的要求。可靠性强:真空泵具有较高的可靠性和稳定性,能够长时间连续工作,确保生产线的高效运行。此外,真空泵的维护成本较低,降低了生产成本。应用广泛:真空泵适用于各种类型的线路板检测工艺,无论线路板的大小、形状和材质,都能够提供可靠的吸附和搬运解决方案。综上所述,真空泵在吸附搬运检测线路板的工艺中具有稳定吸附、高效搬运、清洁除尘、可靠性高、维护成本低和应用广泛等优势。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、...
2025 - 07 - 22
阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势,具体分析如下:1. 高效节能,降低运行成本变频驱动(VSD)技术:阿特拉斯螺杆真空泵(如GHS VSD+系列)采用变速驱动技术,可根据实际需求自动调节转速和功率。例如,GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦,相比传统水环泵可节省50%以上能耗,年节省电费可达数万元。干式运行,无需冷却水:风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统,进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如,GHS1300VSD+功率为22千瓦,而同等抽速的水环泵需45千瓦,年节省电费超50万元。2. 高可靠性,延长使用寿命耐用的螺杆转子设计:转子采用高强度材料,表面经过特殊处理,耐腐蚀、耐磨损,理论寿命超40万小时(约80年),20年内无需更换机头。无油污染,清洁运行:干式压缩技术避免油污染,适用于对清洁度要求高的行业(如半导体、制药、食品包装),同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度:通过变频调节,真空泵能维持稳定的真空压力,减少生产波动,提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放:干式运行无需工作液体,彻底解决水环泵废水排放问题,符合环保要求。低噪音与低振动:优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低,改善工作环境。无油蒸汽排放:避免传统...
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螺杆真空泵的选型分析

日期: 2020-07-06
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  面对市场竞争力的不断推进,要加强其各方面的优势能力的发展,要根据干螺杆真空泵的实际特征,用可靠的产品应用力加强各方面的性能优势力的推进,根据整体应用力的有效发挥,加强各方面的应用优势的不断提高, 要以可靠的产品应用效果推进实际性能的发展,表现整体应用性能的有效发挥,加大各方面应用优势的整体推进。

螺杆真空泵的选型分析


  螺杆真空泵的应用优势是在产品性能和发展的整体要素中表现自己的特性,用持续开拓的产品实力,充分表现自己性能的可靠实力,用持续推进的实用效果增加产品实力的发展,表现设备的优势,根据可靠产品的应用性能表现自己的优势

  为了加大螺杆真空泵的性能推进,整个行业要在发展中提高这种产品的优势,增大生产技术的改善,加强整体实用性能的发展,从产品的应用到性能的运用,要加大整体优势能力的提高,充分表现出实际应用优势的扩大。

  干式真空泵的优势显然不需要加油,工作中不会污染环境,在很多食品企业、医药、电子产品生产企业优先的同时,另一个优势经常被忽略,干式泵的技术难度很高,产品对能源和噪音的要素相当好干式真空泵比油泵真空度低,吸引量小,但小型容易安装,维护简单,移动方便,不产生油烟,不污染环境,特别适合在高实验室使用。 也是实验室最常用的设备之一。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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