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2023 - 01 - 03
还在用传统液环泵和旋片泵吗抽真空吗?传统液环真空泵和油旋片真空泵带来的结果是耗水量大、噪音大、真空度低、漏油严重,生产成本高等等问题。随着客户提出的要求和想法,恒才机电给出了新的真空改造方案,用于贴膜机抽真空行业的液环真空泵和油旋片真空泵,被罗茨水环真空机组所替代。罗茨水环真空机组又数台罗茨真空泵及司倍克水环真空泵组成的真空泵组,也称之为中央真空系统,这称呼得益于集中抽真空,共享一条抽真空管、共享一套真空系统,使得真空度更稳定,更节能。罗茨水环真空机组的工作原理如下:1.运行高效:在压合机刚开始工作时,可以通过第一真空总管和第一真空泵组迅速达到较高真空度,一般是2-6分钟内将真空度抽至10-30mbar内的合格真空度;2.节能:机组运行总功率通常为原分散小泵的60%左右,在初抽达到理想真空度后,通常只需一组泵就可以维持较高真空度进行保压。罗茨水环真空机组,可用于PCB压合、贴膜机抽真空、曝光机抽真空、PET片材挤出、片材挤出抽真空等行业应用,罗茨水环真空机组给传统生产模式带来新的改变,节能环保、节省电量水费、为产品质量加持!深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2023 - 04 - 19
片材挤出行业真空解决方案是什么?传统的片材挤出机配套真空设备是螺杆真空泵、或是旋片真空泵,也有水环真空泵设备等,那有没有更高效的PET脱气真空解决方案呢?片材挤出工艺不仅要解决预结晶和干燥工艺、成型后产品通透性差、残存气泡、脱气系统生产大量废水等问题。深圳恒才机电设备有限公司专注真空领域,在橡塑片材挤出行业拥有丰富的真空配套经验,为片材挤出工艺作出贡献,现在了解一下片材挤出行业真空解决方案,新一代的有效的片材挤出脱气真空改造方案。深圳恒才机电根据客户生产现状、结合片材对真空度的要求,设计的配套的真空设备,PET脱气定制化的真空系统,采用的是罗茨水环真空机组,即罗茨真空泵和水环真空泵组成,特点如下:1.配有前置过滤器,可过滤粉尘杂质2.真空度高且稳定,带来理想的脱气效果3.改善PET产品质量,告别气泡、透明度高、韧度高4.真空泵温度低,水温低,能耗更低,部件更耐用5.支持在线水清洗,无需酒精,无需停机6.安装容易,维护简单深圳恒才机电设备有限公司的这款罗茨水环真空机组,不仅解决了片材成型后产品通透性差、残存气泡的问题,也解决了脱气系统生产大量废水,使环保的PET行业变得不环保,恒才真空泵厂家为客户解决了难题,节省了生产成本,也提高了片材质量问题,获得客户的认可与支持。
2024 - 03 - 07
罗茨螺杆真空机组在化工行业应用特点是什么?罗茨螺杆真空机组,由一台螺杆真空泵及三台罗茨真空泵,也称为螺杆三罗茨真空机组。罗茨螺杆真空机组,这一先进的真空设备,专为化工行业及特殊有机溶剂真空生产抽气而设计。它采用的新一代螺杆真空泵,不仅抽气速率大,真空度高,而且有效解决了对介质和环境可能造成的污染问题。这种创新的泵型,不仅优化了化工生产的真空工艺,更提升了生产过程的环保性。罗茨真空泵的核心设计,不仅体现在其高效的抽气能力上,更在于其对废气蒸汽的巧妙回收。这一设计不仅减少了废气排放,还为企业创造了附加的经济效益,实现了经济效益与环境效益的双赢。在罗茨螺杆真空机组的运行过程中,有机溶剂被抽出的气体在经过螺杆真空泵后,会进入排气冷凝、分离、回收等步骤。这一系列流程,不仅有效降低了排放气体中的可凝气体含量,达到了环保节能的效果,更为化工行业的绿色、可持续发展注入了新的活力。总的来说,罗茨螺杆真空机组以其高效、环保、节能的特点,为化工行业的真空生产提供了全新的解决方案,推动了行业的绿色转型和升级。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2024 - 06 - 04
在CNC加工领域,真空发生器已经不再是CNC加工中的必需品。为何CNC加工不再需要真空发生器,深圳恒才如何为CNC加工行业提供更真空解决方案。我们来看一下真空发生器在CNC加工中常见的几个问题。1.真空度不足是真空发生器面临的一个主要挑战。2.真空发生器在运行过程中会消耗大量的电力,这不仅增加了生产成本,还不符合当前节能减排的环保要求。3.真空发生器在使用过程中可能会产生噪音和振动,对工作环境和员工健康造成一定的影响。针对这些问题,深圳恒才根据客户的真空需求,量身定制解决方案,以满足不同CNC加工场景的需求。例如,我们可以使用司倍克组成的水环式真空机组,这种机组具有真空度高、运行稳定、节能环保等优点,非常适合CNC加工中的高真空度要求。同时,水环式真空机组还具有噪音低、振动小的特点,能够为员工创造一个更加舒适的工作环境。另外,阿特拉斯螺杆真空泵组成的螺杆真空泵组也是我们的另一款明星产品。螺杆真空泵组具有抽气量大、真空度高、运行稳定等特点,能够满足CNC加工中对于高效、高质量的需求。而且,螺杆真空泵组还具有节能环保的优势,能够在保证加工质量的同时,降低生产成本和能源消耗。除了提供先进的真空设备外,深圳恒才还注重为客户提供全方位的服务支持。我们的技术团队会根据客户的具体需求,进行深入的沟通和了解,确保提供的解决方案能够完全符合客户的期望。同时,我们还会为客户提供设备的安装、调试、培训等...
2024 - 08 - 02
塑胶挤出、模具挤出成型用什么真空设备?塑胶挤出、模具挤出成型可选用罗茨水环真空机组,由多台水环真空泵及罗茨真空泵组成。罗茨水环真空机组是一种组合式真空设备,+由罗茨泵与水环泵串联而成,充分利用了两者的优点,实现了高效、稳定、低噪音的真空抽取。罗茨泵作为前级泵,负责粗抽阶段,其工作原理基于转子间的间隙容积变化来实现气体的吸入与排出,具有抽气量大、效率高的特点;而水环泵作为后级泵,通过工作液(通常为水)在泵腔内形成旋转液环,与气体混合后排出,有效处理含有大量可凝性蒸汽及微小颗粒的气体,确保系统真空度的稳定与清洁。罗茨水环真空机组的工作原理:在塑胶挤出过程中,材料在高温高压下熔融并通过模具挤出成型。此时,挤出机内部及模具周围会产生大量气体、蒸汽及挥发性物质,这些若不及时排出,将严重影响产品的外观质量、尺寸精度乃至内部结构的致密性。罗茨水环真空机组正是针对这一问题设计的解决方案。罗茨泵阶段:首先,罗茨泵启动,利用其高速旋转的转子在泵腔内形成不断变化的容积,将系统中的大部分空气及轻质气体迅速抽出,为后续的水环泵工作创造有利条件。水环泵阶段:随后,水环泵接手,通过工作液(水)与剩余气体的混合作用,进一步将系统中的蒸汽、可凝性气体及微小颗粒有效抽除,并将混合后的液体排出泵外,实现深度真空。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为各行各业提供真空解决方案,真空节能改造方案,以及真空设备和安装...
2024 - 09 - 25
司倍克水环真空机组是药品真空干燥设备的选择,司倍克水环真空泵采用无油设计、机械密封以及多重保护机制,成为了制药企业信赖的选择,在制药生产应用案例也是比比皆是。应用实例:从实验室到生产线的完美过渡司倍克水环真空机组在制药领域的应用,从研发实验室的小规模试验到大规模生产线上的连续生产,都能见到它的身影。1、在实验室阶段,其精准的控制和纯净的真空环境为科研人员提供了理想的实验条件,冷凝器(壳管换热器),符合ASME标准。2、在生产线上,司倍克水环真空机组高效稳定的工作性能,则确保了药品生产的质量和效率,无须专人维护,少易损易耗件,水环真空机组可24H连续运行。3、司倍克水环真空机组以水作工作液,却非常省水,省电,且启动效果快,运行性能稳定,这些特性都是司倍克水环真空机组成为制药行业的的选择。综上所述,司倍克水环真空机组以其无油设计、机械密封、多重保护以及高效节能等显著优势,在药品真空干燥领域展现出了强大的竞争力和广阔的应用前景。对于追求高品质、高效率、绿色制药的制药企业来说,选择司倍克水环真空机组无疑是一个明智的决策。它不仅能够提升药品生产的质量与效率,还能为企业的可持续发展注入新的动力。随着技术的不断进步和市场需求的持续增长,我们有理由相信,司倍克水环真空机组将在未来的制药行业中发挥更加重要的作用。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提...
2024 - 12 - 25
深圳恒才机电设备有限公司代理是司倍克代理商,是华东代理商,为客户提供专业的水环真空泵选型,真空泵配套方案及设备,欢迎大家来访了解,司倍克水环真空泵在行业应用中,不仅起到了密封作用,还起到了冷却作用。循环水箱内的水在泵体内部形成一层水环,通过不断地循环使用,提高了水的利用率和减少了水的消耗。同时,水环的摩擦作用也产生了一定的阻力,使得泵体内部的气体被有效地压缩和排出。这种工作原理使得司倍克水环真空泵具有抽气量大、抽速快的特点,能够满足大规模生产的需求。在具体应用中,司倍克水环真空泵的参数和性能也表现出色。以V系列为例,其流量可达445m³/h,压力为33mbar。作为单级泵,它具有机械密封和阀门设计,确保了泵体的密封性和可靠性。此外,它还能处理干燥和潮湿的气体,以及高达80°C的工作液体和高达120°C的吸收气体。这些特点使得司倍克水环真空泵在多种工业领域中都能发挥出色的性能。在电机方面,司倍克水环真空泵也采用了先进的技术。紧耦合型号采用B35接近标准电机,支架版本采用B5标准电机,这不仅节省了成本,还提高了电机的运行效率和可靠性。同时,电机的声压级在65至72分贝(A)的范围内,确保了操作者在工作过程中的舒适度。司倍克水环真空泵在材质选择上也十分讲究。它采用不锈钢、铸铁和有色金属制成,具有耐腐蚀特色。不锈钢材质更能适应苛刻环境,对于真空使用反腐更耐用、...
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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真空泵原理动态图之水环式真空泵

日期: 2020-06-10
来源:
浏览次数: 1760

  了解真空泵需要学习很多的知识,如何才能直接的看懂真空泵的原理呢?最简单的就是看真空泵动态原理图了。今天我们就来看一下水环式真空泵的动态原理图。

真空泵原理动态图之水环式真空泵

  带有固定叶片的偏心转子安装在水环真空泵中。这是一个旋转可变容积真空泵,它将水(液体)抛向定子的墙壁。水(液体)形成与定子液环同心的液环,转子叶片一起形成可变容积。

  水环真空泵(简称水环泵)是一种粗糙的真空泵。它能获得的极限真空度为2000 ~ 4000帕,由真空泵组成的机组真空度可达1 ~ 600帕。水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,属于低压压缩机,其压力范围为1 ~ 2 105帕表压。

真空泵原理动态图之水环式真空泵

真空泵原理动态图之水环式真空泵

真空泵原理动态图之水环式真空泵

真空泵原理动态图之水环式真空泵



  水环泵最初是作为自吸泵使用的,后来逐渐用于许多工业部门,如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中,如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气,水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的快速发展,人们一直重视通过水环泵获取原始真空。由于水环泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体可以去除,粉尘和含水气体也可以去除。因此,水环泵的应用日益增多。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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