干式真空泵已经出现了很长时间，但没有明确的定义。就更换油封机械泵而言，一般认为它们可以在从大气压到10-2Pa的压力范围内工作。在泵的抽气流道(如泵室)，没有油和液体可以使用，排气口与大气相通，并能不断向大气排放气体的泵称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。
市场上有许多类型的干式真空泵。根据其基本原则，只有两种类型，即：
(1)容积式干式真空泵，如多级罗茨泵、爪式泵、往复活塞泵、螺杆泵和涡旋泵等。该干式真空泵的极限压力一般为0.1~10Pa，泵送速度为0.01 ~
0.04m3/s
(2)动量传递型无油真空泵，如涡轮式油泵。排气侧与大气相连，在连续流动状态下压缩相对较高。这是一个粗糙的泵，可以从大气压力泵1022帕。该结构采用径向流和周向流泵的复合结构，采用多级串联泵送。该涡轮泵的极限压力约为10-2Pa，泵送速度为0.02-0.15
m3/s。牵引型干式真空泵也属于动量传递型干式真空泵。
与油封机械泵相比，这些干式真空泵达到相同的极限压力，其残余气体成分完全不同。分析结果表明，CnHm气体(烃类气体)是油封泵残余气体的主要成分，而干式真空泵的残余气体是空气成分。这证实了干式真空泵的抽真空过程中没有油污染。
一些螺杆干式真空泵厂家在结构设计中仍使用润滑油，如泵的传动齿轮和轴承，也使用合成油，如真空油和其他润滑脂。采取了某些措施来防止油蒸汽出现在泵室中。严格地说，它不是无油泵。然而，经过分析，这种合成油的成分在泵入口处可以忽略不计，并且没有影响。