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2022 - 07 - 04
真空泵节能环保改造成功案例,一套成熟稳定的真空系统非常关键,DZS系列爪式干式真空泵可以实现高要求抽真空需求。客户是一家飞机零部件加工企业,加工方式主要采用CNC加工,原来使用的真空系统是双极油润滑旋片泵,由于CNC加工的特点或是工人操作不当,经常会有切削液进入到真空泵,导致真空泵损坏,从而直接造成加工件的损坏。经过现场详细的工况了解及相关行业的经验,阿特拉斯·科普柯真空专家团队推荐客户使用DZS干式爪真空泵配前处理罐的真空系统替代原来的油旋片系统,可以最大化的减少由真空系统故障给客户带来的损失。DZS系列爪式干式真空泵的优势1.无油设计,无需定期保养,排放无污染2.模块化设计,简单可靠,维护简单3.转子材质为不锈钢,无需定期更换4.配备前处理罐,可以在线自动排液,防止切削液进入真空泵深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 08 - 01
片材挤出/集中供水,片材挤出机一般要求真空度:-100kpa以上可以满足使用要求,在此基础上真空度越高,片材质量越好,真空度达不到会造成透明度低,片材脆等问题。双罗茨水环真空机组优势1.采用三叶罗茨真空泵,具有高效密封优势,能防止挥发气体进入油箱造成油乳化,高真空度稳定,生产效率提高10%以上,无需酒精清洗更安全可靠;两级罗茨真空泵作用下真空度可高至-101KPa。2.采用康斯顿水环真空泵,具有低噪音优势(低于70分呗);使用寿命长达30年;除机械密封、排气阀片外,无易损易耗件;电机与泵头直连传动,无托架无联轴器,运行更平稳,效率更高。双罗茨水环真空机组、PET片材真空机采用优质的真空泵配置,真空机组组运行稳定、真空度高,大大提高了PET片材的品质,解决了客户所担忧的PET片材透明度不高、片材脆等问题。这是一台可用于PET片材挤出的罗茨水环真空机组,俗称PET真空机组,采用的是三叶罗茨泵,密封性能好防止油乳化,无需酒精清洗,真空度可达-101KPa,噪音低至70分贝,这台真空机组可有效解决PET片材透明度不高、片材脆等问题,你确定不来一台吗?深圳恒才机电设备有限公司与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等真空泵品牌的合作, 为客户提供真空设备和专业的真空系统设计、售后、安装等一站式真空服务,更多真空泵行业应用、真空机组配套方案、真空系统解决方案等,欢迎致电13928410990
2022 - 11 - 11
锂电池是一类由锂金属或锂合金为正/负极材料、使用非水电解质溶液的电池,由于动力电池的产能和装机量也飞速增长,也给许多真空系统带来更多的应用和机会。锂离子电池行业的真空应用,在锂电池的制造过程中,真空技术在合浆、注液、烘烤等工艺流程中发挥重要作用,真空系统设计的好坏与锂电池的品质密切相关。锂电池抽真空为什么用GHS螺杆真空泵?GHS VSD+变频油螺杆真空泵在锂电池行业的应用已经不是新鲜事,而是有很丰富的真空系统应用经验。效率:变频螺杆技术,VSD技术和创新电机设计相结合,提升能效2.运行安静:低噪音级别运行3.可靠的效率提升带来可持续生产力4.良好的保油能力,设备在全压力段运行时排气含油量低,保护环境5.低生命周期成本深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 12 - 16
塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑成型、热压挤出等工艺,需要用什么真空泵系统更合适?深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案等服务,恒才机电的罗茨水环真空机组可应用于塑胶挤出行业。这是2022年出的第N批罗茨水环真空机组,应用于塑胶挤出行业,出货数量足以说明,恒才机电真空系统在橡塑挤出行业应用是有实力的,实打实的真空度数据,节能环保,稳定运行,是我们给客户的承诺。塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑设备、热压挤出真空设备称之为罗茨水环真空机组,由两台罗茨真空泵及一台水环真空泵组成,真空度可稳定在-98kpa至-101kpa,通过恒才的真空改造方案,实现了节能环保、高工作效率、稳定真空度,从而改善了产品生产质量。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2023 - 03 - 31
当石材大理石生产同行还在使用旋片真空泵的时候,我们客户已经开始使用变频螺杆真空机组了,早在几年前,深圳恒才机电带着变频油螺杆真空机组,已经进军石材行业了。根据我们对大理石制造工艺的了解,发现大理石生产对不同抽真空阶段速度有变化,对真空度有特定要求。因此我们设计了真空解决方案,选择了变频油螺杆真空泵:1、可把控真空度和速度,Atlas螺杆真空泵稳定性比较高,是获得客户认可的一款真空泵设备;2、结合我们的真空解决方案,可以很好减少大理石遗留气体,防止空腔生产,从而提升大理石品质。3、告别了旋片真空泵带来的维修频繁、换油频繁、噪音大、能耗大、油污染大等问题深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 02 - 24
最近,很多客户问了罗茨螺杆真空机组的相关资料,现在就一起来了解一下。罗茨螺杆真空机组是由康斯顿品牌的螺杆真空泵和三台罗茨真空泵组合而成的。罗茨螺杆真空机组在化工行业的应用特点是什么?1.首先,罗茨螺杆真空机组的特点就是可以在较低的入口压力下仍然保持较大的抽气速率。这对于那些需要在特定压力条件下进行操作的行业来说,比较关键。且,罗茨真空泵的稳定性和可靠性都非常高,可以保证连续、高效的工作。2.康斯顿新一代高品质螺杆真空泵更是解决了对介质和环境造成污染的问题,这无疑是一个巨大的优势。不仅如此,罗茨螺杆真空泵在化工行业的应用,还能回收排出气体,创造附加经济效益,这也是许多企业和工厂所看重的,对于重视环保环境的公司而言,这点很重要。3.罗茨螺杆真空机组的应用范围也非常广泛。它可应用于有机溶剂行业,以及其他需要真空环境的行业。罗茨螺杆真空机组都可能成为你的得力助手。那么,这种设备的原理是什么呢?其实很简单。打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空。然后,打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出。被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量。总的来说,罗茨螺杆真空机组是一种高效、环保、可靠...
2024 - 06 - 01
PET片材挤出过程中,真空机组的选择和应用对产品质量和生产效率具有至关重要的影响。罗茨水环真空机组,作为一款先进的真空设备,其在PET片材挤出工艺中的应用优势逐渐显现。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,既保证了高真空度,又具有较高的抽气效率。在PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,降低气泡的产生,从而提高产品的透明度和质量。此外,罗茨水环真空机组还具备运行稳定、噪音低、维护简便等特点,能够满足长时间、连续性的生产需求。在PET片材挤出过程中,罗茨水环真空机组的应用还需要注意一些关键问题。首先,要确保机组与挤出机的连接紧密可靠,防止气体泄漏。其次,要根据生产需求合理调整机组的真空度和抽气速率,以达到最佳的生产效果。此外,定期对机组进行维护和保养,确保机组的长期稳定运行也是至关重要的。随着PET片材挤出技术的不断发展,罗茨水环真空机组的应用将越来越广泛。未来,我们可以期待更多先进的真空机组技术涌现,为PET片材挤出工艺提供更为高效、环保的解决方案。同时,我们也应该关注如何进一步优化罗茨水环真空机组在PET片材挤出过程中的应用,提高生产效率和产品质量,满足市场的需求。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,高真空度、高抽气率。PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,减少气泡、提高产品的透明度和质量,运行稳定、噪音低、维护简便、能够满...
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2020 - 05 - 12
今天5月12日,春余夏首、夏花绚烂的日子,“深圳恒才机电设备有限公司”举行了隆重的乔迁庆典;风雨兼程,励精图治,不断创新,随着进一步扩大,公司再次踏上了新的台阶。  丨启航的号角已响起 丨  上午7点30分,各部门员工早早就来到了公司,现场热火朝天有说有笑,会场布置井然有序,经过大伙的一番努力,公司正式入驻新办公楼。会客区、会议厅、休息区欢声笑语、人声鼎沸、场面非常热烈。  公司董事长陈总致词,对公司所有同事的辛勤付出表示感谢,并展望了公司乔迁新址之后的未来;各部门依次分别向陈总表示祝贺,大家热情交流,一同见证了这美好的时刻。  迁至新办公区,是深圳恒才公司战略性发展的一次飞跃,随着公司全面布局的完善,今年将进入一个更高速的发展时期。办公区  深圳恒才的愿景是成为受人尊敬的流体服务型企业,让客户使用到最合适的流体系统。  看今朝,我们踌躇满志,展未来,我们豪情满怀;在恒才公司乔迁之际,非常感谢长期以来对我们给予支持和肯定的广大客户及与我们长期合作的伙伴,愿我们共同进步,共同发展,共赴美好明天!
2018 - 07 - 16
很多客户在选型的时候对真空泵的术语不太了解,其实真空泵的术语非常简单,了解了它的术语选型真空泵也就没有问题了,只要给出真空泵的参数都可以进行选型。那么,下面一起来了解一下真空泵是术语和选型的计算方式吧。  第一,选真空泵,首选考虑的是零真空度  真空状态下的气体稀簿程度就用真空度来表示。从真空表所读得的数值也称为真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)。    第二是真空泵抽气量  抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般用m3/h和L/S单位来表示。是弥补漏气率的参数。可以理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度?因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。所以,我们平常在计算出理论抽气量的情况下,尽量选择高一级的抽气量的真空泵。  第三就是真空泵相对压强  相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器...
2018 - 09 - 18
冻干燥机(冻干机)由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。冷冻干燥简称冻干,就是将含水物质,先冻结成固态,而后使其中的水分从固态升华成气态,以除去水分而保存物质的方法。真空系统是冻干机的重要组成部分之一,一般包括旋片式真空泵或干泵和罗茨泵加速抽真空。真空系统的作用是建立真空,给冰的升华制造环境和条件。真空系统的真空度的高低直接影响制品的升华速率,真空系统要求其自身具有较低的泄漏率。真空控制的精度直接影响到制药工艺的运行。那么,冻干机真空系统日常该如何维护和保养呢?下面我们一起来看看吧!1.真空系统运行中检查真空系统运行声音是否正常,如果异常请先检查供电的三相电是否平衡;真空泵是否有异常振动,真空泵与泵头上的各个连接部分是否存在松动现象,如果有则采用相应的固定措施;带冷却水的泵,需要保持冷却水有足够的流量和压差,运行过程中可以用手触摸一下泵体的温度;带氮气吹扫的泵,需要保持氮气有足够的流量和压力;需检查油位是否保持在正常油位,低于正常油位要及时补加规定的真空泵油;如果真空泵油发生乳化,需要打开气镇阀运行2小时;真如果空泵油变色,建议及时更换真空泵油,并清洗过滤网,并更换过滤器;观察真空泵是否漏油,如漏油及时停机维修。2.真空系统长期停用检查如果泵在一段时间内不使用,应关闭电源和冷却水供应;如果泵在冻干工艺结...
2018 - 11 - 19
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/m...
2019 - 03 - 20
1、2X系列旋片式真空泵的简介:深圳恒才机电设备有限公司2X系列旋片式真空泵为康斯顿品牌,采用WEG德国电机,高抽速高极限真空度,工作噪音低于62分贝,水蒸气抽除能力强,环保,泵内装有油雾消除器排油能力强,结构紧凑,设计科学合理和轻便,客户很方便就可以安装在工业系统中。2、2X旋片真空泵系列型号参数表:3、旋片真空泵的原理: 旋片真空泵的工作原理:它的转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。旋片式真空泵属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵多为中小型泵,产品已经系列化。旋片泵有单级和双级两种,一般多做成双级的,以获得较高的真空度。旋片泵绝大多数是单工作腔结构,常用两个径向滑片,也有用三个斜置滑片的。贯穿滑片真空泵也有应用。 4、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围:由于21世纪科技的发展进步,真空技术无处不在,其中2X型旋片式真空泵常常应用于印刷包装、吸持、装卸、输送、吊运、实验室、医疗负压、真空热处理、粘贴等等行业中,1、2X式旋片真空泵可以用来直接获得真空度在10-3torr以下的真空作业,以及配合其它真空设备获得真空度10-3torr以上的真空作用之用。2、可以供给医疗...
2019 - 06 - 10
昨天我们陈工改造了一个吸塑车间,用GHS VSD+螺杆真空泵替代原来的旋片真空泵,一个厂区一年节省电费就是6.7万元,螺杆真空泵在吸塑车间有哪些明显的优势呢,我们一起来看一下。(1)GHS730VSD+螺杆真空泵高效节能。沿用阿特拉斯GA37+油螺杆真空泵技术而开发的新一代节能产品,全世界11千瓦功率真空泵中抽速最大;(2)螺杆真空泵采用13公斤负荷空气压缩机机头,而在半真空状态下轻载运行,理论寿命超长达40万小时(相当于80年),20年内无需换机头;(3)GHS730VSD+螺杆真空泵出厂标配电脑控制系统,省去了旋片真空泵额外安装控制系统的麻烦和故障;(4)螺杆真空泵变频自动调节真空度和抽气量,真空压力稳定,减少生产故障;(5)阿特拉斯螺杆真空泵全变频设计,低负荷特别省电,慢速运行减轻磨损延长寿命;(6)螺杆真空泵整套电脑自控系统,可以集中联控各机器按需要自动启停;(7)螺杆真空泵与螺杆空压机类似,维护工作量极少,简单方便,减少了旋片泵经常需要维修的人力成本;(8)螺杆真空泵供电系统减少负荷,节省电缆变压器开关柜投资;      以上8点就是吸塑行业中螺杆真空泵的优势,大家都知道了阿特拉斯品牌GHS VSD+系列的螺杆真空泵很高端并且节能吧,如果还没有改造的客户,可以联系恒才工程出节能环保的真空泵项目方案喔!
2019 - 07 - 04
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式可变排量真空泵。它是从罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵的工作范围,分为低真空罗茨泵和直接排气;中等真空度罗茨泵(也称为机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。罗茨真空泵结构和工作原理:其结构和工作原理与罗茨鼓风扇类似。工作时,其吸入口与真空泵或真空系统的主泵连接。真空泵在转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。 间隙一般为0.1-0.8毫米;不需要油润滑。转子型线有圆弧线,渐开线,摆线,依此类推。渐开线转子泵具有较高的容积利用率和易加工精度。因此,转子型线主要用于渐开线类型。罗茨真空泵可以旋转到3450~4100转/分钟;抽速为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×102 Pa,双级为1×103 Pa。罗茨真空泵具有以下特点: 在很宽的压力范围内有很大的抽速;  快速启动,可以立即工作;  对泵送气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感;  转子无需润滑,泵腔内无油;  振动小,转子动平衡状态较好,没有排气阀;  驱动力小,机械摩擦损失小;  结构紧凑,占地面积小;  低运营和维护成本。  因此,罗茨真空泵广泛用于冶金,石化,造纸,食品和电...
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真空泵维修注意事项

日期: 2020-04-18
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  真空泵是一种使用各种方法在封闭空间产生、改善和保持真空的装置。真空泵可定义为:使用机械、物理、化学或物理化学方法从容器中抽取空气以获得真空的设备或装置。任何利用机械运动(滚动或滑动)来获得真空的泵被称为机械真空泵。使用一段时间后,真空泵需要维护。清洗真空泵是必须做的事情之一。一些用户提出了一个问题:为了维护,拆卸和清洗真空泵的注意事项是什么?为了避免在拆卸和清洗过程中损坏真空泵,我们今天就来了解一下。

真空泵维修注意事项


  在使用真空泵的过程中,由于维护不当或各种问题,会出现一些故障。真空泵维护专家建议采取以下步骤:

  1.切断电源,从真空系统中取出真空泵。

  2.使用重力法或加压法释放和收集污油,以免污染环境。

  3.拆下皮带和皮带轮键(双级旋转叶片真空泵包括皮带)。

  4.首先取下低真空端,取下后端盖,然后取出低真空转子、旋转盘、弹簧等。

  5.拆下前端盖,取出高真空转子、旋转板、弹簧等。

  6.拆下观察窗、排气阀、排气盖等。

  7.用汽油彻底清洁去除的金属部件,并用酒精脱水。橡胶零件可以溶解在15%的氟化氢钠中。煮沸去油。对于有毛刺或铁锈的零件,可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨,以去除锈斑和毛刺。清洁后的零件必须干燥。

  8.组装时,先安装后级,托起弹簧和旋转板,安装到转子上,然后放入进口真空泵室,安装前端盖,安装定位销,均匀对称拧紧螺钉。组装后,旋转应灵活且均匀。安装前转子和后端盖后,安装排气阀(排气阀片应靠近阀座)和其他零件、如气镇装置等。

  真空泵维修时拆卸和清洗真空泵的注意事项。

  1.机械真空泵的拆卸和清洗应在洁净室进行。拆卸和清洗时,应注意部件的原始安装方位、方形和密封性,并做好记录,以免安装错误。

  2.取出转子和转子时,必须小心用手紧紧握住转子。原因是转子受到很大的拉伸弹簧力,这导致它容易不小心飞出手,损坏转子的锐度或外观,从而使其不能连续使用。

  3.拆下的零件应分开并妥善处理,以避免碰撞或丢失。

  4.安装时,应在滚动部件表面涂少量的真空泵油,使其光滑。请小心干净。废铁、泥浆、沙子和灰尘不允许落入真空泵。安装好的真空泵应易于滚动,无重量不均和堵塞现场。

  5.最终组装后,从注油孔中加入真空泵油,直到油标线

  6.启动前,应向吸入口写入少量进口真空泵油,使真空泵获得足够的平稳。(真空泵维护制造商指出,重新安装的真空泵应进行几个小时的工作实验,以调查其是否达到应用要求)


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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