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2021 - 09 - 11
罗茨水环真空机组,可用于片材挤出机行业,水环真空泵和罗茨真空泵的合理选型机搭配一起使用,配置了真空过滤系统及水箱,形成良好的抽真空系统,组成罗茨水环真空机组。罗茨水环真空机组应用于片材挤出行业,也可称为PET真空机组、片材挤出真空泵等,那么了解下此真空机组具有哪些特点:1.采用康斯顿罗茨真空泵,水环真空泵作为前级泵预抽真空,真空度可达到-101kpa,保障片材生产质量2.司倍克水环真空泵为上偏心运作,具有磨损小特点,恒才机电设计了闭环式循环水工作,节约水资源且耗能低3.片材挤出真空泵配置过滤器,可以过滤杂质、粉尘等4.配置冷却水箱,有效控制罗茨水环真空机组运作温度过高5.配置大功率变频控制柜,大抽速真空泵,保障真空机组稳定运行,提高生产效率PET真空机组的应用既改善了PET片材挤出生产的质量,又加大功率提高了生产效率,闭环循环水生产,更节能环保。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,生产真空泵,及代理司倍克、阿特拉斯品牌真空泵,有水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵,及真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,深圳恒才机电坚持为客户提供优质的真空解决方案及真空设备服务。
2021 - 10 - 18
挤出成型又称挤出模塑成型,这是借助螺杆或柱塞的挤压作用,使受热熔融的塑料成型物料,在压力推动下成型。由于挤出机具有生产效率高、用途广泛、适应性强的成型方法,而挤出法几乎能适用于所有热塑性塑料,所以适用于管材、板材、薄膜、电线电缆、工程塑料、塑化造粒、着色和共混等多种塑料制品。材料在挤出成型过程中,主要有上料——熔融塑化——挤出——定型冷却——牵引——切割等几个过程。在挤出过程中,稳定的真空是生产合格产品的保证。随着挤出材料的不同,如PE,PS,PVC,ABS等,真空抽气过程中,会有不同的聚合物抽到真空管路中,如果不采用合适的前处理设备,聚合物会进入泵腔影响真空泵的正常工作,如泵油的污染变质,转子卡死等,如果采用液环泵,还会面临废水处理的问题。为了改善PS材料挤出真空系统,对挤出机的抽气温度,介质组成,气量进行分析和计算后,使用中央真空系统,用大气量的变频油螺杆代替了多台小液环泵,并在泵房设置了前处理设备。(包含冷凝,气液分离,过滤等功能),且实现了分离器自动排液,泵组真空,气量,温度的自动控制和报警,除了泵房,在车间内,单条产线也设置了过滤分离和真空检测,实现所有产线无死角运行监控。挤出机PS材料挤出真空系统改造方法,免去了废水处理、噪音大、效率低下等问题。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,提供真空泵方案设计、真空泵选型、中央真空系统安装、调试、维保等一站式服务,主营水环真空...
2021 - 11 - 16
关于国产真空泵,单级旋片真空泵 X-63的产品介绍、旋片真空泵的适用范围等相关内容,欢迎查阅。一、单级旋片式真空泵产品介绍1、旋片真空泵为单级油封式旋片真空泵2、旋片真空泵所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。3、油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时,内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离,防止油返入被抽系统。泵由空气冷却。二、旋片真空泵适用范围1、真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真空包装、真空成形、真空吸引。2、极限压力0.1-0.5mbar,额定抽速63 m3/h 超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。旋片式真空泵工作环境温度84℃。3、真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。4、一般供应的电动机不防爆,如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵产品,创新的一站式真空解决方案,致力于为电子、能源、食品、制药、汽车等工业领域客户提供可持续生产力。恒才机电拥有包括变频油螺杆、干式螺杆、干式爪泵、油旋片和液环真空泵等在内完善的工业真空产品线,如有真空泵需求,欢迎致电我们13928410990
2021 - 12 - 20
干燥纸托用哪种真空泵?造纸行业真空干燥原理是什么?螺杆真空泵替换旋片真空泵,变频节能,结构简单易安装,使用寿命更长久。阿特拉斯螺杆真空干燥机纸托抽真空,利用真空干燥原理成功应用,保证纸制品的质量,使其不开裂、不变形。纸托工厂干燥纸托,由于纸制品、木浆制品的导热性较差,而且表面水分不能过快排除,则会产生难以控制的应力。纸托真空干燥设备优势:1、干燥时间短、高效节能。2、选择性加热,利用这一特点可以做到迅速、均匀加热和均匀干燥。3、新一代绿色环保设备,低噪音。印刷行业真空工艺应用设备纸张印刷真空吸附工艺、搬运工艺选择真空泵,实现自动化印刷生产。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统、高品质真空泵产品。深圳恒才机电设备有限公司,专家级真空系统设计制造商,一站式满足您的真空需求139-2841-0990
2022 - 01 - 19
塑料板PET片材具有良好的性能,随着环保包装及可回收性等需求,对PET片材的质量要求越来越高。现有PET透明片材挤出面临哪些问题:1.粒料干燥不彻底,含水量超过0. 005%,片材出现气泡、发黄、杂质2.真空度低达不到要求,片材脆、流线压光不均匀3.真空度稳定性差,影响片材质量4.罗茨真空泵维修/更换频率高、维护成本高PET片材挤出真空解决方案:针对上述问题,恒才提出PET片材真空解决方案--罗茨水环真空机组,由一台水环泵+两台罗茨泵串联而成。罗茨真空泵:采用三叶罗茨泵,每转动一圈抽气3次,比二叶罗茨泵多了一次且多了一个密封点;水环真空泵:上偏心设计更节能,只需热水清洗,维护简单罗茨水环真空机组应用优势1、真空度可稳定达到-98至-101kpa,完全满足高品质塑胶片材要求;2、独特的闭环设计,无需排水、无需用油,运行成本低;3、噪音低至70分贝4、免维护,只需罗茨真空泵更换油怎么样,这样的真空系统方案您心动了嘛?恒才机电在方案改造方面已经很有经验啦!
2022 - 03 - 10
什么是真空引水?怎么定义真空引水高度?真空引水机组真空引水系统是恒才优势真空系统,主要用于河流引水排水、环保水资源引水排水等行业。了解真空引水系统的控制原理:真空引水是指真空引水系统(真空引水机组)的应用,利用真空作用将水从低于泵轴的水位吸入到超过泵壳顶部,甚至填充水泵和吸水管。1.真空引水系统分为两部分:一部分是供水泵和管道,另一部分是真空泵和辅助管道。真空系统可实现真空吸力和真空维护功能,解决泵启动前的排气引水工作程序,方便、随时、快速启动供水泵。2.真正的引水机组根据安装在前罐上的液位计的液位信号来判断引水是否成功。引水成功后,机组自动关闭进气管上的电阀,切断引水装置的电源,控制柜向用户输出成功的引水信号DCS系统。3.真空引水系统具有一定的耐腐蚀性,叶轮由铜制成,真空引水装置具有相应的防锈措施。备注:引水高度是以标准大气压状态下的引水高度,因海拔等各种因素影响,具体会有所不同,需要与我们的专业技术人员或销售工程师确认。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,为客户提供专业抽真空装置,真空系统设计方案及安装真空系统维保等服务。真空引水装置是恒才主打项目之一,拥有多年的引水真空系统设计安装经验,几乎无需售后的真空引水机组。
2022 - 04 - 26
影响罗茨真空泵机组的工作效率因素有各种各样,因此我们需要对此方面采取预防措施。那么目前哪些因素会影响真空泵的工作效率呢? 1.蒸汽压力由于低蒸汽压力和压力波动对罗茨真空泵机组的容量有很大影响,蒸汽压力不应低于所需的工作压力,但所用真空泵的结构设计已经确定,水环真空泵即使蒸汽压力过高,吸入容量和真空度也不会增加。此外,为了保证锅炉提供的蒸汽压力的稳定性,建议使用专用锅炉向蒸汽喷射泵提供工作蒸汽。确保真空泵机组性能稳定,防止蒸汽压力变化。 2.循环冷却水供应不足,冷凝器会发热,气流声会变大,真空度会迅速下降,甚至蒸汽会返回抽气管。冷凝液在多级罗茨真空泵机组中起着重要的作用,可以大量冷凝蒸汽。真空泵机组排放压力中的蒸汽分压必须高于其对应的全蒸汽压力,因此冷凝液温度应低于该压力下的旋片真空泵全温度,以保证泵体的正常运行。3.喷嘴是影响罗茨真空泵机组性能的重要部件。存在喷嘴误差、安装变形、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏等问题。罗茨真空泵应用特点有哪些:1、康斯顿罗茨真空泵特点是启动快,耗功少,运转维护费用低,2、罗茨真空泵抽速大、效率高,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体;3、罗茨真空泵对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,恒才机电通过从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,主营水环真空泵、旋片真空泵、...
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2020 - 08 - 26
(1)真空泵总体结构型式  真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。  立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。  卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。  泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。  (2)真空泵的传动方式  真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是:a.主动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便;b.整体结构不匀称,真空泵结构的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
2020 - 09 - 09
小编介绍了水环真空泵的很多内容,您知道真空泵使用一定时间会产生结垢吗?  一、水环真空泵结垢原因  1.热分解:含有硬度成分的循环水进入真空泵之后,随着泵的旋转在泵体上形成水环工作发热,逐渐分解溶解于水中的碳酸氢盐,析出难溶于水的沉淀,形成水垢。  2.溶解度降低:负溶解度温度系数部分盐类随着循环水水温的升高,溶解度降低,因此析出沉淀形成水垢。  3.相互反应:循环水中原本溶解度大的盐类在水环真空泵运转时与其他盐类发生物理化合反应形成难溶性物质,形成水垢。  4.蒸发和浓缩。 因循环水而持续工作的发热不可避免的是产生蒸发和浓缩,使溶于水的盐的浓度不断增大而达到饱和时沉淀形成水垢。  二、水环真空泵防结垢措施  以上分析表明,循环水水质和运行温度超过一定指标是真空泵结垢的主要原因。 为此必须尽量降低水的硬度,控制循环水的工作温度,解决真空泵的结垢问题。  因此,在循环冷却水运转中检测各泵的冷凝水温度和回水量,保证各泵的正常供水量,冷凝水温度为40以下的规定。 给水量可由阀门控制,当冷凝温度超过规定值时,通过补充低温冷水或通过其他散热降温来降低软化池内软水的温度。 另外,水冷真空泵的泵体排水阀不仅能够利用正常的排出泵的积水,还能够利用运转中泵体运转的水压定期冲洗泵体内的污垢和水结构,另一方面,能够防止积水。  以上是小编整理的水环真空泵内容,正确分析水质指标运行参数是找到正确预防措施的...
2020 - 10 - 10
由于没有接通开关电源,螺杆真空泵不工作。机械泵是真空技术的一种,抽真空、真空泵水平无法估量,安装机械泵之前应该适当布线,否则安装后也不工作。其布线方法的关键有这些种类。  1.螺杆真空泵在展开配线的时候,一定要注意用聚酯布绝缘胶带绑的时候一定要按一半,包好后,用塑料胶带双层包起来形成抗压强度。展开配线时,用砂纸把铜线弄亮。  2.用塑料胶带把三根线包起来,绑成双层。捆扎后请把用冷水捆扎的打结安全性浸入水中。绝缘层不得超过50兆欧姆。否则,请重新包装直到达到规定。  3.把三芯电缆线和从外接电缆线剥下的铜线的一部分成对插入,用一根细铜线绑住,把剩下的一部分切平。该配线时,将螺杆真空泵的3个引线接合分别用焊丝焊接,规定超声波模具的表层清洁,没有毛刺和假接合状况。  4.电线接头必须按照深潜电缆布线加工技术的规定捆扎。连接上线后,进入井后,继续进行交流耐压试验,测试接地电阻,当看到其过渡防止井筒挂着电缆绝缘层的皮,发现绝缘层的水平急速下降时,必须抬起机械泵进行检查。  安装螺杆真空泵之前,请学习其配线方法,不要对机械泵进行恰当的配线。如果弄错了一个地方,很可能会遇到重新布线等大工程,在这里应该掌握合适的布线,也要注意工作电压。
2020 - 10 - 20
为了保证真空泵机组的正常运转,其构成结构在其中发挥着重要的作用,同时与该结构的合理设计密切相关,其中真空泵机组的气缸在其中具有重要的意义,保持设备的顺利运转。  1.气缸的圆度和圆柱度符合有关规定。  2.测量真空泵单元气缸的圆度和圆柱度,根据其磨损程度决定镗孔气缸或更换。  3.真空泵单元的气缸缸径不能超过原来尺寸的2%。 气缸壁的厚度不能超过原来壁厚的1/12。  4.缸套不允许有裂缝或泄漏等缺陷。  5.气缸内表面无龟裂、磨砂、伤痕、沟槽等缺陷,表面粗糙度为1.6。  如上所述,为了防止真空泵机组在运行中发生故障,必须满足气缸的以上使用要求。 为了不影响动作的正常进行,日常维护气缸等零件有助于提高动作效率和延长寿命。
2020 - 10 - 30
真空泵的应用率越来越普遍,在操作过程中会选择适合的操作方式,使用过程中的优势越来越多,为了更好的应用,下面咱们了解下关于真空泵的防冻措施有哪些吧。  冬季室外温度较低,在使用真空泵时,常会发生泵被冻无法正常运行的问题,所以做好防冻措施是很重要的。冬季在真空泵工作完成并且停用后,工作人员需要要将泵及管路里的存水全部放出,避免温度降低后积水或结冰把水管或泵体冻裂。使用完毕之后还需要将外部的泥土灰尘清洗干净、保持设备的清洁等。将泵置于一个常温零度以下即可的环境。  对真空泵的泵腔、连接件等铸铁件,应用钢丝刷把铁锈刷干净并涂上防锈漆,等到防锈漆干后将其放入通风干燥的地方进行存放。如果设备由于操作失误而结冰的收时候,需要使用热水或者开水倒入水泵内化冰,或者将水泵外壳进行加热使得里面的冰块融化。可以采用保温型真空泵,使用完毕后在保温层加入蒸汽或者热水以防止设备在低温静置的情况下结冰。冬季使用真空泵时一定要注意温度的问题,做好防冻措施,尽量在室内进行使用,避免结冰,影响正常运行。即使有解冻的方法,但是也会浪费时间,降低工作效率。  以上是关于真空泵的防冻措施,由于它的特性优势,现在使用率非常普遍,再次提醒大家,在操作过程中必须严格按照操作规定进行操作,才能避免出现不必要的麻烦造成损失,希望以上内容对大家有所帮助。
2020 - 11 - 11
以下是罗茨真空泵的制造商为解决罗茨真空泵超载而应采取的措施。在正常情况下,使用水环泵作为超前泵比其他泵更有利罗茨真空机组的真空。这是因为它可以泵送大量可冷凝的蒸汽,当真空泵过载时应采取什么步骤?  1.开始之前的准备工作,检查所有零件,检查罗茨泵冷却回路是否畅通,并检查排气门以确保其打开。注意检查每个泵的油位是否在油位线上。如果在油位线以下,则必须添加油,如果超过油位线,则必须排干油。检查电动机的旋转方向是否与泵上的箭头方向一致。如果您长时间不使用设备,重新打开设备时部件是否可以灵活旋转?如果无法转弯,则必须手动旋转几圈。切勿使用电动机强制启动,否则会严重损坏泵。  2.启动时要注意的问题。在启动之前,您需要打开泵冷却水阀,启动前级泵,并同时打开前级泵入口阀。前级泵平稳运行后,打开进气阀并关闭排气阀,设备将自动启动。在设备运行过程中,如果当地温度过高,或产生不规则的噪音或其他异常现象,罗茨真空机组应立即停止检查。  3.停止设备时需要注意的问题。停止之前,需要关闭进气阀并打开罗茨泵的排气阀,设备将自动停止,关闭前级泵的进气阀,并同时停止前级泵。关闭设备的冷却水阀。如果长时间不使用,罗茨真空泵应在寒冷的地方排干冷却水套中的所有水。否则会结冰并导致夹克中的水膨胀并造成损坏。  4.维修与保养,罗茨真空机组必须保持设备周围环境的清洁干燥。应经常检查所有零件的润滑情况。如果润滑油不足,应及...
2020 - 11 - 23
罗茨真空泵的优点  1、罗茨真空泵运行稳定,噪音低,振动小,极限真空高。泵的传动部件采用坚固的防反冲结构,因此泵可以在高压汽车下长时间运行。即可在短时间内达到最佳真空度。因此,在泵腔中没有滑动部件,不需要油润滑,并且防止了油蒸汽对系统的污染。  2、启动快,功耗低,运行和维护成本低,抽气速度高,效率高,对抽气中所含的少量水蒸气和灰尘不敏感,在100至1Pa的压力范围内抽气压力率大。  3、罗茨真空泵运行平稳,具有抽速大的优点。  罗茨真空泵停机注意事项  1、关闭前级油封机械泵气镇阀(如前级油封机械泵气镇阀在运转中开着气镇)  2、关闭罗茨真空泵进气阀;  3、先停罗茨真空泵,再停前级真空泵,严禁搞错停机程序;  4、在停前级泵的同时,立即前级泵的进气口放大气;  5、关闭冷却水进水阀;  6、如需长时间停止使用,或在冬季为防止冻裂,开启放水阀将固定端冷却水套内的剩水放尽;  导致罗茨真空泵出现噪音的原因  一、电机噪声  风机噪声普遍都比较大,据分析应该是塑料风机变形所致;二是使用了质量不好的轴承所引起的轴承噪声。  二、罗茨真空泵内部零件噪声  1、转子碰撞  转子与转子、转子与泵体和转子与侧盖的碰撞噪声。产生的主要原因是:轴的刚度不足,转子和齿轮在轴上定位的径向移位,齿轮间隙过大或过小,轴承的轴向游隙过大等。  2、罗茨真空泵的齿轮  影响齿轮噪声的因素除齿轮本身的加工精度外...
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水环真空泵排气爆鸣预防措施

日期: 2020-02-28
来源:
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  当我们使用水环真空泵时,会遇到排气爆炸的现象。我们怎样才能防止它呢?

  一.过滤

  水环真空泵抽气过程中,少量的一些物料和残液会被吸入泵的阀板,同时一些润滑油会附着在泵的阀板上。这些物质在高温下长时间碳化形成碳沉积物。在一定条件下,可燃气体混合物容易引起爆燃,爆燃通过排气管向外释放,形成爆炸声。

  解决方案:可在通往泵的气体管道上安装过滤装置,以过滤灰尘或残余液体,并可定期清洁过滤设施,以确保装置的良好性能。同时,应维护好整个泵体,并及时清洗阀板。实践证明,这项工作应该每3个月进行一次。

水环真空泵排气爆鸣预防措施


  二.冷却

  深圳水环真空泵的活塞在气缸内不断往复运动,泵体温度过高,为物料碳化提供条件,引发事故。

  解决方案:启动泵前,要求操作人员打开泵的冷却系统,并确保系统的进出水管路畅通。因未开启冷却水而导致泵体温度过高造成事故的主要原因是操作人员责任不够、违反操作规程和疏忽。

  三、洗涤缓冲

  设备前增加水洗和缓冲储罐,可有效消除吸入的残液,对混合空气也有一定的冷却效果。

  在实际工作中,经常会出现以下两种现象:

  首先,当罐内剩余液体量少时,少量的料液将被吸入泵体,料液将在高温下碳化。

  第二,当残液较大时,如果不及时排出,水环真空泵很可能会吸入料液并冲洗泵,造成大型设备事故。

  解决方法:在生产过程中,工人要有强烈的责任感,及时排出残留液体,避免事故发生。

  四、排气管堵塞或畅通防止

  排气管堵塞或堵塞会导致含甲醇蒸汽的混合气体不能及时排出并积累到一定程度,从而导致强烈的泄漏、爆炸甚至爆炸。造成这种现象的原因有很多,可能是由于设计缺陷,导致排气管位置相对较低,管内积水或积油,或者是由于一些人为或自然因素,例如,出气阀没有打开或没有完全打开,雨盖塌陷,导致排气不畅等。

  解决方案:在设计真空泵位置时,主排气管的位置和相关附件的设计也更重要。

  另一点是废气的控制。加强废气控制是一项非常重要的安全技术措施。真空泵排出的尾气主要是含有大量甲醇蒸汽的混合气体。根据中毒的理化特性和工作实践,首先在缓冲储罐前安装一套或多套冷凝装置(一般采用-10℃的冰盐水)对混合气体进行冷凝;其次,在尾气主排气管上还安装有冷凝装置,对废气进行冷凝,从而将废气中的甲醇蒸汽浓度降低到爆炸下限以下,保护环境。然而,有必要在冷凝过程中适当控制冷凝水流量。如果流量太小,很容易导致冷凝效果不佳。如果流量太大,由于冷凝太强,容易导致管道堵塞,影响真空效果。

  以上是防止医用水环真空泵排气爆炸现象的方法。平时,我们应该提高安全意识,规范设备操作。为了防止真空泵排气爆炸,我们可以按照上述方法进行预防,这样可以取得良好的效果。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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