干式真空泵出现得很早，但没有明确的定义。更换油封机械泵通常在10-2
Pa大气压的压力范围内工作。油和液体不能用于泵气通道(如泵室)，排气口可以与大气相通。能够持续向大气中排放空气的泵称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。
市场上有许多类型的干式泵。根据其基本原则，只有两种类型，即:
(1)容积式干式真空泵，如多级罗茨泵、爪式泵、往复活塞泵、螺杆泵、涡旋泵等。干式泵的极限压力一般为0.1-10pa，泵速为0.01-0.04m3/s
(2)具有动量传递的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相通，在连续流动状态下压缩比高。它是一个原油泵，可以从大气压力泵送到1022pa。其结构采用径向和周向流量泵的复合结构，并采用多级串联泵送。涡轮泵的极限压力约为10-2
Pa，泵速为0.02-0.15 m3/s，牵引干式泵也是动量转移干式泵。
与油封机械泵相比，干式泵达到相同的极限压力，残余气体成分完全不同。分析结果表明，油封泵的残余气体CNHM气体(烃类气体)是主要成分，而干式泵的残余气体是空气成分。这证实在干式泵的泵送过程中没有油污染。
一些干式泵在结构设计中仍然使用润滑油，如泵的传动齿轮和轴承，以及合成油，如PFPE油和其他油等。已经采取了一些措施来防止油蒸汽出现在泵室内。严格来说，它不是没有油泵。然而，经过分析，这种合成油的成分在泵的入口处。它非常小，没有效果。
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