旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压力范围为101325〜1.33 ×
10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以用作其他高真空或超高真空泵的前级泵。它已广泛用于冶金,机械,军工,电子,化工,轻工,石油和医药的生产和科研部门。
旋片式真空泵可以去除密封容器中的干燥气体。如果安装了气镇装置,它也可以除去一定量的可冷凝气体。但是,它不适用于抽出含氧量过高,对金属有腐蚀性,抽油的化学反应和粉尘的气体。
旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空获取设备之一。旋片泵主要是中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓的双级是两个串联的单级泵的结构。通常分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片式真空泵的泵速与入口压力之间的关系规定如下:在入口压力为1333Pa,1.33Pa和1.33
× 10-1(Pa)时,其泵速值不得为分别低于泵的额定抽速的95%。50%和20%。
旋片式真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖,弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的腔中。转子的外圆与泵腔的内表面相切(两者之间有一个很小的间隙)。在转子槽中安装了两个带弹簧的转子。在旋转过程中,旋片的顶部通过离心力和弹簧的拉力保持与泵腔的内壁接触,并且转子旋转以驱动旋片沿泵的内壁滑动腔。
如图所示,两个旋片将由转子,泵腔和两个端盖包围的月牙形空间分成三个部分A,B和C。当转子沿箭头方向旋转时,与吸入口连通的空间A的容积逐渐增加,并且处于吸入过程中。与排气口连通的空间C的体积逐渐减小,并且处于排气过程中。中央空间B的体积逐渐减小,并且处于压缩过程中。由于空间A的体积逐渐增加(即扩大),因此气压降低,并且泵入口处的外部气压强于空间A中的压力,因此气体被吸入。
当空间A与进气口隔离时,将其转到空间B的位置,气体开始被压缩,体积逐渐减小,最后与出气口连通。当压缩气体超过排气压力时,排气门被压缩气体推开,该气体通过油箱中的油层排放到大气中。泵的连续运行达到连续泵送的目的。如果废气通过空气通道转移到另一级(低真空级),则由低真空级将其抽走,然后压缩到大气中并排放到大气中,从而形成两级泵。此时,总压缩比分为两个阶段,从而提高了极限真空度。
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