新型绿色真空泵可以处理包含可冷凝蒸汽的气体,包含细颗粒但不残留在泵中的气体。易损件少,真空度高,抽速高,寿命长。用于医学上.
大规模集成电路生产需要很大的市场。以前,中国使用的干式螺杆真空泵始终依靠进口的磁力泵,只有国际上可以生产,例如美国、日本、德国、英国和韩国。
干式螺杆真空泵是一项高科技产品,主要用于高纯度真空工艺中。
并可以达到很高的真空度;特别适用于电子,化学和生物医学行业。与其他类型的干泵相比,干式螺杆真空泵具有更高的效率和更低的能耗。
干式螺杆真空泵在制药,化工,涂料,半导体等行业具有广泛的应用
干式螺杆真空泵性能特点
1、工作室内没有介质,可以得到干净的真空。
2、工作腔和螺杆转子的表面均具有抗腐蚀涂层,可适应恶劣的工作条件。
3、气体未在泵中压缩,适合于泵送可凝性气体
4、单个泵可以从大气中抽气至1Pa,并且可以大大简化真空系统。
5、水温对真空的影响很小,可以节省90%以上的水,甚至不消耗水。
6、无油耗,无滴落。
7、旋转部件之间没有摩擦,可以高速运行,并且整机尺寸很小。
8、结构简单,易于维护。
9、直接泵出泵体,不污染水和环保压力,气体回收更加方便。
10、可与罗茨泵和分子泵结合使用,形成无油装置。
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