罗茨真空泵(称为罗茨真空泵)是旋转变量真空泵。它是从罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵的工作范围，将其分为具有直排气环境的低真空罗茨真空泵，中真空罗茨真空泵(也称为机械增压泵)和高真空多级罗茨真空泵。
罗茨真空泵的功能特点
1、在很宽的压力范围内具有很高的抽速;
2、快速启动，可以立即工作;
3、对泵送气体中包含的灰尘和水蒸气不敏感;
4、 转子泵室内无润滑，无油;
5、低振动，转子良好的动平衡条件，无排气门;
6、驱动力小，机械摩擦损失小;
7、结构紧凑，占地面积小;
8、较低的运营和维护成本。
因此，罗茨真空泵广泛用于冶金，石化，造纸，食品和电子行业。
罗茨真空泵的工作原理
在泵室中，两个“
8”形的转子s彼此垂直安装在一对平行轴上，一对传动比为1的齿轮带以相反的同步旋转运动运行。在转子和转子之间，转子和泵壳的内壁之间有一定的间隙，以实现高速运行。由于罗茨真空泵是没有内部压缩的真空泵，因此压缩率通常很低，因此高真空泵和中真空泵需要前级泵。
罗茨真空泵的极限真空度取决于泵本身的结构和制造精度以及前级泵的极限真空度。为了提高泵的极限真空度，可以串联使用罗茨真空泵。
罗茨真空泵的工作方式类似于罗茨鼓风机。由于转子的连续旋转，泵送的气体从进气口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过排气口排出。由于v0空间在吸入后完全封闭，因此气体不会在泵室内压缩和膨胀。但是，当转子的顶部翻过排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧较高的气压，一部分气体返回到空间v0，这样气压突然变成增高
。当转子继续旋转时，气体离开泵。
罗茨真空泵转子从0°到180°的抽吸过程。在0°位置，下部转子封闭了来自泵进口的v0体积的气体。当旋转至45°位置时，腔室与排气口连通。由于排气侧的高压，一部分气体返回。当转到90°位置时，由转子包围的气体将与返回的气体一起排放到泵的外部。此时，上部转子还密封了来自泵入口的v0体积的气体。当转子继续达到135°时，由转子封闭的气体将连接到排气口，并重复上述过程。
180°位置与0°位置相同。
转子在主轴旋转一圈时，总共排出了四个v0体积的气体。