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2021 - 09 - 23
粗真空类型,粗真空应用及作用详述:粗真空类型:罗茨真空泵、水环真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵等。粗真空泵的作用主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。罗茨真空泵主要用于粗真空、抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀,不溶于水,含有少量固体颗粒的气体,以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品,是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置,实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离;加上活塞环使用了自润滑材料,便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放,所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。干式真空泵也是粗真空应用常见的真空泵,无需油或水作为工作介质,经常用来替代水环真空泵或油螺杆真空泵,无油无水不影响工作环境且没有污水排放,是环保真空泵。干式真空泵在医疗、制药行业应用较为常见,且干式真空泵价格不低,但效果明显理想。
2021 - 10 - 23
选择油旋片真空泵作为罗茨泵的前级泵,可发挥哪些优势,罗茨旋片真空机组搭配应用特点是什么?1.配置GVS油润滑旋片真空,具有0.1-1mbar的极限真空度,16-840立方米每小时的高抽速,旋片泵温度低于其他设备,有优化保油能力,润滑油寿命更长等特点2.选用JRP150-2000罗茨真空泵,具有大抽速优势(153-2050每立方每小时),罗茨真空泵真空度可达0.05pa,结构紧凑,易于安装,搭配各类真空机组及真空系统。3.罗茨旋片真空机组应用范围广,可用于食品、电子元件真包装、玻璃板的吊运、木板/塑料板吸持、造纸和印刷行业,纸板装卸输送等等4.罗茨旋片真空机组采用了JSP罗茨泵+GVS旋片泵,以达到所需真空度要求,相比于单独真空泵使用,罗茨旋片真空机组的搭配适用行业也更多。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程,通过从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务,主要有水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等,为客户提供泵浦方面的优质工程方案。
2021 - 11 - 24
旋片式真空泵常见故障与消除方法:  1.导致旋片真空泵真空度低的原因有哪些?恒才真空泵厂家总结,影响真空泵真空度的原因,以及针对真空度低不同原因不同解决方法,如下:(1)油量不足。加油。(2)泵油不清洁,乳化了。开气镇阀,换新油。(3)泵油牌号不对。换油(4)进油孔堵塞。清理进油孔,调节油量。(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处,更换密封圈。(6)排气阀片损坏。换新阀。(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。(8)泵温升高,油的粘度过低。加大冷却水量。(9)泵油气体温度过高。加气冷装置。(10)端盖螺钉松紧不一,造成转子轴芯偏移。拆开重装。(11)旋片弹簧断裂。换新弹簧。(12)进气管过滤网堵塞。清洗。(13)气镇阀未关好/损坏。关闭/修理。(14)泵轮键断裂,轮空转。换键。2.卡泵:(1)端面间隙过小,泵油温升过高。研磨旋片,调整间隙。(2)泵内进入杂物。清理。(3)泵温升高。加强水冷。(4)转子断裂。拆泵更换。(5)泵腔生锈。洗锈。3.噪声大:(1)旋片弹簧断裂。换弹簧。(2)装配零件松动。重装。(3)零件有毛刺,装配有变形。重装、修磨、换件。(4)电机轴无油。加润滑油。4.漏油:(1)轴孔、端盖、油标、油箱等部位密封件损坏或没压紧。换密封件,拧紧螺钉。(2)油箱有漏孔。堵好漏孔。5.启动困难:(1)油温过低。加热到15℃以上。(2)泵内润滑不好。调节油量。(3)泵腔内未放...
2021 - 12 - 27
市面上真空泵质量鱼龙混杂,实际应用的真空水平参差不齐,如何选择真空机组成为pet片材厂家的关注点,一台优质的PET真空机组带来的效果远不止于提高产能和质量。PET片材存在的问题,PET片材透明度不高怎么办?PET片材透明度不高、片材脆?多半是真空度不够。PET真空机组合理选型设,可以解决这个问题,双罗茨水环真空机组真空度可达负101kpa且稳定运行,抽速大、真空度高是保障片材挤出品质的原因之一。PET片材挤出对真空度及稳定性要求严格,本文主要对PET透明片挤出,为何选用罗茨泵+水环泵组成的罗茨水环真空机组,欢迎查阅下述内容:采用恒才的PET真空机组--罗茨水环真空机组优势1.真空度可达到-98至-101kpa,完全塑胶片材挤出要求;2.采用独特闭环循环水设计,无需排水、无需用油,节能低成本3.无易损件,免维护,只需罗茨真空泵更换油深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统、高品质真空泵产品。
2022 - 02 - 15
现在随着技术的发展,现在常见的真空泵中有几个主要是罗茨泵、回转泵、涡形泵和螺杆真空泵,螺杆泵在选定和使用时,有什么想法呢?今天,我们来看看无油螺杆泵的选定和价格。 螺杆真空泵的主要选定特征如下。  1、无油螺杆真空泵能在大气压下在短时间内抽真空到1pa (绝对压力状态)。 该真空泵的内部部分不仅能有效地实现真空单元的主要功能,还能节约能源消耗。 这种类型的真空泵比螺旋真空泵的功耗低。  2、无油螺杆真空泵能长时间运转,经常稳定,不受水温和提取物质的影响。  3、螺杆泵工作室内没有其他介质,不接触,能够有效地得到清洁的真空环境,不排出多馀的废油、废气等。 在螺杆泵的排气口设置常压下的冷凝器装置,能够有效地回收在真空环境下不能冷凝的溶剂,有效地提高溶剂回收率。  4 .低噪音、地震、低排气温度、易于使用的维护很方便。  5、可以灵活选择水冷还是空冷。  6、可应用于化工、医药行业、电子设备生产、干燥处理等各种行业。  以上就是关于螺杆真空泵的选型与价格介绍相关内容,更多内容请关注我们更新的信息。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统、高品质真空泵产品。
2022 - 03 - 23
螺杆真空泵的使用注意事项1、定期检查油位位置、油质情况,如发现异常应立即调整,确保真空泵正常工作。2.检查螺杆泵马达是否正常运转,柔软性尝试有木有。3.定期检查并清扫螺杆真空泵管中,确保管道畅通。4、定期检查螺杆泵的套筒磨损情况,发生异常时立即更换。5、干式螺杆真空泵运转中,轴承温度超过环境温度的3.5度时要不得。 最高温度超过8.0则要不得。6.停止作业时,请关闭男同性恋阀和压强计,然后停止马达。7.在最初使用螺杆真空泵的一个月内,定期更换润滑油,使工作状态更好。8.环境在寒冷的温度下工作时,必须防止泵体冻裂,停止后必须打开水龙头放入内部9.长时间不使用真空泵时,分解泵本体进行漂亮地,在泵本体内部和连接部涂抹润滑工进行保管。真空泵系统运转注意事项:  1、运转过程应经常检查压力表和其它仪表(如电气仪表)的读数。  2、注意经常检查泵轴承的温度,泵轴承温度最高不得超过80℃。  3、经常检查填料的发热和漏水情况。  4、检查泵的转速是否正常。  5、泵不能低于30% 的额定流量和高于130% 的额定流量下长时间工作。  6、注意检查泵的振动和噪声,如有异常振动及异常噪声应马上停车检查。  对于上述内容的数据应及时记录,并根据记录数据的变化以分析判断是否需要进行检修。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵...
2022 - 04 - 30
为什么水环真空泵使用范围那么广泛?这取决于水环真空泵的优势比较明显,现在来看看水环真空泵(水环式真空泵/水环泵)的使用优势有哪些。水环真空泵的优势如下:1)结构简单,对制造精度要求低,易于加工。2)结构紧凑,泵的转速高,罗茨真空泵不需要减速器就可以直接与电机连接。因此,利用小的结构尺寸,可以获得大的位移并且占据的面积小。3)压缩气体基本上是等温的,即在压缩气体的过程中,温度变化很小。4)由于泵腔内没有金属摩擦面,所以不需要润滑泵,磨损很小。旋转部件和固定部件之间的密封可以通过水封直接完成。5)吸入均匀,工作稳定可靠,操作简单,维护方便。德国进口品牌SPECK 水环式真空泵V30-V55,采用气体传输真空泵原理,水环泵上偏心设计更节能,不锈钢水环真空泵,防爆、密封机轴设计,小型体质节省空间,易于安装。深圳水环真空泵厂家,是德国司倍克真空泵代理商,水环式真空泵V30-V55型号,不锈钢水环真空泵,防爆更节能,可应用于真空机组配套、真空泵系统解决方案。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,通过从设计选型安装调试维保等一站式服务, 为客户解决真空泵应用、真空工艺改善问题,恒才机电通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作,提供优质的真空泵、真空泵机组、真空泵系统方案等。
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2020 - 08 - 28
往复真空泵(简称往复泵),又称活塞式真空泵,属于低真空获取设备之一。与旋片真空泵相比,它可制成泵速大的泵;与水环真空泵相比,效率略高。这种泵的主要缺点是结构复杂、体积大、运行时振动大等。它可以在许多场合被液环真空泵取代。  往复真空泵的工作原理:  如往复泵如图的结构和工作原理所示,主要部件是气缸1和活塞2,活塞2在气缸内做往复直线运动,活塞由曲柄连杆机构3(包括十字头)驱动。除上述主要部件外,还有排气阀4和吸气阀5等重要部件,以及发动机底座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。  工作时,气缸内的活塞在电机驱动的曲柄连杆机构的作用下往复运动。当活塞在气缸中从左端移动到右端时,由于气缸左室的容积不断增加,气缸中气体的密度降低,形成了泵送过程。此时,泵送容器中的气体通过吸入阀5 进入,以泵送主体的左室。当活塞到达最右边的位置时,气缸的左室完全充满气体。然后活塞从右端移动到左端,此时吸入阀5关闭。  随着活塞从右向左移动,气缸中的气体逐渐被压缩。当气缸中的气体压力达到或稍微超过一个大气压时,排气阀4打开,将气体排放到大气中,完成一个工作循环。当活塞再次从左向右移动时,重复前面的循环,泵送的容器最终达到某个稳定的平衡压力。  为了提高泵送效率,通常在气缸的两端设置吸气阀和排气阀,然后通过管道将气缸两端的吸气口和排气口并联。
2020 - 09 - 15
真空泵转换能量时,总有一小部分损耗转化为热量,这些热量必须通过电机外壳和周围介质不断散发。这种散热过程称为冷却。而且真空泵工作时会产生一定的热量。如果不及时散热,时间长了真空泵内部零件会受到影响甚至损坏。这会影响风扇的正常运转,甚至损坏风扇。  真空泵是否能有大量的油污染。事实上,真空泵在许多国家被广泛使用行业。特别是,当气镇油封机械清除可冷凝蒸汽的能力不够,或者使用的溶剂会使泵油变质并影响其性能,或者真空系统不允许油污染。所以真空泵不能有大量的油污。  真空泵的冷却方案有很多,根据机体不同部位的发热量确定合适的冷却方案。比如真空泵工作压力高,温度上升快,高,普通真空泵需要循环水降温,保护风扇不受损坏。  重点来了。真空泵的散热和冷却技巧有四个要点:  一、空气冷却:  即级间或两级泵吸入的空气被压缩后通过综合吸收和相位差的组合消声器传递。  二、转子的内部冷却:  为了使真空泵在更高的压差下工作,可以采用更有效的冷却方法,即将输送到子用循环的油冷却,在真空机组轴的两端分别打入油孔和油径轴头,然后通过转子内壁从另一端排出  三、转子油膜冷却;  这种冷却方法是在真空泵入口处接一根油管,用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。  四、冷却:  真空泵由于输送和压缩气体而产生热量,这些热量必须从转子传递到外壳并消散。
2020 - 10 - 12
干式真空泵在使用中会突然跳闸,所以在抽介质的同时会突然停机,对设备的影响很大,设备的突然停机也会影响生产效率,如果设备跳闸,还可能导致设备内部线路短路,所以是一个非常严重的问题。我们来看看设备跳闸的原因。  1.跳闸可能是由于电机连接到两相电源,应该连接到三相电源。如果三相电源接通后跳闸或跳闸,可适当提高电流上限。  2.运行时,异物或杂质在排气口被吸入,因此需要停止运行,清理异物,检查真空泵是否有故障。  3.马达有负载。然而,通过负载的电流相对较高。如果达到电气柜设定的电流上限,电机就会跳闸,自动跳闸。一般这是干式真空泵的正常现象,只有提高电流保护上限才能避免跳闸。  4.当设备长时间不使用,然后突然启动,电机负载运行时,临时电流会过高。这种情况不用担心。首先关闭进气口,然后运行让泵体慢慢升温。  以上是干式真空泵突然跳闸的原因。如果在运行中过载,也可能跳闸,特别是长时间不使用,然后突然带负荷运行,也会造成设备跳闸。
2020 - 10 - 22
随着机械化领域的创新发展真空泵机组的机械性能也经历了一代技术改进和性能提高。在现在的施工作业活动中,真空泵机组的使用频率也大幅提高。 但是,由于真空泵机组多样化的特殊环境,存在运行时不可避免的损失问题。那么,解决真空泵机组的几个小问题需要什么? 小伙伴们心里有章程吗?  例如真空泵机组的腐蚀,因为真空泵机组的使用处于比较差的工作环境,所以不可避免地会腐蚀真空泵机组,该怎么办呢? 小编接下来详细介绍修复腐蚀真空泵机组方法。  1.表面处理:  完全除去表面氧化层,用丙酮清洗真空泵机组的处理对象表面。  2.调合材料:  严格按比例调配,均匀搅拌直到真空泵机组表面的颜色和色差消失。  3.涂布材料:  首先,为了薄薄地涂布修复材料,确保粘接和完全复盖,请不要留有间隙,以免引起二次腐蚀。再把材料均匀地涂敷在修复表面上,达到所希望的修复厚度即可。  小编此处通知真空泵机组修复完成,根据组装要求安装。修复保护的材料请勿受到外力的敲击或冲击。 材料影响真空泵机组的组装时,请采用打磨方法处理,绝对不要敲击,以免损伤其他材料。
2020 - 11 - 03
抽速可以在一定程度上反映水环真空泵的使用情况,那么哪些因素会影响其抽速呢?  1.从真空室吸气口抽出的气体必须通过真空泵要抽出的流路,但抽出的气体会从真空室吸气口移至泵端口从高压到低压以及从泵端口。泵送是基于一定的泵送原理,从低压到高压的强制流动。  2.如果水环真空泵的抽速很高,即电导率相对于抽速非常小。此时,泵的实际泵送能力不取决于其泵送速度,而是取决于气流的传导率。电导值恰好是有效抽速。  3.流导非常大,也就是说,通过它的气体量不受限制,因此泵的泵送能力取决于其自身的泵送速度,与泵的速度相同。从泵端口直接连接到真空室。  4.水环真空泵和真空室之间的连接管道可能包括冷阱和阀门等。假设泵和真空室之间的电导是,泵必须通过电导将空气泵入真空室及其泵送能力。为了限制,此时对容器的泵送作用有意义的是在真空室的泵送端口处的有效泵送速度。  5.根据基本真空方程,可以从数学上获得两个结果。当.流导非常大时,水环真空泵的抽速可以近似等于抽速。当抽速很高或电导非常小时,真空室的有效抽速大约等于流导。  影响水环真空泵抽速的因素与设备的使用有关,也与流导和结构有关。
2020 - 11 - 13
由于某些原因,电动机过载或什至无法转动。这种现象通常称为“卡住”。真空泵卡住的原因是弹簧损坏,导致转子上的力不均匀。不正确的组装,某些零件受压。由于进气滤网的丢失或损坏,外部污物,金属屑,玻璃屑等引起的掉进泵腔。另外,泵转子,旋片端面和端盖之间的间隙太小,摩擦加热导致旋片伸展或过热,并且旋片的硬度太小。毛刺互相挤压,在端面上造成深深的划痕。最后,烧结卡住了。  当轴和轴套匹配良好时,润滑油路径不平滑,泵将长时间粘在一起,并且泵腔会生锈;泵在潮湿的环境中运行或除去水分气体将泵油转化为乳状液,或者泵油变脏甚至结垢。泵油的粘度太大(冬天);转子在启动时破裂;一些泵在高真空腔室和低真空腔室的空气通道中都有半圆形凹槽。上橡胶板太紧,阻塞了中间呼吸道等,这很容易导致泵卡死。这种问题通常非常危险,因为在发生卡死时,电动机会因转子而过载或无法旋转,从而很容易烧坏电动机。即使电动机没有烧坏,如果不及早停止维修,泵腔也会损坏,旋片会断裂,转子会扭曲,端面会被燃烧。结果是不好的。  卡死总是发生在转子,旋片和端面或中间隔板之间,或者在转子和泵腔之间。这些零件是决定真空泵最终压力的关键零件。因此,一旦发生卡死,就必须紧急停止泵,排除故障并进行正确维修。请勿重新测试甚至不计后果,否则整个泵将很容易被丢弃且无法维修。  某些泵中的卡死更易于维修。前级和后级的气体通道是在中间隔板的上部铣削的半圆形凹槽,橡胶板放...
2020 - 11 - 25
真空炼泥是特种陶瓷中的重要环节。泥料进行真空处理后,可塑性提高,真空脱气后泥料经过揉捏具有较大密度,因此烧成产品变形小、强度高、质量好。真空炼泥机配套的水环真空泵功能的好坏,对真空炼泥起到要害的效果。  一、传统炼泥机配套的真空泵  据市场调查了解,现在特种陶瓷制造厂传统上运用滑阀泵,往复泵、旋片式等油式真空泵。以滑阀泵为例,因为受产品本身规划的限制,在运用过程中存在以下不足。  1.环保功能差  众所周知,滑阀泵归于油封式旋转机械真空泵,需求真空油来密封和光滑,耗油量大。以H-150为例,注油量需40~50L,滑阀泵运用一定年限后,因为密封的老化,机械部件的磨损,不可避免会漏油,使出产现场油迹斑斑;如真空油光滑功能欠好,滑阀泵作业时偏心轮和缸体的机械冲突会发生“烧油”现象,作业现场略微充满油烟,影响工人人身健康。  2.存在污染泥料危险  滑阀泵停机时如操作不当,可能会使真空油倒灌炼泥机,结果是真空油污染泥料,形成泥料作废、经济损失。  3.保护本钱高  滑阀泵归于机械真空泵,内部有冲突件,易损件较多,须常常加油光滑,保护本钱高。缸体一旦磨损后,修复作业适当困难。  4.运用本钱高  真空油忌讳水分的进入,因为水分会使真空油乳化,下降油品功能;因为炼泥气体中含有水分,污染滑阀泵内的光滑油,每天有必要添加或替换,运用本钱高。  5.运用功率差  夏天气温高时,水易气化,形成油环式真...
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水环真空泵临界转速的计算

日期: 2019-11-12
来源:
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  一般情况下,水环真空泵以一定转速旋转工作,如果其转速等于或接近泵转轴系统振动频率的倍数,水环真空泵就会发生猛烈的振动,即产生共振。如果转速一直停留在临界转速附近,轴的变形就将速度增大,导致损坏泵的零件,甚至整个机器的破坏。

水环真空泵临界转速的计算


  为了避免共振现象的发生,应首先计算水环真空泵泵轴的固有频率。由于共振时泵的转速等同于临界转速,所以实质的问题是计算水环真空泵的临界转速。第一阶临界转速下,振动激烈,最为危险,所以通常主要计算第一阶临界转速。

  目前,计算临界转速的方法有:瑞利法、等效重量法以及邓克尔莱方程法等。对 于 实 际 中的水环真空泵转轴,都是多阶变径轴,使用瑞利法在计算挠度时会变得非常繁琐,单一运用等效重量法和邓克尔莱方程也不能有效的解决。同时现行计算临界转速都是将叶轮载荷简化为集中载荷,当叶轮轴向长度较长时将会严重影响计算准确性。

  因此,针对以上问题,本文提出并使用一种新的有效的计算方法,以解决计算转轴系统的临界转速问题。

  计算原理该计算首先将阶梯轴通过当量直径来等效转换为等径轴,计算出其临界转速,同时将叶轮等效为均布载荷,利用叠加原理计算挠度,通过瑞利法可计算 出 叶 轮 载 荷 下(不 计 轴 重)的 临 界 转 速。最后运用邓克尔莱方程计算出转动机构的临界转速。

  计算结果

  选用某型号水环真空泵的转轴系统进行分析,利用MATLAB对数据进行计算,由 于 系 统 材料为304钢,密 度ρ=7930kg/m3,弹 性 模 量E=2.06×1011Pa。其 余 参 数 为M1=344kg;M2=676kg;L=1.54m;a=0.4m;b=0.35m;l=0.79m。计算出其它参数为dv=0.187m;I=5.9×10-5m4。代入上述各式中可得ωs=966rad/s;ωc=772rad/s;ωn=603rad/s;f=96.0Hz。

水环真空泵临界转速的计算


  本文提出的计算方法为工程设计中水环真空泵转轴系统临界转速的计算提供了方便,特别适用于叶轮转子轴向长度较长而不宜采用集中载荷的实际情况。相对于传统经验计算公式,虽然该计算途径的计算量偏大,但可以通过充分利用计算机计算软件来简化计算过程,同时又提高了计算精度,对于现代工程设计是很有必要的。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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