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2022 - 07 - 04
真空泵节能环保改造成功案例,一套成熟稳定的真空系统非常关键,DZS系列爪式干式真空泵可以实现高要求抽真空需求。客户是一家飞机零部件加工企业,加工方式主要采用CNC加工,原来使用的真空系统是双极油润滑旋片泵,由于CNC加工的特点或是工人操作不当,经常会有切削液进入到真空泵,导致真空泵损坏,从而直接造成加工件的损坏。经过现场详细的工况了解及相关行业的经验,阿特拉斯·科普柯真空专家团队推荐客户使用DZS干式爪真空泵配前处理罐的真空系统替代原来的油旋片系统,可以最大化的减少由真空系统故障给客户带来的损失。DZS系列爪式干式真空泵的优势1.无油设计,无需定期保养,排放无污染2.模块化设计,简单可靠,维护简单3.转子材质为不锈钢,无需定期更换4.配备前处理罐,可以在线自动排液,防止切削液进入真空泵深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 08 - 01
片材挤出/集中供水,片材挤出机一般要求真空度:-100kpa以上可以满足使用要求,在此基础上真空度越高,片材质量越好,真空度达不到会造成透明度低,片材脆等问题。双罗茨水环真空机组优势1.采用三叶罗茨真空泵,具有高效密封优势,能防止挥发气体进入油箱造成油乳化,高真空度稳定,生产效率提高10%以上,无需酒精清洗更安全可靠;两级罗茨真空泵作用下真空度可高至-101KPa。2.采用康斯顿水环真空泵,具有低噪音优势(低于70分呗);使用寿命长达30年;除机械密封、排气阀片外,无易损易耗件;电机与泵头直连传动,无托架无联轴器,运行更平稳,效率更高。双罗茨水环真空机组、PET片材真空机采用优质的真空泵配置,真空机组组运行稳定、真空度高,大大提高了PET片材的品质,解决了客户所担忧的PET片材透明度不高、片材脆等问题。这是一台可用于PET片材挤出的罗茨水环真空机组,俗称PET真空机组,采用的是三叶罗茨泵,密封性能好防止油乳化,无需酒精清洗,真空度可达-101KPa,噪音低至70分贝,这台真空机组可有效解决PET片材透明度不高、片材脆等问题,你确定不来一台吗?深圳恒才机电设备有限公司与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等真空泵品牌的合作, 为客户提供真空设备和专业的真空系统设计、售后、安装等一站式真空服务,更多真空泵行业应用、真空机组配套方案、真空系统解决方案等,欢迎致电13928410990
2022 - 11 - 11
锂电池是一类由锂金属或锂合金为正/负极材料、使用非水电解质溶液的电池,由于动力电池的产能和装机量也飞速增长,也给许多真空系统带来更多的应用和机会。锂离子电池行业的真空应用,在锂电池的制造过程中,真空技术在合浆、注液、烘烤等工艺流程中发挥重要作用,真空系统设计的好坏与锂电池的品质密切相关。锂电池抽真空为什么用GHS螺杆真空泵?GHS VSD+变频油螺杆真空泵在锂电池行业的应用已经不是新鲜事,而是有很丰富的真空系统应用经验。效率:变频螺杆技术,VSD技术和创新电机设计相结合,提升能效2.运行安静:低噪音级别运行3.可靠的效率提升带来可持续生产力4.良好的保油能力,设备在全压力段运行时排气含油量低,保护环境5.低生命周期成本深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 12 - 16
塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑成型、热压挤出等工艺,需要用什么真空泵系统更合适?深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案等服务,恒才机电的罗茨水环真空机组可应用于塑胶挤出行业。这是2022年出的第N批罗茨水环真空机组,应用于塑胶挤出行业,出货数量足以说明,恒才机电真空系统在橡塑挤出行业应用是有实力的,实打实的真空度数据,节能环保,稳定运行,是我们给客户的承诺。塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑设备、热压挤出真空设备称之为罗茨水环真空机组,由两台罗茨真空泵及一台水环真空泵组成,真空度可稳定在-98kpa至-101kpa,通过恒才的真空改造方案,实现了节能环保、高工作效率、稳定真空度,从而改善了产品生产质量。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2023 - 03 - 31
当石材大理石生产同行还在使用旋片真空泵的时候,我们客户已经开始使用变频螺杆真空机组了,早在几年前,深圳恒才机电带着变频油螺杆真空机组,已经进军石材行业了。根据我们对大理石制造工艺的了解,发现大理石生产对不同抽真空阶段速度有变化,对真空度有特定要求。因此我们设计了真空解决方案,选择了变频油螺杆真空泵:1、可把控真空度和速度,Atlas螺杆真空泵稳定性比较高,是获得客户认可的一款真空泵设备;2、结合我们的真空解决方案,可以很好减少大理石遗留气体,防止空腔生产,从而提升大理石品质。3、告别了旋片真空泵带来的维修频繁、换油频繁、噪音大、能耗大、油污染大等问题深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 02 - 24
最近,很多客户问了罗茨螺杆真空机组的相关资料,现在就一起来了解一下。罗茨螺杆真空机组是由康斯顿品牌的螺杆真空泵和三台罗茨真空泵组合而成的。罗茨螺杆真空机组在化工行业的应用特点是什么?1.首先,罗茨螺杆真空机组的特点就是可以在较低的入口压力下仍然保持较大的抽气速率。这对于那些需要在特定压力条件下进行操作的行业来说,比较关键。且,罗茨真空泵的稳定性和可靠性都非常高,可以保证连续、高效的工作。2.康斯顿新一代高品质螺杆真空泵更是解决了对介质和环境造成污染的问题,这无疑是一个巨大的优势。不仅如此,罗茨螺杆真空泵在化工行业的应用,还能回收排出气体,创造附加经济效益,这也是许多企业和工厂所看重的,对于重视环保环境的公司而言,这点很重要。3.罗茨螺杆真空机组的应用范围也非常广泛。它可应用于有机溶剂行业,以及其他需要真空环境的行业。罗茨螺杆真空机组都可能成为你的得力助手。那么,这种设备的原理是什么呢?其实很简单。打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空。然后,打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出。被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量。总的来说,罗茨螺杆真空机组是一种高效、环保、可靠...
2024 - 06 - 01
PET片材挤出过程中,真空机组的选择和应用对产品质量和生产效率具有至关重要的影响。罗茨水环真空机组,作为一款先进的真空设备,其在PET片材挤出工艺中的应用优势逐渐显现。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,既保证了高真空度,又具有较高的抽气效率。在PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,降低气泡的产生,从而提高产品的透明度和质量。此外,罗茨水环真空机组还具备运行稳定、噪音低、维护简便等特点,能够满足长时间、连续性的生产需求。在PET片材挤出过程中,罗茨水环真空机组的应用还需要注意一些关键问题。首先,要确保机组与挤出机的连接紧密可靠,防止气体泄漏。其次,要根据生产需求合理调整机组的真空度和抽气速率,以达到最佳的生产效果。此外,定期对机组进行维护和保养,确保机组的长期稳定运行也是至关重要的。随着PET片材挤出技术的不断发展,罗茨水环真空机组的应用将越来越广泛。未来,我们可以期待更多先进的真空机组技术涌现,为PET片材挤出工艺提供更为高效、环保的解决方案。同时,我们也应该关注如何进一步优化罗茨水环真空机组在PET片材挤出过程中的应用,提高生产效率和产品质量,满足市场的需求。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,高真空度、高抽气率。PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,减少气泡、提高产品的透明度和质量,运行稳定、噪音低、维护简便、能够满...
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2020 - 12 - 07
在真空泵的工作过程中,无需使用油或密封液作为泵空气通道中的介质。在使用时,它依靠运动和静态蜗壳的相对旋转来形成吸入腔和压缩腔。气体将被抽出。排气,连续抽吸终止,水环真空泵压缩和排气过程。因此,如何防止泄漏和解决密封问题特别重要。涡旋泵密封件主要包括轴向齿轮空间的径向密封件。  顶部密封件用于与真空泵的齿侧密封件和顶部密封件接触。在动盘齿和静盘的上表面上设有螺旋槽。特殊材料密封条嵌入螺旋槽中,并且密封条相对于螺旋线在圆周方向上滑动。因为它不包含油,所以密封件必须耐磨,耐高温并且具有一定的蠕变性能。它的材料,尺寸和位置对于泵的长期良好运行至关重要。  真空泵齿侧的密封是气室与大气之间的密封。通常认为齿侧密封是决定螺杆泵的泵送性能的主要因素之一。对于齿侧密封,通常是通过修改粗螺旋的壁,选择工作空间来完成的,以便泵在达到工作温度时具有较小的网眼间隙,从而达到密封目的保证泵的最终真空度也是必要条件。由于动辊和静辊在工作时会发生热变形,并且变形量不同,因此较小的旋转空间会随工作条件而变化。如果空间太大,则最终真空将难以实现,并且空间太小。它们之间将发生摩擦甚至咬死,从而导致温度突然升高,破坏辊筒壁,并导致咬死和泵故障,因此,确定间隙尺寸对设计人员来说是个挑战。顶部密封和侧面密封是涡旋泵性能的保证。  真空泵是一种坚固的真空泵。由于其紧凑的结构,平衡可靠的任务以及平均的流量,它被用于运输易燃易爆...
2020 - 12 - 17
不管水环真空泵是抽空气还是水,使用是应该没有泄漏的。使用前将仔细检查油封,以查看油封是否泄漏。油封是一种经常安装在水环真空泵设备中的密封件,具有良好的密封效果。如何检查真空泵油封是否泄漏?  1.真空系统中的水位指示器没有破裂或泄漏。  2.关闭冷凝器蒸汽侧的排水阀,以防止泄漏。  3.检查水环真空泵是否处于负压,低压加热器的水位是否正常以及排水门是否密封。  4.检查低压缸排气蒸汽安全阀是否完好并且没有进气。  5.检查速度控制给水泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量小且无法密封水封袋,则应将给水环真空泵的密封水中的重力回水倒入沟槽中。  6.检查连接真空排气管和气缸的区域是否漏气。当负载下降时,此处的空气泄漏将减少,而负载上升后,真空将略有增加。  7.如果真空系统阀门的水封,管道,法兰或焊缝不牢固,尤其是从膨胀箱或锅炉启动分离器到冷凝器的管道和阀门端口。  如果您认为水环真空泵中的油封可能存在泄漏,则用户可以根据上述方法仔细检查并确保检查是否泄漏。另外,准备更多的密封件,这对设备的密封效果很有帮助。
2020 - 12 - 29
离心泵产品常用的离心泵类型很多:单级离心泵,多级离心泵,双吸离心泵。  在这三种类型的产品中,只有单级离心泵具有一定程度的自吸。另外两个多级离心泵和双吸离心泵没有自吸能力。如果液位低于泵的液位,则必须使用其他引水方法。常见形式是真空引水或在泵的吸入口安装引水管。  单级离心泵不能抽水的原因  尽管单级离心泵具有一定程度的自吸能力,但仍然有必要确保在安装进口管时完全密封。  离心泵不抽水的原因可能是用户未正确安装。正确的安装和使用方法是,离心泵的吸入管应在池底部安装底阀。在启动之前,必须将整个泵体和进水管充满水。启动前必须关闭出水阀,然后在打开离心泵后慢慢打开出水阀。每个单级离心泵根据不同的型号具有不同的自吸性能。选择型号时,必须了解每个单级离心泵。  单级离心泵不能抽水的原因还可能是自吸超过了离心泵的有效自吸高度。常规单级离心泵的自吸头在3米以内。如果高度超过此高度,则必须采用自吸离心泵或带真空辅助装置的高吸力自吸泵。  使用的单级离心泵之所以不能抽水的原因,也可能是由于泵腔,叶轮,底阀,管道和其他地方的碎屑堵塞所致。  如果单级离心泵密封且有泄漏,也将导致离心泵无法抽水。  新安装的离心泵不抽水的原因也可能是电动机的方向错误。如果方向错误,则关闭电源后必须拔掉任意两根电源线。
2021 - 01 - 11
真空热处理工艺的发展,是与设备的发展分不开的,提高设备技术水平以适应工艺要求,往往又与配套件技术的发展密切相关。  在1873年发明白炽灯泡前,主要是用活塞式抽气机获得真空,但只能达到0.25乇的真空度。随后电子管制造技术要求更高的真空度,就促进了真空技术的发展,因而相继出现了各种真空泵:旋转水银泵(1905年),油封旋转泵(1907年)、分子泵(1913年)和扩散泵(1915年)。其中扩散泵的发明、使真空技术进入高真空度(10-8毛左右)的阶段。随着近代科学技术的发展,例如加速器、热核反应装置,大型真空炉等,都要求能在大容积的空间建立必要的真空度。因此,到了60年代初期,扩散泵的排气速度已达到了数万升/秒的能力。  但是,就真空热处理所需的真空度而言,一般达到1x10-2~1x10-4乇就足够了,只在特殊情况下,才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空热处理炉常用的真空泵,是由机械泵和油蒸发扩散泵所组成。  作为一种运行介质,泵油在真空泵中起着以下重要作用:  密封---防止大气进入排气阀,有相对运动零件间的间隙密封(转子与定子、旋片与转子槽等)。  润滑---相对运动件间的润滑,降低磨损。  冷却---油在泵内与油箱间循环,散热、冷却。  携裹---将磨损产生的尘粒或其它颗粒挟裹在油中,减小磨损伤害。  保护---形成保护性油膜,避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀泵内部件。 ...
2021 - 01 - 27
随着各种产品的质量要求和保证,涉及到真空的行业也越来越广泛,而真空机组的应用行业有哪些,你知道吗?深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等,为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点,真空机组以水放射真空泵为真空产生元件,并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置,与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比,在坚持原系统特性的基础上,在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲,真空机组的应用行业有哪些?真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中,不同设备应用不同真空机组,不同品牌真空机组也影响着工作效率,深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009),同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商,如需了解更多真空泵相关信息,欢迎直接来电或是在线咨询客服,将竭诚为您服务。
2021 - 03 - 10
由于真空泵在使用过程中直接与介质接触,因此水环真空泵设备中的泵体,叶轮以及前后分配器必须与腐蚀性物质接触,此外,水环真空泵本身还具有腐蚀性在某些特性上,很容易引起设备的严重腐蚀,尤其是泵体,叶轮以及前后分配器的表面在大面积上更容易发生气蚀。在真空泵具有大的汽蚀面积之后,许多公司试图通过旋转分配器的密封端面来调节轴向间隙,但这不能从根本上解决问题,更不用说通过旋转经销商的密封端面了。无限期,因为这将影响其他大小的机械配合。建议使用聚合物复合材料从根本上解决真空泵的防腐问题。使用高分子化合物作为防腐层和机械修复层,并进行相应的机械加工,以将相应的间隙调整到合适的范围。聚合物复合材料具有良好的耐腐蚀性,并且一旦完全固化,便具有出色的耐腐蚀性。该聚合物复合材料具有优异的粘合性,优异的耐腐蚀性,耐气蚀性和耐磨性。该过程简单,效果明显。安全环保,无毒无害,可回收利用等独特性能。聚合物复合材料泵的防腐蚀保护具有优异的抗磨损,抗腐蚀,抗磨损和附着力性能,可以充分满足使用要求,确保使用寿命,并为企业降低成本。
2021 - 03 - 24
螺杆真空泵具有较高的密封要求。否则,泵中将不会安装任何特殊的机械密封件。开启泵时,内部确实密封,在正常使用中没有泄漏,但是不能完全计算出密封件的数量,用户还必须做好泄漏检测工作,尤其是在停止泵时。那么在真空泵泄漏检测中应该怎么做?  1.首先,有必要找出螺杆真空泵是否可以承受正压以及可以承受多少压力,以确定是否可以使用空气泵方法和可以填充气压。  2.在发现泄漏之前,应仔细仔细清洁焊缝,以清除焊渣,油和灰尘。  3.泄漏检测处的光线应足够,水槽底部应黑暗,水应清澈,并且水中不应有蒸汽。  4.螺杆真空泵应先充气,然后放入水中;否则,如果有大的泄漏,水可能会进入要检查的容器,并且小孔可能被水堵塞。将其放入水中之前,请使用听觉方法检查是否有大的泄漏,然后在清除大的泄漏后将其放入水中。  5.刚将被测部件放入水中时,被测部件的表面可能会出现气泡。如果这些气泡被擦除或刺破,则气泡不再出现,可以判断为在最初产生气泡的地方没有泄漏。如果气泡规则且连续地出现,则在气泡产生的地方会存在泄漏。  6.螺杆真空泵应在水中保持稳定,然后在水面平静下来后进行观察。  7.真空泵的检查部位应尽可能靠近水面。  8.如果发现泄漏,请及时进行标记。如果有大的泄漏,请在修理后检查小泄漏。  经常需要使用螺杆真空泵检漏。即使真空泵没有泄漏,有时我们也很难检测到某些零件的泄漏。直到出现严重情况时才发现它,因此最好立即...
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真空泵泵轴易损怎么做

日期: 2021-04-05
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  水环真空泵的泵轴弯曲的大部分原因是由于套筒的刚度不足和叶轮的不平衡所致,这是由于运行过程中的变形而引起的。弯曲方向和轴尺寸可通过以下:方法进行测量:将轴平放在支架上,将两个支撑点调整到相同的高度,然后在轴上选择对于多个等距截面,在一个轴旋转过程中,使用百分表测量四个方向上的径向偏差并进行记录。根据这些数据,可以获得四个方向上的弯曲值,并且可以通过图形方法找到最大弯曲的方向和大小,从而可以进行矫直。水环真空泵轴的开裂和折断经常发生在局部应力集中的地方,例如键槽边缘和突然的直径变化。损坏的原因通常是由于振动引起的疲劳失效。

真空泵泵轴易损怎么做

  如果水环真空泵的轴存在疲劳裂纹,则应及时更换。如果由于客观因素不能暂时更换它而必须继续使用,则临时补救措施是修复裂缝。使用焊接的维修泵轴时,请始终注意维修和焊接区域的变化,以免发生事故。疲劳损坏的主要原因是在泵轴工作期间,泵腔内的气体在泵轴上的作用力。该力也称为径向力。除了在水环真空泵中产生径向力的主要原因外,泵轴的疲劳损伤也是由于结构不合理而不能忽略的重要原因。

  目前,水环真空泵的轴和叶轮处于动态第一级装配状态,键槽尚未用0型密封圈密封,泵液通过调整间隙,键槽进入轴孔,腐蚀轴和叶轮轴孔,大大降低了疲劳强度。在腐蚀和磨损之后,所设定的间隙增大,这不仅影响性能,而且加剧振动并导致疲劳断裂。普通水环式真空泵的轴尚未经过热处理,因此抗疲劳性较低。为避免损坏,应至少对泵轴进行淬火和回火,并在条件允许的情况下进行渗氮处理。设计时,请避免过多的横截面突变。不应将尖角用于过渡,而应使用圆角。

  表面光洁度不应低,尤其是在轴容易断裂的地方。加工时,必须对不同轴径的过渡段进行周向加工,以确保质量,并严格遵循图纸要求的尺寸和光滑度。泵轴和过渡部分的表面必须没有诸如刀痕,划痕和颠簸之类的缺陷。泵轴疲劳损坏对生产非常不利,并且是用户非常关心的问题。解决方案是根据径向力的大小检查泵轴的疲劳强度。当使用腐蚀性气体和液环时,应使用相应的耐腐蚀材料。水环真空泵的轴必须经过调质处理。在加工等过程中必须确保质量。


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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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