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2019 - 10 - 31
水环真空泵启动和停车怎么操作啊?水环真空泵维修找哪里?今天就给大家介绍一下简单的方法.当然如果在保修期之内请找售后人员.  水环真空泵启动与停车  1,水环真空泵启动    长期停车水环真空泵在开始之前,必须用手转动数周,以确认泵中没有卡字母或其他损坏。启动按照以下顺序进行(请参阅设备说明)。  1)关闭气管道路上的闸阀。  2)启动电动机(从驱动器的方向看,电动机沿顺时针方向旋转,右侧为吸气口,左侧为排气口)。水环真空泵型对于机械密封,在启动电动机之前,应先向机械密封中加水。否则,可能会产生水蚀。  3)打开供水管上的阀门6或直接用自来水向水环真空泵供水,逐渐增加供水量,直到供水达到指定要求为止。  4)当水环真空泵达到极限真空或最大压力时,打开气管道路上的阀门2,泵开始正常工作。  5)调整填料压盖,使水也滴落到外部滴中。  6)通过阀门将供水调节至水环真空泵,以在所需的技术条件下运行,以最大程度地减少功耗,达到性能指标并满足工作要求。  7)调节供水管向气水分离器供应的水量,以确保水环真空泵所要求的技术规格,并减少用水量。  8)水环真空泵在极端压力下工作时,泵可能会由于物理作用而爆炸,但功耗不会增加。可以打开气管道路上的阀门以产生少量气体。爆炸声响起并消失了。如果爆炸没有消失并且功耗增加,则表明水环真空泵发生故障,应停止维护。  2,水环真空泵停车  1...
2020 - 06 - 10
无论哪种真空泵,振动和噪声都会影响工业真空系统的应用,甚至造成环境噪声污染。因此,在中,真空泵行业,降低泵的振动和噪声对真空泵的实际使用和使用寿命非常重要。  为了更形象地分析具体事物,我们还是以滑阀真空泵为例。自滑阀泵问世以来,由它的转子惯性力引起的振动引起了人们的注意,并做了大量的工作,但到目前为止这个问题还没有完全解决。目前,普遍认为:滑阀泵的转子产生的惯性力是泵振动的主要原因。  如果真空泵的工作点严重偏离效率点,将运行:叶片,导致液体流动不均匀和回流不稳定。气穴现象是由于局部压力降低等原因造成的。振动:由机械原因引起,如转子部件不平衡:泵、电机和联轴器不中轴弯曲:齿轮齿面磨损:滑动轴承油膜振动:滚动轴承履带、钢球不圆或内外圈脱落:设计不合理或热膨胀引起管道共振过大;松动的地脚螺栓等。  从目前的研究结果来看,真空泵的主要振动来自运动系统产生的不平衡惯性力。目前,解决不平衡惯性力的方法包括以下几个方面  首先,采用动平衡方法。通常,它可以通过分析来计算,然后添加一个平衡轮并放置在滑轮外部。  增加一个配重或平衡轮来平衡和阻尼偏心轮和滑阀的惯性力。实践证明,这是一种有效的减振方法。  第二,还可以打开和关闭机械减振装置。当然,这些装置中的大部分都用于高速泵和泵中与高泵速。例如,减振是通过在泵底座上添加防振胶来实现的。  第三,调整水泵结构,根据实际需要设计基础型和卧室型水泵。...
2019 - 10 - 21
水环真空泵是具有强耐腐蚀性,高极限真空和大排量的新一代产品。它广泛用于食品,石油,化工,制药,冶金工业和电子领域。  故障1,盘车困难  盘车困难是水环真空泵经常发生的故障之一,但是盘车困难的主要原因是水环真空泵在出厂后很长时间没有进入工作状态,从而导致水环真空泵端面的出现。生锈的现象。当难以驱动时,通常可以将草酸浸入水环真空泵腔中进行浸入。如果在使用状态下难以驾驶,除了使用草酸浸泡外,还必须清洁水环真空泵的水温和水垢。  故障2,启动声音异常  长时间使用水环真空泵后,启动声音会发出异常声音。发生此类故障时,应首先检查电源电压和电线连接。如果未发现异常,则可以使用水环真空泵。打开盖子以去除杂质。如果发现水环真空泵有生锈现象,则必须添加除锈剂。此外,如果工作流体过多,则启动声音可能会异常,并且可能会排放适量的工作流体。  故障3,水环型真空泵温度过高  对于水环真空泵,如果温度太高,或者原因是工作流体入口温度太高或工作流体供应量太小,首先必须降低工作流体温度或提高工作流体温度。工作流体供应。另外,如果吸入温度过高,则水环真空泵的温度会过高,可以通过在水环真空泵的入口处冷凝可冷凝气体来解决。  故障四,电机温度过热  当电动机温度过热时,水环真空泵需要检查电动机缺相,行气管,叶轮和其他组件。另外,供水不足会导致电机过载温度过高。供水应恢复到正常范围。在正常操作下,水环真空泵发生故障的...
2019 - 11 - 01
什么是水环真空泵  一, 水环真空泵的分类  1,单级单作用水环泵  单级单作用水环泵,单级意味着仅一个叶轮,单作用意味着每当叶轮旋转时,吸入和排气均执行一次。该泵具有更高的极限真空度,但泵速和效率较低。  2,单级双作用水环泵  单级双作用水环泵,单级仅意味着一个叶轮,双作用是指每当叶轮旋转一次时,吸入和排气均进行两次。在相同的抽速下,双作用水环泵的尺寸和重量明显小于单作用水环泵。由于工作室在泵毂的两侧对称分布,因此作用在转子上的负载得到了改善。这种类型的泵具有较高的抽速和较高的效率,但极限真空度较低。  3,双级水环泵  双级水环泵主要由串联的单作用泵组成。本质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共享一个心轴。它的主要特点是在高真空和稳定的工作条件下具有大的抽速。  4,大气水环泵  大气水环泵实际上是大气喷射器水环系列的一个机组。 水环泵与大气压泵串联在泵的前面,以增加极限真空度并扩大其使用范围。  二,水环真空泵的优点  1.结构简单,制造精度不高,易于加工。易于操作且易于维护。  2,结构紧凑,泵一般直接与电动机连接,转数较高。具有较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。  3.泵腔中没有金属摩擦表面,也无需润滑泵。旋转构件与固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。  4.在泵室中的压缩气体的温度变化非常小,这可以被认为是等温压缩,所以它可以除去易燃易爆气体。  5.由于没有排气...
2019 - 11 - 06
在螺杆真空泵的许多常见故障中,最困难的问题之一是机器无法吸油。如果无法吸收油,则机器将无法工作。让我们详细讨论一下机器。螺杆真空泵设备不能吸收油的要素.  一、螺杆真空泵常见故障:  1、由于存在管道中脏物的危险,它被阻塞或泄漏。  2、吸尘的长宽比超出了允许吸尘的真空泵的阻塞范围。  3、与该组件关联,也就是说,电动机已翻转。  4、油的粘度太大。  二、螺杆真空泵清除方法:  1、预热机油并降低粘度。  2、真空泵维护:螺杆真空泵的轴功率已大大扩展。  3、改变电动机的旋转,使其与泵相同。  4、检查吸管的泄漏部分,找到问题,然后更换法兰垫片并堵塞砂孔。  5、降低泵的安装长宽比,并将其保持在所需的长宽比内。不要太高或太低。  螺杆真空泵可以去除蒸汽中的水蒸气和少量烟灰。市场被应用于制药工业,化工厂,半导体材料等的清洁水平,并且有必要解决诸如机械和设备的吸油之类的若干问题。只有在进行治疗后,才称为对症治疗。
2019 - 11 - 07
使用过真空等离子清洗机的任何人都知道产品的清洁是在真空室内进行的。那么,为什么要在真空中清洁呢?由于进口真空泵是真空等离子清洗机的重要组件之一,因此它的功能是对腔体进行真空清洁,但是您知道如何在真空等离子清洗机中对其进行控制。效果最佳吗?在此,技术人员向您介绍进口真空泵在等离子清洗机中的应用。  因为在真空状态下清洁可以达到更好的效果。将产品放置在连续抽空的密闭室中。如果产品表面有灰尘之类的小颗粒,则将其连续带走。这里的连续抽气意味着真空状态保持在相对稳定的真空状态,即等离子体清洁。机器的排出也需要在稳定的真空状态下进行。  等离子体处理和等离子体清洁技术为后续的塑料,金属,铝或玻璃涂层工艺提供了最佳前提。进口真空泵离子清洗技术可在清洗完成后立即用于后续处理。该应用程序将确保整个过程的清洁度和低成本。由于等离子体具有较高的能量,因此它可以选择性地分解材料表面化学物质或有机物。通过超精细清洁,甚至可以完全清除敏感表面上的有害物质。这为随后的涂层工艺准备了最好的先决条件。  等离子体是气体分子在特殊场合(例如真空和放电)中产生的物质。等离子清洁/刻蚀产生等离子体的设备是在密封的容器中放置两个电极以形成电磁场,并使用进口真空泵达到一定真空度。随着气体变得越来越稀,分子或离子的分子间距和自由移动距离也越来越长,并且受到磁场的影响,发生碰撞而形成等离子体,并产生辉光与此同时。等离子体在电磁场...
2019 - 11 - 11
罗茨真空泵具有对应于不同的操作模式中,选择合适的类型不同的模型,和罗茨真空泵和环境的温度在较低的温度需要升高和电气设备被运行速度较慢,所以很容易影响工作效率。  1.在使用该装置的环境温度的应小于40℃,罗茨真空泵和电机的温度上升不超过75℃。在工作1000小时之后的正常磁力泵应去就耐磨环和轴承的端面,然后将交换不应易损件,堆叠在易于运输液晶介质上应该使用后,排水泵积液进行清洁。  2.防止环境温度的影响的工作职能罗茨真空泵,真空泵坚持清洁其它物体不应被放置在真空泵,真空泵不能被堵塞绕通道,以便于所述泵体的热量,冷却,也有利于维修和操作。  3.三角型皮带张力经常注意罗茨真空泵,如果皮带过紧太紧太松应调整,从而导致复杂的泵体温过高。  4.不要让关节每个管道泄漏,橱柜应坚持预真空适当的范围内,一旦出现缺陷,导致变化的非常复杂的罗茨真空泵环境温度发生,及时修复是非常重要的。  5.坚持以冷却水清淤,否则会导致非常复杂的罗茨泵工作环境温度过高。每次驱动器启动间歇4-6次,2S内的各时间,以引发更大的扭矩限制。  降低环境温度对罗茨真空泵运行的影响,它能够更好地控制它的使用好,相应提高生产率和减少设备磨损的情况出现。使用环境温度是非常重要的。
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2021 - 10 - 20
大理石“马蜂窝”你有关注过吗?在生产工艺中,真空高压成型过程中,未进行彻底的脱气处理的大理石表面就会产生类似“马蜂窝”这样现象。因此,为成就高品质大理石,真空泵行业贡献薄力。真空泵还用于大理石的生产工艺?跟随深圳恒才机电了解下真空泵系统给大理石行业带来的变化。根据对过往的大理石生产工艺得出结论,大理石制造工艺对不同抽空阶段的速度有特定要求,而影响真空高压成型工艺的主要因素是真空度的稳定。对此,恒才机电提出真空解决方案——智能变频油润滑真空泵GHS VSD+系列。GHS-VSD+有宽泛的调节能力,因此可以契合用户的工艺需求,提升产品的质量。采用GHS VSD+系列真空泵后,真空度的稳定极大的减少了产品内遗留的气体,防止空腔的产生,大理石的品质得到提升,从而增加了客户的有效收益。深圳恒才机电设备有限公司给客户提供稳定的真空系统解决方案,专业真空设备和真空系统设计、工程、售后等服务,更多真空泵应用案例、行业真空解决方案欢迎致电我们。
2021 - 11 - 22
激光焊接专用真空泵系统选罗茨旋片真空机组,深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,为客户提供专业的真空泵设备、定制化真空泵解决方案、真空泵系统装置等服务。根据客户的需求,为解决激光焊接工艺高要求,深圳真空泵生产厂家恒才机电为此定制了真空解决方案,选用的是阿特拉斯进口罗茨真空泵及旋片真空泵,搭配密闭腔体,组成了罗茨旋片真空机组。高质量罗茨旋片真空泵系统可有效解决激光焊接设备的真空度抽不到要求、机器没有办法工作、真空泵抖动大等问题。现在,来看看采用进口品牌真空泵,阿特拉斯罗茨旋片真空机组应用于激光焊接的优势:1、高真空、低噪音、体积小巧、外形美观、结构简单、完全无油、安静环保、使用寿命长,维护容易;2、自动调整泵的转速,从而防止电机过载、过热;3、抽气时间缩短达50%、节约成本;4、运行压力低,可靠性极高等特点。;5、使用简便,气镇阀分三档调节,可选择性切换工作模式,可以在任意时间,包括在真空泵运行状态下操作。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,拥有技术团队研发生产真空泵产品,主要有真空泵(螺杆、旋片、水环、罗茨)、真空系统、真空机组等产品,广泛应用于橡塑、食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,可为客户量身定制真空应用解决方案,改善真空工艺,节能环保。
2021 - 12 - 23
在各行各业,随着自动化程度越来越高,大部分的工作都已由设备完成。真空发生器就是利用正压气源产生负压的真空元器件。压缩空气从喷嘴射入文丘里管,抽吸周围的空气产生真空。由于工作原理的差异,空压压缩机本身的能耗就较真空泵要高很多。我们以客户现场改造情况进行节能数据展示。此客户现场有约300个真空发生器,现场常开某品牌55KW空压机3台,主要供车间的气动元器件和真空发生器使用。经过前期的沟通交流,恒才机电为其设计了真空改造方案,采用一台15KW变频油螺杆GHS900VSD+进行集中真空供应,替代现场的真空发生器,将车间的全部真空发生器进行了替换。在改造完成后,客户关停了1台空压机,同时另外两台空压机有一台负载率只有约70%。也就是说,采用了一台15KW的真空泵,替换了约71KW的空压机,节能约79%,投资回报时间仅为1年半不到。此外,原来使用真空发生器的车间由于不断在排放压缩空气,车间噪音较大。使用变频油螺杆GHS900VSD+真空解决方案改造后,车间噪音下降非常明显。螺杆真空泵解决方案优势总结1.螺杆真空泵系统能耗从原来的71KW降至15KW,节能79%2.螺杆真空泵系统车间噪音极大的降低3.螺杆真空泵系统真空度更加稳定深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵。提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后...
2022 - 02 - 11
旋片真空泵是油封式机械真空泵,是真空技术的基本真空获得设备之一。  旋片真空泵可以从密闭容器中排出干燥的气体,只要有气镇装置,也可以排出一定量的凝缩性气体。 但是,含有氧,金属有腐蚀性,不适合使泵油发生化学反应,提取含有粒子状尘埃的气体。 有单级旋片真空泵和二级真空泵两种。  1.旋片真空泵结构说明  旋片真空泵是容积泵,通过旋转式在泵室连续运转,吸入气体进行压缩,最后从排气口排出。 泵主要由定子、转子、旋转板等构成,转子偏心地组装在定子室中。 转子槽有两张转子,转子之间放有转子弹簧。 定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。  转子在定子腔内旋转时,转子在弹簧张力和自离心力的协同作用下其端部与泵腔内壁紧贴而折动,定期地扩大吸气口侧的腔内容积而吸入气体,并且逐渐缩小排气口的容积,压缩吸入的气体并从排气口排出。  2.旋片真空泵特征和适用范围  特点:  真空泵的吸气口安装了金属网的粗过滤器。可以防止固体异物被吸入泵室。 油分离器内安装了高效的石油气分离效果的排气过渡器。 停止泵时,内置在吸气口的吸气阀将泵与被吸引系统隔离,防止油返回被吸引系统。 水泵用空气冷却。 XD旋片真空泵的所有泵都由串联的电动机通过弹性联轴器驱动。  适用范围:真空泵适用于密闭系统抽真空。 真空包装、真空成形、真空吸引等。  入口压力范围: 100Pa—100000 Pa,超过该范围时,真空泵的排气口会产生油...
2022 - 03 - 21
印刷专用真空泵用螺杆真空泵还是旋片泵好?印刷行业做中央真空系统有什么样的优势?深圳恒才机电设备有限公司根据印刷专用真空泵使用现状,对其进行改造,选用了阿特拉斯螺杆真空泵替换了旋片真空泵,那么现在了解下为什么选用阿特拉斯螺杆真空泵的原因。印刷专用真空泵之中央真空系统的优势:1、节能效率高,螺杆真空泵变频节能比旋片效率高40%。2、长寿命,折旧费用/保养费用更低:螺杆泵采用13公斤负荷空气压缩机机头,而在半真空状态下轻载运行,理论寿命超长达40万小时(相当于50年),20年内无需换机头。3、更稳定的真空和压力,提高生产效益和良品率。4、低燥音,更健康:车间噪音与发热量大量的减少、消灭噪音与废气污染。车间的环境得到良好的改善,工人工作的效率将会更高,减少差错和工伤事故;改善工人工作条件,延长印刷机寿命。5、机器台数很少,比小型旋片泵大大减少了设备维护人员的工作量,提高了印刷机的利用率,增加了印刷产能。6、设备运行智能监控,出现故障或者系统异常可以智能报警,及时通知到相关工程人员。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 04 - 28
在任何情况下,只要是一个长期不运作的罗茨真空泵,也需要维护。就不会对泵造成损坏。 那么罗茨真空泵需要注意哪些问题呢?1.低风高流这种情况多次罗茨真空泵发生,主要原因是从罗茨真空泵进口的过滤网积灰未及时清理。这个问题可以通过仔细清洗滤网来解决。这就要求我们在生产中定期清洗过滤网,以保证罗茨真空泵的进口顺利,这不仅有利于设备的运行,而且不会影响煅烧。2.叶轮和叶轮之间的碰撞齿轮齿移位;消除方法是调整间隙并拧紧。过高的压力操作;消除方法是检查超压原因后消除。齿面磨损会增加齿隙,导致叶轮之间的间隙发生变化。消除方法是调整间隙。 如果罗茨真空泵的冷却水长时间留在泵体内,泵体内的部件将会损坏旋片真空泵,不仅密封性能会受到影响。如果泵长时间存放在露天或温度较低的地方,泵内的冷却水会冻结和膨胀,这很可能导致泵体膨胀和破裂,从而损坏设备。 深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。
2022 - 05 - 30
旋片真空泵喷油故障如何检查,如何检查旋片真空泵喷油问题?使用中的各种旋片真空泵所需的流量扬程与其选型设计的参数相差太多。例如,使用低扬程和高扬程将导致功耗增加,或者在用水高峰时选择旋片真空泵流量,如果在用水高峰时不采取相应的变频措施,将会损失大量电能。  叶轮的切割,泵站规划设计中旋片真空泵的额定扬程值,由于情况的一些变化,往往与扬程供水厂的实际情况不一致。旋片真空泵的叶轮切割是解决旋片真空泵的类型和品种与供水对象要求多样性之间矛盾的一种选择方法。它扩大了水环真空泵旋片真空泵的应用范围,通过切割叶轮来调整旋片真空泵的工作特性,使其工作在合理的范围内。  旋片真空泵的调速,为了保证旋片真空泵在高效区的运行,保证旋片真空泵节能的措施之一。为了适应不同的工作条件,改变旋片真空泵的性能曲线,除了叶轮切割外,调速也是一种常用的方法。  减少旋片真空泵本身的机械损失,如轴封与轴承的摩擦损失,应采用注射式软密封垫片,并应注意减少旋片真空泵的传动损失。此外,科学和经济的管理将提旋片真空泵高前池的水位。注意高峰期产水与供水的平衡,及时对泵房机组进行综合分析,优化组合,使旋片真空泵机组在最佳运行点运行。  旋片真空泵大部分时间用作油封泵。在使用过程中,一些油和气体将与泵送的气体一起排出,导致喷油。因此,旋片真空泵通常在出口处装有油气分离装置。用户如何确定设备的喷油是否正常?  首先,我们需要确保旋片真...
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水环真空泵滤芯,出水量少等问题的解决

日期: 2019-10-23
来源:
浏览次数: 126

  关于维护水环真空泵滤芯,您可能不知道!

  水环真空泵的滤芯应经常检查以避免整个设备的故障,滤芯使用一段时间后,可以及时更换,不仅达到良好的过滤效果,也将是水环。真空泵的冲击将受到影响。

  通常,在打开水环真空泵之前,请检查零件是否完整和有故障,以免使用中出现问题并影响工作效率。对于过滤器滤芯,在检查完所有零件而没有任何问题之后,您可以打开水环真空泵以查看驱动电流。如果电流正常,则可以,但是如果电流减小,则可能为水环。真空泵过滤器被阻塞,这会影响电流的运行。

  水环真空泵的滤芯应定期检查。如果灰尘过多,建议更换滤芯,以确保水环真空泵设备的正常运行。

水环真空泵滤芯,出水量少等问题的解决


  教您4招,解决水环真空泵出水少

  1,水环型真空泵-使用过高的扬程

  所使用的水环真空泵使用不当,扬程太高或使用中的阀未正确调节,导致扬程的使用太高。

  根据规定的范围使用处理方法:并适当减少其使用扬程或其他合适的规格。

  2,水环真空泵-过滤器堵塞

  水环真空泵的过滤器堵塞,导致水环泵水畅通无阻,出水量减少。

  处理方法:去除水环真空泵的过滤器的内部和外部,以及潜水泵周围的水和碎屑。

  3、水环真空泵-旋转方向相反

  水环真空泵向相反方向旋转,出水量很小。

  处理方法:交换水环真空泵抽出电流和电源的任何两相的位置。

  4、水环真空泵-叶轮或泵盖磨损

  处置方法:卸下水环真空泵,修理或更换叶轮和泵盖。

水环真空泵滤芯,出水量少等问题的解决


  您知道水环真空泵对环境有何要求吗?

  1. 水环真空泵可在5至40°C的环境温度和低于1330 Pa的入口压力的条件下长时间连续工作。

  2、水环真空泵在大气压下要达到6000Pa的进口压力,连续工作时间一般不超过3分钟,以免因注射或润滑不良而对水环真空泵造成损坏。

  3.由于水环真空泵中的气体压缩是等温的,因此可以去除易燃易爆气体。由于没有排气门和摩擦表面,因此可以去除含尘气体,可冷凝气体和气水混合物。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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