2022
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一.干式螺杆真空泵原理介绍 干式螺杆真空泵的原理是利用一对螺杆,在螺杆真空泵的泵室内同步反向高速运行,由两个转子.泵体和侧盖组成几个室,实现吸排气作用的泵机械设备。这些个的气室定期地从真空泵的吸气口侧向排气口侧“移动”,气体以低速旋转的方式被输送。 即使真空泵继续运转,气体的流动也不会改变,所以能在一定程度上引出可能被气体夹住的细微粒子和蒸汽。 干式螺杆真空泵工作时,两螺杆相互间不产生直接摩擦力,泵室内不需润滑油,运行中机械平稳,发出的声音小。与等长螺杆真空泵相比,改变螺距结构的真空泵极限真空度高,有良好的间隙设计和连续压缩方式,单泵可达到0.0075torr(0.01 hpa )的极限真空。 能耗更低,变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。 在半导体行业,干式螺杆式真空泵,大幅度提高了工作环境的质量,提高了生产的产品品质和性能。 二.干式螺杆真空泵的选型特点 干式螺杆式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用茄克衫冷却水蒸发制冷转子,干式真空泵采用符合流体动力学的螺旋状冷却水茄克衫结构,提高了热交换效率,产生了更好的蒸发制冷效果,干式真空泵的泵室内部也合理维持了低温度 众所周知,溶液中的酸性络离子和碱性络离子与金属发生化学反应时,金属就会腐蚀,温度越高化学反应越快,腐蚀速度越快。一般的真空泵采用耐腐蚀材质,或者转子使用耐...