真空泵常用参数

　　1.抽气量(体积流量)(s单位：m3·min-1，m3·s-1，L·s-1)

　　当真空泵配备有标准测试罩并在指定条件下运行时，流过测试罩的气体流量与在测试罩上指定位置测得的平衡压力之比。称为真空泵的抽速。即，在一定的压力和温度下，每单位时间由真空真空泵从抽出的容器中抽出的气体量。

　　2.极限压力(最高真空)(单位：Pa/MPa/mmHg)

　　真空泵配有标准测试罩，可在指定条件下以稳定的最小压力运行，而不会引入气体。即，在真空真空泵的入口端被完全泵送之后可以实现的最低稳定压力。

　　3.起始压力

　　真空泵启动时没有损坏，并具有抽气压力

　　4.前级压力

　　真空真空泵的出口压力低于一个大气压。

　　5.最大前级压力

　　超过会损坏真空泵的前级压力。

　　6.最大工作压力

　　入口压力对应于最大泵送量。在此压力下，真空泵可以连续工作而不会变质或损坏。

　　7.抽气量(Q单位：Pa·m3·S-1; Pa·L·S-1)

　　气流通过真空泵的入口。

　　8.压缩比

　　真空泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

　　真空泵的极限压力

　　真空泵开始工作后不久，出现了最低压力P'g。真空泵继续运行。随着真空泵温度的升高，真空泵油的饱和蒸汽压升高，粘度降低，入口压力略微升高至Pg。 Pg是由真空泵获得的稳定的最小压力，也是真空泵的极限压力。

　　旋片式真空泵的极限压力与测量中使用的真空计的类型有关。当使用压力表测量时，最终压力值比使用导热真空表(热电偶或皮克计)测量的压力低约一个数量级。这是因为前者只能测量永久气体的分压，而后者只能测量加压气体的总压。中国现行法规使用压缩真

　　空表测量油封机械真空泵的极限压力。

　　真空泵中的循环油量也会影响真空泵的极限压力。随着油量的增加，密封效果越好，真空泵的极限压力与油量之间的关系发生变化，最终达到油的饱和蒸气压Po。实际上，真空泵油中含有大量的空气和水分。真空泵油进入真空泵腔后，真空泵油中吸收的空气和水分再次释放，真空泵的极限压力与油量之间的关系向上发展。通常，真空泵油应保持在规定的油位，以保持真空泵的循环油量恒定。对于两级真空泵，可以在进入高真空级之前先通过低真空级对真空泵油进行脱气，这可以减少高真空级中真空泵油的排放量，从而降低真空泵的极限压力。