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2019 - 12 - 20
2020年元旦和春节放假安排  公司全体员工:  根据国家法定假期的规定,现对2020年元旦和春节放假做如下安排:  一、 元旦放假:2020年1月1日放假一天。  二、 春节放假:2020年1月20日至2020年1月31日放假,共12天。    请各位同事提前在纷享销客请好假,发货截止到1月1〇日,1月11日至2月3曰不发货。  三、 各部门自行妥善安排好放假前工作,1月19日下班最后离开公司的同事务必切断电源,关好门窗做好安全防范工作。  四、 节日期间,全体人员需保持手机开机状态,确保联系畅通,以便及时处理相关订单及客户问题。  五、 希望全体员工在节假日外出期间,注意自身人身安全和财物安全,愉快的度过假期。  特此通知。
2019 - 10 - 21
水环真空泵怎么选  耐腐蚀水环式真空泵,集耐腐蚀材料、高真空等技术于一体,产品具有耐腐蚀性能强、极限真空度高、排气量大等特点。  对于水环真空泵来说,要保证其稳定运行,就是为了效率以及稳定性,如果在极限真空度附近及大排气压力附近运行,真空泵的效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。而且水环真空泵还容易发生汽蚀现象,导致泵体、叶轮等零件的损坏,甚至无法工作。  在有基本的参数后,选泵过程中:  如果泵所需的真空度或排气压力不高时,可优先选择单级泵;  如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者要求泵在较高真空度情况下仍有较大的抽气量、稳定的抽气性能,可选用双级泵;  如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用气体喷射器+水环泵机组作为抽真空装置,以提高设备在低压下的抽速,同时避免水环真空泵发生气蚀现象。  另外如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好,构造简单,易维护,且在较高真空情况下抗汽蚀性好;  如果还可能作为较压缩机使用,则选用双作用的泵比较合适。双作用泵的气量大,体积小,径向力能自动平衡,轴不容易产生疲劳断裂,泵的使用寿命也较长。  水环式真空泵困油了怎么办?  水环式真空泵有着众多的优良特点,不用油工作、对环境无污染等特点使其在各行各业都有着极其广泛的应用。  水环式真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决?  水环真空泵...
2019 - 11 - 04
家具的原材料是木材。如果将木材的原始生态形状用于制造家具,则可能无法保存数年,并且由于某些环境会影响木材的质量,因此家具会被虫蛀或缓慢损坏,因此家具制造商继续探索在家具的生产过程和日常使用中如何进行防腐。说到这一点,我不得不提到真空系统,真空系统可以用于家具防腐处理吗?它有什么优势? 通过以下内容引导大家理解真空系统在家具中的应用。  经过多年的研究,如果木材表面涂有防腐材料,则不会影响木材本身的质量,也不会影响外观,并且可以持久耐用。家具防腐蚀处理的关键是使用旋转叶片真空泵,该真空泵将木材放入容器中并向木材中抽吸空气。在这种状态下,涂层会渗入木材。这种效果将延续木材的寿命,并且所生产的家具将是实用的且不会变形或破裂。  哪种木制家具最防潮和防腐蚀?  桃花心木家具(古老的桃花心木家具,包括紫檀木,鸡翅木,檀香木等),松木(做立杆)(在古代造桥在河中的木桩)(少数民族楼下的木桩)(少数民族木桥的桥面,桥顶,桥柱,桥桩)。  真空系统的优点:  1.当需要真空源时,可以在很短的时间内达到所需的真空度。  2.真空源更稳定,足够。  3.一个系统可以同时用于多个工作站,而不会影响不同单元之间的操作。  4.当压力容器中存储的真空源足够时,真空泵可以停止工作/旋转以停止运行,从而延长了泵的静止时间,从而减少了泵,零件和油的损失,降低了运行成本和维护,并减少工作场所的噪音。  5,易于操作...
2019 - 11 - 06
来买泵的很多厂家当前使用的都是水环真空泵,也咨询了我们很多关于水环真空泵的问题.今天我们就给大家介绍一下水环真空泵使用的注意事项.  1、 水环真空泵必须安装在水平基础上,管路连接时要避免产生过大压力:真空泵排气管路在垂直方向的高度尽量减小,排气排水管路垂直高度绝对不能超过0.5米!!!  2、 真空泵安装后注意调速联轴器的同心度,防止因同心度未高速造成轴承或联轴器受损。  3、 水环真空泵要避免满水频繁启动。  4、 在真空泵的安装阶段要对泵口加以保护,避免焊渣或其他杂物进入泵内(真空泵安装前,要对管路进行吹扫,);在泵最初运行的100小时内,应在吸气口加开车过滤网。与吸排气口连接的管路通径要与泵口通径相当。  5、 水环真空泵工作液供水压力不宜过大,应高出排气压力0.1~0.2Kg为宜(压缩机除外),压力过高会导致叶轮损坏和电机过载。工作液尽量使用软化水,若工作液硬度过高,必须定期对泵进行除垢,否则会导致泵损坏。  6、 真空泵启动前要先打开供水管路以湿润轴封;点动电机,确定电机转向正确后再启动真空泵。  7、 水环真空泵在使用时要注意所抽气体和使用的工作液是否与泵材质相符;工作液应为清洁软化水,不能含有固体颗粒。  8、 在霜冻季节或寒冷地区使用时,停车后应将泵内工作液放空。  9、 在使用真空度达到-0.092MPa时,应打开真空泵上的气蚀阀门保护装置。  10、 水环真空...
2019 - 11 - 08
螺杆真空使用期间,泵会受到漏气的影响。许多用户认为这是设备的质量问题,已被新设备取代。但是,漏气的原因不仅是质量问题。以下是关于螺杆真空泵泄漏问题的分享原因和处理方法。  01.前后侧盖不同心  也就是说,螺杆真空泵的前后侧盖的轴向度差异很大,并且后侧盖与轴承偏斜度相同。  02. 液环升温  液环温度升高且饱和蒸汽压升高,这降低了螺杆真空泵的真空度,但这对排气压力没有影响。  03.密封不严  拧紧螺杆真空泵的所有连接螺栓和填料函,紧紧包裹管道和仪器与其他零件连接的地方,或更换垫片和填料。对于螺杆真空泵漏气,也可以使用油灰作为临时补救措施。  04.轴承偏斜  1.这种现象导致叶轮倾斜安装在螺杆真空泵的泵体内。对于单作用泵,轴向间隙不均匀。当叶轮旋转时,不可避免地会与侧盖产生一部分摩擦,刮伤侧盖,并且叶轮的端面会增加轴向间隙  2.当压缩室气体通过增大的间隙时,大量泄漏到吸入室中,这降低了螺杆真空泵的真空或排气压力。  3.此时,必须卸下螺杆真空泵的轴承进行维修,然后正确安装。  螺杆真空泵是一种泵装置,在泵壳体中以同步高速反向旋转执行吸气和排气功能。在使用过程中发生漏气时,需要及时处理螺杆真空泵。好好照顾它
2019 - 11 - 11
当真空泵连接到主电源开关时,其主电源指示灯点亮,因此可以将控制模式置于手动或自动位置。按下控制电源按钮,指示灯点亮(应将真空泵、增压泵和紧急停机按钮复位,否则控制电源按钮将无法打开。如果电源相序错误为黄色,则需要进行相变。打开真空泵断路器,按真空泵控制按钮,真空泵指示灯亮,真空泵正在运行。  真空泵将根据实际情况有效调整增压泵的延时,打开增压泵断路器,按下增压泵控制按钮,增压泵指示灯亮,增压泵正在运行。油井中有一个油位开关。当油井进入真空泵油或变压器油时,控制面板上的蜂鸣器将自动发出警报,并且系统将关闭。  真空泵使用注意事项  1、打开包装,用手指在泵和电动机之间的联轴器上按箭头方向旋转。  2、打开真空泵油箱上的燃油塞,将准备好的真空泵油倒入泵中。油位应在油标可见部分的一半至三分之二之间。如果机油油位过高,将导致喷油。如果它太低,则会影响真空度。它还会增加温度并增加噪音,这会影响泵的性能。泵油可以从1号真空泵油中选择。  3、打开进气口和排气口上的黑色橡胶盖,从进气口中加入少量(一茶匙)真空泵油以方便启动,连接真空泵和真空系统(真空泵入口必须(低于泵的出口)。连接到真空泵的管道不太长。连接管的直径不应小于真空泵入口的内径。否则会影响抽气速度,但必须小于进气口的外径,否则会影响密封程度。泵送的体积不应太大,泵的泵送速度通常为15-20倍(以秒为单位)。在活动关节上涂抹真空油脂以增...
2019 - 11 - 13
1、确认真空泵安装环境条件  包括环境温度、相对湿度、大气压力、空气腐蚀性、危险区域等级、防尘防水要求。  2、确认操作条件  指液体吸入侧液面压力(绝对)、排出侧液面压力、间歇或连续工作、位置固定或移动、安装维修方便性。  3、确认介质性质  包括介质名称、温度、密度、粘度、饱和蒸汽压力、固体颗粒直径和含量、气体的含量、腐蚀性、挥发性、燃爆性、毒性。  4、选定真空泵过流部件的材质  根据真空泵送介质的物理化学性质主要考虑以下几个方面:  (1) 介质的腐蚀性  真空泵过流部件的耐腐蚀性能满足使用要求即可,不可追求过高的耐腐蚀性能,否则,将大幅度增加真空泵的购置成本。  (2) 介质是否含固体颗粒  因为固体颗粒的硬度和含量直接关系到真空泵过流部件的耐用性。  (3) 介质的温度(压力)  介质的温度(压力)越高,真空泵过流部件的材质强度应越高。一般的,温度  (4) 有卫生级或禁止污染要求的介质  选择相应的过流部件材质。另外,真空泵的结构应是便于清洗的。  5、选定真空泵性能参数  (1)计算法  A. 流量:它直接关系到整个装置的生产能力和输送能力。如工艺设计中能算出真空泵正常、最小、最大的三种流量。选择真空泵时,以最大流量为依据,兼顾正常流量,在没有最大流量,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。  B. 扬程:一般要用放大5%-10%余量后的扬程来选型。特别注意:离心...
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2020 - 12 - 07
在真空泵的工作过程中,无需使用油或密封液作为泵空气通道中的介质。在使用时,它依靠运动和静态蜗壳的相对旋转来形成吸入腔和压缩腔。气体将被抽出。排气,连续抽吸终止,水环真空泵压缩和排气过程。因此,如何防止泄漏和解决密封问题特别重要。涡旋泵密封件主要包括轴向齿轮空间的径向密封件。  顶部密封件用于与真空泵的齿侧密封件和顶部密封件接触。在动盘齿和静盘的上表面上设有螺旋槽。特殊材料密封条嵌入螺旋槽中,并且密封条相对于螺旋线在圆周方向上滑动。因为它不包含油,所以密封件必须耐磨,耐高温并且具有一定的蠕变性能。它的材料,尺寸和位置对于泵的长期良好运行至关重要。  真空泵齿侧的密封是气室与大气之间的密封。通常认为齿侧密封是决定螺杆泵的泵送性能的主要因素之一。对于齿侧密封,通常是通过修改粗螺旋的壁,选择工作空间来完成的,以便泵在达到工作温度时具有较小的网眼间隙,从而达到密封目的保证泵的最终真空度也是必要条件。由于动辊和静辊在工作时会发生热变形,并且变形量不同,因此较小的旋转空间会随工作条件而变化。如果空间太大,则最终真空将难以实现,并且空间太小。它们之间将发生摩擦甚至咬死,从而导致温度突然升高,破坏辊筒壁,并导致咬死和泵故障,因此,确定间隙尺寸对设计人员来说是个挑战。顶部密封和侧面密封是涡旋泵性能的保证。  真空泵是一种坚固的真空泵。由于其紧凑的结构,平衡可靠的任务以及平均的流量,它被用于运输易燃易爆...
2020 - 12 - 17
不管水环真空泵是抽空气还是水,使用是应该没有泄漏的。使用前将仔细检查油封,以查看油封是否泄漏。油封是一种经常安装在水环真空泵设备中的密封件,具有良好的密封效果。如何检查真空泵油封是否泄漏?  1.真空系统中的水位指示器没有破裂或泄漏。  2.关闭冷凝器蒸汽侧的排水阀,以防止泄漏。  3.检查水环真空泵是否处于负压,低压加热器的水位是否正常以及排水门是否密封。  4.检查低压缸排气蒸汽安全阀是否完好并且没有进气。  5.检查速度控制给水泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量小且无法密封水封袋,则应将给水环真空泵的密封水中的重力回水倒入沟槽中。  6.检查连接真空排气管和气缸的区域是否漏气。当负载下降时,此处的空气泄漏将减少,而负载上升后,真空将略有增加。  7.如果真空系统阀门的水封,管道,法兰或焊缝不牢固,尤其是从膨胀箱或锅炉启动分离器到冷凝器的管道和阀门端口。  如果您认为水环真空泵中的油封可能存在泄漏,则用户可以根据上述方法仔细检查并确保检查是否泄漏。另外,准备更多的密封件,这对设备的密封效果很有帮助。
2020 - 12 - 29
离心泵产品常用的离心泵类型很多:单级离心泵,多级离心泵,双吸离心泵。  在这三种类型的产品中,只有单级离心泵具有一定程度的自吸。另外两个多级离心泵和双吸离心泵没有自吸能力。如果液位低于泵的液位,则必须使用其他引水方法。常见形式是真空引水或在泵的吸入口安装引水管。  单级离心泵不能抽水的原因  尽管单级离心泵具有一定程度的自吸能力,但仍然有必要确保在安装进口管时完全密封。  离心泵不抽水的原因可能是用户未正确安装。正确的安装和使用方法是,离心泵的吸入管应在池底部安装底阀。在启动之前,必须将整个泵体和进水管充满水。启动前必须关闭出水阀,然后在打开离心泵后慢慢打开出水阀。每个单级离心泵根据不同的型号具有不同的自吸性能。选择型号时,必须了解每个单级离心泵。  单级离心泵不能抽水的原因还可能是自吸超过了离心泵的有效自吸高度。常规单级离心泵的自吸头在3米以内。如果高度超过此高度,则必须采用自吸离心泵或带真空辅助装置的高吸力自吸泵。  使用的单级离心泵之所以不能抽水的原因,也可能是由于泵腔,叶轮,底阀,管道和其他地方的碎屑堵塞所致。  如果单级离心泵密封且有泄漏,也将导致离心泵无法抽水。  新安装的离心泵不抽水的原因也可能是电动机的方向错误。如果方向错误,则关闭电源后必须拔掉任意两根电源线。
2021 - 01 - 11
真空热处理工艺的发展,是与设备的发展分不开的,提高设备技术水平以适应工艺要求,往往又与配套件技术的发展密切相关。  在1873年发明白炽灯泡前,主要是用活塞式抽气机获得真空,但只能达到0.25乇的真空度。随后电子管制造技术要求更高的真空度,就促进了真空技术的发展,因而相继出现了各种真空泵:旋转水银泵(1905年),油封旋转泵(1907年)、分子泵(1913年)和扩散泵(1915年)。其中扩散泵的发明、使真空技术进入高真空度(10-8毛左右)的阶段。随着近代科学技术的发展,例如加速器、热核反应装置,大型真空炉等,都要求能在大容积的空间建立必要的真空度。因此,到了60年代初期,扩散泵的排气速度已达到了数万升/秒的能力。  但是,就真空热处理所需的真空度而言,一般达到1x10-2~1x10-4乇就足够了,只在特殊情况下,才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空热处理炉常用的真空泵,是由机械泵和油蒸发扩散泵所组成。  作为一种运行介质,泵油在真空泵中起着以下重要作用:  密封---防止大气进入排气阀,有相对运动零件间的间隙密封(转子与定子、旋片与转子槽等)。  润滑---相对运动件间的润滑,降低磨损。  冷却---油在泵内与油箱间循环,散热、冷却。  携裹---将磨损产生的尘粒或其它颗粒挟裹在油中,减小磨损伤害。  保护---形成保护性油膜,避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀泵内部件。 ...
2021 - 01 - 27
随着各种产品的质量要求和保证,涉及到真空的行业也越来越广泛,而真空机组的应用行业有哪些,你知道吗?深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等,为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点,真空机组以水放射真空泵为真空产生元件,并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置,与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比,在坚持原系统特性的基础上,在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲,真空机组的应用行业有哪些?真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中,不同设备应用不同真空机组,不同品牌真空机组也影响着工作效率,深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009),同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商,如需了解更多真空泵相关信息,欢迎直接来电或是在线咨询客服,将竭诚为您服务。
2021 - 03 - 10
由于真空泵在使用过程中直接与介质接触,因此水环真空泵设备中的泵体,叶轮以及前后分配器必须与腐蚀性物质接触,此外,水环真空泵本身还具有腐蚀性在某些特性上,很容易引起设备的严重腐蚀,尤其是泵体,叶轮以及前后分配器的表面在大面积上更容易发生气蚀。在真空泵具有大的汽蚀面积之后,许多公司试图通过旋转分配器的密封端面来调节轴向间隙,但这不能从根本上解决问题,更不用说通过旋转经销商的密封端面了。无限期,因为这将影响其他大小的机械配合。建议使用聚合物复合材料从根本上解决真空泵的防腐问题。使用高分子化合物作为防腐层和机械修复层,并进行相应的机械加工,以将相应的间隙调整到合适的范围。聚合物复合材料具有良好的耐腐蚀性,并且一旦完全固化,便具有出色的耐腐蚀性。该聚合物复合材料具有优异的粘合性,优异的耐腐蚀性,耐气蚀性和耐磨性。该过程简单,效果明显。安全环保,无毒无害,可回收利用等独特性能。聚合物复合材料泵的防腐蚀保护具有优异的抗磨损,抗腐蚀,抗磨损和附着力性能,可以充分满足使用要求,确保使用寿命,并为企业降低成本。
2021 - 03 - 24
螺杆真空泵具有较高的密封要求。否则,泵中将不会安装任何特殊的机械密封件。开启泵时,内部确实密封,在正常使用中没有泄漏,但是不能完全计算出密封件的数量,用户还必须做好泄漏检测工作,尤其是在停止泵时。那么在真空泵泄漏检测中应该怎么做?  1.首先,有必要找出螺杆真空泵是否可以承受正压以及可以承受多少压力,以确定是否可以使用空气泵方法和可以填充气压。  2.在发现泄漏之前,应仔细仔细清洁焊缝,以清除焊渣,油和灰尘。  3.泄漏检测处的光线应足够,水槽底部应黑暗,水应清澈,并且水中不应有蒸汽。  4.螺杆真空泵应先充气,然后放入水中;否则,如果有大的泄漏,水可能会进入要检查的容器,并且小孔可能被水堵塞。将其放入水中之前,请使用听觉方法检查是否有大的泄漏,然后在清除大的泄漏后将其放入水中。  5.刚将被测部件放入水中时,被测部件的表面可能会出现气泡。如果这些气泡被擦除或刺破,则气泡不再出现,可以判断为在最初产生气泡的地方没有泄漏。如果气泡规则且连续地出现,则在气泡产生的地方会存在泄漏。  6.螺杆真空泵应在水中保持稳定,然后在水面平静下来后进行观察。  7.真空泵的检查部位应尽可能靠近水面。  8.如果发现泄漏,请及时进行标记。如果有大的泄漏,请在修理后检查小泄漏。  经常需要使用螺杆真空泵检漏。即使真空泵没有泄漏,有时我们也很难检测到某些零件的泄漏。直到出现严重情况时才发现它,因此最好立即...
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发动机生产中的旋片真空泵

日期: 2019-10-02
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  焚烧炉中的沉积物对发动机的影响也非常严重,但它并不是独立的评估目标,通常与IVD一起使用。与喷嘴和进气阀沉积物的差异相反,使用清洁剂时,仅在焚化室中增加了沉积物,然后减少了焚化室的空间。因此,焚化炉沉积物的增量规模只需控制一次。此处提供了旋片真空泵应用于焚化炉腔室的真空解决方案。

选片真空泵

  旋片真空泵用作前级泵,以保持真空泵的前级压力低于其临界前级压力。它与抽水时间和经济效果有关,因此其作用仍然很大。因此,选择旋片真空泵时需要注意哪些原则?

  真空机组也与前级泵密不可分。如果没有前级泵,真空机组将无法启动,因为它需要很大的压力才能启动,但是启动时电机的功率不能为以,否则会伤害真空泵,环境使用的泵不同,需要配置的前级泵也不同。 水环真空泵用于有大量可冷凝气体的状态,腐蚀性气体也需要使用水环真空泵,而以则允许水降低腐蚀性气体的浓度,而片真空泵也是前级泵。在第一类中,还有其他真空泵,例如往复式等。您需要的泵的速度与真空度不同。使用的前置放大器泵有所不同。

  焚烧炉腔的绝热准备过程中,在引爆器外壳的一端有一个Φ200mm?Φ300mm的小开口,另一端是椭圆形的,因此不能通过使用来完成焚烧炉的绝缘。常规补丁。旋片真空泵绝热成型。引发剂的壳体中的绝缘层剥离的主要原因是气体残留在壳体与绝缘层之间以及绝缘层与绝缘层之间。将带有内部绝缘层组件的引发剂外壳放置在真空环境中,然后执行一系列技巧操作,以使绝缘层预成型坯处于真空状态,真空度高达50 Pa,然后进行绝缘处理。在安全气囊的保压条件下进行。将该层压制并热结合至引发剂壳体。真空绝热固化后,经超声波检查的引发剂外壳表明没有剥离现象。旋片真空泵绝热成型已成功应用于某些类型,从而提高了这种类型固体火箭发射器内部绝缘层的功率和质量。

  固体推进剂在燃烧室内被点燃和燃烧,化学能转化为热能,产生高温高压燃烧产物。燃烧产物流经喷嘴,在那里膨胀和加速,热能转化为动能。 以从喷嘴高速排出以产生推力。从上面可以看出,自旋片真空泵在引发器焚化炉中的应用在消除发动机喷嘴和进气门沉积物方面确实具有良好的效果。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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