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2020 - 05 - 12
今天5月12日,春余夏首、夏花绚烂的日子,“深圳恒才机电设备有限公司”举行了隆重的乔迁庆典;风雨兼程,励精图治,不断创新,随着进一步扩大,公司再次踏上了新的台阶。  丨启航的号角已响起 丨  上午7点30分,各部门员工早早就来到了公司,现场热火朝天有说有笑,会场布置井然有序,经过大伙的一番努力,公司正式入驻新办公楼。会客区、会议厅、休息区欢声笑语、人声鼎沸、场面非常热烈。  公司董事长陈总致词,对公司所有同事的辛勤付出表示感谢,并展望了公司乔迁新址之后的未来;各部门依次分别向陈总表示祝贺,大家热情交流,一同见证了这美好的时刻。  迁至新办公区,是深圳恒才公司战略性发展的一次飞跃,随着公司全面布局的完善,今年将进入一个更高速的发展时期。办公区  深圳恒才的愿景是成为受人尊敬的流体服务型企业,让客户使用到最合适的流体系统。  看今朝,我们踌躇满志,展未来,我们豪情满怀;在恒才公司乔迁之际,非常感谢长期以来对我们给予支持和肯定的广大客户及与我们长期合作的伙伴,愿我们共同进步,共同发展,共赴美好明天!
2019 - 10 - 22
水环真空泵是一种应用十分广泛的真空泵,很多人想了解水环真空泵的原理和效率的问题,今天就给大家介绍一下.  水环真空泵的原理  水环真空泵主要用于粗抽和大抽的过程,并已广泛用于化学,石油和轻工业领域。  水环真空泵具有结构简单,易于制造,运行可靠,使用方便,经久耐用等优点,可以抽出腐蚀性气体,含尘气体和气水混合物。待泵送气体的温度优选为20℃至40℃。  其中,水环真空泵是效率更高的双作用水环真空泵。工作气体温度在-10°C到+40°C之间。水环真空泵广泛用于各种工业领域,用于真空干燥和真空脱水。它特别适用于需要清洁和无油的真空泵工艺的真空系统,该工艺需要大量的水蒸气溢出和洗煤厂和选矿厂的真空过滤。  除了水环真空泵外,油环真空泵也是液环真空泵的一种。它与水环真空泵之一不同之处在于,工作流体被变压器油代替。除了密封以外,泵本身的结构与水环真空泵没有太大区别。为了使油环真空泵在适当的温度下工作,油环真空泵本身具有一个冷却油箱(也称为油分离器)。  水环真空泵是大中型机组中广泛使用的冷凝器抽吸装置。其功能是去除冷凝器中的非冷凝气体,并确保并保持冷凝器真空。 水环真空泵的工作流体的入口温度对真空度有很大影响。降低真空泵工作流体的温度可以有效地提高水环真空泵的性能。  当工作水流量,吸入口力,吸入口温度和转速恒定且真空泵的工作水入口温度高于设计水温时,真空泵的吸入能力将相...
2019 - 11 - 05
如果您想更好地使用产品,则需要对其有一个全面的了解。 水环真空泵是相同的。接下来,我将介绍如何检查水环真空泵的泄漏。您可以仔细阅读了解它,并且使用该产品会有所帮助。  1.检查冷凝器的蒸汽出口是否关闭且没有泄漏。  2.检查低压缸排气装置的安全门是否完整并且没有吸气。  3.检查水环真空泵的水位计是否损坏或泄漏。  4.检查水环真空泵是否破坏了门并且没有泄漏。  5.检查低压加热器在负压下的水位是否正常以及地漏门是否紧固。  6.检查抽气管与钢瓶之间的真空连接是否泄漏。在此,当减少负荷时漏气减少,并且在增加负荷后真空度稍微升高。  7.检查速度控制水环真空泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量较小,则不能密封水封袋,应将水泵密封水返回到沟槽。  8.检查水环真空泵系统阀的水封,管,法兰或焊接接头是否紧固,尤其是膨胀水箱或锅炉起动器分离器与冷凝器管和阀端口的连接是否紧密。  如果您想更好地使用产品,则需要对其有一个全面的了解。 水环真空泵是相同的。接下来,我们将介绍水环真空泵的间隙调节知识。您可以仔细阅读以了解它,并且使用该产品会有所帮助。  水环真空泵的调节间隙没有原理。所谓的间隙是转子与泵壁之间的距离。该间隙是为了确保转子的旋转不会摩擦前壁和后壁。旧泵磨损,无法根据手册的大小进行调整。调整间隙后,通过调整轴的位置使转子运动,然后通过轴承和齿轮的定位使转子无摩擦地工作。  水环真空...
2019 - 11 - 06
随着现代工业的不断发展,各种真空泵装置的使用频率变得越来越频繁。 水环真空泵是使用最广泛的泵送设备之一。但是,它在使用过程中常常引起返油,这也给企业的生产带来一些麻烦。那么,有什么方法可以防止水环真空泵设备返油?  1、轴封河道的静态密封件应牢固并及时更换。  2、将燃油箱和排气阀移至一侧以减少油位并减少油量。  3、 水环真空泵基座的平面应平坦,阀板应具有弹性。  4、将水环真空泵排气阀附近的油与其他油分开。油位仅略高于隔墙。  5、在油孔中添加一根管,以便油位仅略高于进油口。  6、设置水环真空泵的止返阀机构,使其在停止时自动关闭进油口。  7、设置油泵和辅助机构,以在泵停止时切断油路。  8、 水环泵端口配有充气阀。  以上是防止水环真空泵变油的方法。在实际应用中,返油现象会严重影响泵设备的使用寿命,增加故障率和维护成本,因此必须做好及时的预防。行。另外,在长时间使用或使用不当,维护不当的情况下,也容易出现返油现象,因此这两个方面也应尽力做好。
2019 - 11 - 08
经常有客户反应:真空泵在运行过程中常常出现自动跳闸的问题,遇到这种情况怎么处理呢?螺杆真空泵启动困难的6大原因及排除方法你知道吗?  真空泵跳闸原因主要有以下几点  1.电机负载。真空泵电机负载,此时电流过高,如超过电控箱设置的电流时,真空泵会自行跳闸、脱闸,此时为真空泵的正常现象,可跳高电流保护上限来解决跳闸现象。  2.真空泵长时间停用,如果停用时间过长电机负载会导致暂时性电流过高,此时封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可。  3.真空泵电机接在两相电源上,未启动三相电源,可接通真空泵三相电源即可,如果运转十小时左右还出现跳闸、脱闸等情况,还是调整电流上限即可。  4.真空泵排气口吸入异物或杂质,电机负载,可拆开真空泵检查内部是否有故障等。  大神告诉你螺杆真空泵启动困难的6大原因及排除方法  1、螺杆真空泵启动前泵内未充满介质或泵较长时间未启动运转。  排除方法:螺杆真空泵吸入室内灌满介质,并转动泵轴。  2、螺杆真空泵泵内介质凝固  排除方法:加热螺杆真空泵,降低介质粘度。  3、螺杆真空泵的橡胶定子与转子配合过盈过大  排除方法:更换螺杆真空泵过盈适当的零件。  4、螺杆真空泵的轴封填料压得过紧  排除方法:调整螺杆真空泵填料压盖松紧。  5、螺杆真空泵输入电压过低  排除方法:调整螺杆真空泵电压正常后启动。  6、螺杆真空泵启动力矩过大  排除方法:检查并调整螺杆真空泵的...
2019 - 11 - 11
水环真空泵的工作原理:      水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空受制于结构和工作环境,一般为 3~50 kPa 。水环真空泵主要由叶轮、泵体、圆盘(设有吸气口、排气口)等几部分组成。叶轮偏心安装在泵体中,当叶轮旋转时,水被抛向泵体并形成与泵体同心的水环,水环和叶轮形成一个月牙形的空间。随着叶轮的旋转,叶轮轮毂、叶片和水环形成的空腔由小变大,通过吸气口吸气,再由大变小,通过排气口排气.  水环真空泵具有结构简单、使用维修方便、气体等温压缩、适宜抽吸和压缩易燃易爆气体、可抽除含尘、含水气体等特点。  水环真空泵在化工、煤矿、制药、轻工、造纸、冶金、石化、矿山、发电、食品以及废气的回收利用等行业中已成为最广泛应用的真空获得设备,特别是在航空、航天工业模拟试验中,运行安全、稳定。目前,单台水环真空泵机组的气量达到70000 m3/h 以上,功率达到1700 kW 以上。  近年来,随着国家对真空获得设备需求的发展,水环真空泵正向大型化、成套化、高真空、大抽气量方向发展。水环真空泵已发展成为成熟的、各行业发展所必需的通用设备,但目前有关水环真空泵(包括水环压缩机)实际能效值的研究很少。为了能不断地促进我国水环真空泵设备的技术进步,更好地贯彻落实国家节能减排的重大决策,推广高效节能的真空泵产品。
2019 - 11 - 13
水环真空泵(称为水环泵)是一种粗糙的真空泵,可以实现2000〜4000Pa的极限真空度和270〜670Pa的串联大气压注射器。 水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,这是一种低压压缩机,压力范围为1至2 × 10 Pa表压。 水环泵最初用作自吸泵,并逐渐用于许多工业部门,例如石油,化工,机械,采矿,轻工,医药和食品。  水环真空泵由叶轮,泵体,吸排气板,形成在泵体内壁上的水水环,吸气口,排气口和辅助排气阀组成。  常见故障及排除方法  1、真空泵不够  可能的原因:电动机电源不足导致速度不足;供水不足;叶轮和分配板之间的间隙过大;机械密封损坏导致漏水;叶轮过度磨损;  处理:检查电源电压是否在电动机的额定电压范围内;增加供水量(必须控制在正确的范围内,否则电动机将因热量而过载);调整叶轮和分配板之间的间隙(通常为0.15-0.20 Mm);更换机械密封;更换叶轮;查看水口行。  2、无法启动或启动噪音  可能的原因:电机电源电压不足;电机异相;泵长时间使用不生锈。泵吸碎屑;叶轮拖动分配板。  处理:检查电源电压是否过低;检查电机接线是否牢固;如果长时间不使用泵,可以添加除锈剂或打开泵盖以去除锈;打开泵盖以清除碎屑;调整叶轮到配电盘的距离。  3、电机过热  可能的原因:电动机过载,电动机过载;电机异相;通风孔被堵塞;叶轮拖动其他组件。  处理:将供水量减少到正常范围(参见...
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2022 - 12 - 05
罗茨水环真空机组由多台康斯顿罗茨泵及司倍克水环泵组成,具有抽速大、真空度高等优势,适合PCB真空压合机应用。罗茨水环真空机组在PCB压合工艺的应用特点:1、康斯顿罗茨真空泵特点是启动快,耗功少,运转维护费用低;2、罗茨真空泵抽速大、效率高,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体;3、以水做密封,可以循环利用成本低,对环境无污染;4、罗茨真空泵对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感;5、司倍克水环真空泵叶轮偏心安装,与泵腔无接触无磨损;6、维修周期长5年以上,无需专人维护,几乎无易损件;深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2023 - 03 - 06
胶粘剂行业的无油干式螺杆真空机组应用于胶粘剂行业的无油干式螺杆真空泵机组工作原理如下:其主要功能是对胶粘剂行业生产中的粉尘和颗粒物进行分离,把气体中夹带的微粉和高分子挥发物等有害物质进行清洗和冷凝处理;再把油气分子和未过滤干净的粉尘、高分子物质等进一步捕集和过滤,过滤后的气体再由真空泵抽出。无油干式螺杆真空机组使用优势:极限压力小于-0.1MPa,最大设计流量280立方米每小时,额定电机功率7.5KW,关键点在于螺杆真空机组生产过程中的垃圾可在线清理;大通道,滤芯的更换时间长,更换方便、快捷;无油干式螺杆真空泵机组节能、环保,生产效率高。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2024 - 01 - 26
关于司倍克水环真空泵的设备,今天来讲讲。这款水环真空泵来自德国司倍克,深圳恒才机电是其华南的司倍克代理商,这款水环泵的结构设计独具匠心,与传统水环真空泵不同的是,采用了上偏心结构,这不仅提高了工作效率,还大大降低了能耗。司倍克上偏心水环真空泵的节能减耗功能是比较可观的。相较于传统真空泵,司倍克水环真空泵在运行时能节省高达30%的能源,且产生的噪音极低,很大的改善了工作环境,助力环保节能。那么德国司倍克水环真空泵工作原理是什么呢?司倍克水环真空泵主要是利用水作为工作介质,在泵体内形成一个封闭的水环,随着泵的运转,水环内的水不断进行循环,从而产生负压吸力。这样一来,它就能轻松地把气体抽走啦!而且,因为水具有很好的冷却效果,所以泵在运行过程中温度控制得非常好,不会出现高温导致性能下降的问题。上偏心的真空泵的应用范围可广了。它适用于各种需要抽气和真空处理的行业,比如化工、制药、食品加工等等。而且,因为它的低噪音设计,特别适合用在需要安静环境的场所,比如医院、实验室等等。说到这里,你是不是已经对司倍克水环真空泵动心了呢?如果你正在为高能耗、大噪音而烦恼,那么这款真空泵绝对是你的不二之选!深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械、石材等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统...
2024 - 04 - 15
挤出真空设备特点是什么?挤出真空泵设备是一种广泛应用于各种工业领域的设备,具有许多独特的特点和优势。本文将从挤出真空泵设备的工作原理、结构特点、应用领域以及维护保养等方面进行详细介绍,以帮助读者更好地了解和应用该设备。挤出真空设备特点是什么?一、工作原理挤出真空泵设备的工作原理主要是利用机械力将气体排出,从而形成真空。具体而言,该设备通过旋转的叶轮或活塞等机构,将气体从进气口吸入,经过压缩和排出,最终达到降低容器内部压力的目的。挤出真空泵设备具有抽速快、真空度高等特点,能够满足不同工业领域对真空度的要求。二、结构特点1. 紧凑设计:挤出真空泵设备通常采用紧凑的设计结构,使得设备体积小、重量轻,方便安装和移动。同时,紧凑的设计还有助于减少设备的能耗和噪音,提高设备的运行效率。2. 耐用性强:挤出真空泵设备采用优质的材料和先进的生产工艺,具有较强的耐用性和稳定性。设备在长时间运行过程中,能够保持良好的性能和稳定性,降低维护成本。3. 易于维护:挤出真空泵设备的结构简单明了,易于维护和保养。设备的各个部件都可以方便地进行拆卸和更换,使得维护过程更加简单快捷。三、应用领域挤出真空泵设备广泛应用于各种工业领域,如化工、制药、食品、冶金、电子等。在这些领域中,挤出真空泵设备主要用于实现真空干燥、真空蒸馏、真空浸渍、真空镀膜等工艺过程。同时,该设备还可以用于真空包装、真空吸附等作业,提高生产效率...
2024 - 07 - 09
在化工生产过程中,反应釜作为关键设备之一,其运行效率和稳定性直接影响到整个生产线的产量和产品质量。而在反应釜的众多辅助设备中,真空泵扮演着至关重要的角色。本文将详细介绍化工反应釜用的罗茨三螺杆真空机组,探讨其工作原理、应用优势以及在实际生产中的具体应用。一、罗茨三螺杆真空机组的工作原理罗茨三螺杆真空机组由罗茨泵和三螺杆泵组成,两者通过串联方式连接,实现高效、稳定的真空抽取。罗茨泵主要负责粗真空的抽取,而三螺杆泵则负责精真空的抽取。在工作过程中,罗茨泵利用两个相互啮合的转子在泵腔内旋转,将气体从进气口吸入,并在转子间形成气室,通过转子旋转将气体压缩并排出至排气口。随后,经过初步压缩的气体进入三螺杆泵,通过三根相互啮合的螺杆在泵腔内旋转,进一步压缩气体,最终实现高真空的抽取。二、罗茨三螺杆真空机组的应用优势1. 高效率:罗茨三螺杆真空机组结合了罗茨泵和三螺杆泵的优点,实现了高效、稳定的真空抽取。其抽速快、压缩比高,能够在短时间内达到所需的真空度,提高生产效率。2. 稳定性好:罗茨三螺杆真空机组在运行过程中,转子间的间隙保持不变,避免了因磨损导致的性能下降。同时,其结构紧凑、密封性好,能够确保真空系统的稳定运行。3. 适用范围广:罗茨三螺杆真空机组适用于各种化工反应釜的真空抽取,尤其适用于处理含有腐蚀性、易燃易爆、有毒有害等复杂气体的场景。4. 节能环保:罗茨三螺杆真空机组采用先进的节能...
2024 - 09 - 10
我们了解过螺杆真空泵的基本结构,现在来看看螺杆真空泵维护和保养需要注意哪些事项,正确的保养维护螺杆真空泵,可以使用得更好,更长久。阿特拉斯Atlas螺杆真空泵代理商,深圳恒才机电设备有限公司,为您讲述:螺杆真空泵维护和保养需要注意这几点:润滑和冷却由于螺杆真空泵在运行过程中会产生一定的热量和磨损,因此需要采取适当的润滑和冷却措施。一般来说,可以在螺杆表面涂抹适量的润滑油,以减少螺杆与泵壳之间的摩擦和磨损;同时,还可以在泵壳上设置冷却水通道,通过循环冷却水来降低泵的温度。2. 密封性螺杆真空泵的密封性对于其工作性能具有重要影响。如果泵内存在泄漏现象,将会导致泵的吸气量减小、排气压力降低等问题。因此,在设计和制造螺杆真空泵时,需要采取适当的密封措施,如使用高质量的密封件、优化密封结构等,以确保泵内具有良好的密封性。3. 维护和保养螺杆真空泵作为一种机械设备,需要定期进行维护和保养。在日常使用中,需要注意检查螺杆的磨损情况、润滑油的消耗情况以及冷却水的循环情况等;同时,还需要定期清理泵内的杂质和水分,以避免对泵造成损害。在维护和保养过程中,需要遵循相关的操作规程和安全规范,确保操作的安全性和有效性。综上所述,螺杆真空泵的工作原理基于螺杆的旋转和气体的压缩与排出。在实际应用中,需要根据具体的工作需求调整螺杆的旋转速度和齿间容积的大小,以实现最佳的吸气效果;同时还需要注意控制排气压力和排气量...
2024 - 12 - 04
罗茨螺杆真空机组结构是什么样的?罗茨螺杆真空机组的工作原理是什么?深圳恒才机电设备有限公司自主研发生产真空设备,专业真空人员为您解答、真空选型。罗茨螺杆真空机组的基本结构罗茨螺杆真空机组主要由罗茨真空泵、螺杆真空泵、冷凝器、热交换器等部分组成。罗茨真空泵以其独特的结构和工作原理,能够在较低的入口压力下保持较大的抽气速率,成为化工有机溶剂处理中的首选设备。螺杆真空泵则以其无油、无污染的特点,有效解决了对介质和环境造成污染的问题,并能回收废气蒸汽,创造附加经济效益。罗茨螺杆真空机组的工作原理罗茨螺杆真空机组的工作原理主要基于罗茨真空泵和螺杆真空泵的协同作用。在机组开始运转时,罗茨真空泵通过两个互相齿合但没有接触的回转叶轮,产生连续的变容空间,将气体压缩和排出。随着叶轮的旋转,气体被逐渐压缩并排出到螺杆真空泵中。螺杆真空泵则通过两个相邻螺杆的旋转,形成空间体积的周期变化,实现气体的压缩、输送和排放。在螺杆的旋转过程中,气体被不断压缩并推送到排气口,最终排出机组。同时,螺杆真空泵还配备了冷凝器和热交换器,对排出的气体进行充分冷凝和回收,进一步降低排放气体中的可凝气体含量,实现环保节能的目标。这种设计不仅提高了有机溶剂的回收效率,还减少了环境污染,符合当前的绿色生产理念。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PE...
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化肥行业怎样选择进口真空泵

日期: 2019-08-08
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在化肥行业使用进口真空泵也非常广泛。特别是磷肥的生产也是中国宏观调控支持的重点产业。由于新项目和老企业的技术改造主要在水平以上,规模大,因此规模较大。超大型水环真空泵也已应用于此。例如,一家新的大型水环真空泵,其泵送能力为300m3 / min,已被安装到云南的磷肥公司。

进口真空泵

另外,有许多磷肥企业在压力为80~100hPa时需要大的泵送能力。因此,使用两级水环真空泵和具有大气喷射器的两级水环真空泵。在这种条件下,它具有独特的优势。许多化肥企业已经淘汰了具有高振动,高噪音和高真空的往复式真空泵。它已被两级水环真空泵取代,并取得了良好的效果。可以说它有两个层次。水环真空泵将在该行业中得到越来越广泛的应用。

目前,我国真空泵采集设备仍以传统真空泵为主,主要有旋片式真空泵,水环真空泵,阀芯真空泵,罗茨真空泵等,并应用于传统工业。中国生产的真空泵用于电子信息产业。差距越大,与日本,欧洲和美国的差距越小。

中国生产的大多数干式泵用于实验室,化学,医药等领域,也可用于半导体行业。国内电子信息产业的快速发展影响了国内干式真空泵的发展。

进口真空泵


在对真空泵进行全程检查后,在不断提高其操作规范的基础上,有必要展示产品的有益推广,以完成应用,加强真空泵质量的不断提高,凭借强大的生产优势,库存产品的开发利用应用,不同层次的应用扩展,快速稳定的运行可以增加产品整体推广的实用性,进一步实现全面的性能全功能,对应公司的不同需求,产品合理的技能开发。

利用进口真空泵加速其功能的推广,增强生产能力的不断发展,提高所有应用技术的开发,促进各种工艺的严格管理,增加产品的使用。实践功能的论证可以充分证明其发展的人才,将继续发展其主导的发展过程,扩大其所有使用价值的表现,并为所有生产能力的生产和经营提供更有用的支持。

从不同的行业,它可以有力地展示进口真空泵的优势。高标准的产品质量,可以用来促进其持续发展的能力,快速,稳定地发挥其优势,并促进其多用途的人才。 ,增加质量的进一步扩大。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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