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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

发布时间: 2025 - 12 - 27

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深圳恒才真空引水机组优势

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VG水环真空泵替代sk水环真空泵用于真空引水

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行业资讯了解行业的最新资讯

2020 - 11 - 24

现在罗茨真空泵主要用于真空冶炼、真空焊接、真空浇铸、真空喷漆、真空干燥、真空动力实验以及化工制药、电真空器件制造等罗茨真空泵所能达到的真空范围内的各种真空处理。罗茨真空泵最大的优点就是在较低入口压强下具有较高的抽气速率，且能达到相对高的极限真空。真空泵配件为用于真空泵噪声治理的，真空泵消音器。罗茨泵得到这么广泛的应用，对于它的操作方法大家更应该熟记于心，下面我们再来看看它的正确操作方法，大家可一定要记住啦!　　一、准备工作　　1、操做人员一定要熟读产品使用说明书。　　2、在产品使用前确保在产品没有因长时间放置由环境因素导致产品产生的因素。　　3、在工作中如发现异常声响和振动时应停机排查。　　4、电气设备外壳必须接地或接零。　　二、启动前的准备工作　　1.打开冷却水进水阀，检查冷却水是否顺畅。　　2.外伸轴封空腔及油杯内满润滑油，齿轮箱及轴承箱内的润滑油加至油窗直径的2/3到3/4高度，润滑油用1号真空油。　　3.在以下条件下使用时，必须采取相应的措施：　　a.吸入气体中有粉尘或颗粒时，应在吸气口前安装除尘器或过滤器。　　b.吸入气体如果具有腐蚀性，必须采取中和措施。　　c.吸入气体中含有水蒸气，而选用的前级泵又是油封式机械泵时，此前级泵应该带有气镇装置，水蒸气过多时，必须安装冷凝器。　　三、启动程序　　1.启动前级泵　　2.打开前级泵预抽旁通管道上的阀门和罗茨泵进气管道上的阀门。　...

真空泵的用途有哪些

2020 - 12 - 04

真空泵大家可能都听说过，但并不是很了解，甚至有的人都不清楚真空泵是什么，真空泵的工作高效、稳定，真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。那么接下来真空泵厂家带大家了解一下真空泵的用途。　　一、真空泵可广泛运用于石油化工设备、制药、食品加工、能源和冶金生产制造行业。真空泵可以抽酸性气体，如四氢呋喃;另外真空。该泵还能够提取易燃易爆气体，如氧气、氢气和甲烷。真空泵可用以蒸发、精馏、过滤、真空干燥等领域。就食品类加工业而言，真空泵还可用以升华、干燥、脱水等。同时，它还广泛运用于真空蒸发、真空干燥和真空保鲜。　　二、与别的机械真空泵对比，循环水真空泵的结构更简易，生产制造上几乎没有什么要求。但循环水真空泵效率低，真空度低。对于真空泵在食品加工行业的应用，循环水真空泵可以给包装袋充气，添加食品类，通过抽真空打开包装，运输包装材料和产品。除此之外，循环水真空泵普遍用以干燥、蒸发、蒸馏、结晶和物料输送。　　三、小型真空泵广泛运用于日常生活中,小型真空泵普遍用以气体或液体分析设备应用，如PM2.5空气指数检测、3D打印机、医疗设备和医疗保健。　　四、真空泵还可以用以汽车工业，真空泵利用负压增加驱动力。真空泵的主要参数包括：真空罐的容积和不同速度下的真空度形式，以及不同时间的转速、油压、油温。普旭真空泵厂家浅谈真空泵的用途告诉你，当转速为零时，真空泵根据...

真空泵磨损原因是什么呢?

2020 - 12 - 16

真空泵对我们来说已经不陌生，在使用的时候，有时会出现磨损的情况，真空泵磨损原因是什么呢?　　一、真空泵磨损的原因　　真空泵的轴颈表面的磨损是不均匀的，主轴颈与连杆轴颈的径向磨损主要呈椭圆形，且真空泵的最大磨损部位相互对应，即各主轴颈的最大磨损处靠近连杆轴颈一侧;而连杆轴颈的最大磨损处也是靠近主轴颈一侧。曲轴轴颈沿轴向还有锥形磨损。轴颈的椭圆形磨损是由于作用于轴颈上的力沿圆周方向分布不均匀引起。　　发动机工作时，连杆轴颈所受的综合作用力始终作用在连杆轴颈的内侧，方向沿曲轴半径向外，造成连杆轴颈内侧磨损最大，形成椭圆形。连杆轴颈产生锥形磨损的原因是由于通向连杆轴颈的油道是倾斜的，当真空泵回转时，在离心力的作用下，润滑油中的机械杂质偏积在连杆轴颈的一侧，加速了该侧轴颈的磨损，使连杆轴颈的磨损呈锥形。　　此外，连杆弯曲，气缸中心线与真空泵中心线不垂直等原因，都会使轴颈沿轴向受力不均，而使磨损偏斜。主轴颈的磨损呈椭圆形，主要是由于受到连杆、连杆轴颈及曲柄臂离心力的影响，使靠近连杆轴颈的一侧与轴承产生的相对磨损较大。此外，轴颈表面还可能出现擦伤与烧伤。擦伤主要是由于机油不清洁，其中较大的坚硬机械杂质在轴颈表面刻划引起的。轴颈表面的烧伤是由于烧瓦引起的，烧瓦主要是由于润滑不足、机油过稀、油路阻塞等原因造成的。　　二、解决磨损的办法　　传统的方法主要以补焊和刷镀喷涂为主，但是这两种方法都不能从根本...

离心泵的运行中应注意哪些问题?

2020 - 12 - 28

离心泵的运行中应注意哪些问题?　　1)检查仪器是否工作正常且稳定。电流表读数不允许超过电机额定电流。如果电流太大或太小，应及时停止检查。　　2)检查流量，以查看仪表读数是否正常。您还可以查看水管中的水流量来估算流量。　　3)检查轴封装置是否热以及带填料密封的单级离心泵是否正常泄漏。滴水应为滴水形式，滴水速度为30-605滴/分钟。滴落情况反映了填料的压缩程度，可以调节填料压盖螺栓以控制操作期间的滴落量。　　4)检查离心管道泵电机轴承的温升。通常，轴承的温升不应超过周围环境的35C，轴承的高温不应超过75C。如果没有温度计，也可以用手触摸。如果感觉很热，则应停止机器进行检查。　　5)经常检查离心泵是否有振动和噪音。如果太大，请将其关闭以进行检查。　　6)油环必须与泵轴异步地自由旋转。　　7)记录水位，主电流，电压，功率因数，功耗，温度等技术数据，并定期进行分析，为管理水电提供科学依据。　　8)严格执行岗位责任制和安全操作规程。

防止水环泵结冰现象的六个方法

2021 - 01 - 08

水环泵结冰是常有的事，尤其是北方的地区，一到冬天就容易结冰，针对这种情况我们总结了以下几点措施对水环泵就行维护。以下六条为冬季水环泵注意事项。要多多维护以防冻裂水环泵，缩短水环泵的使用寿命。　　1、将水环泵内的水排空，使用时再加水。防止水环泵结冰冻裂水环泵。　　2、如果水环泵结冰，使用热水或者开水倒入水环泵内化冰。或者加热水环泵外壳。　　3、使用井下泵。将水环泵放入井下，一般井下水环泵离地面深，不会结冰。　　4、采用保温型水……将保温层加入蒸汽或者热——以防水环泵结冰。　　5、采用非自吸离心泵。使用时，加入水即可。　　6、将泵置于一个常温环境。零度即可。

真空机组的应用行业，你知道多少？

2021 - 01 - 27

随着各种产品的质量要求和保证，涉及到真空的行业也越来越广泛，而真空机组的应用行业有哪些，你知道吗？深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等，为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点，真空机组以水放射真空泵为真空产生元件，并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置，与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比，在坚持原系统特性的基础上，在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲，真空机组的应用行业有哪些？真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中，不同设备应用不同真空机组，不同品牌真空机组也影响着工作效率，深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009)，同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商，如需了解更多真空泵相关信息，欢迎直接来电或是在线咨询客服，将竭诚为您服务。

如何选择和使用真空泵

2021 - 03 - 06

为了能更好地选择和使用真空泵，我们总结了以下注意事项，以便您可以选择合适的产品。根据实际使用情况，应注意以下几点：　　1.真空泵产生的振动是否会对过程和环境造成影响。如果该过程不支持，则应选择无振动的泵或采取一系列的防振措施。　　2.了解要泵送的气体的成分，气体中是否有灰尘颗粒，是否具有腐蚀性等。选择真空泵时，您需要了解气体的组成，并且需要为要泵送的气体选择相应的泵。如果气体中包含蒸汽，颗粒和腐蚀性气体，则应考虑在泵的进气管中安装辅助设备。　　3.在其工作压力下，真空泵可以从真空设备中抽出过程中产生的所有气体。　　4.正确组合真空泵。有时选择的泵类型不能满足泵送要求。由于真空泵是有选择地泵送的，因此需要相互补充的各种泵组合才能满足泵送要求。如果钛升华泵的抽氢速度快，但不能抽氦气，则三极溅射离子泵(或两极非对称溅射离子泵)对氩气的抽出速度一定。两种组合将使真空设备获得相应的真空度。　　5.真空设备对碳氢化合物污染的要求。如果设备明确要求无油，则应使用各种无油泵，例如水环泵，分子筛吸附泵，阴极离子泵，低温泵等。如果要求不严格，则可以安装油泵。除了一些预防碳氢化合物污染的措施外，还进行了选择。　　6.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定范围的工作压力。因此，泵的工作点应在此范围内选择，而不是允许其在2530mmHg以下长时间运行。　　7.真空泵排出的油蒸气如何影响环境?如果环境不允许污...

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不忘初心，恒才公司肇庆三天游！

2018 - 08 - 25

2018年8月17日-19日，公司实行三天全员旅游，肇庆端州3天2晚活动，我们游历了苍翠欲滴的鼎湖山，潺潺涓流山湖相映的蝴蝶溪谷、并以虔诚的心叩拜佛门净地“庆云寺“，同事们一路互相倾谈，脸上洋溢着喜悦，心境犹如被洗刷般，没有了工作的压力，围绕在我们身边的只有体现同事之间紧密团队精神的欢声笑语。次日，同事们进行游览阅江楼，参观已逾千年的文房瑰宝端砚的独特风采，领略了精心至致，坚持不懈的匠工精神；铁军独立一雄团叶挺将军的大将风范和魄力，战士们充满激情和希望的声音，艰难阻险都不怕，只要坚定信念不放松，而这一切正是正步的魅力，让我们扔掉脆弱，不忘初心砥砺前行，变得坚强成长。接着我们来到高要学宫孔庙，聆听陈总给我们讲述儒家学说，这也是我们的公司的重要文化，教导我们百行孝为先，温故而知新等为人处事的道理，也正是这种文化坚定了公司发展智慧和同事们团结一致力量的决心。最后，项目是绕七星岩绿道骑行，一路上大家热情高涨,相互关心,骑行中充满了欢歌笑语、温情和谐,在尽兴游玩之余,深切感受到来自公司大家庭的温暖。有的同事还坚持完成了不可能骑到的终点，面对困难却能坚忍不拔进行到底的决心，也克服了有时只凭感觉行事的思维定式，没有不可能，超越自己就能够创造奇迹。此次旅游活动圆满结束，同事们的内心还将延缓着美好的记忆和愉快的心情，此次游行不仅丰富了员工的业余生活,增强了部门之间的沟通协作,还加强企业凝...

真空泵选型参数计算方式?

2018 - 05 - 21

一、真空泵真空度要求单位（pa/mba）；真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果绝对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。二、真空泵抽速要求单位（L/S或M3/MIN）；真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2)其中：S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到要求真空度所需时间(s)　P1为初始压强(Pa)P2为要求压强(Pa)三、真空泵要抽的物体成分；1、被抽物体是气体、液体还是颗粒，如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质，慎选旋片式真空泵，如果真空度要求较高，则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。2、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性，PH值是多少?)，若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体，应过滤或中和处理才...

如何选型模温机和高温磁力泵？

2018 - 07 - 23

现在，越来越多塑料制造商已深入的体会到运用模温机控制模具的温度对塑料制品成型的重要性。如果选用的模温机与产品成型的温度需求相吻合，可大大提高产品的质量，进而削减产品的运转本钱。不同质料性能不同，他们有着不同的加工工艺特色，模具温度对工件表质量流动性、收缩率、注塑周期的影响，是塑料加工制造中有必要操控的要素。研讨显现，24%的废品是由模具温度不妥所致。为此，在注塑，吹塑到挤塑的各种塑料加工领域中广泛采用了模温操控系统，已将模具加热到工作温度，并使模具温度保持在必定的精度范围。选择模具温度操控器时，以下各点是首要的考虑要素；：泵的大小和能力，内部喉管的尺寸，加热能力，冷却才能，操控方式。如何计算模温机：工式：求加热器功率或冷冻功率 KW＝W×△t×C×S/860×T W=模具重量或冷却水KG t=所需温度和起始温度之间的温差。 C= 比热油（0.5），钢（0.11），水（1），塑料（0.45~0.55） B、求泵的大小需了解客户所需泵浦流量和压力（扬程） P（压力Kg/cm2）=0.1×H（扬程M）×α（传热媒体比重，水=1，油=0.7-0.9） L（媒体所需流量L/min）=Q（模具所需热量Kcal/H）/C(媒体比热...

怎么选型罗茨真空机组?

2018 - 09 - 25

一般地，单台罗茨真空泵的压缩比较小，为了使罗茨真空机组能达到更高的真空度和更大的抽气速率，便采用多台罗茨真空泵与前级泵串联组成罗茨真空机组来满足高真空的要求，那么，罗茨真空机组如何选型呢？下面恒才陈工为大家分享关于罗茨真空机组的选型知识。一、罗茨真空泵与前级泵的抽速比罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越，因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间，可选较小的前级泵(压缩比可大些)，若真空窒较大.而且要求很快预抽，就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率，机组前装有一台较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。二、罗茨真空机组的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵必须考虑的，对极限真空度要求较高(达1×10-3 Pa~1×10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阎机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1×10-2Pa～1...

真正的工业4.0和高大上的生活就在你我身边

2018 - 12 - 03

21世纪，现代高级公寓需要一种新生活方式。民以食为天，现在外面就餐很多会让人担心不卫生,有时候想吃的某样菜可能也没有，也少了乐趣，而能上得厅堂还有精力下得了厨房的人屈指可数，在职场上奋力打拼，要是一回公寓便有新鲜的美味佳肴在等候，那这样的公寓是很多高级白领希望拥有的。ATLAS（阿特拉斯）高品质“真空泵” 与深圳恒才机电“中央真空吸附系统”合并智能家居实现了这样的需求，此真空系统应用于现代高级公寓中，高级白领下班途中利用手机APP，便可以获得丰盛的美餐；有了智能系统，人人都可以实现一键就餐，而管理人员无需现场操作与查看，通过手机设备就可以查看的种运行状况和日常保养。（图1为智能家居真空系统）图1 智能家居真空系统的原理：智能家居真空系统是作一项传送技术，它将食材按时间和比例吸取，并放到指定位置，吸附力均匀而且可以随意控制大小；可以实现柔性装夹,可以进行超清洁吸运,装夹和卸件,再用智能“真空吸附系统”来实现调节、控制和监管。（图2中央真空清扫系统）图2中央真空清扫系统即真空吸附系统，原理和家居智能系统差不多，是为客户订做的一款集真空泵，储罐，电源控制器，真空传感器于一体的真空系统；该真空系统具有性能稳定，结构坚固，客户只需要接上电源，直接将垃圾吸入进入到储罐便可。有效地为客户节省能源，中央真空清扫系统完全免除了垃圾的烦恼，真正地节能环保，...

深圳恒才医疗负压系统介绍

2019 - 03 - 25

医疗负压系统的性能特点跟工作原理深圳恒才机电医疗负压系统是多台水环真空泵组合成高效率真空机组，从而获得真空的真空泵设备,以真空罐作为真空存储设备的整一套真空系统。医疗负压系统的工作原理：首先设定真空系统的上下限值（比如上限值设定为-0.08MPa，下限值设定为-0.06MPa），启动系统后，其中一台真空泵开始工作，直到真空罐内真空度高于上限值-0.08MPa,此时真空泵自动停止运行，真空罐内真空由自动逆止阀自动截止，如因工作需求真空罐内真空度降至低于下限值-0.06MPa时，另一台真空泵自动启动，直到真空罐内真空度抽到上限值-0.08MPa为止，如此循环反复自动运行，使真空罐内真空度始终保持在上、下限值之间。对于频繁使用真空源而所需抽气量不太大的场合下，使用真空负压站系统比直接使用真空泵大大节约了能源，并有效提高了真空泵的使用寿命。医疗负压系统的性能特点： (1)真空负压站自第一次启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。其工作过程中，真空系统内各处的真空度始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。若出现真空度低于调定值时，报警器将发出警告。(2)真空负压站在无人操作情况下对系统进行自动控制，在停电时可自动封闭真空系统。(3)真空负压站配备一台汽水分离器，从而可以节约水源并减少环境污染。以上就是深圳恒才机电公司医疗负压系统的介绍...

罗茨水环真空泵机组的特点？

2019 - 06 - 20

深圳恒才康斯顿品牌罗茨水环真空泵机组由两台以上真空泵设备组成，它的前级泵选用的是水环真空泵，多台泵组对于使用更有利，有效克服了单台水环泵使用时的极限压力差，提高了工作效率，另外它的使用还具有以下优势：一、罗茨水环真空泵机组抽气效率高，泵的启动快速消耗少，效率高，泵抽速大、操作维护成本低，对被抽气体中所包含的一些尘和水蒸汽不敏感，它在100～1Pa的极限压力规模以内有较大抽气效率。二、罗茨水环真空泵机组操作极限真空度高、平稳、振小、噪声低。因为真空泵的传送部件使用坚固的消隙构造，真空泵可在高压差下长期操作。泵起动快，能在短时间内到达极限真空。所以真空泵的腔内无相互转动的零件，不需要用油润滑，防止了油蒸汽对系统的污染。三、罗茨水环真空泵机组选水环用泵作为前级泵比其它真空泵更为有优势，它克制了独台水环真空泵使用时极限压力差，在一定的压力下抽气效率低的劣势，一起保留了罗茨泵能敏锐操作，有较大抽气效率的特点。　　罗茨水环真空泵机组的组合还可依据客户具体的现场使用情况，以及使用工艺来确定使用什么参数的泵组成，更好的满足生产需求，提高生产的工作效率。

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pet片材挤出真空系统的3个特点

日期： 2024-01-11

来源:

浏览次数: 18

pet片材挤出真空系统的特点，你真的了解吗？

你知道pet片材真空挤出系统吗，听上去是不是很高大上？那你知道PET塑料瓶吗？就是装矿泉水的那种。pet片材挤出真空系统，其实就是个超级大的“压榨机”，把PET塑料“压榨”成薄薄的片材。但这个过程并不是那么简单，它有很多神奇的特点。

罗茨水环真空机组,pet片材真空系统

pet片材挤出真空系统的3个特点：

特点一：是由多台司倍克水环真空泵及罗茨真空泵组成，也叫罗茨水环真空机组，具有高效节能特点，比起人工操作，不仅效率高，解决污水、废气不标准排放的问题。

特点二：节能环保。这个系统采用了最先进的节能技术，能在保证生产效率的同时，最大程度地减少能源消耗。同时，它还能回收利用生产过程中产生的废料，做到真正的绿色生产。这可都是得益于PET塑料的回收再利用啊！

片材挤出真空机组

特点三：产品品质高。由于这个系统采用了先进的生产工艺，所以生产出来的PET片材不仅厚度均匀，而且质量上乘。这意味着什么呢？意味着用这种片材做出来的产品，比如塑料袋、饮料瓶等，不仅外观漂亮，而且性能稳定。这样，我们就可以放心大胆地使用这些产品了。

总的来说，pet片材挤出真空系统就像一个神奇的“魔术师”，如果你对这个系统感兴趣，不妨去了解一下它的工作原理，相信你一定会大开眼界的！

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发布时间： 2025 - 07 - 23

旋片真空泵机组360度轮移动方便携带

高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...

发布时间： 2025 - 07 - 22

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