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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

发布时间: 2025 - 12 - 27

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深圳恒才真空引水机组优势

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VG水环真空泵替代sk水环真空泵用于真空引水

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行业资讯了解行业的最新资讯

2022 - 11 - 11

锂电池是一类由锂金属或锂合金为正/负极材料、使用非水电解质溶液的电池，由于动力电池的产能和装机量也飞速增长，也给许多真空系统带来更多的应用和机会。锂离子电池行业的真空应用，在锂电池的制造过程中，真空技术在合浆、注液、烘烤等工艺流程中发挥重要作用，真空系统设计的好坏与锂电池的品质密切相关。锂电池抽真空为什么用GHS螺杆真空泵？GHS VSD+变频油螺杆真空泵在锂电池行业的应用已经不是新鲜事，而是有很丰富的真空系统应用经验。效率：变频螺杆技术，VSD技术和创新电机设计相结合，提升能效2.运行安静：低噪音级别运行3.可靠的效率提升带来可持续生产力4.良好的保油能力，设备在全压力段运行时排气含油量低，保护环境5.低生命周期成本深圳恒才机电设备有限公司，专注于真空泵领域，为客户提供专业真空设备及真空解决方案，康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。

挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空用什么真空泵？

2022 - 12 - 16

塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑成型、热压挤出等工艺，需要用什么真空泵系统更合适？深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域，提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统，提供真空解决方案等服务，恒才机电的罗茨水环真空机组可应用于塑胶挤出行业。这是2022年出的第N批罗茨水环真空机组，应用于塑胶挤出行业，出货数量足以说明，恒才机电真空系统在橡塑挤出行业应用是有实力的，实打实的真空度数据，节能环保，稳定运行，是我们给客户的承诺。塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑设备、热压挤出真空设备称之为罗茨水环真空机组，由两台罗茨真空泵及一台水环真空泵组成，真空度可稳定在-98kpa至-101kpa，通过恒才的真空改造方案，实现了节能环保、高工作效率、稳定真空度，从而改善了产品生产质量。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域，提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统，提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务，更多真空泵信息，欢迎致电了解。

大理石真空设备推荐变频螺杆真空机组

2023 - 03 - 31

当石材大理石生产同行还在使用旋片真空泵的时候，我们客户已经开始使用变频螺杆真空机组了，早在几年前，深圳恒才机电带着变频油螺杆真空机组，已经进军石材行业了。根据我们对大理石制造工艺的了解，发现大理石生产对不同抽真空阶段速度有变化，对真空度有特定要求。因此我们设计了真空解决方案，选择了变频油螺杆真空泵：1、可把控真空度和速度，Atlas螺杆真空泵稳定性比较高，是获得客户认可的一款真空泵设备；2、结合我们的真空解决方案，可以很好减少大理石遗留气体，防止空腔生产，从而提升大理石品质。3、告别了旋片真空泵带来的维修频繁、换油频繁、噪音大、能耗大、油污染大等问题深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域，提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统，提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务，更多真空泵信息，欢迎致电了解。

罗茨螺杆真空机组在化工行业的应用特点

2024 - 02 - 24

最近，很多客户问了罗茨螺杆真空机组的相关资料，现在就一起来了解一下。罗茨螺杆真空机组是由康斯顿品牌的螺杆真空泵和三台罗茨真空泵组合而成的。罗茨螺杆真空机组在化工行业的应用特点是什么？1.首先，罗茨螺杆真空机组的特点就是可以在较低的入口压力下仍然保持较大的抽气速率。这对于那些需要在特定压力条件下进行操作的行业来说，比较关键。且，罗茨真空泵的稳定性和可靠性都非常高，可以保证连续、高效的工作。2.康斯顿新一代高品质螺杆真空泵更是解决了对介质和环境造成污染的问题，这无疑是一个巨大的优势。不仅如此，罗茨螺杆真空泵在化工行业的应用，还能回收排出气体，创造附加经济效益，这也是许多企业和工厂所看重的，对于重视环保环境的公司而言，这点很重要。3.罗茨螺杆真空机组的应用范围也非常广泛。它可应用于有机溶剂行业，以及其他需要真空环境的行业。罗茨螺杆真空机组都可能成为你的得力助手。那么，这种设备的原理是什么呢？其实很简单。打开冷却水、冷冻液供应阀门，确保冷凝器和回收器工作条件具备后，先启动螺杆真空泵，在系统内建立真空。然后，打开被抽反应釜阀门，被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后，到达真空系统的前置综合处理器，再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后，被螺杆真空泵抽出。被抽气体排出螺杆真空泵后，再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量。总的来说，罗茨螺杆真空机组是一种高效、环保、可靠...

PET片材挤用什么真空设备？

2024 - 06 - 01

PET片材挤出过程中，真空机组的选择和应用对产品质量和生产效率具有至关重要的影响。罗茨水环真空机组，作为一款先进的真空设备，其在PET片材挤出工艺中的应用优势逐渐显现。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点，既保证了高真空度，又具有较高的抽气效率。在PET片材挤出过程中，该机组能够有效地排除挤出机内部的气体，降低气泡的产生，从而提高产品的透明度和质量。此外，罗茨水环真空机组还具备运行稳定、噪音低、维护简便等特点，能够满足长时间、连续性的生产需求。在PET片材挤出过程中，罗茨水环真空机组的应用还需要注意一些关键问题。首先，要确保机组与挤出机的连接紧密可靠，防止气体泄漏。其次，要根据生产需求合理调整机组的真空度和抽气速率，以达到最佳的生产效果。此外，定期对机组进行维护和保养，确保机组的长期稳定运行也是至关重要的。随着PET片材挤出技术的不断发展，罗茨水环真空机组的应用将越来越广泛。未来，我们可以期待更多先进的真空机组技术涌现，为PET片材挤出工艺提供更为高效、环保的解决方案。同时，我们也应该关注如何进一步优化罗茨水环真空机组在PET片材挤出过程中的应用，提高生产效率和产品质量，满足市场的需求。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点，高真空度、高抽气率。PET片材挤出过程中，该机组能够有效地排除挤出机内部的气体，减少气泡、提高产品的透明度和质量，运行稳定、噪音低、维护简便、能够满...

PCB热压机用什么真空设备？

2024 - 07 - 28

在电子制造领域，PCB（印制电路板）的生产过程至关重要，其中热压工艺更是决定产品质量和性能的关键步骤之一。罗茨水环真空机组以其独特的性能和优势，成为了PCB热压机中不可或缺的一部分。罗茨水环真空机组由多台司倍克水环真空泵与康斯顿罗茨真空泵组成，这种组合不仅充分发挥了各自的优势，还通过协同作用，大幅提升了整个机组的性能。司倍克水环真空泵以其高效、稳定、低噪音的特点，为整个机组提供了稳定可靠的抽气能力。而康斯顿罗茨真空泵则以其高抽速、低能耗、长寿命的优势，进一步增强了机组的抽气效率和稳定性。在PCB热压机中，罗茨水环真空机组的主要作用是在热压过程中提供稳定的真空环境。这种真空环境能够有效排除板材与压合材料之间的空气，从而确保板材与压合材料之间的紧密结合。同时，稳定的真空环境还能够减少热压过程中的气泡产生，提高产品的质量和性能。除了提供稳定的真空环境外，罗茨水环真空机组还具有以下优点：首先，罗茨水环真空机组具有较宽的工作压力范围。在PCB热压过程中，不同的工艺阶段对真空度的要求不尽相同。罗茨水环真空机组能够根据不同的工艺要求，自动调节真空度，确保整个热压过程的顺利进行。其次，罗茨水环真空机组具有较高的抽气效率。在热压过程中，板材与压合材料之间的空气需要迅速排出，以确保板材与压合材料之间的紧密结合。罗茨水环真空机组的高抽气效率能够迅速排出空气，缩短热压时间，提高生产效率。此外，罗茨水环真空...

水环真空泵补水量与压力关系

2024 - 09 - 19

水环真空泵的补水量与压力之间存在着密切的关系。合理控制补水量不仅能够提高真空泵的抽气效率和稳定性，还能延长泵的使用寿命并降低运行成本。水环真空泵补水量的重要性在水环真空泵的运行过程中，补水量是一个至关重要的参数。适量的补水能够维持水环的稳定性和连续性，确保泵体内部形成良好的密封效果，从而有效提高真空泵的抽气效率和稳定性。然而，补水量的多少并非随意设定，而是需要根据泵的具体型号、工作条件以及被抽气体的性质等因素进行精细调节。水环真空泵补水量与压力的关系1. 补水过多当补水量过多时，泵体内的水环会增厚，导致吸气空间减小，进而影响真空泵的抽气速度。此外，过多的水还会增加泵体内部的摩擦阻力和能耗，降低泵的效率。更为严重的是，过量的水可能会随被抽气体一起排出，造成水资源的浪费和环境污染。在压力方面，虽然补水过多不会直接导致泵的最大真空度下降（因为水环真空泵的最大真空度主要由其结构设计和转速决定），但会显著影响泵的工作效率和稳定性，间接反映在压力波动上。2. 补水不足相反，补水不足则会导致水环变薄，甚至出现局部干摩擦现象。这不仅会加剧泵体内部零部件的磨损，缩短泵的使用寿命，还会因为密封效果不佳而降低真空泵的抽气效率。在压力方面，补水不足会直接导致泵内气体泄漏增加，使得泵难以达到预期的真空度，表现为压力升高或波动加剧。水环真空泵补水优化策略为了实现水环真空泵的最佳性能，必须精确控制补水量与压力之...

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改性塑料车间真空系统改造案例分享

2023 - 05 - 16

塑料有限公司是一家集改性塑料研发生产塑料染色加工、塑料原料销售于一体的专业改性和染色塑料生产企业；共8条造粒生产线，原用8台2.2KW水环泵，真空度只能保持在-0.5bar左右，且产生大量废水，企业环保压力非常大，废液清理工作一直无法有效解决。自从采用深圳恒才公司无油干式泵+三级分离系统后，即中央真空系统，由多台干式无油真空泵组成，真空度提高至近-0.8bar，且实现废液自动分离，有效解决了企业环保问题。新系统优势中央真空系统：无油、无废水；保护环境，造福子孙后代；车间内，热排放大量减少。改善员工工作环境，提升满意度；新型环保系统不需要水做为工作液，避免因为抽真空带来的二次水污染；中央系统有备机轮换使用，系统供应24小时不间断，避免因空气供应问题停产时间深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域，提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统，提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务，更多真空泵信息，欢迎致电了解。

叶轮上偏心水环真空泵的工作原理

2024 - 03 - 13

叶轮上偏心设计的水环真空泵是一种广泛应用于各种工业领域的真空设备，其独特的工作原理使得它在许多场合下表现出色。下面将详细介绍上偏心设计的水环真空泵的工作原理及其优势。首先，我们来了解上偏心设计的水环真空泵的基本结构。该泵主要由泵体、转子、叶片、进水口和出水口等部分组成。其中，泵体和转子构成了泵的工作腔，叶片则固定在转子上，随着转子的旋转而旋转。进水口和出水口则分别用于引入和排出工作液体。在叶轮上偏心设计的水环真空泵中，转子的偏心距是关键参数之一。由于转子的偏心，当转子在泵体内旋转时，其叶片将不断地与泵体内壁形成一定厚度的水环。这个水环随着转子的旋转而旋转，并在离心力的作用下不断地向外扩张。当水环扩张到与进水口相连通时，水环中的一部分水将被吸入泵内，填补因转子旋转而形成的低压区域。随着转子的继续旋转，水环中的水将被甩向泵体的外周，并通过出水口排出。这个过程中，由于水环的不断扩张和收缩，将在泵体内形成一定的真空度，从而实现对被抽气体的抽吸。叶轮上偏心设计的水环真空泵的工作原理可以概括为“水环扩张吸气，水环收缩排气”。通过不断地引入和排出工作液体，该泵能够在泵体内形成稳定的真空度，从而满足各种工业应用的需求。叶轮上偏心设计的水环真空泵具有许多优势。首先，由于采用了上偏心设计，该泵在结构上更加紧凑，占地面积小，方便安装和维护。其次，该泵在运行过程中噪音低、振动小，对工作环境的影响较小。此外...

广东螺杆真空泵代理商

2024 - 06 - 11

在当今竞争激烈的商业环境中，选择一个可信赖的阿特拉斯螺杆真空泵代理商对于企业的成功至关重要。广东螺杆真空泵代理的优势和特点，帮助您了解并选择一家值得信赖的合作伙伴。深圳恒才机电在阿特拉斯螺杆真空泵领域拥有丰富的经验和专业知识。公司拥有一支技术精湛、经验丰富的团队，能够为客户提供专业的技术支持和解决方案。无论是螺杆真空泵的选型、安装、调试还是维护保养，深圳恒才机电都能提供全方位的服务，确保客户在使用过程中无后顾之忧。深圳恒才机电代理的阿特拉斯螺杆真空泵产品具有高品质和可靠性。公司代理的阿特拉斯螺杆真空泵品牌在市场上享有良好的声誉，产品性能稳定、可靠，能够满足客户在各个领域的应用需求。无论是用于化工、制药、食品还是电子等行业，深圳恒才机电都能提供合适的阿特拉斯螺杆真空泵产品，确保客户的生产顺利进行。除了优质的产品，深圳恒才机电还注重售后服务和客户体验。公司建立了完善的售后服务体系，为客户提供及时、高效的技术支持和解决方案。同时，深圳恒才机电还积极与客户沟通，了解客户的需求和反馈，不断优化产品和服务，提升客户满意度。此外，深圳恒才机电还具备灵活多样的合作方式。公司可以根据客户的具体需求和预算，提供定制化的解决方案和优惠的价格。无论是单次购买还是长期合作，深圳恒才机电都能提供合适的方案，帮助客户降低成本、提高效率。综上所述，深圳恒才机电作为广东螺杆真空泵代理商，在技术、产品、服务和合作方式...

为什么PCB热压机油泵选用罗茨水环真空机组？

2024 - 08 - 07

为什么PCB热压机油泵选用罗茨水环真空机组？由深圳恒才机电设备有限公司出品的真空设备，具有节能、环保、洁净、低噪音、低热量等优势，应用于热压机行业的罗茨水环真空机组，也不例外。PCB热压机油泵罗茨水环真空机组的特点主要包括高效能抽真空能力、‌节能环保、‌稳定性与可靠性以及集中式抽真空的便利性。‌高效能抽真空能力：‌罗茨水环真空机组结合了罗茨泵的高抽速与水环泵的极限真空度优势，‌形成强大的抽真空能力。‌在PCB热压过程中，‌这种组合能够迅速将板材间的空气抽出，‌形成稳定的真空环境，‌有效避免了因空气残留导致的热压不均和气泡问题，‌从而提高了PCB的层压质量和成品率。‌节能环保：‌相较于传统的单一真空泵系统，‌罗茨水环真空机组在能效上有了显著提升。‌罗茨泵作为前级泵，‌能够快速排出大部分空气，‌降低后级水环泵的工作负荷，‌减少了能源消耗。‌同时，‌水环泵以水为工作介质，‌无需额外的润滑油，‌避免了油污染，‌符合现代制造业对环保的要求。‌深圳恒才机电设备有限公司，专注于真空泵领域，提供真空改造方案、真空设备、真空系统、真空泵售后服务等。罗茨水环真空机组在PCB热压机油泵系统中展现出了其高效、‌节能、‌稳定和便利的特点，‌显著提升了生产效率和产品质量。‌

康斯顿罗茨真空泵的维护与检查

2024 - 10 - 17

深圳真空泵生产厂家恒才机电表示，要保证康斯顿罗茨真空泵的长期稳定运行，日常的使用与维护至关重要。本文将从罗茨真空泵的使用、维护两大方面进行深入探讨，以期为用户提供全面的指导和建议。康斯顿罗茨真空泵的维护1. 定期检查与清洁定期检查是维护罗茨真空泵的关键。用户应定期检查泵体各部件的紧固情况，确保无松动现象；观察润滑油位，及时补充或更换；检查电机运转是否正常，有无异常声响或发热现象。此外，还需定期清理泵体表面的灰尘和油污，保持泵体清洁；检查并清理进气口过滤器，防止杂质进入泵内损坏转子。对于泵腔内的积尘和杂质，也应定期进行清理，防止堵塞影响泵的效率。2. 润滑与冷却润滑和冷却是罗茨真空泵正常运行的保障。用户应确保泵的润滑系统正常，定期更换润滑油，保持润滑良好。在选择润滑油时，应选用适合罗茨真空泵的专业机油，避免使用不合适的油品导致设备损坏。同时，对于需要水冷的泵型，还需检查冷却系统，确保冷却水或油的流量和温度在适宜范围内，防止过热导致设备损坏。3. 密封性检查罗茨真空泵的密封性直接关系到其性能和使用寿命。用户应定期检查泵体各密封处的密封性，如发现泄漏应及时处理。对于机械密封、O型圈、密封垫等关键密封件，应定期检查其磨损情况，如有磨损应及时更换。在更换密封件时，应使用专业的检测工具，确保安装的准确性和有效性。4. 深度维护与更换部件除了日常检查和清洁外，罗茨真空泵还需要定期进行深度维护。这...

线路板吸附检测罗茨鼓风机应用

2025 - 01 - 04

线路板吸附检测罗茨鼓风机应用，这套罗茨鼓风机真空泵系统，是用于吸附加搬运线路板进行检测的，罗茨鼓风机真空泵通过产生负压，提供强大的吸附力，确保线路板牢固地吸附在吸附盘上，在检测过程中保持稳定。深圳恒才机电设备有限公司设计的罗茨鼓风机，还能快速、准确地搬运不同型状尺寸的线路板，实现高效的生产线传输。罗茨鼓风机在吸附搬运检测线路板的工艺中具有以下优势：稳定吸附：真空泵通过产生负压，能够提供强大的吸附力，确保线路板牢固地吸附在吸附盘上，使其在搬运和检测过程中保持稳定。高效搬运：利用真空泵的吸附功能，可以快速、准确地搬运线路板，实现高效的生产线传输。相比传统的机械搬运方式，真空泵搬运更加灵活，能够适应不同形状和尺寸的线路板。清洁除尘：真空泵可以有效地吸除线路板表面的尘埃和杂质，提高检测的精度和可靠性。通过清洁除尘，还可以减少对环境的污染，符合绿色生产的要求。可靠性强：真空泵具有较高的可靠性和稳定性，能够长时间连续工作，确保生产线的高效运行。此外，真空泵的维护成本较低，降低了生产成本。应用广泛：真空泵适用于各种类型的线路板检测工艺，无论线路板的大小、形状和材质，都能够提供可靠的吸附和搬运解决方案。综上所述，真空泵在吸附搬运检测线路板的工艺中具有稳定吸附、高效搬运、清洁除尘、可靠性高、维护成本低和应用广泛等优势。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、...

阿特拉斯螺杆真空泵有什么优势

2025 - 07 - 22

阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势，具体分析如下：1. 高效节能，降低运行成本变频驱动（VSD）技术：阿特拉斯螺杆真空泵（如GHS VSD+系列）采用变速驱动技术，可根据实际需求自动调节转速和功率。例如，GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦，相比传统水环泵可节省50%以上能耗，年节省电费可达数万元。干式运行，无需冷却水：风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统，进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗：在相同抽速下，阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如，GHS1300VSD+功率为22千瓦，而同等抽速的水环泵需45千瓦，年节省电费超50万元。2. 高可靠性，延长使用寿命耐用的螺杆转子设计：转子采用高强度材料，表面经过特殊处理，耐腐蚀、耐磨损，理论寿命超40万小时（约80年），20年内无需更换机头。无油污染，清洁运行：干式压缩技术避免油污染，适用于对清洁度要求高的行业（如半导体、制药、食品包装），同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度：通过变频调节，真空泵能维持稳定的真空压力，减少生产波动，提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放：干式运行无需工作液体，彻底解决水环泵废水排放问题，符合环保要求。低噪音与低振动：优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低，改善工作环境。无油蒸汽排放：避免传统...

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罗茨水环真空机组在PCB压合工艺的应用特点

日期： 2022-12-05

来源:

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罗茨水环真空机组由多台康斯顿罗茨泵及司倍克水环泵组成，具有抽速大、真空度高等优势，适合PCB真空压合机应用。

罗茨水环真空机组在PCB压合工艺的应用特点：

1、康斯顿罗茨真空泵特点是启动快，耗功少，运转维护费用低；

司倍克水环泵,水环真空泵

2、罗茨真空泵抽速大、效率高，在100～1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体；

3、以水做密封，可以循环利用成本低，对环境无污染；

4、罗茨真空泵对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感；

罗茨水环真空机组,pcb真空机组

5、司倍克水环真空泵叶轮偏心安装，与泵腔无接触无磨损；

6、维修周期长5年以上，无需专人维护，几乎无易损件；

深圳恒才机电设备有限公司，专注于真空泵领域，为客户提供专业真空设备及真空解决方案，康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。

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发布时间： 2025 - 07 - 23

旋片真空泵机组360度轮移动方便携带

高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...

发布时间： 2025 - 07 - 22

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