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2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
2019 - 10 - 29
现在很多厂家生产的开料机将根据客户要求配备一个真空泵,为方便客户固定板,但使用注意事项真空泵,但没有明确告知消费者,导致很多客户在真空的时间泵故障不能确定是哪里出了问题,今天我们对水环真空泵的常见问题做一下简单的解释。  水环真空泵主要组成部件有以下几种:  1、吸气口:连接木工雕刻机吸附管道。  2、除尘罩:防止木屑等杂物进入泵内。  3、止回阀:停机时,防止泵内的水回流到设备内。  4、进水管:向泵内注入工作液,设备产生真空。  5、进水阀门:控制工作液的流量,开机之前必须完全打开阀门,并确保水已经进入泵内,才能启动真空泵。  6、排水口:在设备使用10天左右,排空水箱内的工作液,更换干净的软化水。  7、排气口:在吸附过程中产生的气体,通过排气口排入大气,排气口不可堵塞,不可接超过两米的管路,不可接直径低于5CM的管路,否则极易超负荷,损坏电动机。  8、上水位口:向水箱内加水,直到上水位口向外淌水为止,并在每天启动真空泵前定时加水,保证水箱内有充足的工作液。  9、水箱:盛放工作液。  那么在水环使用之前我们应该注意哪些问题?  特别提醒:每次开启真空泵的时候,必须确保真空泵里面有工作液!且工作液位需达到电机轮轴以上!  一:吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露。  二:初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞现象。  三:连接电动机电源,并调整运转方...
2019 - 11 - 05
真空泵的作用是从除了气体分子的真空室抽真空,以减少在所述真空室中的气体压力,以便达到所需的真空度。广义地从大气中高真空具有大的范围内,到目前为止还没有一个真空系统可以覆盖该范围。因此,为了实现不同的产品的过程指标,和工作的设备的工作寿命要求效率,不同的真空部分需要选择真空系统的不同的配置。为了获得最佳的结构中,真空泵系统被选择,有以下几点应予以考虑。  1,确定在真空中工作范围  它首先检查以确定真空的每个过程的要求的程度。由于每个进程具有其自身的真空范围的适应,必须仔细研究,以确定。  2,确定最终的真空  在真空排气系统由过程所需要的真空度的检查的基础上确定的限制的真空度,因为该系统确定真空系统的工作最好的真空度最终。  一般地,该系统的极限真空比操作系统,真空度低20%,比真空前级泵的极限程度低50%。  3,选择主真空泵计算  S = 2.303v / TLOG(P1 / P2).  其中:S是真空抽速,v是真空室的容积,t为达到所要求的真空度所需的时间,p1为初始压力,P2是真空的所需程度。  4,真空容积  检查时间以达到所需的真空水平时,泄漏的真空线的流动阻力。  考虑的需求,以达到真空排气速度所需的真空度后,根据工艺要求一定的条件下维持。  5,排气的类型和量泵送  检查的排气用吸入工艺要求的类型和数量。因为反应发生,如果液体泵的气体种类和真空泵系统将被污染。同时,...
2019 - 11 - 07
水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。  水环真空泵的工作原理       叶轮与泵体呈偏心配置,当叶轮旋转时,水在离心力的作用下沿泵体内壁形成近乎等厚的旋转水环,水环内表面与叶轮轮毂外表面构成月牙形的工作腔,并被叶轮叶片分割成大小不等的空腔。前半转空腔的容积逐渐扩大,气体从外界吸入;后半转空腔的容积逐渐缩小,气体被压缩后排出外界。从而完成吸气、压缩、排气三个工作阶段。  过压缩现象与压缩不足现象  1、过压缩现象:封闭小腔没有到达排气口,其内气体已经达到排气压力(一般常发生在大泵中,且吸气压力较高时容易发生);  2、压缩不足现象:封闭小腔与排气口接通,但其内气体尚未达到排气压力(常发生在吸气压力较低时)。  以上现象均与吸入气体压力变化,而泵的两口位置(压缩比)固定不变有关。  解决问题的办法  1、在排气口前设置橡皮球阀:当小腔内气体过早达到排气压力时,球阀打开。  2、采用柔性排气阀设计(专利),避免过压缩现象。柔性排气阀通过自动调节排气面积而降低泵的能量消耗。从而达到运行效率。  3、设计时,以吸入压力(极限压力)来确定泵的压缩比(排气口位置)  压缩比 ...
2019 - 11 - 08
在真空系统的应用中,提取的气体不仅包括应用过程中产生的各种气体,而且还包括系统中的原始大气。整体内容是什么?今天,小编会给你理一理。  1.真空系统过程中产生气体  它包括过程中从材料中逸出的气体以及过程中引入的气体,并且还包括真空系统中的液态或固态气化气体。对于不同的过程和要处理的不同材料,此气体量的计算是不同的。  2.真空系统中最初存在气体  在真空系统中,真空容器腔室,真空管道等最初包含一定量的大气气体成分。在泵送的初始阶段,它们是真空系统的主要气体负载,最早也被系统带走。  3.真空系统中泄漏气体  泄漏气体包括通过真空密封连接和各种泄漏路径泄漏到真空系统中的气体。对于给定的真空系统,泄漏的气体量是恒定的。不同的真空系统应用,不同的极限压力以及对气体泄漏量的严格限制。  4.真空系统中各种材料表面上释放的气体的解吸  在常压下,真空系统中材料的表面会吸附并溶解一些气体。在负压下,这部分气体将再次释放。它的渗出流与材料特性,加工和材料的表面状态有关。  5.真空系统外部的气氛通过壁材料渗透系统中的气体  气体也溶解并渗透到固体中。因此,大气通过容器壁结构的材料将一部分气体渗透到真空系统中。在普通的金属系统中,这种渗透可以忽略不计,但是在玻璃真空系统或薄壁金属系统中的某些应用将需要考虑渗透气体的影响。  以上五个方面构成了真空系统的总泵送负荷。
2019 - 11 - 12
爪型真空泵,是一种转子为爪型的真空泵,泵的腔体内不使用任何油类和液体,所以称为真空泵。在结构上多采用多级爪式转子串联组合而成的,通过联轴器直接与电机相连。真空泵可分为容积式和动量传输式两种,爪型真空泵按工作原理划分属于变容积式真空泵。  爪型真空泵由于具有腔体内干燥、对被抽容器没有污染、能直连大气、单泵抽吸力大等优点,被广泛地应用于航天、化工、制药等行业。但爪型真空泵的动平衡分析及密封特性一直是研究的热点问题。  爪型真空泵的结构  爪型真空泵的结构特点,各级转子串联、直径和形状相同,各级转子间相位为固定,由中间壁来隔离,形成各级的泵腔,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上,由转子旋转过程中自动开关。转子无任何摩擦地悬浮于泵腔内做同步反方向运动。  当电动机1开始工作时,电机主轴直接连到主动轴4上,主动轴4通过成对齿轮3的啮合实现与从动轴5的连续转动,4级泵腔依次串联,每级泵腔内各有一对做同步异向双回转运动规律的爪型转子8共轭啮合,实现吸气、压缩、排气、混合的连续过程。气体首先通过进气口,进入通道,在一级转子的作用下,一级泵腔内的气体进入2级泵腔,而后进入3级、4级泵腔,最后气体经过排气道进入冷凝区,气体液化后流向排液口,经收集处理可循环利用,同时残存气体通过消声器排入大气。  多级爪型真空泵可以起到抽真空以及气液分离的作用。为了防止轴承和齿...
2019 - 11 - 14
近年来,中国城市生活用水量逐年增加,因此建设建筑物用水至关重要。因此,有必要选择一个良好的真空系统,建筑物排水中的应用值得关注。  真空系统在建筑排水中中的应用,属于排水及污水处理环保设备领域。用于建筑物排水系统的当前控制系统中真空泵站系统和厕所控制系统不是两个独立的系统。这两个系统共享一个真空检测开关。该系统由相同的真空检测开关操作和停止。恒定值控制,一旦真空检测开关发生故障,两个系统都将被停用。  真空泵站系统中真空泵和污水泵非常有用。备用泵仅在当前泵出现故障时才激活。频繁的启动往往会缩短有源泵的寿命。浴室控制系统中控制模块(如马桶座圈)的参数设置值是固定的,无法修改,因此不能在系统中的每种情况下灵活使用。  本文的目的是解决现有建筑排水系统控制装置中真空泵和排污泵使用不正确,马桶座等控制模块无法设置修改参数,无法显示的问题用于确认诸如马桶座等控制模块故障的问题。为了达到上述目的,技术人员使用了一种真空系统技术方案来构造一种建筑物的真空排水装置,该建筑物包括抽水马桶控制系统,该抽水马桶控制系统通过排污管与抽真空系统相连。  真空系统利用真空泵抽真空箱和管网中的空气,使管网中长期保持0.035〜0.045Mpa的相对真空,排污迅速。通过压力差将其吸入真空管,然后进入真空收集器(罐中;进入收集器(罐)的污水可以排入附近的重力排水网络或污水处理厂,或者可以输送到生态卫生中设备。  启...
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2019 - 12 - 20
2020年元旦和春节放假安排  公司全体员工:  根据国家法定假期的规定,现对2020年元旦和春节放假做如下安排:  一、 元旦放假:2020年1月1日放假一天。  二、 春节放假:2020年1月20日至2020年1月31日放假,共12天。    请各位同事提前在纷享销客请好假,发货截止到1月1〇日,1月11日至2月3曰不发货。  三、 各部门自行妥善安排好放假前工作,1月19日下班最后离开公司的同事务必切断电源,关好门窗做好安全防范工作。  四、 节日期间,全体人员需保持手机开机状态,确保联系畅通,以便及时处理相关订单及客户问题。  五、 希望全体员工在节假日外出期间,注意自身人身安全和财物安全,愉快的度过假期。  特此通知。
2018 - 04 - 11
真空泵泵油是真空泵配件,在选择真空泵油的时候要注意哪些事项,有哪些要求呢,我们刘工做了如下几点总结。   1、泵油的密封性真空泵泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下泵油能具有良好的密封性,在泵内泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。   2、泵油的饱和蒸汽压饱和蒸汽压是泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。泵油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的最高工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5 kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。 3、极限全压力和极限分压力极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。 极限分压力:用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力,双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa.极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,泵油中含有的挥发成分就越多,油品的性质就越差。   4、真空泵泵油的光滑性表现佳的泵油有利于抑止腐蚀磨损;能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损;摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等,都与...
2018 - 06 - 21
由于罗茨真空泵是一种技术含量比较高设计比较精巧的设备,因此它具有非常多的优点,但是想要让这些优点真正的发挥出来就需要学会正确的使用它。因此相关的工作人员在正式投入操作罗茨真空泵之前应该要接受一定的培训懂得操作的技巧和方法,这样才能够使得设备更好的运转,具体来说,罗茨真空泵得正确的使用方法包括以下几个方面。一、经常调整罗茨真空泵叶轮转子间隙在操作罗茨真空泵到时候,必须在相应的位置留一条连续的接触线,通过这种方式来阻止气体流回到真空当中,并且在运行时还应该要经常性的检查两转子的啮合情况。并且使用了一段时间之后,里面比较关键的元器件可能会因此而磨损,所以罗茨真空泵厂家提醒需要及时的进行检查和修理。如果叶轮转子间隙比较小的情况下,如果任其发展的话那么很可能会使电机过度发热而导致损伤,因此需要进行一定的调整,特别是平时要经常的对相应的位置进行清理。二、经常检查罗茨真空泵泵轴的密封状态由于罗茨真空泵随时要保证里面是处在真空的状态,所以密封效果一定要做到位,因此随时要检查密封配件的效果,避免漏气的情况发生。专业提供罗茨真空泵厂家介绍一般来说,要选用质量好一些的蜜蜂园事件,比如机械密封等等,最近新研发出来的瓷粉密封效果也不错,值得一试。三、合理选用罗茨真空泵的转数罗茨真空泵的转数应该要根据实际的情况进行调整,理论上来说,增加圈数就会使排泄量也增加,并且是容积率上升但同时可能会因此而增加噪音。所以高...
2018 - 08 - 29
一、真空泵使用中要注意人身安全    在现场安装真空泵是,除了操作真空泵时要注意安全,还应当采取一些普遍的预防措施来确保自己在工作环境的健康和人身安全问题。无论机器在不在运行,都务必穿戴合适的服装。对电动泵进行维修时,也要确保穿戴上绝缘手套和保护头盔。如果你工作或者百分的泵站和污水处理有关,确保用防水胶布包扎你的伤口,再小也要包扎,否则由直接同污水接触引起、通过伤口或者眼睛、口腔膜感染,可能感染严重病毒,如果在现场受伤,应当立即用防水、杀菌、棉质的绷带包扎,下面请看几点重点注意事项:1. 实验操作人员进行操作过程中,切勿携带电子产品。2. 实验操作人员需佩戴真空设备专用操作手套进行操作,不能直接触碰真空设备。3. 真空泵设备配件应在干燥箱内保存,并远离具有腐蚀性的化学气体或液体。4. 真空泵设备需定期进行擦拭,应选用无尘纸或无尘布配套酒精或丙酮进行清洁。5. 实验室应保持一定干燥度,实验操作人员应每日检查实验室的湿度及温度情况。6. 实验室应保持良好通风,以避免机械真空泵油气所造成的影响。7. 操作人员应关注真空设备所使用泵的温度,以免过热导致仪器寿命缩短。8. 操作人员应在分子泵转速降至安全线以下后,放入氮气或液氮。9. 操作人员应密切关注高压泵电源接口损耗程度,以防止操作人员触电,确保安全。10. 实验人员进行操作时,应严格按照各真空设备操作步骤进行阀门开关...
2018 - 11 - 03
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度...
2019 - 03 - 08
真空系统用何种真空泵,首先应根据系统的要求,其次应对该泵性能特点有详细了解,比较了各种泵的优缺点后,再决定之, 这样才能选用得适当。为便于选择所要使用的真空泵,现将我国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点,看来是必要的。 一、油封机械泵 现生产的2X型旋片泵均为双级,抽速为0.5~150升/秒,有全系列的产品。 滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。 抽速:H型为8 ~ 600升/秒;2H型为8~ 70升/秒。亦有成系列生产的产品。 余摆线式泵抽速可很大,体积小,目前正在试生产。 这类泵均用作获得低真空,或作高真空泵的前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空i。但极限真空比抽干燥空气(不用镇时)低-个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速,当系统压强下降时抽速亦下降,直至接近该泵的极限真空,抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。 二、机械增压泵(罗茨泵) 工作压强范围10~5x10-4托,常用范围2~5x10-3托,抽速范围150~ 2000升/秒,我国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~10-2托之间,需要前级泵,不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比,工作压强范围较宽,最大排气压强较高(机械增压泵10~30托,油增压泵1 ~ 2托)&...
2019 - 04 - 26
1. 选真空泵要确认环境条件  包括环境温度、相对湿度、大气压力、空气腐蚀性、危险区域等级、防尘防水要求。2. 选真空泵要确认操作条件  指液体吸入侧液面压力(绝对)、排出侧液面压力、间歇或连续工作、位置固定或移动、安装维修方便性。3. 选真空泵要确认介质性质  包括介质名称、温度、密度、粘度、饱和蒸汽压力、固体颗粒直径和含量、气体的含量、腐蚀性、挥发性、燃爆性、毒性。4. 选定真空泵过流部件的材质  根据泵送介质的物理化学性质主要考虑以下几个方面:  (1) 介质的腐蚀性,  泵过流部件的耐腐蚀性能满足使用要求即可,不可追求过高的耐腐蚀性能,否则,将大幅度增加泵的购置成本。  (2) 介质是否含固体颗粒,  因为固体颗粒的硬度和含量直接关系到泵过流部件的耐用性。  (3) 介质的温度(压力),  介质的温度(压力)越高,泵过流部件的材质强度应越高。一般的,温度250℃时,应选用铸钢件或钢件。  (4) 有卫生级或禁止污染要求的介质,  选择相应的过流部件材质。另外,泵的结构应是便于清洗的。5. 选定真空泵性能参数  (1)计算法  A. 流量:它直接关系到整个装置的生产能力和输送能力。如工艺设计中能算出泵正常、最小、最大的三种流量。选择泵时,以最大流量为依据,兼顾正常流量,在没有最大流量,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。  B. 扬程:一般要用放大5%-10%余量后的扬程...
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旋片真空泵GVD28可用于什么行业

日期: 2022-09-14
来源:
浏览次数: 73

由阿特拉斯旋片真空泵GVD 28和罗茨真空泵ZRS 250,组成罗茨旋片真空机组,搭配真空腔体应用,在密闭腔体内进行激光焊接,使真空焊接工艺更加完美。解决了传统真空泵存在的问题,比如抽真空度达不到要求、真空泵系统运行抖动大不稳定、抽气时间长、不够节能环保等问题。


进口旋片真空泵GVD 28应用特点:

1、GVD系列小型油润滑旋片式真空泵,具有优异的极限真空压力,低噪音运行;

2、双级油润滑旋片真空泵满足高真空或大排量两种应用;

3、使用简便,气镇阀分三档调节,可选择性切换工作模式,可以在任意时间,包括在真空泵运行状态下操作;

旋片真空泵,阿特拉斯真空泵



4、带印刷垫片的油封,轴封效率高,油盒可收集注油时溢出的油;

5、阿特拉斯罗茨真空泵ZRS 250抽气时间缩短达50%、节约成本。

真空焊接装置具有的高真空、低噪音、结构简单,抽气时间缩短达50%,有效节约成本,稳定性好等优势。新的真空方案解决了原有存在的问题,提高了工作效率,为生产增加效益,激光真空焊接的工艺也得到了改善。


深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。

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发布时间: 2025 - 12 - 16
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