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2022 - 07 - 04
真空泵节能环保改造成功案例,一套成熟稳定的真空系统非常关键,DZS系列爪式干式真空泵可以实现高要求抽真空需求。客户是一家飞机零部件加工企业,加工方式主要采用CNC加工,原来使用的真空系统是双极油润滑旋片泵,由于CNC加工的特点或是工人操作不当,经常会有切削液进入到真空泵,导致真空泵损坏,从而直接造成加工件的损坏。经过现场详细的工况了解及相关行业的经验,阿特拉斯·科普柯真空专家团队推荐客户使用DZS干式爪真空泵配前处理罐的真空系统替代原来的油旋片系统,可以最大化的减少由真空系统故障给客户带来的损失。DZS系列爪式干式真空泵的优势1.无油设计,无需定期保养,排放无污染2.模块化设计,简单可靠,维护简单3.转子材质为不锈钢,无需定期更换4.配备前处理罐,可以在线自动排液,防止切削液进入真空泵深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 08 - 01
片材挤出/集中供水,片材挤出机一般要求真空度:-100kpa以上可以满足使用要求,在此基础上真空度越高,片材质量越好,真空度达不到会造成透明度低,片材脆等问题。双罗茨水环真空机组优势1.采用三叶罗茨真空泵,具有高效密封优势,能防止挥发气体进入油箱造成油乳化,高真空度稳定,生产效率提高10%以上,无需酒精清洗更安全可靠;两级罗茨真空泵作用下真空度可高至-101KPa。2.采用康斯顿水环真空泵,具有低噪音优势(低于70分呗);使用寿命长达30年;除机械密封、排气阀片外,无易损易耗件;电机与泵头直连传动,无托架无联轴器,运行更平稳,效率更高。双罗茨水环真空机组、PET片材真空机采用优质的真空泵配置,真空机组组运行稳定、真空度高,大大提高了PET片材的品质,解决了客户所担忧的PET片材透明度不高、片材脆等问题。这是一台可用于PET片材挤出的罗茨水环真空机组,俗称PET真空机组,采用的是三叶罗茨泵,密封性能好防止油乳化,无需酒精清洗,真空度可达-101KPa,噪音低至70分贝,这台真空机组可有效解决PET片材透明度不高、片材脆等问题,你确定不来一台吗?深圳恒才机电设备有限公司与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等真空泵品牌的合作, 为客户提供真空设备和专业的真空系统设计、售后、安装等一站式真空服务,更多真空泵行业应用、真空机组配套方案、真空系统解决方案等,欢迎致电13928410990
2022 - 11 - 11
锂电池是一类由锂金属或锂合金为正/负极材料、使用非水电解质溶液的电池,由于动力电池的产能和装机量也飞速增长,也给许多真空系统带来更多的应用和机会。锂离子电池行业的真空应用,在锂电池的制造过程中,真空技术在合浆、注液、烘烤等工艺流程中发挥重要作用,真空系统设计的好坏与锂电池的品质密切相关。锂电池抽真空为什么用GHS螺杆真空泵?GHS VSD+变频油螺杆真空泵在锂电池行业的应用已经不是新鲜事,而是有很丰富的真空系统应用经验。效率:变频螺杆技术,VSD技术和创新电机设计相结合,提升能效2.运行安静:低噪音级别运行3.可靠的效率提升带来可持续生产力4.良好的保油能力,设备在全压力段运行时排气含油量低,保护环境5.低生命周期成本深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 12 - 16
塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑成型、热压挤出等工艺,需要用什么真空泵系统更合适?深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案等服务,恒才机电的罗茨水环真空机组可应用于塑胶挤出行业。这是2022年出的第N批罗茨水环真空机组,应用于塑胶挤出行业,出货数量足以说明,恒才机电真空系统在橡塑挤出行业应用是有实力的,实打实的真空度数据,节能环保,稳定运行,是我们给客户的承诺。塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑设备、热压挤出真空设备称之为罗茨水环真空机组,由两台罗茨真空泵及一台水环真空泵组成,真空度可稳定在-98kpa至-101kpa,通过恒才的真空改造方案,实现了节能环保、高工作效率、稳定真空度,从而改善了产品生产质量。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2023 - 03 - 31
当石材大理石生产同行还在使用旋片真空泵的时候,我们客户已经开始使用变频螺杆真空机组了,早在几年前,深圳恒才机电带着变频油螺杆真空机组,已经进军石材行业了。根据我们对大理石制造工艺的了解,发现大理石生产对不同抽真空阶段速度有变化,对真空度有特定要求。因此我们设计了真空解决方案,选择了变频油螺杆真空泵:1、可把控真空度和速度,Atlas螺杆真空泵稳定性比较高,是获得客户认可的一款真空泵设备;2、结合我们的真空解决方案,可以很好减少大理石遗留气体,防止空腔生产,从而提升大理石品质。3、告别了旋片真空泵带来的维修频繁、换油频繁、噪音大、能耗大、油污染大等问题深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 02 - 24
最近,很多客户问了罗茨螺杆真空机组的相关资料,现在就一起来了解一下。罗茨螺杆真空机组是由康斯顿品牌的螺杆真空泵和三台罗茨真空泵组合而成的。罗茨螺杆真空机组在化工行业的应用特点是什么?1.首先,罗茨螺杆真空机组的特点就是可以在较低的入口压力下仍然保持较大的抽气速率。这对于那些需要在特定压力条件下进行操作的行业来说,比较关键。且,罗茨真空泵的稳定性和可靠性都非常高,可以保证连续、高效的工作。2.康斯顿新一代高品质螺杆真空泵更是解决了对介质和环境造成污染的问题,这无疑是一个巨大的优势。不仅如此,罗茨螺杆真空泵在化工行业的应用,还能回收排出气体,创造附加经济效益,这也是许多企业和工厂所看重的,对于重视环保环境的公司而言,这点很重要。3.罗茨螺杆真空机组的应用范围也非常广泛。它可应用于有机溶剂行业,以及其他需要真空环境的行业。罗茨螺杆真空机组都可能成为你的得力助手。那么,这种设备的原理是什么呢?其实很简单。打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空。然后,打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出。被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量。总的来说,罗茨螺杆真空机组是一种高效、环保、可靠...
2024 - 06 - 01
PET片材挤出过程中,真空机组的选择和应用对产品质量和生产效率具有至关重要的影响。罗茨水环真空机组,作为一款先进的真空设备,其在PET片材挤出工艺中的应用优势逐渐显现。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,既保证了高真空度,又具有较高的抽气效率。在PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,降低气泡的产生,从而提高产品的透明度和质量。此外,罗茨水环真空机组还具备运行稳定、噪音低、维护简便等特点,能够满足长时间、连续性的生产需求。在PET片材挤出过程中,罗茨水环真空机组的应用还需要注意一些关键问题。首先,要确保机组与挤出机的连接紧密可靠,防止气体泄漏。其次,要根据生产需求合理调整机组的真空度和抽气速率,以达到最佳的生产效果。此外,定期对机组进行维护和保养,确保机组的长期稳定运行也是至关重要的。随着PET片材挤出技术的不断发展,罗茨水环真空机组的应用将越来越广泛。未来,我们可以期待更多先进的真空机组技术涌现,为PET片材挤出工艺提供更为高效、环保的解决方案。同时,我们也应该关注如何进一步优化罗茨水环真空机组在PET片材挤出过程中的应用,提高生产效率和产品质量,满足市场的需求。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,高真空度、高抽气率。PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,减少气泡、提高产品的透明度和质量,运行稳定、噪音低、维护简便、能够满...
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2020 - 01 - 13
泵轴的功能是将动力传递到叶轮,并通过轴承将叶轮支撑在某个位置。您知道泵轴损坏的主要形式是什么吗?它是怎么引起的?针对这些疑问,以下真空泵维修厂家解释了泵轴损坏的原因及其维修方法,同时,我们组织了泵轴检查的步骤。我希望通过本文,每个人都能对真空泵的故障有所了解。  真空泵维修厂家解释了泵轴损坏的原因。  一、轴弯曲  轴弯曲主要发生在深井泵和多级泵中,并且这些泵的轴直径相对较大。  泵轴弯曲的原因是:转子动态不平衡过大,转子振动以及泵的基本液位太差。对于卧式多级泵,这主要是由于不适当的起动引起的中垂下垂,转子的上下部分之间的温差所引起的变形以及过度的转子不平衡和未对准引起的振动。  解决轴弯曲的主要方法是冷校准,热校准,混合校准等。  二、磨损  局部磨损通常是由轴的弯曲引起的。此外,轴承的内圈松动引起的磨损或轴承的损坏也会在轴承轴直径处发生。  泵轴检查步骤:  (1)表面检查:用煤油清洁泵轴,用砂纸打磨,并检查表面是否有沟槽和磨损。  (2)轴弯曲的检查:对于弯曲的轴,最方便的是在车床上进行高精度测量。也可以使用滚动轴承支架或V型铁支架进行测量,但是在测量过程中必须确保轴本身的水平度和轴向位置,以防止运动。  ①确定轴的测量位置。将安装的半联轴器,轴承,叶轮和其他零件作为测量点。  ②将泵轴的每个测量部分分成四分之一或更多个均匀部分。 ③在测量部分安装百分表。指示器的测量头应垂直...
2020 - 02 - 17
制药业不仅是国民经济的一个部门,还是治疗,预防,保健和计划生育的社会福利事业。由于药物种类繁多,更新迅速,新药开发工作,要求高,难度大,成本高和周期长,因此制剂的生产需要合适的人员,工厂,设备,测试仪器和良好的卫生环境,以及各种必要的配方辅助材料与适用的内部和外部包装材料相匹配。以下编辑人员将分析常见真空设备和真空系统在制药行业中的应用。  真空技术是一种相对先进的技术,已在中国许多领域得到广泛应用。真空技术是中国医药工业发展中的一项重要技术,可以满足医药生产的需要,并可以保证较高的卫生标准。因此,研究真空技术在制药机械行业中的应用具有重要意义。  制药行业常用的真空设备有哪些?  ①真空微波干燥设备。它是一种广泛使用的真空设备。该设备具有药品生产过程中加热速度快,加热效率高的特点,物料的回收率可达到100%。  ②带式真空干燥设备。内径可以达到2400mm,最大长度可以达到19000mm,但也有一些缺点:药物生产的进料不均匀,干燥速度较慢,水含量控制不足等。  ③真空浓缩设备。它是药品生产中常用的机械设备。  在实际使用中,为了达到以下目的:一次提取大量物料,并且提取纯度高,提高了药品的生产质量和生产效果,提高了生产效率,节省了生产成本,促进了生产企业的发展。使用其真空系统产品可延长正常工作时间,并且由于可重复使用,因此可以提高产量并节省成本。它不仅安全,而且即使在相当苛刻的工作...
2020 - 02 - 20
螺杆真空泵主要采用滤芯作为过滤器安装,是过滤器的重要工作部件。过滤效果主要由过滤元件的性能决定。螺杆真空泵的主要过滤方法有哪些:滤油器用于螺杆真空泵的滑油,延长了滤油器的使用寿命。油路中的排气过滤器考虑了螺杆真空泵的三个要求,即排气阻力、含尘量、油气分离性能。  达到平衡。不同的内部和外部位置,使用不同的数据来完成不同的分离目的3。进气过滤器能有效防止固体颗粒和细灰被吸入螺杆真空泵。减少机械磨损,提高运行可靠性。它还能有效维护系统部件,延长螺杆真空泵的使用寿命,广泛应用于国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求高的企业。  全面了解螺杆真空泵可以更好地停止维护。螺杆真空泵的泵室如果不处于干燥状态,长时间不使用会生锈。重复使用时可能无法正常启动。如何正确除锈?人工除锈是一种节约成本且相对安全的方法。不需要使用化学产品来除锈,因为如果在螺杆真空泵的泵室内使用化学除锈剂,泵室或多或少会损坏。  用除锈剂除锈除锈剂非常干净,但可能会对螺杆真空泵的泵室造成一些损坏。如果使用过程中生锈,可根据实际情况选择除锈方法。当然,如果能采取足够的防锈措施是好的,这不仅能保证螺杆真空泵的正常使用,而且能延长其使用寿命。  恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列...
2020 - 02 - 24
旋片真空泵长时间使用后,会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡死”、严重油污、真空泵室生锈、旋叶撞击声大、硬物落入真空泵室划伤真空泵室、真空泵过热等异常现象。  此时,必须拆卸和清洗真空泵。该方法包括以下步骤:  (1)切断电源,从真空系统中取出真空泵,  (2)用重力法或加压法排放和收集污油,避免污染环境;  (3)取下皮带和皮带轮键(双级旋叶真空泵包括皮带);  (4)先拆下低真空端,拆下后端盖,然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。  (5)取下前端盖,取出高真空转子、旋转板、弹簧等。  (6)取下观察镜、排气阀、排气盖等。  (7)用汽油彻底清洁去除的金属部件,并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%的氟化氢溶液煮沸以去除油。对于有毛刺或铁锈的零件,可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨,以去除锈斑和毛刺。清洁后的零件必须干燥。  (8)组装时,先安装后级,托起弹簧和旋转板,安装到转子上,然后将前端盖安装到真空泵室内,安装定位销,均匀对称地拧紧螺钉。组装后,旋转应灵活且均匀。安装前转子和后端盖后,安装排气阀(排气阀片应与阀座紧密连接)和其他部件,如气体镇流装置等。  真空泵维护注意事项,总结真空泵维护知识:  (1)定期检查油位是否低,以及干油标记线。如果有低干油标记,应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不能太多,否则会造成起动困难和喷油困难等问题。  (2)应注意真空泵的...
2020 - 02 - 28
当卧式离心泵输送的介质高于200℃时,泵在启动前必须预热。否则,进入泵的介质将导致泵中的温度瞬间升高,转子部件迅速膨胀,静止部件被相对缓慢地加热,导致动态部件和静态部件之间的间隙减小,这可能导致相互接触、摩擦或阻塞。在严重的情况下,转子的动平衡精度受损,转子可能被卡住,这通常称为轴锁定。输送固化介质时,还应进行暖泵,否则进出口管道容易被固化介质堵塞,导致气蚀和振动故障。  卧式离心泵的预热方法及注意事项  1.高温泵  (1)当暖泵机组在试启动或维护后启动时,泵应采用正暖模式,即泵入口阀微开,介质从泵吸入口流经泵体,从泵出口管道排放阀排放到指定的收集装置。它也可以称为间歇暖泵。  (2)注意事项启动高温泵和加热泵的注意事项如下:  1)暖泵升温速度为15-30℃/小时  2)当泵体温度与输送介质温度之差≤20℃时,可完成泵的预热。  3)正暖结束后,关闭暖泵排水阀,并在满足其他驱动条件后再次启动。  2.备用泵  (1)OH2结构的备用泵暖泵使少量物料从排出管通过运行泵,流经备用泵的泵体,然后返回泵入口,使备用泵处于热备用状态,防止备用泵和吸入、排出管中的介质凝固,有效维持暖泵,便于启动,需要反向加热。也就是说,暖泵管线从泵出口管线的切断阀后面被引导到出口止回阀的前面。在暖泵管路上设置闸阀和孔板,使少量物料从暖泵管路通过主泵引出,缓慢流过备用泵的泵体,并返回泵入口,达到持续暖泵的目...
2020 - 03 - 04
真空泵维护  真空泵机组的质量取决于其机械结构和油的质量。使用真空泵时,必须对其进行良好的保护。如果挥发性有机溶剂被蒸馏,有机溶剂将被油吸收,蒸汽压将增加,从而降低排空效率。如果是酸性气体,就会腐蚀油泵。如果是水蒸气,油会变成乳液,真空泵会损坏。  因此,使用真空泵机组时必须注意以下几点:  蒸馏系统和真空泵之间必须安装吸收装置。  蒸馏前,系统中的有机溶剂蒸汽必须由水泵完全抽出。  如果你能抽空气,尽可能用水泵。如果蒸馏物中含有挥发性物质,使用水泵减压,然后使用油泵。  减压系统必须保持紧密和气密。所有橡胶塞应具有适当的尺寸和孔道。橡胶管应该是真空橡胶管。磨砂玻璃涂有真空油脂。  真空泵和离心泵的区别  离心是物体惯性的表现。当伞旋转时,水滴将从伞向外边缘移动,并被抛出,这被称为离心。离心泵就是根据这一原理设计的。高速旋转的叶轮叶片带动介质旋转甩出,从而达到输送的目的。  真空泵是指使用机械、物理、化学或物理化学方法对泵送容器进行抽吸以获得真空的装置或设备。一般来说,真空泵是一种使用各种方法来改善、产生和保持封闭空间内真空的装置。真空泵的功能是制造真空,其结构形式多种多样,包括离心式、隔膜式、活塞式、液环式、旋转式和喷射式。  真空泵和空气压缩机的区别  空气压缩机简称空气压缩机。这是一台产生压缩空气(正压)的机器  真空泵正好相反。这是一台产生真空(负压)的机器
2020 - 03 - 07
真空泵的使用寿命不仅关系到真空泵本身的质量,而且要求用户严格按照规定的要求使用。如何使用真空泵油这个问题分享。  真空泵油的用途如下:  一、油窗必须清洁,严禁在阳光下暴晒和露天存放,要存放在黑暗、干燥和通风的地方,防止水和灰尘混入。  二,在取油或装油时,必须清除桶盖周围的小雨,以防杂物混入油中,造成泵的磨损。  三、不同品牌、品种的真空泵油不能混用,新旧油不能混用。  四、严格避免将真空油与其他润滑油混合,更不能与轻质油混合,否则会影响真空性能。  五、真空泵应尽量避免泵送溶剂、水蒸气和腐蚀性气体等。定期检查时必须使用,定期换油。  六、换油时应使用泵体的旧油排出,注入新油后慢慢转动泵轴,清洗泵腔以排出残余油,反复清洗几次,如清洗干净后换上新油。  七、泵检修时必须用溶剂或清洗剂清洗泵的所有零件,并干燥零件。  八、加油器具必须是专用设备,不应与其他油类或溶剂容器一起出现。  九、矿物油和酯油或其他合成油交换时,泵应拆开进行彻底清洗。包括所有零件必须浸在酯油中以防止污染。  十、如吸入化学气体和溶剂,影响真空泵油的污染,必须在油处理时清洗干净。  十一、换油周期:  1.当真空泵油真空度下降,不能满足需要时;  2.当真空泵油变成黑色和棕色时,应该更换。
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旋片真空泵极限压力怎么测?

日期: 2022-05-27
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新购买的旋片真空泵在使用前必须充分理解旋片真空泵的详细情况。不正确的操作方法,包括系统的连接、安装方法、启动、操作和其他注意事项,容易损坏真空泵。

 

旋片真空泵极限压力怎么测?

1.旋片真空泵的极限压力测定,旋片真空泵的极限压力请使用压缩真空计直接在泵的吸入口测量。第一次使用泵后,长时间使用后,使用新的油后,关闭吸气口至少1小时后,旋片真空泵达到工作温度和泵,将油完全脱气,测量极限压力。

 

2.旋片真空泵的电气配线,水环真空泵旋片真空泵的电线必须由专业电工执行,使用适当的电机过载保护。单相220V50HZ真空泵必须确保电压在220V10%的范围内。电压低于220V时,必须安装交流电源调节器。请勿在低压和高压下长时间工作,以免电机损坏。

旋片真空泵的三相异步电动机接线结束后,必须检查电动机的旋转。电动机的正确旋转方向是电动机轴的旋转方向从电动机的风扇侧逆时针旋转的方向。

旋片真空泵,旋片泵


3.旋片真空泵的系统连接,旋片真空泵的吸气旋片真空泵管请切断为吸入口的尺寸以上尽可能短的尺寸,螺纹接头请采用真空密封。如果泵送的气体中含有灰尘,必须在泵的入口端安装灰尘过滤器。

旋片真空泵是容积泵,通过旋转式在泵室连续运转,吸入气体进行压缩,最后从排气口排出。泵主要由定子、转子、旋转板等构成,转子偏心地组装在定子室中。转子槽有两张转子,转子之间放有转子弹簧。定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。

转子在定子腔内旋转时,转子在弹簧张力和自离罗茨真空泵心力的协同作用下其端部与泵腔内壁紧贴而折动,定期地扩大吸气口侧的腔内容积而吸入气体,并且逐渐缩小排气口的容积,压缩吸入的气体并从排气口排出。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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