往复式真空泵、旋片式真空泵、滑阀真空泵和罗茨真空泵使用往复式或旋转活塞吸入、压缩和排出气体。它的优点是刚投入使用的泵真空度比较高，但活塞是运动部件，所以活塞磨损是不可避免的。随着检查次数的增加，工作间隙会不断缩小，直至无法满足生产要求。这类泵运行噪音大、油耗高、故障率高，也是致命的不足。一般需要开一个更换，无形中增加了设备的投资和运行成本。此外，如果这种类型的泵用于泵送水蒸气等可冷凝气体，它会使润滑油乳化。因此，它只能用于泵送不可凝气体(空气)，不能用于泵送颗粒。用颗粒也限制了它的应用范围。
水环真空泵是以安装在泵壳内的带有多个叶片的偏心转子旋转，将水抛入泵壳内形成与泵壳同心的水环。水环和转子叶片形成体积的周期性变化以吸入气体、压缩和排出。它的优点是可以直接在低真空下泵送蒸汽等可凝性气体。其缺点是真空度低;不能吸出颗粒状介质;转子在高速旋转时不易进行防腐处理，因此不能吸入腐蚀性介质。