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2020 - 05 - 12
今天5月12日,春余夏首、夏花绚烂的日子,“深圳恒才机电设备有限公司”举行了隆重的乔迁庆典;风雨兼程,励精图治,不断创新,随着进一步扩大,公司再次踏上了新的台阶。  丨启航的号角已响起 丨  上午7点30分,各部门员工早早就来到了公司,现场热火朝天有说有笑,会场布置井然有序,经过大伙的一番努力,公司正式入驻新办公楼。会客区、会议厅、休息区欢声笑语、人声鼎沸、场面非常热烈。  公司董事长陈总致词,对公司所有同事的辛勤付出表示感谢,并展望了公司乔迁新址之后的未来;各部门依次分别向陈总表示祝贺,大家热情交流,一同见证了这美好的时刻。  迁至新办公区,是深圳恒才公司战略性发展的一次飞跃,随着公司全面布局的完善,今年将进入一个更高速的发展时期。办公区  深圳恒才的愿景是成为受人尊敬的流体服务型企业,让客户使用到最合适的流体系统。  看今朝,我们踌躇满志,展未来,我们豪情满怀;在恒才公司乔迁之际,非常感谢长期以来对我们给予支持和肯定的广大客户及与我们长期合作的伙伴,愿我们共同进步,共同发展,共赴美好明天!
2019 - 10 - 22
水环真空泵是一种应用十分广泛的真空泵,很多人想了解水环真空泵的原理和效率的问题,今天就给大家介绍一下.  水环真空泵的原理  水环真空泵主要用于粗抽和大抽的过程,并已广泛用于化学,石油和轻工业领域。  水环真空泵具有结构简单,易于制造,运行可靠,使用方便,经久耐用等优点,可以抽出腐蚀性气体,含尘气体和气水混合物。待泵送气体的温度优选为20℃至40℃。  其中,水环真空泵是效率更高的双作用水环真空泵。工作气体温度在-10°C到+40°C之间。水环真空泵广泛用于各种工业领域,用于真空干燥和真空脱水。它特别适用于需要清洁和无油的真空泵工艺的真空系统,该工艺需要大量的水蒸气溢出和洗煤厂和选矿厂的真空过滤。  除了水环真空泵外,油环真空泵也是液环真空泵的一种。它与水环真空泵之一不同之处在于,工作流体被变压器油代替。除了密封以外,泵本身的结构与水环真空泵没有太大区别。为了使油环真空泵在适当的温度下工作,油环真空泵本身具有一个冷却油箱(也称为油分离器)。  水环真空泵是大中型机组中广泛使用的冷凝器抽吸装置。其功能是去除冷凝器中的非冷凝气体,并确保并保持冷凝器真空。 水环真空泵的工作流体的入口温度对真空度有很大影响。降低真空泵工作流体的温度可以有效地提高水环真空泵的性能。  当工作水流量,吸入口力,吸入口温度和转速恒定且真空泵的工作水入口温度高于设计水温时,真空泵的吸入能力将相...
2019 - 11 - 05
如果您想更好地使用产品,则需要对其有一个全面的了解。 水环真空泵是相同的。接下来,我将介绍如何检查水环真空泵的泄漏。您可以仔细阅读了解它,并且使用该产品会有所帮助。  1.检查冷凝器的蒸汽出口是否关闭且没有泄漏。  2.检查低压缸排气装置的安全门是否完整并且没有吸气。  3.检查水环真空泵的水位计是否损坏或泄漏。  4.检查水环真空泵是否破坏了门并且没有泄漏。  5.检查低压加热器在负压下的水位是否正常以及地漏门是否紧固。  6.检查抽气管与钢瓶之间的真空连接是否泄漏。在此,当减少负荷时漏气减少,并且在增加负荷后真空度稍微升高。  7.检查速度控制水环真空泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量较小,则不能密封水封袋,应将水泵密封水返回到沟槽。  8.检查水环真空泵系统阀的水封,管,法兰或焊接接头是否紧固,尤其是膨胀水箱或锅炉起动器分离器与冷凝器管和阀端口的连接是否紧密。  如果您想更好地使用产品,则需要对其有一个全面的了解。 水环真空泵是相同的。接下来,我们将介绍水环真空泵的间隙调节知识。您可以仔细阅读以了解它,并且使用该产品会有所帮助。  水环真空泵的调节间隙没有原理。所谓的间隙是转子与泵壁之间的距离。该间隙是为了确保转子的旋转不会摩擦前壁和后壁。旧泵磨损,无法根据手册的大小进行调整。调整间隙后,通过调整轴的位置使转子运动,然后通过轴承和齿轮的定位使转子无摩擦地工作。  水环真空...
2019 - 11 - 06
随着现代工业的不断发展,各种真空泵装置的使用频率变得越来越频繁。 水环真空泵是使用最广泛的泵送设备之一。但是,它在使用过程中常常引起返油,这也给企业的生产带来一些麻烦。那么,有什么方法可以防止水环真空泵设备返油?  1、轴封河道的静态密封件应牢固并及时更换。  2、将燃油箱和排气阀移至一侧以减少油位并减少油量。  3、 水环真空泵基座的平面应平坦,阀板应具有弹性。  4、将水环真空泵排气阀附近的油与其他油分开。油位仅略高于隔墙。  5、在油孔中添加一根管,以便油位仅略高于进油口。  6、设置水环真空泵的止返阀机构,使其在停止时自动关闭进油口。  7、设置油泵和辅助机构,以在泵停止时切断油路。  8、 水环泵端口配有充气阀。  以上是防止水环真空泵变油的方法。在实际应用中,返油现象会严重影响泵设备的使用寿命,增加故障率和维护成本,因此必须做好及时的预防。行。另外,在长时间使用或使用不当,维护不当的情况下,也容易出现返油现象,因此这两个方面也应尽力做好。
2019 - 11 - 08
经常有客户反应:真空泵在运行过程中常常出现自动跳闸的问题,遇到这种情况怎么处理呢?螺杆真空泵启动困难的6大原因及排除方法你知道吗?  真空泵跳闸原因主要有以下几点  1.电机负载。真空泵电机负载,此时电流过高,如超过电控箱设置的电流时,真空泵会自行跳闸、脱闸,此时为真空泵的正常现象,可跳高电流保护上限来解决跳闸现象。  2.真空泵长时间停用,如果停用时间过长电机负载会导致暂时性电流过高,此时封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可。  3.真空泵电机接在两相电源上,未启动三相电源,可接通真空泵三相电源即可,如果运转十小时左右还出现跳闸、脱闸等情况,还是调整电流上限即可。  4.真空泵排气口吸入异物或杂质,电机负载,可拆开真空泵检查内部是否有故障等。  大神告诉你螺杆真空泵启动困难的6大原因及排除方法  1、螺杆真空泵启动前泵内未充满介质或泵较长时间未启动运转。  排除方法:螺杆真空泵吸入室内灌满介质,并转动泵轴。  2、螺杆真空泵泵内介质凝固  排除方法:加热螺杆真空泵,降低介质粘度。  3、螺杆真空泵的橡胶定子与转子配合过盈过大  排除方法:更换螺杆真空泵过盈适当的零件。  4、螺杆真空泵的轴封填料压得过紧  排除方法:调整螺杆真空泵填料压盖松紧。  5、螺杆真空泵输入电压过低  排除方法:调整螺杆真空泵电压正常后启动。  6、螺杆真空泵启动力矩过大  排除方法:检查并调整螺杆真空泵的...
2019 - 11 - 11
水环真空泵的工作原理:      水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空受制于结构和工作环境,一般为 3~50 kPa 。水环真空泵主要由叶轮、泵体、圆盘(设有吸气口、排气口)等几部分组成。叶轮偏心安装在泵体中,当叶轮旋转时,水被抛向泵体并形成与泵体同心的水环,水环和叶轮形成一个月牙形的空间。随着叶轮的旋转,叶轮轮毂、叶片和水环形成的空腔由小变大,通过吸气口吸气,再由大变小,通过排气口排气.  水环真空泵具有结构简单、使用维修方便、气体等温压缩、适宜抽吸和压缩易燃易爆气体、可抽除含尘、含水气体等特点。  水环真空泵在化工、煤矿、制药、轻工、造纸、冶金、石化、矿山、发电、食品以及废气的回收利用等行业中已成为最广泛应用的真空获得设备,特别是在航空、航天工业模拟试验中,运行安全、稳定。目前,单台水环真空泵机组的气量达到70000 m3/h 以上,功率达到1700 kW 以上。  近年来,随着国家对真空获得设备需求的发展,水环真空泵正向大型化、成套化、高真空、大抽气量方向发展。水环真空泵已发展成为成熟的、各行业发展所必需的通用设备,但目前有关水环真空泵(包括水环压缩机)实际能效值的研究很少。为了能不断地促进我国水环真空泵设备的技术进步,更好地贯彻落实国家节能减排的重大决策,推广高效节能的真空泵产品。
2019 - 11 - 13
水环真空泵(称为水环泵)是一种粗糙的真空泵,可以实现2000〜4000Pa的极限真空度和270〜670Pa的串联大气压注射器。 水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,这是一种低压压缩机,压力范围为1至2 × 10 Pa表压。 水环泵最初用作自吸泵,并逐渐用于许多工业部门,例如石油,化工,机械,采矿,轻工,医药和食品。  水环真空泵由叶轮,泵体,吸排气板,形成在泵体内壁上的水水环,吸气口,排气口和辅助排气阀组成。  常见故障及排除方法  1、真空泵不够  可能的原因:电动机电源不足导致速度不足;供水不足;叶轮和分配板之间的间隙过大;机械密封损坏导致漏水;叶轮过度磨损;  处理:检查电源电压是否在电动机的额定电压范围内;增加供水量(必须控制在正确的范围内,否则电动机将因热量而过载);调整叶轮和分配板之间的间隙(通常为0.15-0.20 Mm);更换机械密封;更换叶轮;查看水口行。  2、无法启动或启动噪音  可能的原因:电机电源电压不足;电机异相;泵长时间使用不生锈。泵吸碎屑;叶轮拖动分配板。  处理:检查电源电压是否过低;检查电机接线是否牢固;如果长时间不使用泵,可以添加除锈剂或打开泵盖以去除锈;打开泵盖以清除碎屑;调整叶轮到配电盘的距离。  3、电机过热  可能的原因:电动机过载,电动机过载;电机异相;通风孔被堵塞;叶轮拖动其他组件。  处理:将供水量减少到正常范围(参见...
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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实用干货:冬季真空泵的护理技巧

日期: 2013-11-29
来源: 网络
浏览次数: 160

寒冬已至,客户朋友们在注意保暖的同时也该注意真空泵的护理。可能大多数客户朋友都不清楚在寒冷的冬季该如何维护真空泵,那么深圳恒才机电将为大家介绍下冬季真空泵的护理技巧。

实用干货:冬季真空泵的护理技巧

1.不要再过冷的环境下使用。

 

2.使用前可以先适当的预热。

 

3.向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。

 

4.关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。

 

5.点动电机,试看电机转向是否正确。

 

6.如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。

 

7.尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。

 

8.经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常以成滴漏出为宜。

 

9.真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。

 

10.定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。

 

11.真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净,防止冻裂。

 

12.真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。

 

13.真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。

 

14.开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。

 

那么掌握了在冬季护理真空泵的技巧后,大家要注意多多维护真空泵,以尽量延长真空泵的使用寿命。

                                                                             

 

 

 

深圳恒才机电设备有限公司

 


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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