真空热处理工艺的发展，是与设备的发展分不开的，提高设备技术水平以适应工艺要求，往往又与配套件技术的发展密切相关。
在1873年发明白炽灯泡前，主要是用活塞式抽气机获得真空，但只能达到0.25乇的真空度。随后电子管制造技术要求更高的真空度，就促进了真空技术的发展，因而相继出现了各种真空泵:旋转水银泵(1905年)，油封旋转泵(1907年)、分子泵(1913年)和扩散泵(1915年)。其中扩散泵的发明、使真空技术进入高真空度(10-8毛左右)的阶段。随着近代科学技术的发展，例如加速器、热核反应装置，大型真空炉等，都要求能在大容积的空间建立必要的真空度。因此，到了60年代初期,扩散泵的排气速度已达到了数万升/秒的能力。
但是，就真空热处理所需的真空度而言，一般达到1x10-2~1x10-4乇就足够了，只在特殊情况下，才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空热处理炉常用的真空泵，是由机械泵和油蒸发扩散泵所组成。
作为一种运行介质，泵油在真空泵中起着以下重要作用：
密封---防止大气进入排气阀，有相对运动零件间的间隙密封(转子与定子、旋片与转子槽等)。
润滑---相对运动件间的润滑，降低磨损。
冷却---油在泵内与油箱间循环，散热、冷却。
携裹---将磨损产生的尘粒或其它颗粒挟裹在油中，减小磨损伤害。
保护---形成保护性油膜，避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀泵内部件。
真空泵油的性能要求：
高温下饱和蒸汽压要低，易挥发成分要少。最低的水含量和吸水性。要有一定粘度，且随温度变化小(粘度温升曲线平滑)。润滑性能好，机械应力下具有良好的抗裂解性。抗腐蚀、抗氧化、化学性能稳定。