由于某些原因，电动机过载或什至无法转动。这种现象通常称为“卡住”。真空泵卡住的原因是弹簧损坏，导致转子上的力不均匀。不正确的组装，某些零件受压。由于进气滤网的丢失或损坏，外部污物，金属屑，玻璃屑等引起的掉进泵腔。另外，泵转子，旋片端面和端盖之间的间隙太小，摩擦加热导致旋片伸展或过热，并且旋片的硬度太小。毛刺互相挤压，在端面上造成深深的划痕。最后，烧结卡住了。
当轴和轴套匹配良好时，润滑油路径不平滑，泵将长时间粘在一起，并且泵腔会生锈;泵在潮湿的环境中运行或除去水分气体将泵油转化为乳状液，或者泵油变脏甚至结垢。泵油的粘度太大(冬天);转子在启动时破裂;一些泵在高真空腔室和低真空腔室的空气通道中都有半圆形凹槽。上橡胶板太紧，阻塞了中间呼吸道等，这很容易导致泵卡死。这种问题通常非常危险，因为在发生卡死时，电动机会因转子而过载或无法旋转，从而很容易烧坏电动机。即使电动机没有烧坏，如果不及早停止维修，泵腔也会损坏，旋片会断裂，转子会扭曲，端面会被燃烧。结果是不好的。
卡死总是发生在转子，旋片和端面或中间隔板之间，或者在转子和泵腔之间。这些零件是决定真空泵最终压力的关键零件。因此，一旦发生卡死，就必须紧急停止泵，排除故障并进行正确维修。请勿重新测试甚至不计后果，否则整个泵将很容易被丢弃且无法维修。
某些泵中的卡死更易于维修。前级和后级的气体通道是在中间隔板的上部铣削的半圆形凹槽，橡胶板放置在其上，并由燃料箱压缩。或橡胶长时间油溶胀，气道半圆形凹槽被卡死，泵在一段时间后将不会移动或卡住。这时，只需拆卸泵并从气道上卸下缓冲垫橡皮即可。只需重新安装即可。
如果用力按压排气阀板，也可能导致真空泵卡死。例如，当排气门过分用力而无法打开时，有一个400L/min的滑阀泵。必须拆下油窗，稍微松开泄压阀的螺母，然后将其调整到正常水平。