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2020 - 04 - 07
双重喜讯!双重喜讯!  top1——根据国家《高新技术企业认定管理办法》和《高新技术企业认定管理工作指引》的相关规定,深圳恒才机电被认定为国家级高新技术企业。近日,公司也已收到了由深圳市科技创新委员会、深圳市财政局、国家税务总局深圳市税务局联合颁发的“国家高新技术企业”认定证书,由此正式迈入国家高新技术企业行列。  top2——我们的技术总监陈勇先生在全国铸造机械标准备化技术委员会-金属热成形分技术委员会中(TH186/SC2)标准化工作中被评为-标准化工作新锐奖!  国家高新技术企业认定政策是一项引导政策,目的是激发企业自主创业和持续发展道路,提高企业科技创新能力。据了解,能够获得认定的企业是国家重点支持的具有高成长性的企业,具有非常好的潜在经济效益。经认定的高新技术企业,可享受企业税收优惠、项目招投标和政府资助方面提供了有利的政策支持,有效降低企业税负,提高企业经营利润。  高新技术企业认定是对公司在核心自主知识产权、科技成果转化能力、研究开发的组织管理水平、成长性指标和人才结构的综合评估和认定,需经过层层筛选,审查颇为严格。由国家科技部审核认定的“国家级高新技术企业”称号,是中国科技企业最高的荣誉之一,是对企业科研实力一个最权威的肯定。  本次被评定为国家高新技术企业,必将进一步推动公司自主创新、自主研发的进程,同时也是我司发展史上又一个重大里程碑!  今天!我们的技术陈总监...
2019 - 10 - 22
单级水环真空泵通常用于造纸厂,以提供全方位的真空能力。现代造纸机使用真空辅助造纸脱水,因此真空系统是造纸机的重要组成部分。  随着酸性造纸向中性造纸的发展,造纸水环真空泵的结垢成为每个造纸企业经常遇到的问题。无论是在南部还是北部形成,它都不是立即生成的,而是结的过程。氧化皮的生产,其对造纸机的影响正在逐渐显现,因此,从一开始就不能掉以轻心,要始终如一地防止氧化皮的控制,这将具有长期的利益。  (1)水环真空泵结垢的原因:  1.水质影响:高ph值和高硬度。  2.造纸水的增白程度增加,不溶物含量高,并且垢离子积累。  3.大量填充物。  4.温度:水温升高,冷却系统使用不充分。  5水循环系统没有定期的清洁和维护,这将增加造纸水环真空泵结垢的可能性。  (2)水环真空泵对造纸的不利影响  1.严重降低真空度和抽气量。  2.电动机电流上升,导致功耗增加。  3.经常导致真空泵卡住,难以启动,造纸机停止并且真空泵不敢停止。  4.频繁的酸洗或手动拆卸不仅会损坏设备,还会破坏设备的精度,导致形成真空或降低真空度。  (3)水环真空泵解决方案  长期以来,传统的清洁方法(例如机械方法(刮擦,刷牙),高压水,化学清洁(酸洗)等)在清洁设备时会遇到许多问题:无法完全清除积垢,例如水垢,酸腐蚀会导致设备腐蚀。残留酸可能会导致材料发生二次腐蚀或水垢腐蚀,从而可能导致设备更换。另外,清洁废液是有毒...
2019 - 11 - 04
众所周知,对于各种真空泵的性能,都有规定的测试方法来测试该性能的性能,主要性能是极限压力,流量和抽速。这次,小编打算讨论螺杆真空泵的流量,例如如何控制其流量,流量不足的原因以及如何消除此问题。相信许多用户对这些问题感到困惑,不用担心,请跟随螺杆真空泵厂家进行了解。  首先,让我们简单介绍一下真空泵主要性能的概念。  1.极限压力。真空泵与检测容器相连,放置待测气体后,连续长时间抽气。当容器的气压不再降低并且压力保持在一定值时,次级压力就是泵的极限压力。  2.流量。在真空泵的吸入口,每单位时间的气体流量称为泵的流量。在真空技术中,流量单位以压力*体积/时间表示,即Pa.m3/s或Pa.m3/h。通常,泵会给出流量与入口压力的关系图。  3.抽速。在真空泵的吸入口,每单位时间流动的气体量称为泵的抽气速率。即,通过将流量QA(Pa.m3/s)除以测试罩中的气体A的分压pA而获得气体A的泵送速度sA(m3/s)。典型的真空泵的抽气速率与气体类型有关。给定的抽气速率表示某种气体的抽气速率。如果没有特殊指示,则使用多指抽吸。  正确控制螺杆真空泵流量不仅可以为设备提供良好的保护,还可以提高使用率。那么,该怎么做呢?  1,速度控制  叶轮速度的变化会改变螺杆真空泵的流量曲线,并且曲线的特性不会改变。随着速度降低,曲线变平,扬程和流速降低。  2,旁通阀调整  使用与泵并联的中间阀。实际效果就...
2019 - 11 - 06
在水环真空泵的正常使用中,它要达到正常的吸水和排水工作,并且还需要更好的吸力,否则会影响其吸水效果。然后,我们需要解决真空泵不能吸水的现象,以免造成更大的经济损失。因此,让我们分析一下水环真空泵不能吸水的原因。  1、在安装过程中水环真空泵的入口和出口方向相反或电动机接线不正确,从而导致旋转不正确。解决方案:沿入口和出口的方向更改电动机的方向。请勿更改两条电线中的任何一条以改变旋转方向。  2、底部阀生锈,进水口或叶轮通道被堵塞。解决方案:修理底阀,清除内部杂物,然后在进水口添加一个拦污栅。  3、 水环真空泵的入口管过长,吸入冲程过大。解决方案:降低泵的安装高度,或减少吸水管路上的弯头阀并缩短管道的长度。  4、叶轮严重损坏,并且减漏环间隙很大。解决方案:更换叶轮和减漏环。  5、实际工作条件所需的压头太高,而工作条件低的压头。解决方案:用更高的扬程更换泵。  6、 吸水管路或密封装置严重泄漏。解决方案:阻塞或修复泄漏,按或更换密封件。  以上是水环真空泵的原因和解决方案的详细说明。相信它可以帮助您及时有效地解决此类故障,并确保水环真空泵设备可以长期有效地工作。这种泵设备的压缩气体温度非常低,排气温度仅比进气温度高10〜15°C。由于此功能,它适用于水环泵送易燃易爆气体,并且现在已经发展得很好。
2019 - 11 - 08
罗茨真空泵长时间使用后,会发生不同的故障。一旦发生故障,我们需要及时解决,以防止进一步的恶化和更多的麻烦。气蚀现象对真空泵有一定的影响。对于气蚀现象,让我们教您解决方案:      1、降低设备的工作流体温度以防止气蚀。  2、降低进气温度可以间接降低水循环液的温度,防止发生气蚀,还可以提高物料的干燥速度并提高设备的利用率。  3、在罗茨真空泵中发生气蚀时,主要损坏是气泡破裂时叶轮和泵壳表面的点蚀。  4、由于罗茨真空泵气蚀的原因,众所周知,可以更换具有低饱和蒸气压的工作流体(要求工作流体具有良好的流动性以及与泵送气体的良好相容性),以减少气蚀和增加真空度。这样做的缺点之一是工作流体的后处理问题,因此很少使用更换工作流体的做法。  以上是罗茨真空泵气蚀解决方案的介绍。如果将来在使用机器的过程中出现气穴现象,可以参考本文中描述的方法进行处理。注意正确的操作过程。如果您自己无法解决问题,则需要找到专业人员来及时处理。希望对您有所帮助。
2019 - 11 - 11
为化工与制药工艺应用选择合适的真空技术往往并非易事。首先,真空系统必须在工作压力下提供所需泵速,确保所需抽真空时间。其次,它不能对工艺气体敏感,在用于 CIP(在位清洗)清洗和气体回收时必须满足所有要求。此外,在确定要使用哪种真空技术时,稳定性和经济效率也起着重要作用。 在本文中,我们将讲述化工与制药加工技术中最常用的三种真空技术。 水环真空泵, 干式螺杆真空泵, 油润滑旋片真空泵。  水环真空泵  水环真空泵适用于多种应用。它们属于旋转正排量泵,叶轮偏心放置在圆柱形外壳中(图 2)。一般用水充当工作液。叶轮旋转时,会在密封各叶片空间的外壳内形成水环。气体在中心、各叶片和液体环间形成的空间中输送。由于叶轮安装于偏心位置,这部分空间的体积会增大,从而经进气口吸入介质。当叶轮继续旋转时,空间体积减少,气体介质被压缩,然后通过排气口被再次排出。水环真空泵既可作为单一的连续流系统运行,也可作为部分或全循环系统运行。  多年来,经实践证明,这些真空泵在化学工艺中是坚固耐用、质量可靠的真空发生器。压缩室内的工作液不断耗散压缩热,因此真空泵的运行几乎是等温的。这意味着工艺气体不会明显升温,真空泵在相对较低的温度下运行。这将显著降低不必要的反应或爆炸的风险。低工作温度还有利于蒸汽和气体的冷凝,提升真空泵的额定泵速。  一般用水来作为水环。在实际应用中,还经常使用乙二醇、矿物油或有机溶剂。真空泵的极...
2019 - 11 - 13
真空泵的分类  01 按性能特点和用途分类  (1)低真空泵  泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。  (2)中真空泵  极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。  (3)高真空泵  极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。  (4)超高真空泵  极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。  02 按工作原理和结构特点分类  (1)机械式容积真空泵  靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外,一般均可单独使用。  (2)射流式真空泵  没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。  03 各类真空泵的工作压力范围及特征  真空泵的选择  01 依据和条件  (1)系统对真空度的要求  根据系统对真空度的要求,选择相应极...
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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如何判断螺杆真空泵​滤芯的质量?

日期: 2020-08-25
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  螺杆真空泵不仅可以抽空,还可以过滤气体,对含粉尘的气体可以过滤,过滤气体需要滤芯,所以时间一长就要更换滤芯。 除频繁更换外,还要注意滤芯的质量。 只有滤芯的质量好,才能过滤气体。 如何判断螺杆真空泵滤芯的质量?

如何判断螺杆真空泵滤芯的质量?


  一、看滤芯的芯骨厚度

  通常,优质的螺杆真空泵滤芯的内外骨架厚度均在0.8mm-1.5mm之间,但有些厂家为了降低层本,将骨架降低到0.3mm-0.5mm,虽然外观没有差异,但严重影响滤芯的抗压能力。

  二、看滤芯的材质

  螺杆真空泵空气过滤器的主要过滤材质为滤纸,假装过滤器所采用的劣质滤纸,使得除尘进入发动机无法停止,影响发动机的正常工作。 通常,优良的真空泵滤芯的滤纸颜色是统一的,纸面比较平坦,不良的过滤器颜色是不统一的,纸面生毛,质量差。

  三、看滤芯的胶质

  目前螺杆真空泵过滤器的结构通常由滤纸和橡胶组成。 正品滤芯的橡胶质量好有弹性,不过,假滤芯的橡胶质量柔软坏。 比较容易识别方法是将空气过滤器对折,放松后立即打开优质过滤器,假冒真空泵过滤器因橡胶质问题不与滤纸粘接,中央对折的痕迹很明显。

  滤芯经常更换,更换的话就更换。 螺杆真空泵的部件质量可以根据上述内容进行判断。 如果买的要素不满足上述条件的话,请不要更换。 不良滤芯会影响真空泵对气体的过滤。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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