真空热处理被当代热处理界称为高效、节能、无污染的清洁热处理。真空热处理零件具有不氧化、不脱碳、不脱气、不脱脂、表面质量好、变形小、综合力学性能高、可靠性好(重复性好、寿命稳定)等一系列优点。因此，真空热处理在国内外得到了广泛的重视和应用。并将真空热处理的普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平的重要标志。真空热处理技术是近四十年来热处理技术发展的热点，也是先进制造技术的重要领域。在这里，我们将告诉您在用真空对真空泵进行热处理时应该注意的几点：
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一、当用真空泵处理钛合金时，不应使用氮气作为冷却气体，因为钛和氮气会在高温下反应生成金氮化钛。
二、真空泵的活动连接部分用O型橡胶圈密封，该部分用水冷却。
三、真空泵工件在真空中淬火，应使用真空淬火油，这种油具有较低的饱和蒸汽压。
四、真空炉的维护应处于真空或纯氮气状态，防止不使用时吸入水分。
五、国内真空炉压力上升速率应不超过1.33帕/小时，国外一些企业规格为0.67帕/小时
六、真空加热以辐射为主，工件应坚持在炉内的间距。
七、在真空泵加热工件的过程中，炉内数据会放气，使真空度下降。
八、真空回火、真空退火、真空固溶处理和真空时效的加热温度一般与常规处理相同。
九、真空回火炉应有快速冷却装置。冷却水的压力应大于0.2兆帕流量，并应可调。
十.冷却气体：钢一般用纯度为99.995%的氮气，高温合金用纯度为99.999%的氮气或氩气，钛合金用纯度为99.995%的氩气。
十一、真空泵进入工件后，普通预热前预抽至6.67帕。